JP2605533Y2 - 真空用ヒータ - Google Patents
真空用ヒータInfo
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- JP2605533Y2 JP2605533Y2 JP1993054831U JP5483193U JP2605533Y2 JP 2605533 Y2 JP2605533 Y2 JP 2605533Y2 JP 1993054831 U JP1993054831 U JP 1993054831U JP 5483193 U JP5483193 U JP 5483193U JP 2605533 Y2 JP2605533 Y2 JP 2605533Y2
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- heating element
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案はＣＶＤ装置やスパッタリ
ング装置、等の真空装置の真空雰囲気内で用いられる真
空用ヒータに関するものである。
ング装置、等の真空装置の真空雰囲気内で用いられる真
空用ヒータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４，図５，図６に従来の真空用ヒータ
の例を示す。図４は真空用ヒータ全体の正面図、図５は
そのＢ−Ｂ断面図、図６は図５におけるＣ部の詳細図で
ある。図４，図５において、１は給電線用のポート、２
はヒータの給電線で外部の電源より発熱体５に電流を流
すもの、３は外部取付具で、ヒータ容器５の外部上面へ
取付けられており、真空雰囲気内にヒータを取付けるた
めのものである。６は発熱体でヒータ容器５内で棒状で
複数本配設され、給電線２より電流を流して同ヒータ容
器５を加熱するものである。７は発熱体固定具で、一方
の側面をヒータ容器５に固定すると共に複数本の発熱体
６を直線上に並べて配設して固定するものである。８は
図６に示すように発熱体６の抑え金具で、発熱体６でヒ
ータ容器５を加熱するため発熱体固定具７に発熱体６を
密着するように抑えて固定するためのものである。
の例を示す。図４は真空用ヒータ全体の正面図、図５は
そのＢ−Ｂ断面図、図６は図５におけるＣ部の詳細図で
ある。図４，図５において、１は給電線用のポート、２
はヒータの給電線で外部の電源より発熱体５に電流を流
すもの、３は外部取付具で、ヒータ容器５の外部上面へ
取付けられており、真空雰囲気内にヒータを取付けるた
めのものである。６は発熱体でヒータ容器５内で棒状で
複数本配設され、給電線２より電流を流して同ヒータ容
器５を加熱するものである。７は発熱体固定具で、一方
の側面をヒータ容器５に固定すると共に複数本の発熱体
６を直線上に並べて配設して固定するものである。８は
図６に示すように発熱体６の抑え金具で、発熱体６でヒ
ータ容器５を加熱するため発熱体固定具７に発熱体６を
密着するように抑えて固定するためのものである。
【０００３】この真空用ヒータにより加熱される被発熱
体は、ヒータ容器５の一つあるいは複数の面に外側か
ら、圧着などの方法で接触し、加熱される。従来のこの
ような真空用ヒータの構造では、発熱体６を真空容器の
広い面に接して設置する必要があり、また、発熱体固定
具７と発熱体６との熱結合が悪いと、ヒータ容器５に温
度ムラが生じやすい。従来、この発熱体固定具７は高温
強度の点からステンレスなど金属が用いられている。外
部取付具３はヒータ全体を、外部の構体などに取付ける
ためにあり、ここからも熱伝導により熱損失が生じる。
体は、ヒータ容器５の一つあるいは複数の面に外側か
ら、圧着などの方法で接触し、加熱される。従来のこの
ような真空用ヒータの構造では、発熱体６を真空容器の
広い面に接して設置する必要があり、また、発熱体固定
具７と発熱体６との熱結合が悪いと、ヒータ容器５に温
度ムラが生じやすい。従来、この発熱体固定具７は高温
強度の点からステンレスなど金属が用いられている。外
部取付具３はヒータ全体を、外部の構体などに取付ける
ためにあり、ここからも熱伝導により熱損失が生じる。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】前述のように従来の真
空用ヒータにおいては、発熱体固定具７が金属製である
ため発熱体６と発熱体固定具７の密着が悪く、このため
ヒータに温度ムラが生じやすい。製作時に密着を良くし
ても実際の使用状態（高温状態）では、発熱体固定具７
に熱変形が生じるので発熱体６との密着性は悪くなる。
又、発熱体６を多数設置する必要があるので発熱体６の
取付面の加工、等があり、製造コストも高くなる。
