KR20190098536A - 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 조립이 용이하고, 조립 시간을 단축시킬 수 있으며, 그리고 열선의 단락(short circuit)을 방지할 수 있는 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리를 제공하는 것이 그 기술적 과제이다. 이를 위해, 본 발명의 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리는, 복수의 직선부와 복수의 벤딩부를 포함하고 상기 각각의 벤딩부의 양단에 상기 복수의 직선부 중 두 개의 직선부가 각각 연결되는 열선; 상기 각각의 벤딩부가 상기 두 개의 직선부와 함께 삽입되며 상기 두 개의 직선부가 서로 마주하게 놓이는 각각의 삽입 슬롯을 포함한 하나 이상의 제1 절연체; 및 상기 서로 마주하는 두 개의 직선부 사이를 이격시키는 하나 이상의 제2 절연체;를 포함한다.

Description

진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리{Heater and insulator assembly for vacuum effusion cell}
본 발명은 웨이퍼나 기판 상에 박막을 형성하기 위해 사용되는 진공 증발원에 관한 것이다.
일반적으로, 진공 증발원은, 고 진공의 챔버 내에 배치된 기판상에 소정의 박막을 형성하기 위하여 박막 형성용 물질을 가열하여 증발시키는 것으로, 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 표면에 특정 물질로 이루어진 박막을 형성하거나, 대형 평판 디스플레이 장치의 제조 공정에서 유리 기판 등의 표면에 원하는 물질의 박막을 형성하는 데 사용되고 있다.
도 1은 기존의 진공 증발원을 개략적으로 나타낸 일부 절개 단면도이고, 도 2는 도 1의 진공 증발원에 사용된 히터 절연 모듈을 분리하여 나타낸 사시도이다.
기존의 진공 증발원(10)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 케이스(11)와, 케이스의 내부 공간에 구비되며 박막 형성용 물질이 담기는 도가니(12)와, 도가니를 감싸는 형태로 구비되며 박막 형성용 물질을 증발시키기 위해 도가니를 가열하는 히터 및 절연체 어셈블리(13)와, 그리고 히터 및 절연체 어셈블리를 지지하며 히터 및 절연체 어셈블리의 열을 도가니로 반사시키는 열 반사판(14)을 포함한다. 특히, 히터 및 절연체 어셈블리(13)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 열선(13a)과, 그리고 열선의 직경 크기로 형성된 복수의 삽입공(H)을 가지는 절연체(13b)를 포함하여, 열선(13a)이 절연체(13b)의 첫 번째 삽입공(H1)에 끼워진 후 구부려 지고, 다시 절연체(13b)의 두 번째 삽입공(H2)에 끼워진 후 구부려지는 과정이 반복되면서 조립된다.
하지만, 기존의 진공 증발원(10)용 히터 및 절연체 어셈블리(13)는, 그 조립을 위해 열선(13a)을 절연체(13b)의 삽입공(H)에 끼우고 구부리는 과정이 반복되어야 하므로 조립이 어렵고 조립 시간이 많이 소요되는 문제가 있다.
또한, 열선(13a)의 직경을 1mm 이상으로 크게 하면 절연체(13b)의 각각의 삽입공(H)에 끼우고 구부리는 작업이 상당히 어려운 문제가 있다.
본 발명의 기술적 과제는, 조립이 용이하고, 조립 시간을 단축시킬 수 있으며, 그리고 열선의 단락(short circuit)을 방지할 수 있는 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 기술적 과제는, 상대적으로 큰 직경 또는 두께의 열선에도 사용이 가능한 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리는, 복수의 직선부와 복수의 벤딩부를 포함하고 상기 각각의 벤딩부의 양단에 상기 복수의 직선부 중 두 개의 직선부가 각각 연결되는 열선; 상기 각각의 벤딩부가 상기 두 개의 직선부와 함께 삽입되며 상기 두 개의 직선부가 서로 마주하게 놓이는 각각의 삽입 슬롯을 포함한 하나 이상의 제1 절연체; 및 상기 서로 마주하는 두 개의 직선부 사이를 이격시키는 하나 이상의 제2 절연체;를 포함한다.
