JP3384927B2 - 透光性長尺体欠陥検出装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバの如き
透光性長尺体内部の気泡等の空洞欠陥を検出する透光性
長尺体欠陥検出装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】透光性長尺体、例えば光ファイバの内部
に気泡等の空洞欠陥があると、光伝送損失の増大や機械
的強度の低下あるいは端面融着の失敗など望ましくない
問題が引き起こされる。そこで、光ファイバ線引き設備
等でインラインにてこの空洞欠陥を検出することが行わ
れている。

【０００３】光ファイバの内部欠陥を検出する装置とし
て、例えば特開平４−１０６４４８号公報に開示されて
いるように、光ファイバの軸に対して横方向からレーザ
ビーム等の光線を照射し、該光ファイバからの前方散乱
光をイメージセンサにて受光し、その散乱光の強度分布
パターンの異常を検出することにより、気泡等の空洞欠
陥を検出する光ファイバ欠陥検出装置が提案されてい
る。

【０００４】この光ファイバ欠陥検出装置は、図５に示
すように、光ファイバ母材１から線引き直後で未コーテ
ィングの状態で走行中の光ファイバ（透光性長尺体）２
に横方向から平行光線３を連続して照射し、その前方散
乱光４をＣＣＤラインセンサやフォトダイオードアレイ
等の受光用イメージセンサ５で受光し、その出力を信号
処理部６で処理し、該信号処理部６から得られる散乱光
強度分布パターンを判定部７で判定すると共に処理部６
の処理結果をモニタ部８で表示し、異常が判定されれば
警報部９から警報を発し、判定結果を記録部１０で記録
する構造になっている。

【０００５】このような光ファイバ欠陥検出装置では、
受光用イメージセンサ５からの出力を信号処理部６で処
理すると、図６の左部に示すような散乱光強度分布パタ
ーン１１が得られる。

【０００６】光ファイバ２中に気泡等の周囲と屈折率の
大きく異なる空洞欠陥があると、散乱光強度分布パター
ン１１中に空洞欠陥による減光凹部が現れる。この減光
凹部による変異を、信号処理部６から得られる散乱光強
度分布パターン１１を判断している判定部７において検
知する。この判定内容が外部に出力され、警報部９から
警報を発し、判定結果を記録部１０で記録する。

【０００７】ここで、空洞欠陥の光ファイバ２の径方向
位置と散乱光分布について説明する。図７に示したの
は、約φ125 μm の光ファイバ（クラッド部屈折率：約
1.46）２に１軸方向から平行光線３を入射させた場合の
光路をトレースしたものである。光ファイバ２のコア２
ａを通る中心線２ｂからそれぞれｄ1 ＝42μm 、ｄ2 ＝
57μm なる距離に入射した平行光線３は、それぞれｔ1
＝30°、ｔ2 ＝55°なる散乱角度に散乱される。

【０００８】また、図７の斜線部については、入射光が
侵入しないので測定としては不感帯１２となり、この領
域に空洞欠陥があっても検出できない。この不感帯１２
は、投光部（及びそれに対応する受光部）の測定平面に
おける入射角度をそれぞれ変えて、入射光を多軸化する
等の手段をとることによりなくすことができる。

【０００９】例えば、図７のＰ点に空洞欠陥があった場
合には、図８の散乱光強度分布パターン１１中（散乱光
強度分布パターン１１は、図６のように左右に裾を引く
が、左右それぞれにおいて行う処理は同様なので、片側
の散乱光パターンで代表させて図示することにする。）
にＰのような減光凹部が現れる。また、図７のＱ点に空
洞欠陥があった場合には、図８の散乱光強度分布パター
ン１１中にＱのような減光凹部が現れる。なお、図８に
破線で示されているのが散乱光強度分布パターン１１の
基準線であり、線引き設備中の測定装置で得られる散乱
光強度分布パターン１１は線引きされた光ファイバ２の
振動等諸々の要因により空洞欠陥のない正常状態におい
ても、図８のＲ部のように揺らいでいる。

