JP3396288B2 - 真空用ヒータ - Google Patents
真空用ヒータInfo
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- JP3396288B2 JP3396288B2 JP06936994A JP6936994A JP3396288B2 JP 3396288 B2 JP3396288 B2 JP 3396288B2 JP 06936994 A JP06936994 A JP 06936994A JP 6936994 A JP6936994 A JP 6936994A JP 3396288 B2 JP3396288 B2 JP 3396288B2
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- Japan
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- heater
- heating element
- container
- vacuum
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空装置であるＣＶＤ
装置やスパッタリング装置に用いられるヒータに関す
る。
装置やスパッタリング装置に用いられるヒータに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来技術の例を図６〜図７に示す。図６
〜図７において、１は給電線用ポート、２はヒータ用の
給電線、３は外部取付具、５はヒータ容器、８は棒状発
熱体、９は均熱板、１０は抑え金である。
〜図７において、１は給電線用ポート、２はヒータ用の
給電線、３は外部取付具、５はヒータ容器、８は棒状発
熱体、９は均熱板、１０は抑え金である。
【０００３】ヒータの上記棒状発熱体８は給電線２を通
して電気的に加熱される。棒状発熱体８は均熱板９を介
してヒータ容器５を加熱する。このヒータにより加熱さ
れる被発熱体は、ヒータ容器５の一つあるいは複数の面
に圧着などの方法で接触している。
して電気的に加熱される。棒状発熱体８は均熱板９を介
してヒータ容器５を加熱する。このヒータにより加熱さ
れる被発熱体は、ヒータ容器５の一つあるいは複数の面
に圧着などの方法で接触している。
【０００４】前述の従来の構造では棒状発熱体を真空容
器の広い面に対して設置する必要があり、また、棒状発
熱体の固定具と発熱体の熱結合が悪いとヒータ容器に温
度ムラが生じやすい。この棒状発熱体の固定具には温度
強度の点からステンレスなどの金属が用いられる。外部
取付具３はヒータ全体を、外部の構体などに取付けるた
めにあり、ここから熱伝導により熱損失が生じる。
器の広い面に対して設置する必要があり、また、棒状発
熱体の固定具と発熱体の熱結合が悪いとヒータ容器に温
度ムラが生じやすい。この棒状発熱体の固定具には温度
強度の点からステンレスなどの金属が用いられる。外部
取付具３はヒータ全体を、外部の構体などに取付けるた
めにあり、ここから熱伝導により熱損失が生じる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術では棒状発
熱体と棒状発熱体の固定具の密着が悪くなりやすい。そ
のためヒータの温度ムラが生じやすい。密着性が悪くな
る理由は制作時に密着を良くしても実際の使用状態（高
温状態）では、熱変形が生じるためである。密着性が悪
いと、棒状発熱体を多数設置する必要があるので、製造
コストが高くなるという問題がある。本発明はこれらの
問題を解決することが出来る真空用ヒータを提供するこ
とを目的とする。
熱体と棒状発熱体の固定具の密着が悪くなりやすい。そ
のためヒータの温度ムラが生じやすい。密着性が悪くな
る理由は制作時に密着を良くしても実際の使用状態（高
温状態）では、熱変形が生じるためである。密着性が悪
いと、棒状発熱体を多数設置する必要があるので、製造
コストが高くなるという問題がある。本発明はこれらの
問題を解決することが出来る真空用ヒータを提供するこ
とを目的とする。
【０００６】
（第１の手段）本発明に係る真空用ヒータは、（Ａ）面
状発熱体４と、（Ｂ）前記面状発熱体への給電線２と、
（Ｃ）内部を真空にしたヒータ容器５と、（Ｄ）前記ヒ
ータ容器の外部に設けた取付具３とを具備し、前記ヒー
タ容器５は広い表面積を有する壁面５１、５２と、狭い
表面積を有する側面５３、５４と、上面５５と、下面５
６とからなり、前記広い面積を有する壁面５１、５２の
内側に面状発熱体４を固定し、前記面状発熱体４の発熱
量分布は外部取付具３に近い方ほど大きくすることを特
