KR102509629B1 - 박막 증착 설비용 유도가열 장치 - Google Patents

박막 증착 설비용 유도가열 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 박막 증착 설비용 유도가열 장치를 개시한다. 개시된 박막 증착 설비용 유도가열 장치는, 고주파를 발진하여 크루시블을 가열하는 유도가열 유닛과, 유도가열 유닛을 단열하도록 유도가열 유닛을 수용하며, 냉각을 위한 냉각수가 순환하는 단열하우징 유닛과, 유도가열 유닛을 절연 지지하도록 단열하우징 유닛에 구비되는 절연 지지대를 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 크루시블을 가열하는 유도가열 유닛의 절연 상태를 안정적으로 유지할 수 있으며, 크루시블의 단열효과를 향상시킬 수 있고, 단열하우징 유닛의 냉각 효과가 향상된다.

Description

박막 증착 설비용 유도가열 장치{HIGH FREQUENCY INDUCTION HEATING DEVICE FOR FILM DEPOSITION FACILITIES}
본 발명은 박막 증착 설비용 유도가열 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 크루시블을 가열하는 유도가열 유닛의 절연 상태를 안정적으로 유지할 수 있으며, 크루시블의 단열효과를 향상시킬 수 있고, 단열하우징 유닛의 냉각 효과를 향상할 수 있도록 하는 박막 증착 설비용 유도가열 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 유기 발광 다이오드(OLED: Organic Light Emitting Diode)를 제작할 때 실리콘 웨이퍼(기판) 상에 유기박막을 형성하는 공정 및 도전체 박막 형성 공정이 적용되며, 박막 형성 공정은 증발 증착방식에 의해 주로 진행된다.
또한, 증발 증착방식으로 유기물 발광 재료를 고진공 상태에서 기체로 증발시켜 실리콘 웨이퍼(기판) 상에 유기물을 증착하는 열 증발 증착 공정(thermal evaporation deposition)을 주로 사용하고 있으며, 이때 고주파를 발생하여 크루시블(CRUCIBLE; 도가니)을 가열하는 유도가열 방식이 일반적다.
통상의 고주파 유도가열 장치는 크루시블의 내부에 액상 또는 파우더 형태의 증착 물질이 투입되고, 크루시블의 외부에 설치되는 고주파 유도코일에 의해 크루시블이 가열되면서 증착 물질이 기화되어 배출된다.
이러한 고주파 유도가열 방식은 크루시블를 가열하기 위한 고주파 유도코일에 전력을 공급하는 것만으로 사용이 가능하므로, 크루시블을 외부와 완전히 분리한 상태에서 사용이 가하여 진공 챔버에서 사용이 용이하다. 따라서 유기 발광 다이오드(OLED) 생상 공정에서 오염을 방지하면서 진공 사용이 가능하다.
그러나, 상기와 같은 종래 기술의 크루시블은 코일을 이용한 유도가열 방식으로 가열할 경우 유도가열 코일의 절연이 미흡하고, 크루시블의 단열과, 이를 보호하는 하우징의 냉각 효율이 저하되는 문제점이 발생하게 된다.
따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.
한편, 국내 등록특허 제10-1968819호(등록일:2019.04.08)에는 "크루시블 및 이를 포함하는 가열어셈블리"이 개시되어 있고, 국내 등록특허 제10-1474363호(등록일:2014.12.12)에는 "OLED 증착기 소스"가 개시되어 있다.