【００１０】パターン処理において、正常状態の中から
空洞欠陥による散乱光強度分布パターン１１の変異を識
別するには、図９（Ａ）に破線で示す基準線からの変位
量Ｈが正常状態時の散乱光強度分布パターン１１におけ
るノイズ量に勝る必要がある。ノイズとしては、センサ
特性によるものと、受光素子であるイメージセンサ５の
位置とも結びついた散乱光状態の変動によるもの等があ
る。

【００１１】実際の測定から、正常状態と欠陥状態の識
別が可能なしきい量を受光位置、つまりセンサ位置座標
によって変化するノイズ量Ｎとして求め、イメージセン
サ５の長手方向に沿ったセンサ位置座標ｘに対するＨ／
Ｎ、即ち、識別感度評価値Ｈ／Ｎをプロットした例を図
１０に示す。この図は、図８のＰ点，Ｑ点を結んだ線上
に空洞欠陥がある場合に対応しており、光ファイバ２の
径方向における空洞欠陥の位置によって識別感度は変わ
るが、空洞欠陥の平均的断面内径４μm においては、散
乱角30°に対応したセンサ位置座標のＳ位置付近より外
側では識別感度評価値Ｈ／Ｎが１を割り込んでしまう。

【００１２】即ち、図７のＰＱ線上の空洞欠陥がある位
置に対して、減光凹部がセンサ位置座標ｘ上の対応する
位置に現れ、各減光凹部の深さ寸法Ｈとノイズ寸法Ｎに
よる識別感度評価値Ｈ／Ｎを実験的に求めることができ
る。このとき、空洞欠陥の断面内径によっても減光凹部
の大きさが変わるので、実験に用いた代表値として、空
洞欠陥の断面内径が６μｍ，４μｍ，２μｍの事例を示
した。勿論、光ファイバ２の中心からの空洞欠陥の断面
位置によって減光凹部の大きさや識別感度が変わるが、
ここではＰＱ線上という想定線を仮定している。これま
で見つかっている空洞欠陥の平均的な断面内径は４μｍ
程度であり、空洞欠陥の断面内径が４μｍの例ではセン
サ位置座標ｘ＝Ｓ（散乱角にして約30°の位置）より外
側では識別感度評価値Ｈ／Ｎが１を割り込んでしまう。
識別感度評価値Ｈ／Ｎが１より小さいということは、空
洞欠陥による散乱光強度分布パターン１１中の変異の検
出が不安定になるということである。

【００１３】以上のように従来の透光性長尺体欠陥検出
装置においては、一軸の平行光線３に対してイメージセ
ンサ５を正対するように設置している（作られる装置に
よっては、投受光部が多軸である場合もあるが、その中
の一軸に着目する。）。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】このため、実際の装置
では、以下に述べるような問題点が発生している。

【００１５】散乱光強度分布パターン１１の受光強度
は、図１１に受光角度θ（図１に示す投光軸に正対する
位置と受光手段の受光面がなす角度）が０°の場合の特
性として示すように、中央近傍内側が強く、外側が弱
い。従って、被検出物の中央近傍内側に位置する欠陥は
比較的精度良く検出することができるものの、被検出物
の外側に位置する欠陥を検出することは非常に困難であ
る。被検出物の外側に位置する欠陥を中央近傍内側に位
置する欠陥と同様に検出するには、すなわち外側で中央
近傍内側と同じ光量レベルで受光しようとして平行光線
３の強度を上げると、中央近傍内側の受光強度がさらに
強くなって、受光センサの測定域を越えてしまうなど、
ダイナミックレンジの問題が発生する。言い換えれば、
ダイナミックレンジの問題を生じないようにしようとす
るならば、被検出物の外側に位置する欠陥を検出するこ
とはできなかった。

