JP3375704B2 - 製造装置 - Google Patents
製造装置Info
- Publication number
- JP3375704B2 JP3375704B2 JP32411593A JP32411593A JP3375704B2 JP 3375704 B2 JP3375704 B2 JP 3375704B2 JP 32411593 A JP32411593 A JP 32411593A JP 32411593 A JP32411593 A JP 32411593A JP 3375704 B2 JP3375704 B2 JP 3375704B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- heating element
- support
- heating
- strand
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体製造プロセスにお
いて用いられる薄膜の製造装置、不純物拡散炉あるいは
酸化膜生成炉等の各種の熱反応炉において、被加熱物を
加熱するのに好適な構造の製造装置に関する。
いて用いられる薄膜の製造装置、不純物拡散炉あるいは
酸化膜生成炉等の各種の熱反応炉において、被加熱物を
加熱するのに好適な構造の製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体製造プロセスにおいて用い
られる不純物拡散炉あるいは酸化膜生成炉等の反応炉の
加熱装置として、例えば図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に
示す構造のものが用いられている。ここで、図５（ａ）
は、加熱装置のヒータケース１内に配設される発熱体
（ヒータ）素線３の状態を示すもので、図５（ｂ）は、
図５（ａ）のＡ部の構成を示す拡大図で、図５（ｃ）
は、図５（ｂ）のＢ矢視図である。図に示すごとく、従
来の熱反応炉等に用いられる加熱装置は、螺旋状に巻か
れた発熱体（ヒータ）素線３に、いちいち素線支持体
（ピース）２に設けられている孔に素線を通して、ヒー
タケース１内に設定する方式が用いられているので、加
熱装置の製作上多大の工数がかかるという問題があり、
また図５（ｂ）および（ｃ）に示すように、高温用の加
熱装置においてはヒータ素線３の巻き数が増加し、ずれ
ているピース４に示すように素線支持体（ピース）２に
ずれが生じ螺旋状に巻かれているヒータ素線３が崩れた
り、暴れたりするという問題があった。
られる不純物拡散炉あるいは酸化膜生成炉等の反応炉の
加熱装置として、例えば図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に
示す構造のものが用いられている。ここで、図５（ａ）
は、加熱装置のヒータケース１内に配設される発熱体
（ヒータ）素線３の状態を示すもので、図５（ｂ）は、
図５（ａ）のＡ部の構成を示す拡大図で、図５（ｃ）
は、図５（ｂ）のＢ矢視図である。図に示すごとく、従
来の熱反応炉等に用いられる加熱装置は、螺旋状に巻か
れた発熱体（ヒータ）素線３に、いちいち素線支持体
（ピース）２に設けられている孔に素線を通して、ヒー
タケース１内に設定する方式が用いられているので、加
熱装置の製作上多大の工数がかかるという問題があり、
また図５（ｂ）および（ｃ）に示すように、高温用の加
熱装置においてはヒータ素線３の巻き数が増加し、ずれ
ているピース４に示すように素線支持体（ピース）２に
ずれが生じ螺旋状に巻かれているヒータ素線３が崩れた
り、暴れたりするという問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述したごとく、従来
の各種熱反応炉の加熱に用いられる加熱装置は、ヒータ
素線をいちいち素線支持体（ピース）の孔に通してヒー
タケース内に設定する方式であるため、加熱装置の作製
には多大の工数がかかり、またヒータ素線の巻き数が増
加するとピースの位置ずれが生じ、螺旋状に巻かれてい
るヒータ素線が崩れたり、また暴れたりするなどの問題
があった。
の各種熱反応炉の加熱に用いられる加熱装置は、ヒータ
素線をいちいち素線支持体（ピース）の孔に通してヒー
タケース内に設定する方式であるため、加熱装置の作製
には多大の工数がかかり、またヒータ素線の巻き数が増
加するとピースの位置ずれが生じ、螺旋状に巻かれてい
るヒータ素線が崩れたり、また暴れたりするなどの問題
があった。
【０００４】本発明の目的は、上記従来技術における問
題点を解消し、半導体製造工程において用いられる熱反
応炉等の製造装置において、発熱体（ヒータ）素線の組
み立てが極めて容易であり、かつ短時間に作製すること