본 발명은 상기와 같은 필요성에 의해 창출된 것으로서, 크루시블을 가열하기 위한 유도가열 유닛의 고정과 지지는 물론 절연상태를 안정적으로 유지할 수 있으며, 크루시블의 단열효과를 향상시키면서 단열하우징 유닛의 냉각 효과를 향상할 수 있는 박막 증착 설비용 유도가열 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 단열하우징 유닛의 냉각을 위한 냉각수 순환라인을 단열하우징 유닛의 외면에 홈 형태로 형성하여 냉각 구조를 단순화하면서 효과를 향상시킬 수 있는 박막 증착 설비용 유도가열 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 박막 증착 설비용 유도가열 장치는, 고주파를 발진하여 크루시블을 가열하는 유도가열 유닛과, 상기 유도가열 유닛을 단열하도록 상기 유도가열 유닛을 수용하며, 냉각을 위한 냉각수가 순환하는 단열하우징 유닛과, 상기 유도가열 유닛을 절연 지지하도록 상기 단열하우징 유닛에 구비되는 절연 지지대를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에서 상기 유도가열 유닛은, 상기 크루시블을 가열하는 유도 코일부와, 상기 유도 코일부를 상기 피드스루과 연결하는 코일접속 단자부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에서 상기 단열하우징 유닛은, 상면이 개방되어 상기 유도가열 유닛과 상기 절연 지지대를 수용하며, 외면에 냉각수가 순환하는 냉각수 순환부를 구비하고, 상기 유도가열 유닛의 코일접속 단자부가 관통하는 단자 삽입홀부가 형성되는 단열 하우징과, 상기 크루시블의 배출노즐이 관통하는 노즐홀부가 형성되어 상기 단열 하우징의 상면에 결합되는 상부커버와, 상기 상부커버를 방열하도록 상기 상부커버에 결합되며, 상기 노즐홀부와 연통하는 배출홀부를 구비하는 방열판부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에서 상기 냉각수 순환부는, 상기 단열 하우징의 외면에 형성되는 냉각수 순환홈부와, 상기 냉각수 순환홈부를 밀폐하도록 상기 냉각수 순환홈부에 결합되는 밀폐판부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에서 상기 방열판부는, 적어도 2개 이상이 이격되게 복수개 적층되며, 상기 배출홀부가 상측으로 갈수록 확장 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에서 상기 방열판부는, 상기 상부커버의 상면에 이격되게 결합되며, 제1관통홀이 형성되는 제1방열판과, 상기 제1방열판과 이격되게 상기 제1방열판의 상측에 위치하며, 상기 제1관통홀과 대응하는 부위가 상기 제1방열판으로 절곡되어 상기 제1관통홀보다 큰 제2관통홀을 형성하는 제2방열판을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에서 상기 제2방열판은, 상기 제1방열판에 접촉되어 상기 제1방열판과의 사이로 증착물의 유입을 방지하도록 상기 제2관통홀의 테두리부가 절곡되어 기체유입 방지절곡부가 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에서 상기 절연 지지대는, 상기 단열하우징 유닛에 결합되어 상기 유도 코일부를 이격되게 지지하고, 상기 코일접속 단자부를 절연하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에서 상기 절연 지지대는, 상기 단열하우징 유닛의 내부 바닥면에 결합되어 상기 유도 코일부의 하부를 절연 및 단열하는 하부 절연부와, 상기 단열하우징 유닛에 결합되어 상기 유도 코일부를 지지하며, 상기 유도 코일부 사이로 삽입되는 간격유지돌부를 구비하여 상기 유도 코일부를 이격되게 지지하는 코일절연 지지부와, 상기 코일접속 단자부의 (+)단자와 (-)단자 사이에 결합되는 단자 절연부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 측면에 따른 박막 증착 설비용 유도가열 장치는 종래 기술과는 달리 크루시블을 가열하기 위하여 코일 형태로 설치되는 유도가열 유닛을 절연 지지대를 사용하여 안정되게 지지함으로써, 절연상태를 안정적으로 유지할 수 있는 효과를 가진다.
또한, 본 발명에 의하면, 크루시블과 단열하우징 유닛 사이에 하부 절연부가 설치되고, 상부커버의 상면에 방열판부가 설치되어 있어 크루시블의 단열효과를 향상시킬 수 있는 효과를 가진다.
또한, 본 발명에 의하면, 단열하우징 유닛의 냉각을 위한 냉각수 순환라인을 단열하우징 유닛의 외면에 홈 형태로 형성하여 냉각 구조가 단순화됨은 물론 냉각 효과를 향상시킬 수 있는 효과를 가진다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 박막 증착 설비용 유도가열 장치를 설명하기 위한 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 박막 증착 설비용 유도가열 장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 3은 도 2의 측면도이다.
