KR101713631B1 - 증발히터 고정부재를 포함하는 증발원 - Google Patents

Abstract

본 발명은 박막 증착장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 박막 증착장치에서 고온의 물질을 증발시킬 수 있는 증발원의 증발히터 고정부재를 포함하는 증발원에 관한 것이다.
본 발명은 증발용기와; 상기 증발용기의 외주측에 배치되고 축방향으로 긴 히팅부재들이 일정 간격을 두고 원주방향으로 배열되는 증발히터와; 상호 축방향으로 인접된 링 형상의 상측 고정부재 및 하측 고정부재로 이루어지고 상기 증발히터를 내주 및 외주측에서 지지하는 증발히터 고정부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 증발원을 개시한다.

Description

증발히터 고정부재를 포함하는 증발원{EVAPORATINNG SOURCE HAVING FIXING MEMBER OF EVAPORATION HEATER}

본 발명은 박막 증착장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 박막 증착장치에서 고온의 물질을 증발시킬 수 있는 증발히터 고정부재를 포함하는 증발원에 관한 것이다.

반도체 소자 또는 평판 디스플레이 소자의 제작에 주로 사용되는 박막 증착장치는 용기 내의 하부에 증착 물질을 담은 도가니를 설치하고, 도가니를 가열하여 내부의 증착 물질을 증발시켜 상부에 위치한 기판에 증착하는 방식으로 박막을 제조하는 장치이다.

일반적으로 박막 증착장치에서 진공 가열 증착 방법을 통하여 박막을 제조하는데, 진공 가열 증착이란 진공 용기 내의 기판 아래에 증발 물질이 담겨있는 도가니를 두고 도가니를 가열하여 증발 물질을 증발시켜 기판에 박막을 코팅하는 방법을 말한다.

이러한 진공 가열 증착에서 증발용기의 증발 물질을 가열시키는 방법에는 열선을 이용한 간접가열, 증발용기에 직접 전기를 흘리는 직접가열 또는 전자선을 이용한 전자선(E-beam) 가열 등의 방법이 사용된다. 이 중에서 열선을 이용하는 간접 가열방식이 증착제어가 안정적이기 때문에 많이 사용되고 있다.

이러한 간접 가열 방식의 증착장치에는 증발용기와 이를 가열할 수 있는 증발히터가 필요한데, 일반적으로 원통형 증발용기와 증발용기를 감싸는 필라멘트 방식의 증발히터를 많이 사용한다. 상기와 같은 필라멘트를 이용한 간접 가열로 800℃ 정도의 온도로 증발용기를 가열시키는 데에는 큰 어려움이 없으나 그 이상의 가열이 필요한 경우의 증발원을 고온 증발원이라고 일컬을 수 있다. 이러한 증발원은 주로 알루미늄 같은 금속물질이나 무기물을 증착시킬 때 사용하게 된다.

종래의 진공 증착 가열에 사용되는 증발히터는 열선을 원주방향으로로 배열하고, 복수의 구멍들이 형성된 원형 띠 형상의 절연체에 상기 열선들을 통과시키는 방식으로 형상 및 위치를 고정한다.

그런데 이러한 증발히터의 사용에 따라 열선이 열에 의해 변형되어 주로 길이방향으로 팽창되고 증발용기나 방열판에 접촉하여 합선이 발생하는 경우가 있었다.

또한 증착장치를 대형화하기 위해서는 증발히터 또한 대형화될 필요가 있는데, 종래의 증발히터와 고정구조로서는 자중에 의한 변형이 발생될 수 있고 결국 작동불량이나 증발히터의 파손으로 이어지는 문제가 있었다.

본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 증발히터의 위치와 형상을 효과적으로 고정하여 증발원의 내구성과 작동 신뢰성을 향상할 수 있는 구조를 가지는 증발히터 고정부재 및 이를 구비하는 증발원을 제공하는 데 목적이 있다.

본 발명은 증발용기와; 상기 증발용기의 외주측에 배치되고 축방향으로 긴 히팅부재들이 일정 간격을 두고 원주방향으로 배열되는 증발히터와; 상호 축방향으로 인접된 링 형상의 상측 고정부재 및 하측 고정부재로 이루어지고 상기 증발히터를 내주 및 외주측에서 지지하는 증발히터 고정부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 증발원을 개시한다.

상기 상측 고정부재는, 상기 증발히터의 외주측을 지지하는 외측링부와 상기 증발히터의 내주측을 지지하는 내측링부와 상기 내측링부 및 외측링부를 반경방향으로 연결하는 연결부를 포함하여 이루어질 수 있다.