상기 복수의 벤딩부는, 상기 열선의 상부를 이루는 복수의 상부 벤딩부; 및 상기 열선의 하부를 이루는 복수의 하부 벤딩부;를 포함할 수 있고, 상기 하나 이상의 제1 절연체는, 상기 각각의 상부 벤딩부가 삽입되는 각각의 상부 삽입 슬롯을 가지는 환 형상의 제1 상부 절연체; 및 상기 각각의 하부 벤딩부가 삽입되는 각각의 하부 삽입 슬롯을 가지는 환 형상의 제1 하부 절연체;를 포함할 수 있다.
상기 각각의 상부 벤딩부와 상기 각각의 하부 벤딩부는 서로 번갈아 위치될 수 있고, 상기 각각의 상부 삽입 슬롯과 상기 각각의 하부 삽입 슬롯은 서로에 대해 어긋나 위치되어 상기 각각의 상부 벤딩부와 상기 각각의 하부 벤딩부를 서로 어긋나게 수용할 수 있다.
상기 복수의 상부 벤딩부는 제1 및 제2 상부 벤딩부를 포함할 수 있고, 상기 복수의 하부 벤딩부는 제1 및 제2 하부 벤딩부를 포함할 수 있고, 상기 제1 및 제2 상부 벤딩부 사이에는 상기 제1 하부 벤딩부가 놓일 수 있고, 상기 제1 및 제2 하부 벤딩부 사이에는 상기 제2 상부 벤딩부가 놓일 수 있다.
상기 두 개의 직선부는 제1 및 제2 직선부로 이루어질 수 있고, 상기 제1 직선부는 상기 제1 상부 벤딩부의 일단과 상기 제1 하부 벤딩부의 일단을 연결할 수 있고, 상기 제2 직선부는 상기 제1 상부 벤딩부의 타단과 상기 제2 하부 벤딩부의 일단을 연결할 수 있고, 상기 제1 직선부는 상기 복수의 상부 삽입 슬롯 중 하나의 상부 삽입 슬롯의 우측과 복수의 하부 삽입 슬롯 중 하나의 하부 삽입 슬롯의 좌측에 지지될 수 있다.
일 예로, 상기 각각의 제2 절연체는, 환 형상의 절연 몸체; 및 상기 절연 몸체의 내주면에 간격을 두고 돌출되는 복수의 절연 스페이서;를 포함할 수 있다.
다른 예로, 상기 각각의 제2 절연체는, 환 형상의 절연 몸체; 및 상기 절연 몸체의 외주면에 간격을 두고 돌출되는 복수의 절연 스페이서;를 포함할 수 있다.
상기 하나 이상의 제2 절연체는, 상기 복수의 직선부 중 상기 각각의 상부 삽입 슬롯에 삽입되는 두 개의 직선부 사이를 이격시키는 제2 상부 절연체; 및 상기 복수의 직선부 중 상기 각각의 하부 삽입 슬롯에 삽입되는 두 개의 직선부 사이를 이격시키는 제2 하부 절연체;를 포함할 수 있다.
일 예로, 상기 열선은 그 단면이 원형인 와이어 형상을 가질 수 있다.
다른 예로, 상기 열선은 그 단면이 사각형인 밴드 형상을 가질 수 있다.
상술한 본 발명의 실시예에 따른 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리는, 상기 복수의 하부 벤딩부를 그 아래에서 받치는 절연 받침대를 더 포함할 수 있다.