도 4는 도 1의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 방열판부를 설명하기 위한 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 방열판부를 설명하기 위한 도 4의 'A'부 확대도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 유도가열 유닛과 절연 지지대를 설명하기 위한 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 절연 지지대를 설명하기 위한 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 코일절연 지지부를 설명하기 위한 사시도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 단자 절연부를 설명하기 위한 사시도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 박막 증착 설비용 유도가열 장치의 바람직한 실시예를 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.
또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 박막 증착 설비용 유도가열 장치를 설명하기 위한 분해 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 박막 증착 설비용 유도가열 장치를 설명하기 위한 사시도이고, 도 3은 도 2의 측면도이고, 도 4는 도 1의 단면도이다.
또한, 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 방열판부를 설명하기 위한 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 방열판부를 설명하기 위한 도 4의 'A'부 확대도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 유도가열 유닛과 절연 지지대를 설명하기 위한 사시도이다.
또한, 도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 절연 지지대를 설명하기 위한 사시도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 코일절연 지지부를 설명하기 위한 사시도이고, 도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 단자 절연부를 설명하기 위한 사시도이다.
도 1 내지 도 10을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 박막 증착 설비용 유도가열 장치는, 유기발광다이오드(OLED) 제조공정에서 기판에 표면처리 물질을 증착할 수 있도록 진공 챔버(10)에 설치되며, 액상 또는 파우더 형태의 증착 물질을 가열하여 기화시켜 표면처리를 위한 기판측으로 배출시킨다.
이러한, 본 실시 예에 따른 박막 증착 설비용 유도가열 장치는 유기발광다이오드(OLED) 제조공정은 물론 금속 등의 표면 처리 기술분야에 적용될 사용될 수도 있다.
본 실시 예에 따른 박막 증착 설비용 유도가열 장치는, 증착 물질을 수용하며, 가열을 통해 증착 물질을 기화시키기 위한 크루시블(100)과, 크루시블(100)을 가열하기 위한 유도가열 유닛(200)과, 크루시블(100)을 단열 및 방열하기 위한 단열하우징 유닛(300)과, 유도가열 유닛(200)을 절연 지지하도록 단열하우징 유닛(300)에 구비되는 절연 지지대(400)를 포함한다.
그리고 박막 증착 설비용 유도가열 장치는, 유도가열 유닛(200)으로 전력이 인가되면 유도가열 유닛(200)에서 고주파가 발진하여 크루시블(100)을 가열하고, 크루시블(100)이 가열됨에 따라 크루시블(100)에 수용된 증착 물질이 기화되면서 크루시블(100)의 외부로 배출된다.
이때, 단열하우징 유닛(300)을 이용하여 크루시블(100)의 단열을 효과를 향상시킬 수 있고, 절연 지지대(400)를 통해 유도가열 유닛(200)의 유동을 방지하면서 안정적인 절연시킬 수 있어 안정성이 향상된다.
본 실시 예에 따른 크루시블(100)은 내열성과 전기절연성 및 보온성이 우수한 석영(Quartz), 흑연계열(Graphite 계열), 탄탈럼(Tantalum), 티타늄 (Titanium), 알루미나(Alumina) 중 어느 하나 이상에 의해 형성될 수 있으며, 열효율이 더욱 향상되고 전기 전도도를 적정하게 유지시킬 수 있도록 서로 다른 물질에 의해 2중 구조로 형성될 수 있다.
이러한 크루시블(100)은 유도가열 유닛(200)의 내부에 위치하도록 단열하우징 유닛(300)에 설치되며, 증착물질의 배출을 위하여 상면에 배출노즐(110)이 돌출 형성된다.
본 실시 예에 따른 유도가열 유닛(200)은 크루시블(100)을 외부에 위치하도록 절연 지지대(400)에 의해 단열하우징 유닛(300)에 절연 고정되며, 피드스루를 통해 전류가 인가됨에 따라 고주파를 발진하여 크루시블(100)을 가열한다.
이러한 유도가열 유닛(200)은 크루시블(100)의 가열을 위한 유도 코일부(210)와, 유도 코일부(210)를 피드스루와 연결하는 코일접속 단자부(220)를 구비하며, 절연 지지대(400)를 통해 단열하우징 유닛(300)과 절연 고정된다.