상기 하측 고정부재는, 상기 증발히터의 외주측을 지지하는 외측링부와 상기 외측링부로부터 내주 방향으로 돌출되는 돌부를 포함할 수 있다.

상기 하측 고정부재는, 상기 증발히터의 내주측을 지지하며 상기 돌부에 연결되는 내측링부를 더 포함할 수 있다.

상기 상측 고정부재는, 상기 연결부 사이에 형성되는 삽입부에 상호 인접한 히팅부재가 함께 삽입될 수 있다.

상기 증발히터는, 상단부 및 하단부에서 인접되는 히팅부재들의 연결부위와 개방부위가 원주방향으로 교번하여 배치되고, 상기 상측 고정부재는, 상기 삽입부에 상기 연결부위가 삽입되면서 상기 증발히터의 상단부 또는 하단부로부터 축방향으로 결합될 수 있다.

상기 돌부와 상기 연결부는, 상기 증발히터의 원주방향으로 교번하여 배치될 수 있다.

상기 돌부와 상기 연결부의 폭은 인접한 히팅부재들 사이의 간격에 대응될 수 있다.

상기 상측 고정부재와 하측 고정부재를 축방향으로 결합하는 체결부재를 더 포함할 수 있다.

상기 증발히터의 외주측에 배치되는 원통 형상의 방열판을 더 포함하고, 상기 체결부재는, 상기 방열판에 결합되어 상기 증발히터를 상기 방열판에 대해 고정할 수 있다.

상기 체결부재는, 상기 방열판의 외면에 지지되는 평판부와, 상기 방열판에 형성되는 개구부에 삽입되도록 내주측으로 돌출되는 돌출부와, 상기 돌출부에 형성되고 상기 두 개의 링 형상의 판재가 삽입되는 삽입구를 포함할 수 있다.

상기 증발히터 고정부재는, 높이방향으로 복수로 배치되어 상기 증발히터의 위치와 히팅부재들 사이의 간격을 고정할 수 있다.

상기 고정부재는, PBN으로 이루어질 수 있다.

본 발명에 따른 증발히터 고정부를 구비하는 증발원은 고정부재가 두 개의 부재가 상하측으로 밀접하여 상호 보강하고 쌍을 이루어 증발히터의 내외주측을 지지하고 히팅부재들의 이격된 간격을 유지하기 때문에 증발히터의 형상과 위치를 더욱 견고하게 고정할 수 있어 증발원의 내구성과 작동 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.

또한, 고정부재들이 다단으로 배치되고 체결부재에 의하여 방열판에 체결되는 구성으로 이루어지기 때문에 증발히터의 위치와 형상을 정확하게 고정하면서도 자중을 효과적으로 분산할 수 있어 증발원의 대형화가 가능한 효과가 있다.

또한, 고정부재를 단일로 형성하는 경우에 비하여 제조상의 공정상 생산성이 향상될 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 증발히터 고정부재와 증발히터가 결합된 모습을 확대하여 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 증발히터 고정부재가 방열판에 체결된 모습을 도시한 사시도이다.
도 3은 도 1의 증발히터 고정부재의 체결부재를 도시한 사시도이다.
도 4는 도 1의 증발히터 고정부재가 배치되는 증발원을 도시한 측단면도이다.

이하 본 발명에 따른 증발히터 고정부재를 포함하는 증발원에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 증발히터 고정부재와 증발히터가 결합된 모습을 확대하여 도시한 사시도이고, 2는 본 발명의 증발히터 고정부재가 방열판에 체결된 모습을 도시한 사시도고, 도 3은 도 1의 증발히터 고정부재의 체결부재를 도시한 사시도고, 도 4는 도 1의 증발히터 고정부재가 배치되는 증발원을 도시한 측단면도이다.

본 발명에 따른 증발히터 고정부재를 포함하는 증발원은 증발용기(200)와; 상기 증발용기(200)의 외주측에 배치되고 축방향으로 긴 히팅부재들이 일정 간격을 두고 원주방향으로 배열되는 증발히터(300)와; 상호 축방향으로 인접된 상측 고정부재(410) 및 하측 고정부재(420)로 이루어지고 상기 증발히터(300)를 내주 및 외주측에서 지지하는 증발히터 고정부재(400)를 포함하여 이루어진다.