이상에서와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리는 다음과 같은 효과를 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 열선의 각각의 벤딩부가 이의 양단에 연결된 두 개의 직선부와 함께 제1 절연체의 각각의 삽입 슬롯에 삽입되며 이 삽입 슬롯에서 두 개의 직선부가 서로 마주하게 놓이고, 이렇게 서로 마주하게 놓이는 두 개의 직선부 사이를 제2 절연체가 이격시키는 기술구성을 제공하므로, 열선이 복수 번 절곡된 상태를 갖더라도 각각의 벤딩부를 각각의 삽입 슬롯에 한번에 삽입시킬 수 있어 조립이 용이하고 조립 시간을 단축시킬 수 있고, 벤딩부와 함께 삽입 슬롯에 삽입되어 서로 마주하게 되는 두 개의 직선부의 사이를 제1 절연체에 의해 이격시킬 수 있어 변형 등에 의해 서로 접하여 발생되는 열선의 단락(short circuit) 현상을 방지할 수 있다.
도 1은 기존의 진공 증발원을 개략적으로 나타낸 일부 절개 단면도이다.
도 2는 도 1의 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 3의 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리가 조립되는 과정을 나타낸 분해 사시도이다.
도 5는 도 3의 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리 중 제2 절연체를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 6은 제2 절연체의 변형례를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3의 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리가 조립되는 과정을 나타낸 분해 사시도이며, 그리고 도 5는 도 3의 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리 중 제2 절연체를 개략적으로 나타낸 평면도이다. 도 6은 제2 절연체의 변형례를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리(100)는, 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 열선(110)과, 하나 이상의 제1 절연체(120)와, 하나 이상의 제2 절연체(130)를 포함한다. 이하, 도 3 내지 도 5를 계속 참조하여, 각 구성요소에 대해 상세히 설명한다.
열선(110)은, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 복수의 벤딩부(111 및 112)와 복수의 직선부(113 및 114)를 가진다. 예를 들어, 복수의 벤딩부(111 및 112)는, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 열선(110)의 상부를 이루는 복수의 상부 벤딩부(111)와, 그리고 열선(110)의 하부를 이루는 복수의 하부 벤딩부(112)를 포함할 수 있다. 복수의 직선부(113 및 114)는 상술한 복수의 벤딩부(111 또는 112)와 함께 단일 열선을 이루도록 각각의 벤딩부(111 또는 112)의 양단에 각각 연결되는 형태로 놓일 수 있다. 즉, 도 3에 도시된 바와 같이, 하나의 벤딩부(112)의 양단에는 서로 나란하게 놓이는 두 개의 직선부(113 및 114)가 연결되는 형태를 반복하면서 하나의 열선(110)을 이룰 수 있다.
특히, 각각의 상부 벤딩부(111)와 각각의 하부 벤딩부(112)는 서로 번갈아 위치될 수 있다. 예를 들어, 도 3에 도시된 바와 같이, 복수의 상부 벤딩부(111)가 제1 및 제2 상부 벤딩부(111a)(111b)를 포함하고, 복수의 하부 벤딩부(112)가 제1 및 제2 하부 벤딩부(112a)(112b)를 포함할 경우, 제1 및 제2 상부 벤딩부(111a)(111b) 사이에는 제1 하부 벤딩부(112a)가 놓이고, 제1 및 제2 하부 벤딩부(112a)(112b) 사이에 제2 상부 벤딩부(111b)가 놓일 수 있다.
나아가, 열선(110)은 그 단면이 원형인 와이어 형상(wire shape)을 가질 수 있다.
하나 이상의 제1 절연체(120)는, 세라믹 등의 재질로 이루어져 열선(110)을 절연 가능하게 지지하는 것으로, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 각각의 벤딩부(111 또는 112)가 이의 양단에 연결된 두 개의 직선부(113 또는 114 참조)와 함께 삽입되는 각각의 삽입 슬롯(S)을 가진다. 따라서, 열선(110)의 각각의 벤딩부(111 또는 112)가 두 개의 직선부(113 또는 114 참조)와 함께 제1 절연체(120)의 각각의 삽입 슬롯(S)에 삽입되므로, 도 4에 도시된 바와 같이, 열선(110)이 복수 번 절곡된 상태를 갖더라도 각각의 벤딩부(111 또는 112)를 두 개의 직선부와 함께 각각의 삽입 슬롯(S)에 한번에 삽입시킬 수 있다.