ができる経済的で高性能の製造装置を提供することにあ
る。
題点を解消し、半導体製造工程において用いられる熱反
応炉等の製造装置において、発熱体（ヒータ）素線の組
み立てが極めて容易であり、かつ短時間に作製すること
ができる経済的で高性能の製造装置を提供することにあ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記本発明の目的を達成
するために、熱反応炉等の加熱装置において、発熱体素
線を支えるピース（素線支持体）の構造を、被処理物と
平行方向に螺旋状に多段に巻かれた発熱体素線の各々円
環部を嵌脱可能に支持する素線支持棚となし、この素線
支持棚を発熱体素線の周囲方向に複数個配設して、上記
螺旋状の発熱体素線の各々円環部を上記素線支持棚で支
持した後、該素線支持棚に設けられている押え棒挿入口
に素線押え棒を挿入して、素線支持棚の発熱体素線がは
み出さないように支持固定するものである。本発明の具
体的構成は、半導体製造工程において用いられる熱反応
炉の加熱装置において、該加熱装置を、被処理物と平行
方向に螺旋状に巻かれた発熱体素線の複数の各円環部を
各々外側から嵌脱可能に支持する構造の素線支持棚を用
い、該素線支持棚を上記発熱体素線の周囲方向に複数個
配設して上記螺旋状に巻かれた発熱体素線を支持固定す
る構成とした熱反応炉の加熱装置である。そして、上記
の螺旋状に巻かれた発熱体素線の各円環部を嵌脱可能に
支持する構造の素線支持棚は、該素線支持棚に設けられ
ている素線押え棒挿入孔に、素線押え棒を挿脱可能に設
けて上記発熱体素線を支持固定する構成とすることが好
ましい。なお、素線押え棒挿入孔は、丸形、長円形、四
方形もしくは長方形状となし、素線押え棒を、上記押え
棒挿入孔に挿脱可能な断面形状とすることが望ましい。
本発明の熱反応炉の加熱装置において、上記の被処理物
と平行方向に螺旋状に巻かれた発熱体素線の複数の各円
環部を各々外側から嵌脱可能に支持する片側開放形の櫛
形の素線支持体を用いることにより、従来の素線支持体
（ピース）の一個一個に設けられた素線貫通孔に、いち
いち発熱体素線を通すという多大の手間を省くことがで
き、極めて短時間に、螺旋状に多段に巻かれた発熱体素
線を各種反応炉の加熱装置にセットすることができる。
例えば、本発明者らの試作によれば、従来の１ターンに
ピースを２０個を通す螺旋状に６０ターンさせた発熱体
素線の組立てにおいて数時間必要であったものが、本発
明の櫛形の素線支持棚を用いることにより約３０分程度
で発熱体素線の組立てを完了させることができた。ま
た、発熱体素線の巻き数が増加しても櫛形ピースの素線
支持棚の数を増加するだけで螺旋状に多段に巻かれた発
熱体素線を容易に櫛形の素線支持棚に収納することがで
き、従来の貫通タイプの素線支持体（ピース）のずれに
よる螺旋状の発熱体素線の崩れや、また発熱体素線が暴
れたりする問題等を全く無くすることができる。
するために、熱反応炉等の加熱装置において、発熱体素
線を支えるピース（素線支持体）の構造を、被処理物と
平行方向に螺旋状に多段に巻かれた発熱体素線の各々円
環部を嵌脱可能に支持する素線支持棚となし、この素線
支持棚を発熱体素線の周囲方向に複数個配設して、上記
螺旋状の発熱体素線の各々円環部を上記素線支持棚で支
持した後、該素線支持棚に設けられている押え棒挿入口
に素線押え棒を挿入して、素線支持棚の発熱体素線がは
み出さないように支持固定するものである。本発明の具
体的構成は、半導体製造工程において用いられる熱反応
炉の加熱装置において、該加熱装置を、被処理物と平行
方向に螺旋状に巻かれた発熱体素線の複数の各円環部を
各々外側から嵌脱可能に支持する構造の素線支持棚を用
い、該素線支持棚を上記発熱体素線の周囲方向に複数個
配設して上記螺旋状に巻かれた発熱体素線を支持固定す
る構成とした熱反応炉の加熱装置である。そして、上記
の螺旋状に巻かれた発熱体素線の各円環部を嵌脱可能に
支持する構造の素線支持棚は、該素線支持棚に設けられ
ている素線押え棒挿入孔に、素線押え棒を挿脱可能に設
けて上記発熱体素線を支持固定する構成とすることが好
ましい。なお、素線押え棒挿入孔は、丸形、長円形、四
方形もしくは長方形状となし、素線押え棒を、上記押え
棒挿入孔に挿脱可能な断面形状とすることが望ましい。
本発明の熱反応炉の加熱装置において、上記の被処理物
と平行方向に螺旋状に巻かれた発熱体素線の複数の各円
環部を各々外側から嵌脱可能に支持する片側開放形の櫛
形の素線支持体を用いることにより、従来の素線支持体
（ピース）の一個一個に設けられた素線貫通孔に、いち
いち発熱体素線を通すという多大の手間を省くことがで
き、極めて短時間に、螺旋状に多段に巻かれた発熱体素