유도 코일부(210)는 복수의 코일부재(211) 상하로 배치되어 코일부재(211)의 내부로 크루시블(100)이 삽입되며, 복수의 코일부재(211)가 코일접속 단자부(220)에 병렬도 접속된다. 그러면, 유도 코일부(210)에 가해지는 전압을 낮추면서 인가되는 전류의 세기를 높일 수 있으므로, 유도 코일부(210)의 고주파 발진 성능을 향상킬 수 있다. 이를 통해 크루시블(100)의 가열효과를 더욱 향상시킬 수 있다.
코일접속 단자부(220)는 단열하우징 유닛(300)의 하부를 통해 단열하우징 유닛(300)의 내부로 삽입되어 유도 코일부(210)와 결합된다. 이때 코일접속 단자부(220)는 (+)단자(221)와 (-)단자(223)가 절연 지지대(400)에 의해 안정되게 절연처리된다.
한편, 유도가열 유닛(200)은 전력의 인가로 인하여 사용시 고온으로 가열되며, 냉각수의 순환을 통해 효율적이고 안정적인 냉각이 가능하다.
본 실시 예에 따른 단열하우징 유닛(300)은 크루시블(100)과 유도가열 유닛(200)이 내장되며, 크루시블(100)과 유도가열 유닛(200)을 단열하고, 외부로의 열 확산을 방지하게 된다.
이를 위하여 단열하우징 유닛(300)은 크루시블(100)과 유도가열 유닛(200) 및 절연 지지대(400)가 안착되는 단열 하우징(310)과, 단열 하우징(310)를 커버하는 상부커버(320)와, 상부커버(320)의 방열을 위한 방열판부(340)를 포함한다.
이러한 단열하우징 유닛(300)은 효과적인 단열과 방열을 위하여 단열 하우징(310)이 서스(SUS)에 의해 제작될 수 있고, 상부커버(320)가 몰리브덴(Mo)에 의해 제작될 수 있으며, 단열 하우징(310)에 냉각을 위한 냉각수가 순환된다.
단열 하우징(310)은 상면이 개방되어 상부커버(320)에 의해 커버되며, 외면에 냉각수의 순환을 위한 냉각수 순환부(350)를 구비한다. 또한, 단열 하우징(310)은 유도가열 유닛(200)의 코일접속 단자부(220)가 삽입되는 단자 삽입홀부(311)가 하부 일측에 형성된다.
냉각수 순환부(350)는 단열 하우징(310)의 외면에 형성되는 냉각수 순환홈부(351)와, 냉각수 순환홈부(351)를 밀폐하는 밀폐판부(353)를 구비한다. 이러한 냉각수 순환부(350)는 냉각수 순환홈부(351)에 의해 형성되므로, 단열 하우징(310)의 외면서 노출되는 것이 방지되며, 단열 하우징(310)의 냉각 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.
냉각수 순환홈부(351)는 냉각수의 순환을 위한 순환라인을 형성하며, 밀폐판부(353)의 결합을 위한 결합단부가 내면에 형성된다.
밀폐판부(353)는 냉각수 순환홈부(351)의 형태에 따라 직선형과 곡선형으로 분할 형성되며, 냉각수 순환홈부(351)의 결합단부에 결합되어 냉각수 순환홈부(351)를 밀폐한다. 이를 통해 냉각수의 순환을 위한 냉각수 순환라인이 다양한 형상으로 형성할 수 있다.
본 실시 예에 따른 냉각수 순환홈부(351)는 냉각수의 공급과 순환을 위한 냉각수 공급라인과 냉각수 배출라인이 연결되며, 단열 하우징(310)의 크기와 냉각 면적에 따라 다양한 형태로 형성될 수 있다.
이와 같은 단열 하우징(310)은 유지보수는 물론 크루시블(100)의 증착물질 투입이 용이하도록 상면에 상부커버(320)가 결합된다.
상부커버(320)는 단열하우징 유닛(300)의 개방과 밀폐하며, 몰리브덴(Mo)에 의해 제작된다. 이러한 상부커버(320)는 크루시블(100)의 배출노즐(110)이 관통하는 노즐홀부(321)가 형성되며, 방열판부(340)에 의해 효과적인 냉각이 이루어짐과 동시에 배출노즐(110)에서 확산되는 증착물질에 의해 오염되는 것이 방지된다.