예를 들어, 하나 이상의 제1 절연체(120)는, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 제1 상부 절연체(121)와 제1 하부 절연체(122)를 포함할 수 있다. 제1 상부 절연체(121)는 각각의 상부 벤딩부(111)가 삽입되는 각각의 상부 삽입 슬롯(S1)을 가질 수 있고, 제1 하부 절연체(122)는 각각의 하부 벤딩부(112)가 삽입되는 각각의 하부 삽입 슬롯(S2)을 가질 수 있다.
특히, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 각각의 상부 벤딩부(111)와 각각의 하부 벤딩부(112)는 서로 번갈아 위치될 경우, 각각의 상부 삽입 슬롯(S1)과 각각의 하부 삽입 슬롯(S2)은 서로에 대해 어긋나 위치되어 각각의 상부 벤딩부(111)와 각각의 하부 벤딩부(112)를 서로 어긋나게 수용할 수 있다. 따라서, 도 3에 도시된 바와 같이, 어느 하나의 상부 벤딩부(111a 참조)의 일단과 어느 하나의 하부 벤딩부(112a)의 일단을 연결하는 제1 직선부(113)가 서로 어긋나게 형성된 상부 삽입 슬롯(S1 참조)의 우측과 하부 삽입 슬롯(S2 참조)의 좌측에 지지될 수 있다.
보다 구체적으로, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 복수의 상부 벤딩부(111)가 제1 및 제2 상부 벤딩부(111a)(111b)를 포함하고, 복수의 하부 벤딩부(112)가 제1 및 제2 하부 벤딩부(112a)(112b)를 포함하고, 제1 및 제2 상부 벤딩부(111a)(111b) 사이에는 제1 하부 벤딩부(112a)가 놓이고, 제1 및 제2 하부 벤딩부(112a)(112b) 사이에 제2 상부 벤딩부(111b)가 놓일 경우, 제1 상부 벤딩부(111a)의 일단은 제1 직선부(113)에 의해 제1 하부 벤딩부(112a)의 일단에 연결될 수 있다. 따라서, 제1 직선부(113)는 복수의 상부 삽입 슬롯(S1) 중 하나의 상부 삽입 슬롯(S1 참조)과 복수의 하부 삽입 슬롯(S2) 중 하나의 하부 삽입 슬롯(S2 참조)에 삽입되므로, 제1 직선부(113)가 상부 삽입 슬롯(S1 참조)의 우측과 하부 삽입 슬롯(S2 참조)의 좌측에서 좌우로 지지될 수 있다.
나아가, 열선(110)이 원형의 단면을 한 와이어 형상을 가질 경우, 도 4에 도시된 바와 같이, 각각의 삽입 슬롯(S)의 폭(W1)은 열선(110)의 단면 직경(D) 보다 크고, 각각의 삽입 슬롯(S)의 길이(L1)는 각각의 벤딩부(111 또는 112)의 너비(G1) 보다 열선(110)의 열팽창계수를 감안한 만큼 크게 만들 수 있다.
따라서, 각각의 삽입 슬롯(S)의 폭(W1)이 열선(110)의 지름(D) 보다 크므로, 열선(110)이 열 팽창되더라도 제1 절연체(120) 중 삽입 슬롯(S)이 형성된 부분이 파손되지 않고, 이와 함께 각각의 삽입 슬롯(S)의 길이(L1)가 각각의 벤딩부(111 또는 112)의 너비(G1) 보다 열선(110)의 열팽창계수를 고려한 크기만큼 크게 만들어져 있어 열선(110)이 열 팽창한 후 삽입 슬롯(S)의 길이 방향으로 구속되어 고정될 수 있다.