線を各種反応炉の加熱装置にセットすることができる。
例えば、本発明者らの試作によれば、従来の１ターンに
ピースを２０個を通す螺旋状に６０ターンさせた発熱体
素線の組立てにおいて数時間必要であったものが、本発
明の櫛形の素線支持棚を用いることにより約３０分程度
で発熱体素線の組立てを完了させることができた。ま
た、発熱体素線の巻き数が増加しても櫛形ピースの素線
支持棚の数を増加するだけで螺旋状に多段に巻かれた発
熱体素線を容易に櫛形の素線支持棚に収納することがで
き、従来の貫通タイプの素線支持体（ピース）のずれに
よる螺旋状の発熱体素線の崩れや、また発熱体素線が暴
れたりする問題等を全く無くすることができる。
【０００６】
【実施例】以下に本発明の実施例を上げ、図面を用いて
さらに詳細に説明する。なお、ここでは主に縦型反応炉
に用いられる加熱装置を例に挙げて説明するが、横型反
応炉等の加熱装置においても本発明を適用できることは
言うまでもない。図１（ａ）、（ｂ）に、本発明の各種
の熱反応炉等の加熱装置に用いられる櫛形素線支持体
（櫛形ピース）の構成を示す。なお、図１（ａ）は素線
押え棒６を示し、図１（ｂ）に示す櫛形素線支持体（櫛
形ピース）５の素線支持棚９に、螺旋状に巻かれた発熱
体（ヒータ）素線３をセットした後、櫛形ピース５に設
けられている押え棒挿入孔（ストッパ挿入孔）７に、素
線押え棒（素線ストッパ）６を嵌挿して発熱体素線３を
櫛形ピース５の素線支持棚９内からヒータ素線３がはみ
出さないように保持する構成とするか、あるいは素線押
え棒６によってヒータ素線３を押え込む形に嵌挿し固定
する形にしてもよい。しかし、発熱体素線３の熱膨張あ
るいは収縮等による変形を考慮に入れると、発熱体素線
３が素線支持棚９内で隙間を与えて保持する構成の方
が、発熱体素線３の水平方向の移動に対する余裕ができ
るため素線の暴れに対して問題なく対処することができ
るので好ましい。図３（ａ）、（ｂ）および図４
（ａ）、（ｂ）に、本実施例の櫛形ピース５を用いた熱
反応炉の加熱装置の組み立て方法を示す。まず、図３
（ｂ）に示すように、あらかじめ螺旋状に形を造ってあ
る発熱体素線３に、図３（ａ）に示す櫛形素線支持体５
を差し込む。そして、図４（ａ）に示すように、上部か
ら素線押え棒６を、図４（ｂ）に示す櫛形素線支持体５
に差し込み、発熱体素線３を櫛形素線支持体５に支持固
定することにより発熱体の組み立てが完了する。なお、
素線押え棒６を丸棒とすると、発熱体素線３との接触部
を少なくすることができ、また素線押え棒６を長方形と
することで素線支持棚９を短くすることができる。螺旋
状の発熱体素線の巻き数が６０ターンで、１ターン２０
個の従来型の素線支持体（ピース）を用いるとすると、
全部で１２００個のピースを貫通させることになり、加
熱装置の組み立てに約５時間必要であった。これに対
し、本実施例の櫛形素線支持体５を用いた場合には約３
０分程度で組み立てを完了することができた。また、熱
反応炉の仕様が変わり、加熱装置の形状が変化するごと
に約３０分程度で加熱装置を組み立てることが可能とな
り経済的効果は極めて大きい。
さらに詳細に説明する。なお、ここでは主に縦型反応炉
に用いられる加熱装置を例に挙げて説明するが、横型反
応炉等の加熱装置においても本発明を適用できることは
言うまでもない。図１（ａ）、（ｂ）に、本発明の各種
の熱反応炉等の加熱装置に用いられる櫛形素線支持体
（櫛形ピース）の構成を示す。なお、図１（ａ）は素線
押え棒６を示し、図１（ｂ）に示す櫛形素線支持体（櫛
形ピース）５の素線支持棚９に、螺旋状に巻かれた発熱
体（ヒータ）素線３をセットした後、櫛形ピース５に設
けられている押え棒挿入孔（ストッパ挿入孔）７に、素
線押え棒（素線ストッパ）６を嵌挿して発熱体素線３を
櫛形ピース５の素線支持棚９内からヒータ素線３がはみ
出さないように保持する構成とするか、あるいは素線押
え棒６によってヒータ素線３を押え込む形に嵌挿し固定
する形にしてもよい。しかし、発熱体素線３の熱膨張あ
るいは収縮等による変形を考慮に入れると、発熱体素線
３が素線支持棚９内で隙間を与えて保持する構成の方
が、発熱体素線３の水平方向の移動に対する余裕ができ
るため素線の暴れに対して問題なく対処することができ
るので好ましい。図３（ａ）、（ｂ）および図４
（ａ）、（ｂ）に、本実施例の櫛形ピース５を用いた熱
反応炉の加熱装置の組み立て方法を示す。まず、図３
（ｂ）に示すように、あらかじめ螺旋状に形を造ってあ
る発熱体素線３に、図３（ａ）に示す櫛形素線支持体５
を差し込む。そして、図４（ａ）に示すように、上部か
ら素線押え棒６を、図４（ｂ）に示す櫛形素線支持体５
に差し込み、発熱体素線３を櫛形素線支持体５に支持固
定することにより発熱体の組み立てが完了する。なお、