空用ヒータにおいては、発熱体固定具７が金属製である
ため発熱体６と発熱体固定具７の密着が悪く、このため
ヒータに温度ムラが生じやすい。製作時に密着を良くし
ても実際の使用状態（高温状態）では、発熱体固定具７
に熱変形が生じるので発熱体６との密着性は悪くなる。
又、発熱体６を多数設置する必要があるので発熱体６の
取付面の加工、等があり、製造コストも高くなる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本考案はこのような課題
を解決するために、従来の発熱体を固定している金属製
の発熱体固定具や抑え金具、等を不要とし、これらの代
りにヒータ容器内部に低強度で熱伝導率の高い、例え
ば、グラファイトのような材料を充填又は充満するよう
な構造として発熱体を保持すると共に熱をヒータ容器に
伝えるようにしたものである。
を解決するために、従来の発熱体を固定している金属製
の発熱体固定具や抑え金具、等を不要とし、これらの代
りにヒータ容器内部に低強度で熱伝導率の高い、例え
ば、グラファイトのような材料を充填又は充満するよう
な構造として発熱体を保持すると共に熱をヒータ容器に
伝えるようにしたものである。
【０００６】即ち、本考案は、真空雰囲気で使用可能な
ヒータ容器と、該ヒータ容器の外部上面に取付けられた
外部取付具と、前記ヒータ容器内に配設された発熱体
と、該発熱体を保持すると共に同発熱体からの熱を前記
ヒータ容器に伝える発熱体取付具とを具備した真空用ヒ
ータにおいて、前記発熱体取付具は前記ヒータ容器の内
部で熱伝導の良い材料を充満させ、その中に前記発熱体
を保持してなることを特徴とする真空用ヒータを提供す
るものである。
ヒータ容器と、該ヒータ容器の外部上面に取付けられた
外部取付具と、前記ヒータ容器内に配設された発熱体
と、該発熱体を保持すると共に同発熱体からの熱を前記
ヒータ容器に伝える発熱体取付具とを具備した真空用ヒ
ータにおいて、前記発熱体取付具は前記ヒータ容器の内
部で熱伝導の良い材料を充満させ、その中に前記発熱体
を保持してなることを特徴とする真空用ヒータを提供す
るものである。
【０００７】
【作用】本考案は前述のように、発熱体取付具を強度が
低く熱伝導率が高い材質にし、ヒータ容器内に充満又は
充填する構造にしたため次の作用を有する。
低く熱伝導率が高い材質にし、ヒータ容器内に充満又は
充填する構造にしたため次の作用を有する。
【０００８】発熱体から発生した熱は発熱体取付具に伝
えられ、同取付具自体は温度ムラがなく加熱される。加
熱された発熱体取付具は高熱伝導率を有するためヒータ
容器の上端から下端部まで熱をムラなく伝え、又加熱さ
れた発熱体取付具はヒータ容器内部で熱膨張するが、ヒ
ータ容器を変形せずに、材質が低強度であるため自身が
変形してヒータ容器内面に密着するようになり、より一
層熱伝導を良くし、温度を均一とする。
えられ、同取付具自体は温度ムラがなく加熱される。加
熱された発熱体取付具は高熱伝導率を有するためヒータ
容器の上端から下端部まで熱をムラなく伝え、又加熱さ
れた発熱体取付具はヒータ容器内部で熱膨張するが、ヒ
ータ容器を変形せずに、材質が低強度であるため自身が
変形してヒータ容器内面に密着するようになり、より一
層熱伝導を良くし、温度を均一とする。
【０００９】又、これに関連して熱伝導率が良くなるた
め発熱体の個数を減らすことが可能で真空用ヒータの低
コスト化を可能にするものである。
め発熱体の個数を減らすことが可能で真空用ヒータの低
コスト化を可能にするものである。
【００１０】
【実施例】以下、本考案の一実施例を図１，図２に基づ
いて具体的に説明する。図１は本考案の一実施例に係る
真空用ヒータの正面図、図２は図１におけるＡ−Ａ断面
図である。両図において、本考案の特徴となるところ
は、符号４の部分であり、その他の符号１乃至３，５，
６は図４、図５に示す従来例と同じであるので詳しい説
明は省略する。
いて具体的に説明する。図１は本考案の一実施例に係る
真空用ヒータの正面図、図２は図１におけるＡ−Ａ断面
図である。両図において、本考案の特徴となるところ
は、符号４の部分であり、その他の符号１乃至３，５，
６は図４、図５に示す従来例と同じであるので詳しい説
明は省略する。
【００１１】４は発熱体取付具で、図４，図５に示す従
来の固定具７の代りになるもので、従来のステンレス、
等の金属製のものと比べ一体的に作られている。この発
熱体取付具４は、又、強度が低く熱伝導率が高いグラフ
ァイトのような材質であり、本実施例は固体であるがフ
ァイバー状のものを充満するか又はパウダ状のものを充
填しても適用可能である。
来の固定具７の代りになるもので、従来のステンレス、