하나 이상의 제2 절연체(130)는, 세라믹 등의 재질로 이루어져 상술한 제1 절연체(120)와 함께 열선(110)을 절연 가능하게 지지함과 더불어, 열선(110) 중 각각의 삽입 슬롯(S)에서 서로 마주하게 놓이는 두 개의 직선부(도 3의 113 또는 114 참조)가 열 등에 의해 변형되더라도 서로 접촉되지 못하도록 하는 구성요소이다.
일 예로, 제2 절연체(130)은, 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 환 형상의 절연 몸체(130a)와, 절연 몸체(130a)의 내주면에 간격을 두고 돌출되는 복수의 절연 스페이서(130b)를 포함할 수 있다. 따라서, 열선(110) 중 각각의 직선부(113 또는 114 참조)는 각각의 절연 스페이서(130b)에 의해 절연됨과 동시에 이격된 상태로 놓이게 되므로, 각각의 직선부(113 또는 114 참조)가 열 등에 의해 변형되더라도 서로 접촉되지 않아 열선(110)의 단락(short circuit) 현상을 방지할 수 있다. 특히, 제2 절연체(130)을 열선(110)에 조립하는 방법으로는, 열선(110)의 직선부(113 및 114 참조)를 절연 몸체(130a)의 중심 방향으로 누른 후 절연 몸체(130a)가 열선(110)의 직선부(113 및 114 참조)를 감싸도록 하고 나서, 열선(110)의 직선부(113 및 114 참조)를 절연 몸체(130a)의 반경 방향으로 이동시키면 직선부(113 및 114 참조)가 각각의 절연 스페이서(130b) 사이의 공간으로 삽입될 수 있다. 열선(110)의 직선부(113 및 114 참조)는 자체 탄성을 가질 수 있어 내측으로 누른 후 다시 외측으로 원 위치시키는 것이 용이할 수 있다.
다른 예로, 제2 절연체(230)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 환 형상의 절연 몸체(230a)와, 절연 몸체(230a)의 외주면에 간격을 두고 돌출되는 복수의 절연 스페이서(230b)를 포함할 수 있다. 따라서, 열선(110) 중 각각의 직선부(113 또는 114 참조)는 각각의 절연 스페이서(230b)에 의해 절연됨과 동시에 이격된 상태로 놓이게 되므로, 각각의 직선부(113 또는 114 참조)가 열 등에 의해 변형되더라도 서로 접촉되지 않아 열선(110)의 단락(short circuit) 현상을 방지할 수 있다. 특히, 제2 절연체(230)을 열선(110)에 조립하는 방법으로는, 열선(110)의 직선부(113 및 114 참조)를 절연 몸체(230a)의 외측을 향하는 반경 방향으로 당긴 후 열선(110)의 직선부(113 및 114 참조)가 절연 몸체(230a)를 감싸도록 하고 나서, 열선(110)의 직선부(113 및 114 참조)를 절연 몸체(230a)의 중심 방향으로 이동시키면 직선부(113 및 114 참조)가 각각의 절연 스페이서(230b) 사이의 공간으로 삽입될 수 있다. 열선(110)의 직선부(113 및 114 참조)는 자체 탄성을 가질 수 있어 외측으로 당긴 후 다시 내측으로 원 위치시키는 것이 용이할 수 있다.
이러한 하나 이상의 제2 절연체(130)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 제2 상부 절연체(131)와 제2 하부 절연체(132)를 포함할 수 있다. 제2 상부 절연체(131)는, 제1 상부 절연체(121)에 인접될 수 있으며 각각의 상부 삽입 슬롯(S1)에 삽입되는 두 개의 직선부(113 또는 114 참조) 사이를 이격시킬 수 있다. 제2 하부 절연체(132)는, 제1 하부 절연체(122)에 인접될 수 있으며 각각의 하부 삽입 슬롯(S2)에 삽입되는 두 개의 직선부(113 또는 114 참조) 사이를 이격시킬 수 있다.