증발히터(300)는 전원을 공급하면 내부 저항에 의하여 열을 방출하는 열선으로 이루어지는데, 종래기술에서는 증착장치의 증발원으로서 와이어 타입으로 이루어지기 때문에 열변형에 취약하고 주변 부품과의 합선 문제가 발생할 수 있음은 상기한 바와 같다. 또한, 와이어 형상의 열선의 경우 그 단면이 원형이어서 복사열이 등방형으로 방사되어 열전달 효율이 떨어진다.

본 발명의 증발원에서는 상기한 단점을 극복하기 위하여 평판 형상의 히팅부재(참조번호 미표시)들로 이루어지는 증발히터(300)를 채용한다.

상기 증발히터(300)는 내주면이 증발용기(200)를 바라보도록 설치되고 면적을 넓게 하면 증발용기(200)에 직접 전달되는 복사열의 양을 크게 할 수 있기 때문에 열전달 효율이 와이어 타입의 열선을 사용하는 경우에 비하여 월등한 이점이 있다.

또한 상기 증발히터(300)는 구체적으로 축방향으로 긴 히팅부재가 일정 간격을 두고 원주방향으로로 배열되어 원통 형상을 이루는데, 상단부와 하단부 측에서는 인접되는 히팅부재들 사이에 연결부위(참조번호 미표시)가 형성되고 상기 연결부위들은 개방부위(참조번호 미표시)들과 원주방향으로 교번하여 배치된다.

증발히터(300)를 이루는 히팅부재들의 면적은 후술할 고정부재(400)와의 관계 및 열전달 면적을 고려하여 다양하게 이루어질 수 있다.

상기 고정부재(400)는 상기 증발히터(300)의 형상과 위치를 고정할 수 있는 부재로서, 본 발명의 개념에 따라 각 고정부재(400)가 축방향으로 상호 인접된 두 개의 링 형상의 판재로 이루어진다.

상기 고정부재(400)는 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)로 이루어지고, 각각 증발히터(300)의 외주 및/또는 내주를 지지하여 증발히터(300)의 형상과 위치를 고정한다.

상기 고정부재(400)는 한 쌍의 부재인 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)가 상호 인접되거나 밀착되어 이루어지고, 상측 고정부재(410) 또는 하측 고정부재(420)의 적어도 하나는 상기 증발히터(300)의 외주측을 지지하는 외측링부(411)와 상기 증발히터(300)의 내주측을 지지하는 내측링부(412)와 상기 내측링부(412) 및 외측링부(411)를 반경방향으로 연결하는 연결부(413)를 포함하여 이루어질 수 있다.

도 1의 실시예에서는 상측 고정부재(410)가 내측링부(412)와 외측링부(411)를 포함하여 이루어지고, 상기 연결부(413)는 증발히터(300)를 이루는 히팅부재들 사이의 이격된 공간에 개재되어 증발히터(300)의 위치와 형상을 고정한다.

하측 고정부재(420)는 상기 증발히터(300)의 외주측을 지지하는 외측링부(421)와 상기 외측링부(421)로부터 내주 방향으로 돌출되는 돌부(423)를 포함하여 이루어질 수 있다. 이때 상기 하측 고정부재(420)는 상측 고정부재(410)에서 내측링부(412)가 생략되는 형상이 될 수 있다.

이와 같이 하측 고정부재(420)가 상측 고정부재(410)의 내측링부(412)에 해당되는 부위가 생략되는 형상으로 이루어지는 경우, 증발히터(300)의 내주측을 가리지 않도록 배치될 수 있기 때문에 증발용기(200)로의 열전달을 저해하지 않으므로 증발히터(300)를 견고하게 지지하면서도 열효율의 저하를 방지할 수 있는 이점이 있다.

이 경우 상측 고정부재(410)는 증발히터(300)의 내외주측을 지지하고, 하측 고정부재(420)는 증발히터(300)의 외주측을 지지하면서 상측 고정부재(410)를 보강하는 역할을 하게 된다.

다만 상기 하측 고정부재(420)에 상기 돌부(423)에 연결되는 내측링부(미도시)가 부가되어 상기 상측 고정부재(410)에 대응되는 형상으로 이루어질 수 있고, 상기 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)가 서로 상하 위치가 치환되어 배치될 수도 있음은 물론이다.

상기 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)는 PBN(Pyrolytic Boron Nitride)이나 세라믹과 같은 재질이 사용될 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 내구성, 내열성 및 절연성이 높은 재질들이 선택적으로 사용될 수도 있음은 물론이다.