【００１６】また、実際の装置では、散乱光強度分布パ
ターン１１の外側でのパターン変化が、図９（Ａ）に示
すように緩慢なものとなるため、線振れ等その他の諸々
の外乱要因のあるインライン計測においては、減光凹部
の検出が困難となる。この時、入射させる平行光線３の
光強度を強くすると、変動量も同様に大きくなるので、
Ｓ／Ｎ比は向上しない。この場合、散乱光強度分布パタ
ーン１１は外側での受光強度が強くなると、内側の受光
強度もそれに応じて強くなるため、ダイナミックレンジ
の問題がより深刻になる。そのため、光ファイバ２の径
方向の空洞欠陥の位置について、図７に示される本来検
出することができる領域に図１２に斜線部のような不感
帯１２ａが新たに生じ、この不感帯１２ａの空洞欠陥を
見逃してしまう。この不感帯１２ａをなくすには、更な
る多軸化が必要となるが、多軸化を実現するには検出装
置を多数配置するしかなく、実用的ではなかった。

【００１７】本発明の目的は、受光強度についてのダイ
ナミックレンジの問題点を生じることなく、被検出物の
中央近傍内側から外側まで同じような信号感度で欠陥を
検出することができる透光性長尺体欠陥検出装置を提供
することにある。

【００１８】本発明の他の目的は、センサを任意の位置
に任意の角度で設置できる透光性長尺体欠陥検出装置を
提供することにある。

【００１９】本発明の他の目的は、センサの使用個数を
低減できる透光性長尺体欠陥検出装置を提供することに
ある。

【００２０】

【課題を解決するための手段】本発明は、透光性長尺体
に交差する方向から光線を投光し、該光線の進行方向の
前方に透光性長尺体から散乱する前方散乱光をイメージ
センサで受光し、その出力を信号処理部で処理して散乱
光強度分布パターンを得、該散乱光強度分布パターンか
ら透光性長尺体内の欠陥を判定部で判定する透光性長尺
体欠陥検出装置を改良するものである。

【００２１】請求項１に記載の透光性長尺体欠陥検出装
置においては、イメージセンサが光線の投光軸に正対す
る位置から受光角度θを持たせて配置されていることを
特徴とする。

【００２２】このようにイメージセンサを光線の投光軸
に正対する位置から受光角度θを持たせて配置すると、
該イメージセンサの投光軸側の受光強度が弱められ、投
光軸から離れた側の受光強度が強められ、ダイナミック
レンジの問題を解決し、被検出物の中央近傍内側から外
側まで同じような信号感度で欠陥を検出することができ
る。

【００２３】また、この場合には、山形をなす散乱光強
度分布パターンの裾部でのパターン変化が明瞭に現れる
ようになり、該散乱光強度分布パターンの裾部での減光
凹部の検出を容易に行うことができる。

【００２４】請求項２に記載の透光性長尺体欠陥検出装
置においては、イメージセンサが光線の投光軸の両側
に、該投光軸に正対する位置から受光角度θを持たせて
それぞれ配置されていることを特徴とする。

【００２５】このようにイメージセンサを光線の投光軸
の両側に、該投光軸に正対する位置から受光角度θを持
たせてそれぞれ配置すると、該投光軸の両側に散乱する
前方散乱光の双方を確実に受光することができる。

【００２６】請求項３に記載の透光性長尺体欠陥検出装
置においては、導光部材の受光面が光線の投光軸に正対
する位置から受光角度θを持たせて配置され、該導光部
材の受光出力がイメージセンサに入力されるようになっ
ていることを特徴とする。

【００２７】このように導光部材の受光面を投光軸に正
対する位置から受光角度θを持たせて配置すると、該受
光面の投光軸側の受光強度が弱められ、投光軸から離れ
た側の受光強度が強められ、ダイナミックレンジの問題
を解決できる。

【００２８】また、この場合も、山形をなす散乱光強度
分布パターンの裾部でのパターン変化が明瞭に現れるよ
うになり、該散乱光強度分布パターンの裾部での減光凹
部の検出を容易に行うことができる。

【００２９】更に、導光部材を用いて、その受光出力を
イメージセンサに入力させるようにすると、該イメージ
センサを任意の位置に、任意の角度で設置できる利点が
ある。

【００３０】請求項４に記載の透光性長尺体欠陥検出装
置においては、導光部材が光線の投光軸の両側に、その
各受光面を該投光軸に正対する位置から受光角度θを持
たせて、それぞれ配置されていることを特徴とする。