等の金属製のものと比べ一体的に作られている。この発
熱体取付具４は、又、強度が低く熱伝導率が高いグラフ
ァイトのような材質であり、本実施例は固体であるがフ
ァイバー状のものを充満するか又はパウダ状のものを充
填しても適用可能である。
【００１２】このような材質の発熱体取付具４はヒータ
容器５内のほぼ中央部に複数の棒状の発熱体６を直線状
に配置してこれを保持すると共に発熱体６からの熱をヒ
ータ容器５に伝えるものである。
容器５内のほぼ中央部に複数の棒状の発熱体６を直線状
に配置してこれを保持すると共に発熱体６からの熱をヒ
ータ容器５に伝えるものである。
【００１３】この実施例の場合、発熱体６と発熱体取付
具４の密着が悪くなったとしても熱伝導率が良いグラフ
ァイトのような材質のため熱は迅速に温度ムラがなくヒ
ータ容器の上端から下端部に伝えられ、温度は均一に保
れる。又、発熱体取付具４が熱膨張によりヒータ容器５
を内側から圧迫するが、発熱体取付具４は強度的に弱い
ので、ヒータ容器５を変形するにはいたらず、自身が変
形してヒータ容器５の内面に密着するようになり、より
一層熱伝導を良くし、温度を均一化するようになる。
具４の密着が悪くなったとしても熱伝導率が良いグラフ
ァイトのような材質のため熱は迅速に温度ムラがなくヒ
ータ容器の上端から下端部に伝えられ、温度は均一に保
れる。又、発熱体取付具４が熱膨張によりヒータ容器５
を内側から圧迫するが、発熱体取付具４は強度的に弱い
ので、ヒータ容器５を変形するにはいたらず、自身が変
形してヒータ容器５の内面に密着するようになり、より
一層熱伝導を良くし、温度を均一化するようになる。
【００１４】図３は真空用ヒータの温度分布を示す図
で、本考案の実施例と従来のヒータを比較して示したも
のである。本実施例の温度分布が１１、従来のヒータで
の温度分布が１２であり、図１に示す本考案の実施例と
図４の従来例共に、ヒータ上端部においては外部取付具
３により生ずる熱損失のため温度は低下するが、本考案
の実施例の温度分布１１の方が、発熱体取付具４をヒー
タ容器５内に充満又は充填する構造として低強度で高熱
伝導の材質を利用したので、ヒータ容器５のヒータ上端
からヒータ下端全体にわたって均一な温度分布となって
いる。
で、本考案の実施例と従来のヒータを比較して示したも
のである。本実施例の温度分布が１１、従来のヒータで
の温度分布が１２であり、図１に示す本考案の実施例と
図４の従来例共に、ヒータ上端部においては外部取付具
３により生ずる熱損失のため温度は低下するが、本考案
の実施例の温度分布１１の方が、発熱体取付具４をヒー
タ容器５内に充満又は充填する構造として低強度で高熱
伝導の材質を利用したので、ヒータ容器５のヒータ上端
からヒータ下端全体にわたって均一な温度分布となって
いる。
【００１５】上記に説明の本考案の実施例では、熱伝導
率が良くて、従来の金属製の固定具よりも低強度のグラ
ファイトのような材料で発熱体６をヒータ容器５内で一
体的に充満又は充填し、固定するようにしたので、従来
の真空用ヒータと比べるとヒータ容器５の上端から下端
にわたって温度ムラが生ずることなく均一な温度分布と
なり、又、そのために従来のヒータよりも発熱体６の数
を減少することが可能となり、更に、発熱体の取付け方
法も、従来発熱体の数だけ必要としていた抑え金具８が
不要となり製作面でも工数の低減とコストの低下を可能
とするものである。
率が良くて、従来の金属製の固定具よりも低強度のグラ
ファイトのような材料で発熱体６をヒータ容器５内で一
体的に充満又は充填し、固定するようにしたので、従来
の真空用ヒータと比べるとヒータ容器５の上端から下端
にわたって温度ムラが生ずることなく均一な温度分布と
なり、又、そのために従来のヒータよりも発熱体６の数
を減少することが可能となり、更に、発熱体の取付け方
法も、従来発熱体の数だけ必要としていた抑え金具８が
不要となり製作面でも工数の低減とコストの低下を可能
とするものである。
【００１６】
【考案の効果】以上、具体的に説明したように本考案の
真空用ヒータにおいては、ヒータ容器内に、従来使用し
ていた金属よりも熱伝導率が良く、低強度の材質を充填
させて発熱体を固定する発熱体取付具を採用したので、
従来の真空用ヒータと比べるとヒータ容器の上端から下
端にわたって温度ムラのない均一な温度分布が得られる
ものである。
真空用ヒータにおいては、ヒータ容器内に、従来使用し
ていた金属よりも熱伝導率が良く、低強度の材質を充填
させて発熱体を固定する発熱体取付具を採用したので、
従来の真空用ヒータと比べるとヒータ容器の上端から下
端にわたって温度ムラのない均一な温度分布が得られる
ものである。
【００１７】又、そのために従来のヒータよりも発熱体