상기 고정부재(400)가 PBN(Pyrolytic Boron Nitride)으로 이루어지는 경우 하측 고정부재(420)가 상측 고정부재(410)와 달리 내측의 링부를 생략한 형상으로 이루어지게 되면 재료를 절감하여 생산성을 향상할 수 있는 이점이 있다.

상기한 바와 같이 고정부재(400)가 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)로 이루어지는 경우 단일로 형성하는 경우에 비하여 제조상의 공정을 단순화할 수 있는 이점을 가지고, 각 두 개가 쌍을 이루어 증발히터(300)의 내외주측을 지지하고 히팅부재들의 이격된 간격을 유지하기 때문에 증발히터(300)의 형상과 위치를 더욱 견고하게 고정할 수 있는 이점을 가짐에 유의하여야 한다.

상기 고정부재(400)와 증발히터(300)의 배치관계를 더욱 구체적으로 살펴보면, 상측 고정부재(410)에는 상호 인접하는 연결부(413) 사이에 증발히터(300)의 히팅부재가 축방향으로 삽입될 수 있는 삽입부(414)가 형성된다.

하나의 삽입부(414)는 증발히터(300)를 이루는 두 개의 인접한 히팅부재가 합께 삽입되는 방식으로 증발히터(300)와 고정부재(400)가 상호간에 결합되는 것이 바람직하다.

즉, 상기 증발히터(300)는 축방향으로 긴 히팅부재가 일정 간격을 두고 원주방향으로 배열되어 원통 형상을 이루는데, 상단부와 하단부 측에서는 인접되는 히팅부재들 사이에 연결부위와 개방부위들이 원주방향으로 교번하여 배치되기 때문에, 증발히터(300)의 상단 또는 하단 측에서 상기 삽입부(414)에 연결부위가 삽입되고 상기 연결부(413)가 개방부위에 삽입되는 방식으로 고정부재(400)의 축방향 결합이 이루어지는 것이다.

상기 하측 고정부재(420)는 돌부(423)가 상기 상측 고정부재(410)의 연결부(413)에 밀착되도록 배치될 수 있고, 다른 방법으로서 돌부(423)가 증발히터의 원주방향으로 연결부(413)와 교번하여 배치될 수도 있다.

도 1에 나타난 실시예에서는 하측 고정부재(420)가 내측링부를 구비하지 않기 때문에 증발히터(300)와 하측 고정부재(420)의 결합과정에서 증발히터(300)가 탄성 변형되어 돌부(423)가 히팅부재들 사이의 이격 공간에 삽입될 수 있으므로 상측 고정부재(410)의 연결부(413)와 원주방향으로 동일한 위치에 배치될 수도 있고 상호 어긋나는 위치에 교번하여 배치될 수도 있는 것이다.

또한 상기 돌부(423)들은 증발히터(300)를 이루는 히팅부재들의 이격된 사이의 공간마다 배치되도록 형성될 수도 있다.

상기 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)는 증발히터(300)의 형상을 고정하는 역할을 확실하게 하기 위하여 상기 돌부(423)와 상기 연결부(413)의 폭은 인접한 히팅부재들 사이의 간격에 대응되는 것이 바람직하다.

도 2는 본 발명의 증발히터 고정부재에 체결부재가 배치되는 실시예를 도시한 사시도이고, 도 3은 상기 체결부재를 확대하여 도시한 사시도로서, 체결부재(430)가 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)를 상호간에 결합시키면서 고정부재(400)를 방열판(100)에 고정시킨다.

상기 체결부재(430)는 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)가 상호 밀착되도록 고정하면서 원주방향으로 상호 이격되도록 복수로 배치되고, 바람직하게는 원주방향으로 등간격으로 배치될 수 있다.

또한 상기 체결부재(430)는 일측이 상기 방열판(100)에 고정되고 타측이 상기 고정부재(400)를 지지할 수 있는데, 일예로서 도 3과 같이 상기 방열판(100)의 외면에 지지되는 평판부(431)와, 상기 방열판(100)에 형성되는 개구부(110)에 삽입되도록 내주측으로 돌출되는 돌출부(432)와, 상기 돌출부(432)에 형성되고 상기 두 개의 링 형상의 판재가 삽입되는 삽입구(433)를 포함하여 이루어질 수 있다.

이러한 개념에 따라 이하 증발히터(300), 고정부재(400) 및 방열판(100)이 결합되는 과정을 설명한다.