【００３１】このように導光部材を光線の投光軸の両側
に、その各受光面を該投光軸に正対する位置から受光角
度θを持たせて、それぞれ配置すると、該投光軸の両側
に散乱する前方散乱光の双方を確実に受光することがで
きる。

【００３２】また、導光部材を光線の投光軸の両側に配
置しても、これら導光部材の出力を受光するイメージセ
ンサは１個でもよくなる利点がある。

【００３３】請求項５に記載の透光性長尺体欠陥検出装
置においては、受光角度θが30°〜60°の範囲に設定さ
れていることを特徴とする。

【００３４】このように受光角度θを30°〜60°の範囲
に設定すると、識別感度評価値Ｈ／Ｎが１を越えること
になり、空洞欠陥による散乱光強度分布パターン中の変
異の検出を安定して行うことかできる。

【００３５】なお、本発明で受光角度θとは、投光軸に
正対する位置（投光軸に直交する位置）と受光手段の受
光面がなす角度をいう。

【００３６】

【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る透光性長尺
体欠陥検出装置における実施の形態の第１例を示したも
のである。なお、前述した図５と対応する部分には、同
一符号を付けて示している。

【００３７】本例の透光性長尺体欠陥検出装置において
は、レーザ発振器の如きビーム光源１３からの出力ビー
ム１４をビーム整形器１５で平行光線３に整形し、この
平行光線３を光ファイバ母材１から線引き直後の未コー
ティングの光ファイバ（透光性長尺体）２に横方向から
直交する向きで照射するようになっている。このように
光ファイバ２に横方向から直交する向きで平行光線３を
照射すると、該平行光線３の進行方向の前方に光ファイ
バ２から前方散乱光４が散乱する。

【００３８】本例の透光性長尺体欠陥検出装置において
は、このような前方散乱光４を受光するため、特に第
１，第２のイメージセンサ５ａ，５ｂが平行光線３の投
光軸３ａの両側に、該投光軸３ａに正対する位置から角
度θを持たせてそれぞれ同一測定面に中心部が並ぶよう
にして配置されている。本発明では、この角度θを前述
したように受光角度と称する。これら第１，第２のイメ
ージセンサ５ａ，５ｂは、例えばＣＣＤラインセンサや
フォトダイオードアレイ等で構成されている。

【００３９】これら第１，第２のイメージセンサ５ａ，
５ｂで光電変換されたイメージ出力は信号処理部６で処
理され、該信号処理部６から得られる散乱光強度分布パ
ターンが判定部７で判定されるようになっている。

【００４０】なお、この場合、前述した図５で示すよう
に、処理部６の処理結果をモニタ部８で表示し、異常が
判定されれば警報部９から警報を発し、判定結果を記録
部１０で記録する構造にすることもできる。

【００４１】このように透光性長尺体欠陥検出装置を構
成し、第１，第２のイメージセンサ５ａ，５ｂを平行光
線３の投光軸３ａの両側に、該投光軸３ａに正対する位
置から受光角度θを例えばθ＝45°としてそれぞれ配置
すると、図１１に示すように従来の受光角度θ＝０°の
場合に比べて、受光角度θ＝45°の場合には、散乱光強
度分布パターン１１の内側の光強度が弱く、外側の光強
度が強く受光されるようになる。従って、散乱光強度分
布パターン１１の内外の光強度差によるダイナミックレ
ンジの問題が緩和されることになる。

【００４２】また、散乱光強度分布パターン１１の外側
（裾部）の光強度が強調されることにより、該散乱光強
度分布パターン１１の外側での欠陥識別能力を向上させ
ることができる。即ち、本例のように第１，第２のイメ
ージセンサ５ａ，５ｂを平行光線３の投光軸３ａの両側
に、該投光軸３ａに正対する位置から受光角度θを持た
せてそれぞれ配置すると、図９（Ｂ）に示すように破線
で示す基準線からの変位量Ｈが増加して、欠陥識感度が
向上する。