방열판부(340)는 단열하우징 유닛(300)의 상면을 이격되게 복수개 결합되어 상부커버(320)를 방열하고, 증착물질이 노즐홀부(321)를 통해 단열하우징 유닛(300)으로 유입되는 것을 방지하게 된다.
또한, 방열판부(340)는 노즐홀부(321)와 대응하도록 연통되는 배출홀부(340a)를 구비하며, 배출홀부(340a) 사이로 증착물질의 유입을 방지하게 된다. 이러한, 방열판부(340)는 적어도 2개 이상이 이격되게 복수개 적층되며, 배출홀부(340a)가 상측으로 갈수록 확장 형성됨과 동시에 배출홀부(340a) 사이가 커버된다.
구체적으로, 방열판부(340)는 상부커버(320)의 상면에 이격되게 결합되는 제1방열판(341)과, 제1방열판(341)의 상측에 이격되게 결합되는 제2방열판(343)과, 제2방열판(343)의 상측에 이격되게 결합되는 제3방열판(345)을 구비한다.
이때, 제1방열판(341)과 제2방열판(343) 및 제3방열판(345)은 별도의 고정수단을 통해 상부커버(320)에 이격되게 결합된다. 예를 들어 상부커버(320)와 제1방열판(341) 사이, 제1방열판(341)과 제2방열판(343) 사이, 제2방열판(343)과 제3방열판(345) 사이에는 이격을 위한 박판이 구비될 수 있다.
제1방열판(341)은 상부커버(320)의 노즐홀부(321)와 대응하며, 배출노즐(110)의 노출을 위한 제1관통홀(341a)이 형성된다.
제2방열판(343)은 방열공간을 형성하도록 제1방열판(341)과 이격되며, 제1관통홀(341a)과 대응하는 부위에 제2관통홀(343a)이 형성된다. 이러한 제2방열판(343)은 제1관통홀(341a)과 제2관통홀(343a) 사이가 밀폐되도록 제2관통홀(343a)의 형성부위가 제1방열판(341)측으로 절곡되어 기체유입 방지절곡부(347)가 형성된다.
제3방열판(345)은 방열공간을 형성하도록 제2방열판(343)과 이격되며, 제2관통홀(343a)과 대응하는 부위에 제3관통홀(345a)이 형성된다. 이러한 제3방열판(345)도 제2방열판(343)과 마찬가지로 제2관통홀(343a)과 제3관통홀(345a) 사이가 밀폐되도록 제3관통홀(345a)의 형성부위가 제2방열판(343)측으로 절곡되어 기체유입 방지절곡부(347)가 형성된다.
이와 같은 방열판부(340)는 제2방열판(343)의 기체유입 방지절곡부(347) 끝단이 제1방열판(341)의 상면에 접촉되고, 제3방열판(345)의 기체유입 방지절곡부(347) 끝단이 제2방열판(343)의 상면에 접촉된다. 이를 통해 제2관통홀(343a)이 제1관통홀(341a)보다 크게 형성되고, 제3관통홀(345a)이 제2관통홀(343a)보다 크게 형성됨으로 인하여 방열판부(340)의 배출홀부(340a)가 상측으로 갈수록 경사지게 확장 형성될 수 있으며, 각 방열판 사이로 증착물질의 유입을 방지할 수 있다.
따라서 상부커버(320)와 방열판부(340)의 오염을 방지하면서 증착물질에 의해 오염을 방지할 수 있다.
본 실시 예에서는 방열판부(340)가 3개의 방열판으로 구성되는 것을 예를 들어 설명하고 있지만, 사용자의 필요에 따라 2개, 4개 이상 구비될 수도 있다.
본 실시 예에 따른 절연 지지대(400)는 유도가열 유닛(200)을 단열 하우징(310)과 절연시킬 수 있도록 단열 하우징(310)에 결합되어 유도가열 유닛(200)을 지지한다. 이때, 절연 지지대(400)는 유도 코일부(210)와 코일접속 단자부(220)를 각각 절연하도록 구비된다.