徴とする。
状発熱体４と、（Ｂ）前記面状発熱体への給電線２と、
（Ｃ）内部を真空にしたヒータ容器５と、（Ｄ）前記ヒ
ータ容器の外部に設けた取付具３とを具備し、前記ヒー
タ容器５は広い表面積を有する壁面５１、５２と、狭い
表面積を有する側面５３、５４と、上面５５と、下面５
６とからなり、前記広い面積を有する壁面５１、５２の
内側に面状発熱体４を固定し、前記面状発熱体４の発熱
量分布は外部取付具３に近い方ほど大きくすることを特
徴とする。
【０００７】（第２の手段）本発明に係る真空用ヒータ
は、第１の手段において、（Ｃ）のヒータ容器５の広い
表面積を有する壁面５１、５２の間に、補強材としてリ
ブ６を設けたことを特徴とする。
は、第１の手段において、（Ｃ）のヒータ容器５の広い
表面積を有する壁面５１、５２の間に、補強材としてリ
ブ６を設けたことを特徴とする。
【０００８】（第３の手段）本発明に係る真空用ヒータ
は、第１の手段又は第２の手段において、（Ｃ）のヒー
タ容器５の広い表面積を有する壁面５１、５２の内部に
熱伝導率のよい材料で構成した均熱板９を入れたことを
特徴とする。
は、第１の手段又は第２の手段において、（Ｃ）のヒー
タ容器５の広い表面積を有する壁面５１、５２の内部に
熱伝導率のよい材料で構成した均熱板９を入れたことを
特徴とする。
【０００９】
【作用】本発明に用いる面状発熱体は内部の発熱量分布
を自由に変化させることができるので、温度ムラなく加
熱することができる。その上、本発明に用いる面状発熱
体の重量は、従来技術のカートリッジヒータと発熱体取
付具の重量合計に比べて軽くできる。そのため運搬や、
取付けに便利である。
を自由に変化させることができるので、温度ムラなく加
熱することができる。その上、本発明に用いる面状発熱
体の重量は、従来技術のカートリッジヒータと発熱体取
付具の重量合計に比べて軽くできる。そのため運搬や、
取付けに便利である。
【００１０】
【実施例】本発明の第１実施例を図１及び図２に示す。
図において記号１〜３、５は前述の図６、７の場合と同
じである。４は面状発熱体であり、通常ニクロムなどの
電気抵抗体の細線を絶縁材ではさみ込んだ構造である。
第１実施例の場合、外部取付具３を通しての熱損失が大
きいので、面状発熱体の発熱量分布は外部取付具３に近
い方で大きくする。
図において記号１〜３、５は前述の図６、７の場合と同
じである。４は面状発熱体であり、通常ニクロムなどの
電気抵抗体の細線を絶縁材ではさみ込んだ構造である。
第１実施例の場合、外部取付具３を通しての熱損失が大
きいので、面状発熱体の発熱量分布は外部取付具３に近
い方で大きくする。
【００１１】本発明の第２実施例を図３〜４に示す。第
２実施例ではヒータ容器（真空容器）５の変形を少なく
するために、補強材（リブ）６をつけている。この場合
リブ６の周囲の破線部７の中は、発熱体が存在せずリブ
６は図４に示すように直接真空容器５を固定する。この
ような構造にすると真空容器の肉厚を厚くせずに大型化
することが可能になる。
２実施例ではヒータ容器（真空容器）５の変形を少なく
するために、補強材（リブ）６をつけている。この場合
リブ６の周囲の破線部７の中は、発熱体が存在せずリブ
６は図４に示すように直接真空容器５を固定する。この
ような構造にすると真空容器の肉厚を厚くせずに大型化
することが可能になる。
【００１２】本発明の第３実施例を図５に示す。第３実
施例では、図５（Ａ）又は（Ｂ）に示すように、第１実
施例又は第２実施例の真空容器５の壁面内に熱伝導率の
良い材料で構成した均熱板９を入れたものである。第３
実施例のようにすると温度ムラを少なくすることができ
る。
施例では、図５（Ａ）又は（Ｂ）に示すように、第１実
施例又は第２実施例の真空容器５の壁面内に熱伝導率の
良い材料で構成した均熱板９を入れたものである。第３
実施例のようにすると温度ムラを少なくすることができ
る。
【００１３】
【発明の効果】本発明は前述のように構成されているの
で、以下に記載するような効果を奏する。 （１）真空容器の壁面を通して外部を加熱するために、
真空容器内部に面状発熱体を固定したことにより、面状
発熱体の発熱量分布を放熱損失に合わせることができる
ので、温度ムラが少なくなる。例えば６００×６００mm
の大きさで表面温度を５００±１０℃の範囲内に制御で
きる。 （２）面状発熱体の１部（狭い範囲）を非発熱部にでき
るので、その非発熱部に真空容器の補強材（リブ）を設
置することができる。そのため、真空容器の肉厚を薄く
でき、軽量化を図ることができる。
で、以下に記載するような効果を奏する。 （１）真空容器の壁面を通して外部を加熱するために、