특히, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제2 절연체(130)가 열선(110의 직선부(113, 114 등)를 따라 흘러 내리지 않도록 제2 절연체(130)는 제1 절연체(120) 위에 지지되어 놓을 수 있다.
이와 더불어, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리(100)는, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 복수의 하부 벤딩부(112)를 그 아래에서 받치는 절연 받침대(140)를 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 절연 받침대(140)는 세라믹 등의 재질로 이루어질 수 있다.
이하, 도 7을 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리(300)에 대해 설명한다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리(300)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 열선(310)의 형상을 제외하고는 상술한 본 발명의 일 실시예와 동일하므로 이하에서는 열선(310)의 형상 위주로 설명한다. 또한, 아래의 삽입 슬롯(S)의 폭(W2)과 길이(L1), 열선(310)의 두께(T), 벤딩부의 너비(G2)를 자세히 보이기 위해 편의상, 제1 절연체(120)를 제2 절연체(130) 위에 놓이는 것으로 도시하였지만, 상술한 본 발명의 일 실시예에 언급한 바와 같이 제2 절연체(130)가 흘러 내리지 않도록 제2 절연체(130)는 제1 절연체(120) 위에 지지되어 놓이는 것이 바람직할 것이다.
열선(310)은 그 단면이 사각형인 밴드 형상(band shape)(다른 말로, 띠 형상)을 가질 수 있다.
이 경우, 각각의 삽입 슬롯(S)의 폭(W2)은 열선(310)의 두께(T) 보다 크고, 각각의 삽입 슬롯(S)의 길이(L1)는 각각의 벤딩부의 너비(G2) 보다 열선(210)의 열팽창계수를 감안한 크기만큼 클 수 있다.
따라서, 각각의 삽입 슬롯(S)의 폭(W2)이 열선(210)의 두께(T) 보다 크므로, 밴드 형상의 열선(310)이 열 팽창되더라도 제1 절연체(120) 중 삽입 슬롯(S)이 형성된 부분이 파손되지 않고, 이와 함께 각각의 삽입 슬롯(S)의 길이(L2)가 각각의 벤딩부(311 또는 312)의 너비(G2) 보다 열선(310)의 열팽창계수를 고려한 크기만큼 크게 만들어져 있어 열선(310)의 팽창한 후 삽입 슬롯(S)의 길이 방향으로 구속되어 고정될 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
100, 200: 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리
110, 310: 열선 111, 311: 복수의 상부 벤딩부
111a: 제1 상부 벤딩부 111b: 제2 상부 벤딩부
112, 312: 복수의 하부 벤딩부 112a: 제1 하부 벤딩부
112b: 제2 하부 벤딩부 113, 114: 각각의 직선부
120: 하나 이상의 제1 절연체 121: 제1 상부 절연체
122: 제1 하부 절연체 130, 230: 하나 이상의 제2 절연체
130a, 230a: 절연 몸체 130b, 230b: 복수의 절연 스페이서
131: 제2 상부 절연체 132: 제2 상부 절연체
140: 절연 받침대 S: 복수의 삽입 슬롯
S1: 복수의 상부 삽입 슬롯 S2: 복수의 하부 삽입 슬롯
W1, W2: 삽입 슬롯의 폭 L1, L2: 삽입 슬롯의 길이
D: 외이어형 열선의 직경 T: 밴드형 열선의 두께
G1, G2: 벤딩부의 너비

Claims (11)

  1. 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리로,
    복수의 직선부와 복수의 벤딩부를 포함하고 상기 각각의 벤딩부의 양단에 상기 복수의 직선부 중 두 개의 직선부가 각각 연결되는 열선;
    상기 각각의 벤딩부가 상기 두 개의 직선부와 함께 삽입되며 상기 두 개의 직선부가 서로 마주하게 놓이는 각각의 삽입 슬롯을 포함한 하나 이상의 제1 절연체; 및
    상기 서로 마주하는 두 개의 직선부 사이를 이격시키는 하나 이상의 제2 절연체;
    를 포함하는
    진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리.