구체적으로, 절연 지지대(400)는 유도 코일부(210) 및 크루시블(100)을 단열 하우징(310)과 절연 및 단열하는 하부 절연부(410)와, 유도 코일부(210)의 코일부재(211)를 이격되게 지지하기 위한 코일절연 지지부(420)와, 코일접속 단자부를 절연하기 위한 단자 절연부(430)를 포함한다. 이러한, 절연 지지대(400)는 유도가열 유닛(200)을 안정적으로 절연 및 지지할 수 있으며, 하부 절연부(410)를 통해 단열 하우징(310)의 단열 효율을 향상시킬 수 있다.
하부 절연부(410)는 단열 하우징(310)의 바닥에 설치가 용이하도록 2개 이상으로 분할 형성되며, 온도센서의 설치를 위한 설치홀부가 형성된다. 또한, 하부 절연부(410)는 세라믹에 의해 제작될 수 있으며, 상측에 크루시블(100)이 위치하고 양측면에 코일절연 지지부(420)가 배치된다.
코일절연 지지부(420)는 세라믹에 의해 형성되어 단열 하우징(310)의 바닥에 고정되며, 코일부재(211) 각각을 이격되게 지지한다. 이를 위하여 코일절연 지지부(420)는 코일부재(211)의 길이방향을 따라 이격되게 복수개 구비되며, 코일부재(211) 사이로 삽입되는 간격유지돌부(421)가 돌출 형성된다. 간격유지돌부(421)는 코일부재(211)의 하면을 지지한다.
단자 절연부(430)는 코일부재(211)와 연결되는 코일접속 단자부(220)에 결합되어 (+)단자(221)와 (-)단자(223) 사이를 절연시킨다. 이러한 단자 절연부(430)는 세라믹에 의해 제작될 수 있으며, 코일접속 단자부(220)를 절연 상태가 안정되게 유지되도록 코일접속 단자부(220)에 결합된다.
예를 들어 단자 절연부(430)는 (+)단자(221)와 (-)단자(223) 사이로 삽입되는 단자절연판(431)과, 단자절연판(431)을 고정하도록 (+)단자(221)와 (-)단자(223)의 상면 및 하면에 결합되는 판지지블록(433)을 구비한다. 이때, 판지지블록(433)에는 단자절연판(431)의 삽입되는 판삽입홈부(431a)가 형성되고, 단자절연판(431)에는 판지지블록(433)에 결합된 상태에서 유동이 방지되도록 블록안착홈(433a)이 형성된다. 이를 통해 단자 절연부(430)를 코일접속 단자부(220)에 결합하는 구조를 단순화하면서 안정되게 결합할 수 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 박막 증착 설비용 유도가열 장치는, 고주파를 발진하여 크루시블(100)의 가열하는 코일 형태의 유도 코일부(210)가 절연 지지대(400)의 코일절연 지지부(420)에 의해 이격되게 지지되므로, 유도가열 유닛(200)의 절연과 고정을 안정적으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 박막 증착 설비용 유도가열 장치는, 크루시블(100)의 하부가 하부 절연부(410)에 의해 단열하우징 유닛(300)과 단열 및 절연되고, 단열하우징 유닛(300)의 상부커버(320)에 방열판부(340)가 이격되게 설치되므로, 크루시블(100)의 단열효과를 향상시키면서 단열 하우징(310)의 방열효과가 향상된다.
또한, 본 발명에 따른 박막 증착 설비용 유도가열 장치는, 배출홀부(340a)가 형성되는 제1방열판(341), 제2방열판(343), 제3방열판(345) 사이가 기체유입 방지절곡부(347)에 의해 커버되므로, 배출노즐(110)을 통해 배출되는 증착물질이 방열판부(340) 사이로 유입되는 것이 방지되어 단열하우징 유닛(300)의 오염을 최소화할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 박막 증착 설비용 유도가열 장치는, 단열하우징 유닛(300)의 회면에 냉각수 순환을 위한 냉각수 순환홈부(351)가 형성되고, 냉각수 순환홈부(351)가 밀폐판부(353)에 의해 밀폐되어 냉각수 순환부(350)를 형성하므로, 단열 하우징(310)의 냉각 구조를 단순화하면서 냉각 효과를 높일 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.