상기 증발히터(300)에 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)가 소정 위치에 배치되어 상호 결합되고, 방열판(100)이 상기 증발히터(300)의 외주측에 배치되면, 방열판(100)에 고정부재(400)의 위치에 대응되도록 마련된 복수의 개구부(110)들에 체결부재(430)들이 외주측에서 내주방향으로 삽입되면서 상기 돌출부(432)에 형성되는 삽입구(433)에 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)가 함께 삽입된다.

상기와 같이 고정부재(400)와 체결부재(430)를 포함하는 증발히터의 고정장치는 증발히터(300)의 내외주측으로의 변형 및 증발히터(300)를 구성하는 각 히팅부재들의 원주방향으로의 변형을 제한하여 형상을 유지하면서 방열판(100)의 내주측에 정확한 위치에 고정하는 역할을 한다.

한편 증발히터(300)를 이루는 각 히팅부재의 연결부위가 상단부와 하단부에만 형성될 수도 있고, 증발히터(300)가 축방향으로 두 개의 히트부로 구성될 수도 있다. 이때 상기 히트부의 개수는 증발히터(300)를 이루는 각 히팅부재들의 연결부위의 배치에 의해 결정될 수 있다.

이와 같이 증발히터(300)가 다단으로 이루어지는 경우 각 단의 최상측에 배치되는 고정부재(400)들이 각각 증발히터(300)의 하중을 분산하여 지지할 수 있고 이는 증발히터(300)의 위치와 형상을 안정적으로 고정할 수 있어 증발히터(300)의 대용량화가 가능한 이점을 제공함에 유의하여야 한다.

또한 상기에서는 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)가 상호 밀착되어 한 쌍으로 고정부재(400)를 형성하고, 축방향으로 복수의 고정부재(400)들이 배치되는 예가 설명되었으나, 상기 상측 고정부재(410)와 하측 고정부재(420)는 상호간에 인접하되 소정 간격 이격되어 하나의 고정부재(400)를 이룰 수도 있음은 물론이다.

도 4는 상기한 증발히터 고정부재를 구비하는 증발원을 도시한 측단면이다.

본 발명에 따른 증발원은 도 1에 나타난 바와 같이 증발용기(200), 상기 증발용기(200)의 외주측에 배치되는 증발히터(300), 상기 증발히터(300)를 고정하는 고정부재(400) 및 증발히터(300)의 외주측에 배치되고 원통 형상으로 이루어지는 방열판(100)으로 이루어지고, 상기 방열판(100)의 외주측에 배치되고 내부 공간에 냉각수가 유동되는 냉각부(500)를 더 구비할 수 있다.

상기 증발원은 진공 가열 증착에 사용되는 장치로서, 진공의 용기(미도시) 내의 기판 아래에 증발 물질이 내부에 수용되는 도가니 형태의 증발용기(200)를 배치하고, 증발용기(200)를 증발히터(300)를 통해 가열하여 증발 물질을 증발시켜 기판에 박막을 코팅하는 장치이다.

본 발명의 증발원은 알루미늄과 같은 금속 물질이나 무기 물질을 증착시키는 데 다양하게 사용될 수 있고, 고온의 증발원 및 저온의 증발원에 모두 적용될 수 있다.

또한 방열판(400)은 상측이 개방된 원통 형상으로 이루어지고 상기 증발용기(200)의 외주측을 감싸도록 배치되는데, 상기한 바와 같이 내주측에서 고정장치에 의하여 증발히터(300)를 지지하고, 상측에서 상기 증발히터(300)를 지지하도록 구성될 수도 있다. 상기 방열판(100)은 증발용기(200)의 형상에 대응되도록 이루어지는 것이 바람직하나 반드시 원통 형상에 한정되지는 않는다.

상기 증발원에서 증발용기(200), 증발히터(300) 및 방열판(400)은 고온에 내구성이 보장될 수 있는 재질이 다양하게 사용될 수 있고, 상호간에 서로 다른 재질이나 동일한 재질로 선택적으로 이루어질 수 있다. 그 예로서 탄탈륨, AlN, PBN 또는 텅스텐과 같은 재질이 사용될 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

또한 상기 고정부재(400)는 절연물질로 이루어지는 것이 바람직하고, 예를 들어 PBN(Pyrolytic Boron Nitride)이나 세라믹과 같은 내구성과 내열성이 높은 재질로 이루어질 수 있다.

이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.