【００４３】断面内径２μｍの空洞欠陥が図７のＳ1 の
線上にあるサンプルについて、散乱角度ｔ＝30°に相当
する部位に散乱光強度分布パターン１１の変異が減光凹
部として現れるので、ここでの識別感度評価値Ｈ／Ｎを
受光角度θを変えながら調べた例を、図２にＳ1 として
示す。同様に、断面内径２μｍの空洞欠陥が図７のＳ2
の線上にあるサンプルについて、散乱角度ｔ＝45°に相
当する部位に散乱光強度分布パターン１１の変異が減光
凹部として現れるので、ここでの識別感度評価値Ｈ／Ｎ
を受光角度θを変えながら調べた例を、図２にＳ2 とし
て示す。

【００４４】この図２により、受光角度θが30°〜60°
の範囲にあれば、識別感度評価値Ｈ／Ｎが１を越えるこ
とがわかる。また、この範囲のとき、散乱光強度分布パ
ターン１１の内側の感度も図１０に示されている値より
小さくはなるが、１を割り込むことはない。

【００４５】このように識別感度評価値Ｈ／Ｎが１を越
えると、空洞欠陥による散乱光強度分布パターン１１中
の変異の検出を安定して行うことかできる。

【００４６】従って、図１２に斜線部で示した不感帯１
２ａの箇所に断面内径１〜２μｍ前後の微小な空洞欠陥
が存在しても、該空洞欠陥を見逃すことなく検出するこ
とができる。

【００４７】図３は、本発明に係る透光性長尺体欠陥検
出装置における実施の形態の第２例を示したものであ
る。なお、前述した図１と対応する部分には、同一符号
を付けて示している。

【００４８】本例の透光性長尺体欠陥検出装置において
は、第１，第２のイメージセンサ５ａ，５ｂが平行光線
３の投光軸３ａの両側に、該投光軸３ａに正対する位置
から角度θを持たせてそれぞれファイバ軸方向に対して
相異なる測定平面に中心部が並ぶようにして配置されて
いる。その他の構成は、図示しないが、第１例と同様に
構成されている。

【００４９】このような構造でも、第１例と同様な効果
を得ることができる。更に、相異なる測定平面に中心部
が並ぶようにして配置することにより、相手側のイメー
ジセンサ（５ａにとっては５ｂ、５ｂにとっては５ａ）
からの反射光を避けることができるなどの利点もある。
また、それぞれのセンサにおける受光角度θは異なって
いてもよい。

【００５０】図４は、本発明に係る透光性長尺体欠陥検
出装置における実施の形態の第３例を示したものであ
る。なお、前述した図１と対応する部分には、同一符号
を付けて示している。

【００５１】本例の透光性長尺体欠陥検出装置において
は、ファイバ融着コンジット等からなる第１，第２の導
光部材１６ａ，１６ｂの受光面１６ａ1 ，１６ｂ1 が平
行光線３の投光軸３ａの両側に、該投光軸３ａに正対す
る位置から受光角度θを持たせてそれぞれ水平向きで同
一測定面に中心部が並ぶように配置されている。これら
第１，第２の導光部材１６ａ，１６ｂの受光出力は、こ
れら第１，第２の導光部材１６ａ，１６ｂの出力端１６
ａ2 ，１６ｂ2 を本例では共通のイメージセンサ５に対
向させることにより入力されるようになっている。本例
でも、受光角度θは30°〜60°の範囲に設定されてい
る。その他の構成は、図示しないが、第１例と同様に構
成されている。

【００５２】このように導光部材１６ａ，１６ｂの受光
面１６ａ1 ，１６ｂ1 を投光軸３ａに正対する位置から
受光角度θを持たせて配置すると、該受光面１６ａ1 ，
１６ｂ1 の投光軸３ａ側の受光強度が弱められ、投光軸
３ａから離れた側の受光強度が強められ、ダイナミック
レンジの問題を第１例と同様に解決できる。

【００５３】また、この場合も、信号処理部６から得ら
れる山形をなす散乱光強度分布パターン１１は、その裾
部でのパターン変化が明瞭に現れるようになり、該散乱
光強度分布パターン１１の裾部での減光凹部の検出を容
易に行うことができる。