真空容器内部に面状発熱体を固定したことにより、面状
発熱体の発熱量分布を放熱損失に合わせることができる
ので、温度ムラが少なくなる。例えば６００×６００mm
の大きさで表面温度を５００±１０℃の範囲内に制御で
きる。 （２）面状発熱体の１部（狭い範囲）を非発熱部にでき
るので、その非発熱部に真空容器の補強材（リブ）を設
置することができる。そのため、真空容器の肉厚を薄く
でき、軽量化を図ることができる。
【図１】本発明の第１実施例の正面図。
【図２】本発明の第１実施例の断面図。
【図３】本発明の第２実施例の正面図。
【図４】本発明の第２実施例の断面図。
【図５】本発明の第３実施例の断面図。
【図６】従来の技術を示す図（全体図）。
【図７】従来の技術を示す図（断面図）。
１…給電線用ポート、
２…ヒータ用給電線、
３…外部取付具、
４…面状発熱体、
５…ヒータ容器、
６…補強材、
７…非発熱部、
８…棒状発熱体、
９…均熱板、
１０…抑え金、
５１、５２…ヒータ容器５の広い表面積を有する壁面、
５３、５４…ヒータ容器５の狭い表面積を有する側面、
５５ …ヒータ容器５の上面、
５６ …ヒータ容器５の下面。
フロントページの続き
(72)発明者 山添 政太
長崎県長崎市元船町９番１号 山里産業
株式会社長崎営業所内
(56)参考文献 特開 昭62−194182（ＪＰ，Ａ)
実開 平７−24972（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B01J 3/00 - 3/04
C23C 16/46
C23C 14/34
H01L 21/00 - 21/98
Claims (3)
- 【請求項１】（Ａ）面状発熱体（４）と、（Ｂ）前記面
状発熱体への給電線（２）と、（Ｃ）内部を真空にした
ヒータ容器（５）と、（Ｄ）前記ヒータ容器の外部に設
けた取付具（３）とを具備し、前記ヒータ容器（５）は
広い表面積を有する壁面（５１、５２）と、狭い表面積
を有する側面（５３、５４）と、上面（５５）と、下面
（５６）とからなり、前記広い面積を有する壁面（５
１、５２）の内側に面状発熱体（４）を固定し、前記面
状発熱体（４）の発熱量分布は外部取付具（３）に近い
方ほど大きくすることを特徴とする真空用ヒータ。 - 【請求項２】 （Ｃ）のヒータ容器（５）の広い表面積
を有する壁面（５１、５２）の間に、補強材としてリブ
（６）を設けたことを特徴とする請求項１記載の真空用
ヒータ。 - 【請求項３】 （Ｃ）のヒータ容器（５）の広い表面積
を有する壁面（５１、５２）の内部に熱伝導率のよい材
料で構成した均熱板（９）を入れたことを特徴とする請
求項１又は請求項２記載の真空用ヒータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06936994A JP3396288B2 (ja) | 1994-04-07 | 1994-04-07 | 真空用ヒータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06936994A JP3396288B2 (ja) | 1994-04-07 | 1994-04-07 | 真空用ヒータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07275685A JPH07275685A (ja) | 1995-10-24 |
| JP3396288B2 true JP3396288B2 (ja) | 2003-04-14 |
Family
ID=13400582
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06936994A Expired - Fee Related JP3396288B2 (ja) | 1994-04-07 | 1994-04-07 | 真空用ヒータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3396288B2 (ja) |
-
1994
- 1994-04-07 JP JP06936994A patent/JP3396288B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07275685A (ja) | 1995-10-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030114 |
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