100...방열판 200...증발용기
300...증발히터 400...고정부재
410...상측 고정부재 420...하측 고정부재
430...체결부재

Claims (13)

1. 증발용기와;
   상기 증발용기의 외주측에 배치되고 축방향으로 긴 히팅부재들이 일정 간격을 두고 원주방향으로 배열되며, 상단부 및 하단부에서 인접되는 히팅부재들의 연결부위와 개방부위가 원주방향으로 교번하여 배치되는 증발히터와;
   상호 축방향으로 인접된 링 형상의 상측 고정부재 및 하측 고정부재로 이루어지고 상기 증발히터를 내주 및 외주측에서 지지하는 증발히터 고정부재;를 포함하며,
   상기 상측 고정부재 및 상기 하측 고정부재는 상호 밀착되도록 고정되며,
   상기 상측 고정부재 및 상기 하측 고정부재 중 하나는 상기 증발히터의 내주측을 지지하는 내측링부, 상기 증발히터의 외주측을 지지하는 외측링부 및 상기 내측링부와 외측링부를 반경방향으로 연결하며 인접한 히팅부재들이 삽입되는 삽입부를 형성하는 연결부를 포함하며,
   상기 상측 고정부재 및 상기 하측 고정부재 중 나머지 하나는 상기 증발히터의 외주축을 지지하는 외측링부 및 인접한 히팅부재들 사이의 이격된 공간에 배치되도록 상기 외측링부로부터 내주 방향으로 돌출되는 돌부를 포함하며,
   상기 증발히터 고정부재는, 축방향으로 복수로 배치되는 것을 특징으로 하는 증발원.
2. 삭제
3. 삭제
4. 청구항 1에 있어서,
   상기 상측 고정부재 및 상기 하측 고정부재 중 나머지 하나는
   상기 증발히터의 내주측을 지지하며 상기 돌부에 연결되는 내측링부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증발원.
5. 삭제
6. 청구항 1에 있어서,
   상기 상측 고정부재 및 상기 하측 고정부재 중 하나는
   상기 삽입부에 상기 연결부위가 삽입되면서 상기 증발히터의 상단부 또는 하단부로부터 축방향으로 결합되는 것을 특징으로 하는 증발원.
7. 청구항 1에 있어서,
   상기 돌부와 상기 연결부는,
   상기 증발히터의 원주방향으로 교번하여 배치되는 것을 특징으로 하는 증발원.
8. 청구항 1에 있어서,
   상기 돌부와 상기 연결부의 폭은 인접한 히팅부재들 사이의 간격에 대응되는 것을 특징으로 하는 증발원.
9. 청구항 1에 있어서,
   상기 상측 고정부재와 하측 고정부재를 축방향으로 결합하는 체결부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증발원.
10. 청구항 9에 있어서,
    상기 증발히터의 외주측에 배치되는 원통 형상의 방열판을 더 포함하고,
    상기 체결부재는, 상기 방열판에 결합되어 상기 증발히터를 상기 방열판에 대해 고정하는 것을 특징으로 하는 증발원.
11. 증발용기와;
    상기 증발용기의 외주측에 배치되고 축방향으로 긴 히팅부재들이 일정 간격을 두고 원주방향으로 배열되며, 상단부 및 하단부에서 인접되는 히팅부재들의 연결부위와 개방부위가 원주방향으로 교번하여 배치되는 증발히터와;
    상호 축방향으로 인접된 링 형상의 상측 고정부재 및 하측 고정부재로 이루어지고 상기 증발히터를 내주 및 외주측에서 지지하는 증발히터 고정부재;를 포함하며,
    상기 상측 고정부재 및 상기 하측 고정부재는 상호 밀착되도록 고정되며,
    상기 증발히터의 외주측에 배치되는 원통 형상의 방열판을 더 포함하고,
    상기 상측 고정부재와 하측 고정부재를 축방향으로 결합하며, 상기 방열판에 결합되어 상기 증발히터를 상기 방열판에 대해 고정하는 체결부재를 더 포함하며,상기 체결부재는,
    상기 방열판의 외면에 지지되는 평판부와, 상기 방열판에 형성되는 개구부에 삽입되도록 내주측으로 돌출되는 돌출부와, 상기 돌출부에 형성되고 상기 상측 고정부재와 하측 고정부재가 삽입되는 삽입구를 포함하는 것을 특징으로 하는 증발원.
12. 삭제
13. 청구항 1에 있어서,
    상기 고정부재는,
    PBN으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 증발원.

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