【００５４】更に、導光部材１６ａ，１６ｂを用いて、
その受光出力をイメージセンサ５に入力させるようにす
ると、該イメージセンサ５を任意の位置に、任意の角度
で設置できる利点がある。

【００５５】本例のように、第１，第２の導光部材１６
ａ，１６ｂを平行光線３の投光軸３ａと共に、それぞれ
ファイバ軸方向に対して相異なる測定平面の両側に、そ
の各受光面１６ａ1 ，１６ｂ1 を該投光軸３ａに正対す
る位置から受光角度θを持たせて、それぞれ配置する
と、該投光軸３ａの両側に散乱する前方散乱光４の双方
を確実に受光することができる。

【００５６】また、第１，第２の導光部材１６ａ，１６
ｂを平行光線３の投光軸３ａの両側に配置しても、これ
ら第１，第２の導光部材１６ａ，１６ｂの出力を受光す
るイメージセンサは１個でもよくなる利点がある。

【００５７】また、この例でも受光角度θを30°〜60°
の範囲に設定すると、識別感度評価値Ｈ／Ｎが１を越え
ることになり、空洞欠陥による散乱光強度分布パターン
１１中の変異の検出を安定して行うことかできる。

【００５８】

【発明の効果】請求項１に記載の透光性長尺体欠陥検出
装置においては、イメージセンサを光線の投光軸に正対
する位置から受光角度θを持たせて配置しているので、
該イメージセンサの投光軸側の受光強度が弱められ、投
光軸から離れた側の受光強度が強められ、ダイナミック
レンジの問題を解決し、被検出部の中央近傍内側から外
側まで同じような信号感度で欠陥を検出することができ
る。

【００５９】また、本発明によれば、山形をなす散乱光
強度分布パターンの裾部でのパターン変化が明瞭に現れ
るようになり、該散乱光強度分布パターンの裾部での減
光凹部の検出を容易に行うことができる。

【００６０】請求項２に記載の透光性長尺体欠陥検出装
置においては、イメージセンサを光線の投光軸の両側
に、該投光軸に正対する位置から受光角度θを持たせて
それぞれ配置しているので、該投光軸の両側に散乱する
前方散乱光の双方を確実に受光することができる。

【００６１】請求項３に記載の透光性長尺体欠陥検出装
置においては、導光部材の受光面を投光軸に正対する位
置から受光角度θを持たせて配置しているので、該受光
面の投光軸側の受光強度が弱められ、投光軸から離れた
側の受光強度が強められ、ダイナミックレンジの問題を
解決することができる。

【００６２】また、本発明でも、山形をなす散乱光強度
分布パターンの裾部でのパターン変化が明瞭に現れるよ
うになり、該散乱光強度分布パターンの裾部での減光凹
部の検出を容易に行うことができる。

【００６３】更に、導光部材を用いて、その受光出力を
イメージセンサに入力させるようにすると、該イメージ
センサを任意の位置に、任意の角度で設置できる利点が
ある。

【００６４】請求項４に記載の透光性長尺体欠陥検出装
置においては、導光部材を光線の投光軸の両側に、その
各受光面を該投光軸に正対する位置から受光角度θを持
たせて、それぞれ配置しているので、該投光軸の両側に
散乱する前方散乱光の双方を確実に受光することができ
る。

【００６５】また、導光部材を光線の投光軸の両側に配
置しても、これら導光部材の出力を受光するイメージセ
ンサは１個でもよくなる利点がある。

【００６６】請求項５に記載の透光性長尺体欠陥検出装
置においては、受光角度θを30°〜60°の範囲に設定し
ているので、識別感度評価値Ｈ／Ｎが１を越えることに
なり、空洞欠陥による散乱光強度分布パターン中の変異
の検出を安定して行うことかできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る透光性長尺体欠陥検出装置におけ
る実施の形態の第１例の概略構成を示す平面図である。