素線押え棒６を丸棒とすると、発熱体素線３との接触部
を少なくすることができ、また素線押え棒６を長方形と
することで素線支持棚９を短くすることができる。螺旋
状の発熱体素線の巻き数が６０ターンで、１ターン２０
個の従来型の素線支持体（ピース）を用いるとすると、
全部で１２００個のピースを貫通させることになり、加
熱装置の組み立てに約５時間必要であった。これに対
し、本実施例の櫛形素線支持体５を用いた場合には約３
０分程度で組み立てを完了することができた。また、熱
反応炉の仕様が変わり、加熱装置の形状が変化するごと
に約３０分程度で加熱装置を組み立てることが可能とな
り経済的効果は極めて大きい。
【０００７】
【発明の効果】本発明の螺旋状に巻かれた発熱体素線の
円環部を、素線支持棚を多段に設けた櫛形の素線支持体
に嵌め込み一度に螺旋状の発熱体素線を着脱可能に支持
固定することができるので、熱反応炉等の製造装置の組
み立て時間を大幅に短縮することができる。また、従来
の電熱体素線を貫通するタイプの素線支持体に比べ、支
持された電熱体素線の水平方向に多少の余裕を形成させ
ることができるので電熱体素線の膨張、収縮等の変形に
よる崩れや暴れの問題を吸収することができ、熱反応炉
等の製造装置の信頼性が向上する。したがって、半導体
製造工程における各種の加熱装置の作製効率が向上する
と共に、経済的で高性能の製造装置を容易に実現するこ
とができる。
円環部を、素線支持棚を多段に設けた櫛形の素線支持体
に嵌め込み一度に螺旋状の発熱体素線を着脱可能に支持
固定することができるので、熱反応炉等の製造装置の組
み立て時間を大幅に短縮することができる。また、従来
の電熱体素線を貫通するタイプの素線支持体に比べ、支
持された電熱体素線の水平方向に多少の余裕を形成させ
ることができるので電熱体素線の膨張、収縮等の変形に
よる崩れや暴れの問題を吸収することができ、熱反応炉
等の製造装置の信頼性が向上する。したがって、半導体
製造工程における各種の加熱装置の作製効率が向上する
と共に、経済的で高性能の製造装置を容易に実現するこ
とができる。
【図１】本発明の実施例で例示した櫛形素線支持体の構
成を示す模式図。
成を示す模式図。
【図２】本発明の実施例で例示した櫛形素線支持体に電
熱体素線を組み込んだ状態を示す模式図。
熱体素線を組み込んだ状態を示す模式図。
【図３】本発明の実施例で例示した櫛形素線支持体を用
いた電熱体素線の組み立て方法を示す模式図。
いた電熱体素線の組み立て方法を示す模式図。
【図４】本発明の実施例で例示した櫛形素線支持体を用
いた電熱体素線の組み立て方法を示す模式図。
いた電熱体素線の組み立て方法を示す模式図。
【図５】従来の素線支持体を用いた加熱装置の構成を示
す模式図。
す模式図。
１…ヒータケース
２…素線支持体（ピース）
３…発熱体（ヒータ）素線
４…ずれているピース
５…櫛形素線支持体（櫛形ピース）
６…素線押え棒（素線ストッパ）
７…押え棒挿入孔（ストッパ挿入孔）
８…ヒータ端子
９…素線支持棚
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平７−58046（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/22 511
H01L 21/31
Claims (2)
- 【請求項１】発熱体素線により被加熱物を加熱処理する
製造装置において、縦方向に螺旋状に巻かれた発熱体素
線の複数の各円環部を各々外側から嵌脱自在に支持する
構造の素線支持棚を用い、該素線支持棚を上記発熱体素
線の周囲方向に複数個配設して上記螺旋状に巻かれた発
熱体素線を支持固定する構成としたことを特徴とする製
造装置。 - 【請求項２】請求項１において、螺旋状に巻かれた発熱
体素線の各円環部を嵌脱自在に支持する構造の素線支持
棚は、該素線支持棚に設けられている素線押え棒挿入孔
に、素線押え棒を挿脱可能に設けて上記発熱体素線を支
持固定する構成としたことを特徴とする製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32411593A JP3375704B2 (ja) | 1993-12-22 | 1993-12-22 | 製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32411593A JP3375704B2 (ja) | 1993-12-22 | 1993-12-22 | 製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07183243A JPH07183243A (ja) | 1995-07-21 |