  2. 제1항에서,
    상기 복수의 벤딩부는,
    상기 열선의 상부를 이루는 복수의 상부 벤딩부; 및
    상기 열선의 하부를 이루는 복수의 하부 벤딩부;를 포함하고,
    상기 하나 이상의 제1 절연체는,
    상기 각각의 상부 벤딩부가 삽입되는 각각의 상부 삽입 슬롯을 가지는 환 형상의 제1 상부 절연체; 및
    상기 각각의 하부 벤딩부가 삽입되는 각각의 하부 삽입 슬롯을 가지는 환 형상의 제1 하부 절연체;
    를 포함하는
    진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리.
  3. 제2항에서,
    상기 각각의 상부 벤딩부와 상기 각각의 하부 벤딩부는 서로 번갈아 위치되고,
    상기 각각의 상부 삽입 슬롯과 상기 각각의 하부 삽입 슬롯은 서로에 대해 어긋나 위치되어 상기 각각의 상부 벤딩부와 상기 각각의 하부 벤딩부를 서로 어긋나게 수용하는
    진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리.
  4. 제3항에서,
    상기 복수의 상부 벤딩부는,
    제1 및 제2 상부 벤딩부를 포함하고,
    상기 복수의 하부 벤딩부는,
    제1 및 제2 하부 벤딩부를 포함하고,
    상기 제1 및 제2 상부 벤딩부 사이에는 상기 제1 하부 벤딩부가 놓이고,
    상기 제1 및 제2 하부 벤딩부 사이에는 상기 제2 상부 벤딩부가 놓이는
    진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리.
  5. 제4항에서,
    상기 두 개의 직선부는
    제1 및 제2 직선부로 이루어지고,
    상기 제1 직선부는 상기 제1 상부 벤딩부의 일단과 상기 제1 하부 벤딩부의 일단을 연결하고,
    상기 제2 직선부는 상기 제1 상부 벤딩부의 타단과 상기 제2 하부 벤딩부의 일단을 연결하고,
    상기 제1 직선부는 상기 복수의 상부 삽입 슬롯 중 하나의 상부 삽입 슬롯의 우측과 복수의 하부 삽입 슬롯 중 하나의 하부 삽입 슬롯의 좌측에 지지되는
    진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리.
  6. 제1항에서,
    상기 각각의 제2 절연체는,
    환 형상의 절연 몸체; 및
    상기 절연 몸체의 내주면에 간격을 두고 돌출되는 복수의 절연 스페이서;
    를 포함하는
    진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리.
  7. 제1항에서,
    상기 각각의 제2 절연체는,
    환 형상의 절연 몸체; 및
    상기 절연 몸체의 외주면에 간격을 두고 돌출되는 복수의 절연 스페이서;
    를 포함하는
    진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리.
  8. 제2항에서,
    상기 하나 이상의 제2 절연체는,
    상기 복수의 직선부 중 상기 각각의 상부 삽입 슬롯에 삽입되는 두 개의 직선부 사이를 이격시키는 제2 상부 절연체; 및
    상기 복수의 직선부 중 상기 각각의 하부 삽입 슬롯에 삽입되는 두 개의 직선부 사이를 이격시키는 제2 하부 절연체;
    를 포함하는
    진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리.
  9. 제1항에서,
    상기 열선은 그 단면이 원형인 와이어 형상을 가지는
    진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리.
  10. 제1항에서,
    상기 열선은 그 단면이 사각형인 밴드 형상을 가지는
    진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리.
  11. 제2항에서,
    상기 진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리는,
    상기 복수의 하부 벤딩부를 그 아래에서 받치는 절연 받침대
    를 더 포함하는
    진공 증발원용 히터 및 절연체 어셈블리.
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