【図２】第１例の構成の場合におけるセンサ設置角と識
別感度評価値Ｈ／Ｎの関係を示す特性図である。

【図３】本発明に係る透光性長尺体欠陥検出装置におけ
る実施の形態の第２例の要部構成を示す側面図である。

【図４】本発明に係る透光性長尺体欠陥検出装置におけ
る実施の形態の第３例の要部構成を示す平面図である。

【図５】従来の透光性長尺体欠陥検出装置における概略
構成を示す斜視図である。

【図６】図５に示す透光性長尺体欠陥検出装置のイメー
ジセンサに入力される散乱光と該散乱光をもとに得られ
る散乱光強度分布パターンを示す説明図である。

【図７】光ファイバに入射された平行光線と散乱光との
関係を示す説明図である。

【図８】光ファイバ中に空洞欠陥があった場合の散乱光
強度分布パターンの例を示す説明図である。

【図９】（Ａ）（Ｂ）は従来例の場合と本発明の場合に
おける図８のＱ部の拡大図である。

【図１０】従来例でセンサ位置座標ｘに対して識別感度
評価値Ｈ／Ｎを空洞欠陥の断面内径を変えてプロットし
た例を示す特性図である。

【図１１】センサの受光角度を変えたときのセンサ位置
座標ｘと該センサの受光強度との関係を示す特性図であ
る。

【図１２】光ファイバに平行光線を入射させたときの不
感帯の状態を示す説明図である。

【符号の説明】

１ 光ファイバ母材 ２ 光ファイバ ２ａ コア ２ｂ 中心線 ３ 平行光線 ３ａ 投光軸 ４ 前方散乱光 ５ 受光用イメージセンサ ６ 信号処理部 ７ 判定部 ８ モニタ部 ９ 警報部 １０ 記録部 １１ 散乱光強度分布パターン １２，１２ａ 不感帯 １３ ビーム光源 １４ 出力ビーム １５ ビーム整形器 １６ａ，１６ｂ 第１，第２の導光部材 １６ａ1 ，１６ｂ1 受光面 １６ａ2 ，１６ｂ2 出力端

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−331557（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−294447（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−333104（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−281593（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−82393（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−108944（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−106448（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01M 11/00 - 11/08 G01N 21/84 - 21/958

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透光性長尺体に交差する方向から光線を
   投光し、前記光線の進行方向の前方に前記透光性長尺体
   から散乱する前方散乱光をイメージセンサで受光し、そ
   の出力を信号処理部で処理して散乱光強度分布パターン
   を得、該散乱光強度分布パターンから前記透光性長尺体
   内の欠陥を判定部で判定する透光性長尺体欠陥検出装置
   において、 前記イメージセンサが前記光線の投光軸に正対する位置
   から受光角度θを持たせて配置されていることを特徴と
   する透光性長尺体欠陥検出装置。
2. 【請求項２】 前記イメージセンサが前記投光軸の両側
   に、該投光軸に正対する位置から受光角度θを持たせて
   それぞれ配置されていることを特徴とする請求項１に記
   載の透光性長尺体欠陥検出装置。
3. 【請求項３】 透光性長尺体に交差する方向から光線を
   投光し、前記光線の進行方向の前方に前記透光性長尺体
   から散乱する前方散乱光をイメージセンサで受光し、そ
   の出力を信号処理部で処理して散乱光強度分布パターン
   を得、該散乱光強度分布パターンから前記透光性長尺体
   内の欠陥を判定部で判定する透光性長尺体欠陥検出装置
   において、 導光部材の受光面が前記光線の投光軸に正対する位置か
   ら受光角度θを持たせて配置され、前記導光部材の受光
   出力が前記イメージセンサに入力されるようになってい
   ることを特徴とする透光性長尺体欠陥検出装置。
4. 【請求項４】 前記導光部材が前記投光軸の両側に、そ
   の各受光面を該投光軸に正対する位置から受光角度θを
   持たせて、それぞれ配置されていることを特徴とする請
   求項３に記載の透光性長尺体欠陥検出装置。
5. 【請求項５】 前記受光角度θが30°〜60°の範囲に設
   定されていることを特徴とする請求項１，２，３または
   ４に記載の透光性長尺体欠陥検出装置。