の数を減少することが可能になり、更に、発熱体の取付
け方法も従来必要としていた抑え金具も不要となり、製
作、加工が容易となり、コストダウンも可能にするもの
である。
の数を減少することが可能になり、更に、発熱体の取付
け方法も従来必要としていた抑え金具も不要となり、製
作、加工が容易となり、コストダウンも可能にするもの
である。
【図１】本考案の一実施例に係る真空用ヒータの正面図
である。
である。
【図２】図１におけるＡ−Ａ断面図である。
【図３】本考案の一実施例に係る真空用ヒータの温度分
布を示すグラフである。
布を示すグラフである。
【図４】従来の真空用ヒータの正面図である。
【図５】図４におけるＢ−Ｂ断面図である。
【図６】図５におけるＣ部の詳細図である。
３ 外部取付具 ４ 発熱体取付具 ５ ヒータ容器 ６ 発熱体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 山添 政太 長崎県長崎市元船町９番１号 山里産業 株式会社長崎営業所内 (56)参考文献 特開 平３−272587（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C23C 14/00 - 14/58 C23C 16/00 - 16/56
Claims (1)
- 【請求項１】 真空雰囲気で使用可能なヒータ容器と、
該ヒータ容器の外部上面に取付けられた外部取付具と、
前記ヒータ容器内に配設された発熱体と、該発熱体を保
持すると共に同発熱体からの熱を前記ヒータ容器に伝え
る発熱体取付具とを具備した真空用ヒータにおいて、前
記発熱体取付具は前記ヒータ容器の内部で熱伝導の良い
材料を充満させ、その中に前記発熱体を保持してなるこ
とを特徴とする真空用ヒータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993054831U JP2605533Y2 (ja) | 1993-10-08 | 1993-10-08 | 真空用ヒータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993054831U JP2605533Y2 (ja) | 1993-10-08 | 1993-10-08 | 真空用ヒータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0724972U JPH0724972U (ja) | 1995-05-12 |
| JP2605533Y2 true JP2605533Y2 (ja) | 2000-07-24 |
Family
ID=12981600
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993054831U Expired - Fee Related JP2605533Y2 (ja) | 1993-10-08 | 1993-10-08 | 真空用ヒータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2605533Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100931604B1 (ko) * | 2007-08-08 | 2009-12-14 | 주식회사 에이디피엔지니어링 | 캐리어가스 히터 및 이를 이용한 증착장치 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013189701A (ja) * | 2012-02-14 | 2013-09-26 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置 |
-
1993
- 1993-10-08 JP JP1993054831U patent/JP2605533Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100931604B1 (ko) * | 2007-08-08 | 2009-12-14 | 주식회사 에이디피엔지니어링 | 캐리어가스 히터 및 이를 이용한 증착장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0724972U (ja) | 1995-05-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20000411 |
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