| JP3375704B2 true JP3375704B2 (ja) | 2003-02-10 |
Family
ID=18162327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32411593A Expired - Fee Related JP3375704B2 (ja) | 1993-12-22 | 1993-12-22 | 製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3375704B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100643661B1 (ko) * | 2005-04-11 | 2006-11-10 | (주)비에이치티 | 열처리 장치의 히터 어셈블리 및 그 제조 방법 |
| KR100808766B1 (ko) * | 2007-01-09 | 2008-02-29 | 홍진혁 | 절연내화 애자 및 이를 이용한 원통형 전기가열로 |
| JP5096182B2 (ja) * | 2008-01-31 | 2012-12-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理炉 |
-
1993
- 1993-12-22 JP JP32411593A patent/JP3375704B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07183243A (ja) | 1995-07-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3920887A (en) | Heating element assembly | |
| JP3375704B2 (ja) | 製造装置 | |
| US3008108A (en) | Toroidal coils | |
| KR101952825B1 (ko) | 코일소둔장치 | |
| CA2178565A1 (en) | Process for producing a multifilamentary superconducting tape and electrically conductive element comprising said tape | |
| JPS5936807B2 (ja) | 超電導コイルの接続装置 | |
| JPS61113398U (ja) | ||
| JPH07113586A (ja) | 材料実験炉 | |
| JPH07183238A (ja) | 加熱装置 | |
| US4322606A (en) | Electrical heating element assembly | |
| US3714691A (en) | Method for producing sheet supported coiled conductors | |
| JP2764729B2 (ja) | 熱処理装置 | |
| JPS61242823A (ja) | ポリエスチレンパイプの成形法 | |
| JP2594717Y2 (ja) | ウェーハ保持装置 | |
| DE2559232B2 (de) | Heizelement für elektrisch beheizte Geräte | |
| JPH0338795Y2 (ja) | ||
| JPH0539437Y2 (ja) | ||
| JPH0475329A (ja) | 熱処理装置 | |
| JPS62195881A (ja) | 環状電気炉 | |
| US4406917A (en) | Insulator for electrical heating element assembly | |
| JPS5737648A (en) | Heater structure for hot-air heater | |
| JPH046788B2 (ja) | ||
| JPS63193482A (ja) | 石英管ヒ−タ | |
| US3631593A (en) | Assembly of filamentary display devices | |
| JPS61197434A (ja) | ガラス板の曲げ方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071129 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081129 Year of fee payment: 6 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |