JP3380949B2 - 半導体光学装置 - Google Patents

半導体光学装置

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JP3380949B2 JP30216995A JP30216995A JP3380949B2 JP 3380949 B2 JP3380949 B2 JP 3380949B2 JP 30216995 A JP30216995 A JP 30216995A JP 30216995 A JP30216995 A JP 30216995A JP 3380949 B2 JP3380949 B2 JP 3380949B2
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    • G02B7/02Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/022Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses lens and mount having complementary engagement means, e.g. screw/thread

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体光学装置、
特に基板上に搭載された半導体光学素子、例えば固体撮
像素子と、該半導体光学素子に対応するレンズが一体乃
至一体的に取り付けられ上記基板に接着される脚を備え
たレンズ取付部材と、から成る半導体光学装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】固体撮像素子を撮像手段として用いる小
型カメラ(スチル或いはビデオカメラ)には、より一層
の小型化と低価格化が要求される。そのような小型カメ
ラとして図4に示すものがある。同図において、aは基
板、bはスルーホール、cは該基板aに搭載された固体
撮像装置で、固体撮像素子dをパッケージe内に収納
し、透明板fで封止してなる。gはリードで、スルーホ
ールbに通され、半田hにて基板aに接続されている。
【0003】iはレンズで、被写体を上記固体撮像素子
d表面に結像する。jは該レンズiを内周部にて保持す
るリング状の保持部で、その外周面にはネジ溝が形成さ
れている。kはリング状のレンズマウントで、内周面に
ネジ溝が形成され、該ネジ溝に上記保持部jのネジ溝が
螺合している。そして、上記保持部jをレンズマウント
kに対して回転することによりレンズiを固体撮像素子
dに対して近づけたり逆に遠ざけたりすること、即ち焦
点合わせができるようにされている。
【0004】図5は別の小型カメラで、より構造を簡略
化したものである。同図において、aは基板、dは該基
板aに搭載された固体撮像素子、nはレンズ取付部材
で、基板aに接続される脚mを有し、レンズiが一体に
例えば二色成形により形成されている。jは脚mの内側
面に形成された下向きの段差面で、固体撮像素子d上面
の外側部分に当接してレンズiの固体撮像素子dとの距
離が所定の値に、即ち合焦するようにされている。しか
して、このカメラは図4に示すカメラの持つところのレ
ンズiの位置を調整する機構は必要としない。また、固
体撮像素子dを封止するパッケージ、透明板fを有しな
い。従って、本カメラは図4に示すカメラよりも相当に
構造が簡単で、使用部品点数が少なく、小型化、低価格
化を図り易い。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図4に示す
ようなカメラは、固体撮像素子を成す半導体チップにつ
いては一般環境に曝すことを回避するため封止する必要
があるのに対し、その光学的部品ついては寸法が大きく
封止が困難であるので、半導体チップと光学部品とは、
位置関係を高い精度で決めなければならないにも拘ら
ず、相関関係の薄い別工程で組み立てざるを得ないとい
う宿命があった。
【0006】そのため、以下の問題があった。先ず第1
に、各々の組立工程の間に、封止や半田付け等の寸法精
度の低い工程があるために、位置合わせ用の位置検出・
微調整機構を持ったマウントステージ等の価格やメンテ
ナンスコストの高い装置や位置検出、位置合せ等面倒な
工程が必要となるという問題があった。第2に、製造時
における調整の難しさから製造段階では完全に調整を行
わないようにするには、ユーザーが微調整を行えるよう
に調整機構が必要である。これは当然にカメラの低価格
化、小型化を阻む要因になる。
【0007】それに対して、図5に示すものは、位置合
わせ用の段差面jを固体撮像素子dの表面に当接させる
ことによりレンズiの固体撮像素子dとの距離を所定通
りにすることがかなり高い精度で為し得る。しかし、そ
れによれば、レンズiの固体撮像素子dに対するX方
向、Y方向及びθ(回転)方向における位置合わせがで
きないし、また、デリケートな固体撮像素子dの表面に
レンズ取付部材nが面接触し、固体撮像素子dがダメー
ジを受けるおそれがあるという問題がある。従って、図
5に示すカメラにも問題があった。
【0008】本発明はこのような問題点を解決すべく為
されたものであり、基板上に搭載された半導体光学素子
と、該半導体光学素子と対応するレンズが一体乃至一体
的に取り付けられ、基板に接着される脚を備えたレンズ
取付部材と、から成る半導体光学装置において、半導体
光学素子に対してレンズ取付部材を半導体光学素子にダ
メージを与えるおそれを伴うことなく簡単に位置決めし
て組立ができるようにすることを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1の半導体光学装
置は、レンズ取付部材は脚にて基板に固定されるとき半
導体光学素子の側面の上エッジに接して上記レンズが上
記半導体光学素子に対して所定の位置関係を持つように
レンズ取付部材自身を位置決めする位置決め傾斜面を備
え、該位置決め傾斜面が上記半導体光学素子の上記側面
の上エッジに接触した状態でレンズ取付部材が半導体光
学素子に対して位置決めされて該レンズ取付部材が基板
上に接着されてなることを特徴とする。
【0010】従って、請求項1の半導体光学装置によれ
ば、位置検出、微調整機構を持ったマウントステージ等
の装置を用いなくても単に位置決め傾斜面を上記半導体
光学素子の上記側面の上エッジに接触した状態でレンズ
取付部材の脚を半導体光学素子に接しさせることにより
レンズが半導体光学素子に所定の位置関係を持つように
該レンズ取付部材が基板上に位置決めされ、この位置決
めはZ(光軸)方向、X方向、Y方向、θ方向及びアオ
リ2方向の位置決めである。従って、その状態でレンズ
取付部材の基板への接着をすればX方向、Y方向、Z方
向、回転(θ)方向及びアオリ2方向における位置決め
のされた半導体光学装置が簡単にできる。そして、半導
体光学素子は上面のエッジにてレンズ取付部材と線接触
で接するに過ぎないので、位置決めに伴って半導体光学
素子がダメージを受けることはない。
【0011】請求項2の半導体光学装置は、基板上に、
半導体光学素子の搭載部とレンズ取付部材の脚接着部を
覆わないパターンの位置決め膜が形成され、上記位置決
め膜を逸れるように半導体光学素子と、レンズ取付部材
の脚接着部とが上記基板に接着されてなることを特徴と
する。従って、請求項2の半導体光学装置によれば位置
検出、微調整機構を持ったマウントステージ等の装置を
用いなくても単に、位置決め膜を避けるように(凹部か
ら食み出ないように)半導体光学素子及びレンズ取付部
材の脚を取り付ければ自ずとレンズの半導体光学素子に
対するX方向、Y方向及びZ方向における位置決めが為
される。従って、その状態でレンズ取付部材の基板への
接着をすればX方向、Y方向及びZ軸方向における位置
決めのされた半導体光学装置が簡単にできる。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図示実施の形態に
従って詳細に説明する。図1(A)、(B)は本発明の
第1の実施の形態を示すもので、(A)は断面図、
(B)は(A)のBの部分を拡大して示す拡大断面図で
ある。同図において、1は配線基板、2は該配線基板1
表面に搭載された固体撮像素子、3はレンズ取付部材
で、レンズ4が一体に取り付けられ、例えば4個の脚
5、5、5、5を有し、該脚5、5、5、5にて基板1
表面に接着される。図2(A)、(B)は脚5、5、
5、5の各別の配置例を示す平面図である。
【0013】6、6、6、6は各脚5、5、5、5の内
側に形成されたところの斜め下向きの位置決め傾斜面
(尚、図面にはそのうちの一対の脚5、5の位置決め傾
斜面6、6のみ現れる。)で、基板1上の固体撮像素子
2の上面のエッジに接することによりレンズ取付部材3
の固体撮像素子2に対する位置関係を自ずとセルフアラ
イメントにより規定する役割を果たす。αはその位置決
め傾斜面6と水平面、具体的には固体撮像素子2の表面
とで成す角度である。そして、そのアライメントにより
X方向、Y方向、Z方向及びθ方向の他にアオリ2軸の
計5軸を制御することができる。この点について詳細に
説明すると次の通りである。
【0014】レンズ取付部材3は、レンズ4と、それ以
外の脚5、5、5、5等の部分とが例えば二色成形によ
り一体(レンズ4は透明に、それ以外の部分は有色非透
明に形成するために二色成形)に形成されて脚5、5、
5、5内側面の位置決め傾斜面6、6、6、6と、レン
ズ4との位置関係が所望通りにされており、その加工精
度は充分に高い。但し、レンズ4とそれ以外の脚5、
5、5、5等の部分を別体に形成し、それを組みつけて
一体化するようにしても良い。これを「一体的に取り付
ける」ということとする。そして、固体撮像素子2を基
板1に接着した後、レンズ取付部材3をその位置決め傾
斜面6、6、6、6が固体撮像素子2上面のエッジに接
し且つ脚5、5、5、5が基板1表面に接するとき上述
した5軸の制御がセルフアライメントにより自動的に為
されるように固体撮像素子1の厚さ、形状、大きさ、レ
ンズ取付部材3の形状及び寸法が設定されているので、
単に固体撮像素子2とレンズ取付部材3とを線接触によ
り接触させることによりセルフアライメントができるの
である。
【0015】具体的には、脚5、5、5、5の底面を半
硬化性樹脂(例えば紫外線硬化型樹脂NUV−20[ 日
本レック株式会社製] )7で基板1表面に仮接着した状
態で固体撮像素子2とレンズ取付部材3とを線接触させ
て位置調整を行う。位置調整後、紫外線照射によりその
樹脂7を硬化させて完全に接着した状態にする。
【0016】尚、このセルフアライメントに伴って生じ
る誤差について述べると、X方向及びY方向における最
大誤差は、脚5・5間及び5・5間の間隔の遊びの大き
さ(遊び量)によって決まる。そして、固体撮像素子の
場合、許容誤差は±200μmであるので、許容範囲内
に納めることは現在の技術で極めて容易に為し得る。次
に、回転ずれ(θ方向におけるずれ)については、固体
撮像素子2の4辺にレンズ取付部材3の位置決め傾斜面
6、6、6、6を突き当ててセルフアライメントするの
で、発生するおそれはないといえる。
【0017】次に、Z方向の位置決め、即ち焦点合わせ
に関する誤差についてですが、これは解像度程度の高い
位置決め精度が要求され、CCD型固体撮像装置の場
合、例えば±10乃至20μmというように許容誤差範
囲が相当に狭いといえる。しかし、現在の樹脂成形技術
によればレンズ取付部材3を±数μm内に形成すること
ができるので、許容範囲以内に誤差を納めることは極め
て容易である。尤も、このZ方向の位置関係について
は、X方向及びY方向の誤差がZ方向の誤差に変調され
るおそれがあり、単にレンズ取付部材3の加工精度のみ
によってZ方向の精度が決まるとは言い切れないが、し
かし、互いに対向する脚5・5及び5・5どうしの位置
決め傾斜面6・6及び6・6どうしの傾斜角αを等しく
すれば問題がない。
【0018】というのは、そのようにした場合、仮にレ
ンズ取付部材3の固体撮像素子1に対する位置がΔxだ
けずれたとすると、一方の脚5はZ方向でプラス側にΔ
x・sinαだけずれるが、他方の脚5はZ方向でマイ
ナス側に同じ量だけずれるので、結局、Z方向における
ずれは生じない。Y方向にずれた場合でも全く同じであ
ることはいうまでもない。従って、焦点合わせずれはレ
ンズ取付部材3の成形精度で決まり、他の要因が介在し
ないので、許容範囲内にすることは容易であることには
変わりはない。
【0019】但し、そのようなずれはアオリに変調され
る。例えばΔxだけX方向に位置ずれが生じたとする
と、Δx・sinα/Lx(Lx:固体撮像素子2のX
方向における長さ)の角度のアオリに変調されることに
なる。しかし、Δxを仮に100μmと大きな値に考え
たとしても、Lx=1cm、角度α=5°の場合、アオ
リは約0.05°程度と非常に小さいので無視でき、全
く問題がない。ちなみに、Δx・sinαの大きさ自体
も10μm程度と相当に小さい。尚、図2(B)に示す
ように、固体撮像素子2の4隅に脚5、5、5、5を配
置することとし、各脚5、5、5、5に固体撮像素子2
上面の直角のエッジと線接触する二つの位置決め傾斜面
を設けておくようにすれば、セルフアライメントしたと
きにはそのようなアオリは全く生じない。
【0020】というのは、そのようにした場合、仮にあ
る脚5にX方向におけるアオリが生じたと仮定すると、
それはY方向に対向する脚5の固体撮像素子2の面から
の逸脱に変調されることになるから、4個の脚5、5、
5、5が固体撮像素子2の4個の角部に必ず置かれるよ
うにする限り傾斜角度αによる誤差の発生する余地はな
いからである。この場合は、レンズ取付部材3の成形誤
差のみが誤差要因になり、それ以外の要因によって誤差
が大きくなることはないといえる。
【0021】このような半導体光学装置によれば、位置
検出、微調整機構を持ったマウントステージ等の装置を
用いなくても単に位置決め傾斜面6、6、6、6を固体
撮像素子2上面のエッジに接触した状態で固体撮像素子
2に接しさせることによりレンズ4が固体撮像素子2に
所定の位置関係を持つように該レンズ取付部材3が基板
1上に位置決めされる。そして、この位置決めはZ(光
軸)方向、X方向、Y方向、回転(θ)方向及びアオリ
2方向の位置決めであるので、その状態でレンズ取付部
材3の基板1への接着をすればX方向、Y方向、Z方
向、回転方向及びアオリ2方向における位置決めのされ
たカメラが簡単にできる。そして、固体撮像素子2は上
面のエッジにてレンズ取付部材3の位置決め傾斜面6と
線接触で接するに過ぎないので、位置決めに伴って半導
体光学素子がダメージを受けることはない。
【0022】
【発明の実施の形態】図3は本発明の第2の実施の形態
を示す断面図である。同図において、1は基板、2は該
基板1上に搭載された固体撮像素子、3はレンズ4と脚
5、5、5、5(図には2個の脚5、5のみ現れる。)
を一体に形成したレンズ取付部材3で、脚5、5、5、
5の底面とレンズ4との位置関係は所定通りに形成され
ている。8は位置決め膜(膜厚例えば200μm)で、
基板1表面上に、レジスト、オーバーコートあるいはプ
リプレグを印刷或いはフォトリソグラフィにより所定の
パターンに形成されている。
【0023】具体的には、該位置決め膜8は、基板1の
半導体光学素子1を搭載すべき部分と、レンズ取付部材
3の各脚5、5、5、5を接着すべき部分を覆わず該部
分以外を覆うようにμm単位の精度のパターンに形成さ
れており、当然のことながら、固体撮像素子2の搭載や
レンズ取付部材3の接着前に形成される。そして、該位
置決め膜8の形成後、凹部となっている固体撮像素子搭
載部に固体撮像素子2をその凹部から食み出さないよう
に位置決めしてチップボンディングし、しかる後、凹部
になっている脚5、5、5、5を接着すべき部分にレン
ズ取付部材3の脚5、5、5、5をその凹部から食み出
さないように位置決めして基板1上に接着する。尚、
7、7、・・・は接着剤である。
【0024】このような半導体光学装置によれば、一回
の形成工程で半導体光学素子1を搭載すべき部分とレン
ズ取付部材3の各脚5、5、5、5を接着すべき部分を
覆わない形状を有し、その間の位置関係が高精度のパタ
ーンを有する位置決め膜8を基板1上に形成し、該基板
1上の上記凹部に固体撮像素子2及びレンズ取付部材3
の各脚5、5、5、5をそこから食み出ないように接着
するので、X方向、Y方向、θ方向、アオリ方向の位置
ずれがほとんど生じない。位置決め膜8のパターン精
度、レンズ取付部材3の成形精度の限界性による僅かな
(数μm程度)の誤差が生じるに過ぎない。
【0025】また、Z軸方向の誤差、即ち焦点合わせ誤
差は、レンズ取付部材3の成形誤差、具体的にはレンズ
4と各脚5、5、5、5の底面が存在する平面との位置
関係の誤差によって決まり、それは数μm程度で済むの
で、解像度が10乃至20μm程度の固体撮像装置にお
いては許容範囲内に納まる。従って、位置検出、微調整
機構を持ったマウントステージ等の装置を用いなくても
簡単に位置決めし、組み立てることができ、しかも構造
が極めて簡単にできる。
【0026】
【発明の効果】請求項1の半導体光学装置によれば、位
置検出、微調整機構を持ったマウントステージ等の装置
を用いなくても単に位置決め傾斜面を上記半導体光学素
子の上記側面の上エッジに接触した状態でレンズ取付部
材の脚を半導体光学素子に接しさせることによりレンズ
が半導体光学素子に所定の位置関係を持つように該レン
ズ取付部材が基板上に位置決めされ、この位置決めはZ
(光軸)方向、X方向及びY方向の位置決めである。従
って、その状態でレンズ取付部材の基板への接着をすれ
ばX方向、Y方向、Z方向、回転方向及びアオリ2方向
における位置決めのされた半導体光学装置が簡単にでき
上がる。そして、半導体光学素子は上面のエッジにてレ
ンズ取付部材と線接触で接するに過ぎないので、位置決
めに伴って半導体光学素子がダメージを受けることはな
い。
【0027】請求項2の半導体光学装置によれば位置検
出、微調整機構を持ったマウントステージ等の装置を用
いなくても単に、位置決め膜を避けるように半導体光学
素子及びレンズ取付部材の脚を取り付ければ自ずとレン
ズの半導体光学素子に対するX方向、Y方向及びZ方向
における位置決めが為される。従って、その状態でレン
ズ取付部材の基板への接着をすればX方向、Y方向及び
Z軸方向における位置決めのされた半導体光学装置が簡
単にできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)、(B)は本発明の第1の実施の形態を
示すもので、(A)は断面図、(B)は(A)のB部を
拡大して示す拡大断面図である。
【図2】(A)、(B)は上記第1の実施の形態におけ
るレンズ取付部材の脚の各別の配置例を示す平面図であ
る。
【図3】本発明の第2の実施の形態を示す断面図であ
る。
【図4】一つの従来例を示す断面図である。
【図5】他の従来例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 基板 2 半導体光学素子(固体撮像素子) 3 レンズ取付部材 4 レンズ 5 脚 6 位置決め傾斜面 8 位置決め膜
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平9−181287(JP,A) 実開 平3−84685(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 27/14 - 27/148 H04N 5/335

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に搭載された半導体光学素子と、
    該半導体光学素子と対応するレンズが一体乃至一体的に
    取り付けられ、基板に接着される脚を備えたレンズ取付
    部材と、から成る半導体光学装置であって、 上記レンズ取付部材は脚にて基板に固定されるとき半導
    体光学素子の少なくとも一対の側面の上エッジに接して
    上記レンズが上記半導体光学素子に対して所定の位置関
    係を持つようにレンズ取付部材自身を位置決めする位置
    決め傾斜面を備え、 上記位置決め傾斜面が上記半導体光学素子の上記側面の
    上エッジに接触した状態でレンズ取付部材が半導体光学
    素子に対して位置決めされて該レンズ取付部材が基板上
    に接着されてなることを特徴とする半導体光学装置
  2. 【請求項2】 基板上に搭載された半導体光学素子と、
    該半導体光学素子と対応するレンズが一体乃至一体的に
    取り付けられ、基板に接着される脚を備えたレンズ取付
    部材と、から成る半導体光学装置であって、 基板上に、半導体光学素子搭載部とレンズ取付部材の脚
    接着部を覆わないパターンの位置決め膜が形成され、 上記位置決め膜の上記半導体光学素子搭載部と脚接着部
    による凹部から食み出ないように半導体光学素子と、レ
    ンズ取付部材の脚接着部とが上記基板に接着されてなる
    ことを特徴とする半導体光学装置
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