100 : 크루시블 110 : 배출노즐
200 : 유도가열 유닛 210 : 유도 코일부
211 : 코일부재 220 : 코일접속 단자부
221 : (+)단자 223 : (-)단자
300 : 단열하우징 유닛 310 : 단열 하우징
311 : 단자 삽입홀부 320 : 상부커버
321 : 노즐홀부 340 : 방열판부
340a : 배출홀부 341 : 제1방열판
341a : 제1관통홀 343 : 제2방열판
343a : 제2관통홀 345 : 제3방열판
345a : 제3관통홀 347 : 기체유입 방지절곡부
400 : 절연 지지대 410 : 하부 절연부
420 : 코일절연 지지부 421 : 간격유지돌부
430 : 단자 절연부 431 : 단자절연판
433 : 판지지블록

Claims (8)

  1. 고주파를 발진하여 크루시블을 가열하는 유도가열 유닛; 상기 유도가열 유닛을 단열하도록 상기 유도가열 유닛을 수용하며, 냉각을 위한 냉각수가 순환하는 단열하우징 유닛; 및 상기 유도가열 유닛을 절연 지지하도록 상기 단열하우징 유닛에 구비되는 절연 지지대;를 포함하며,
    상기 유도가열 유닛은, 상기 크루시블을 가열하는 유도 코일부; 및 상기 유도 코일부에 연결되는 코일접속 단자부;를 포함하며,
    상기 절연 지지대는, 상기 단열하우징 유닛에 결합되어 상기 유도 코일부를 이격되게 지지하고, 상기 코일접속 단자부를 절연하고,
    상기 절연 지지대는, 상기 단열하우징 유닛의 내부 바닥면에 결합되어 상기 유도 코일부의 하부를 절연 및 단열하는 하부 절연부;
    상기 단열하우징 유닛에 결합되어 상기 유도 코일부를 지지하며, 상기 유도 코일부 사이로 삽입되는 간격유지돌부를 구비하여 상기 유도 코일부를 이격되게 지지하는 코일절연 지지부; 및
    상기 코일접속 단자부의 (+)단자와 (-)단자 사이에 결합되는 단자 절연부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 설비용 유도가열 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 단열하우징 유닛은, 상면이 개방되어 상기 유도가열 유닛과 상기 절연 지지대를 수용하며, 외면에 냉각수가 순환하는 냉각수 순환부를 구비하고, 상기 유도가열 유닛의 코일접속 단자부가 관통하는 단자 삽입홀부가 형성되는 단열 하우징;
    상기 크루시블의 배출노즐이 관통하는 노즐홀부가 형성되어 상기 단열 하우징의 상면에 결합되는 상부커버; 및
    상기 상부커버를 방열하도록 상기 상부커버에 결합되며, 상기 노즐홀부와 연통하는 배출홀부를 구비하는 방열판부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 설비용 유도가열 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 냉각수 순환부는, 상기 단열 하우징의 외면에 형성되는 냉각수 순환홈부; 및
    상기 냉각수 순환홈부를 밀폐하도록 상기 냉각수 순환홈부에 결합되는 밀폐판부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 설비용 유도가열 장치.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 방열판부는, 적어도 2개 이상이 이격되게 복수개 적층되며, 상기 배출홀부가 상측으로 갈수록 확장 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 설비용 유도가열 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 방열판부는, 상기 상부커버의 상면에 이격되게 결합되며, 제1관통홀이 형성되는 제1방열판; 및
    상기 제1방열판과 이격되게 상기 제1방열판의 상측에 위치하며, 상기 제1관통홀과 대응하는 부위가 상기 제1방열판으로 절곡되어 상기 제1관통홀보다 큰 제2관통홀을 형성하는 제2방열판;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 증착 설비용 유도가열 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제2방열판은, 상기 제1방열판에 접촉되어 상기 제1방열판과의 사이로 증착물의 유입을 방지하도록 상기 제2관통홀의 테두리부가 절곡되어 기체유입 방지절곡부가 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 증착 설비용 유도가열 장치.
  8. 삭제
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