KR20060133504A - 열처리 장치의 히터 어셈블리 및 그 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 열선을 고정하는 구조를 개선하여 열선이 틀어지는 것을 방지할 수 있는 열처리 장치의 히터 어셈블리 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 히터 어셈블리는 공정튜브의 바깥둘레에 나선형으로 배치되는 발열저항체와 이 발열저항체를 둘러싸도록 원통형으로 미장시공되어 형성되는 1차 단열층을 갖는데, 이 발열저항체와 1차 단열층 사이에는 발열저항체의 팽창에 따른 움직임이 자유롭도록 틈새를 갖는다. 이 틈새에 의해 발열저항체가 바깥쪽으로 팽창되는 것이 가능하여 발열저항체가 상하 방향으로 휘어지는 것이 방지되며, 이 발열저항체가 1차 단열층에서 떨어져 있으면 온도의 순간적인 변화(온도의 정밀제어)가 가능하다.

Description

열처리 장치의 히터 어셈블리 및 그 제조 방법{HEATER ASSEMBLY OF HEAT TREATMENT EQUIPMENT AND FABRICATION METHOD THEREOF}

도 1은 일반적인 열처리 장치에 사용되는 히터 어셈블리의 일부를 보여주는 도면;

도 2는 일반적인 열처리 장치에 사용되는 히터 어셈블리의 내부의 문제점들을 보여주는 사진들;

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 열처리 장치의 히터 어셈블리의 부분 단면 사시도;

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 열처리 장치의 히터 어셈블리의 부분 단면 평면도;

도 5는 도 4에 도시된 지지부재를 보여주는 도면;

도 6a 내지 도 6f는 히터 어셈블리의 제조 과정을 순차적으로 설명하기 위한 도면들이다.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 히터 어셈블리의 제조 방법에 대한 플로우 챠트이다.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

110 : 열선

130 : 지지부재

140 : 1차 단열층

150 : 2차 단열층

160 : 케이스

본 발명은 반도체 제조 설비에 관한 것으로, 보다 상세하게는 열선을 고정하는 구조를 개선하여 열선이 틀어지는 것을 방지할 수 있는 열처리 장치의 히터 어셈블리 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

종래부터 피처리판, 예를 들면 반도체 기판의 각종 처리에 있어서는, CVD장치, 에피택셜 성장장치등의 박막(璞膜)형성장치, 산화막형성장치, 불순물의 도핑을 위해 열확산 장치등의 열처리장치가 사용된다.

상기 반도체 기판의 각종 열처리에 사용되는 일반적인 확산형 열처리장치는, 내부에 복수의 기판이 장전되는 공정튜브와, 상기 공정튜브를 둘러싸도록 설치되는 히터 어셈블리를 포함한다. 상기 히터 어셈블리는 상기 공정튜브의 바깥둘레에 배치된 열선과 상기 열선을 포위하여 배치된 단열부재 그리고 상기 열선을 일정한 간격으로 지지하는 열선지지대들을 구비한 구조를 가진다.

그러나, 기존의 히터 어셈블리는 아래와 같은 다양한 문제점을 갖고 있다.

도 1 및 도 2에서와 같이, 열선 지지대(12)는 하나씩 옆으로 끼워 넣는 구조 이기 때문에 조립하는데 많은 시간이 소요될 뿐만 아니라, 열선 지지대(12)들이 측방향(끼우는 방향)으로 손쉽게 빠질 수 있는 단점을 갖고 있다.

그리고, 열선이 단열재에 밀착된 상태로 설치되어 있어, 열선(선팽창계수가 15.*10^-6cm/℃)의 팽창/수축시에 단열재로 인해 외경(바깥)쪽으로 팽창하지 못하고 상하 방향으로 휘어지면서 인접한 열선끼리 쇼트가 발생되는 문제점을 갖고 있다. 또한, 기존에는 열선 지지대와 열선 사이의 틈이 거의 없어서 열선의 팽창시 세라믹 지지대를 밀게되고, 그로 인해 열선이 국부적으로 함몰되는 경우도 발생하고 있다.

그리고, 상기 히터 어셈블리(10)는 초기 온도 승온(150-500℃ 사이)시 열선에 심한 진동과 소음이 발생되는데, 이러한 진동 등으로 인해 열선지지대(12)가 대열에서 측방향으로 빠지게 된다. 또한, 기존의 단열재는 벽돌모양으로 이러한 단열재를 벽을 만들듯이 2겹으로 쌓아서 만들게 되는데, 1100-1275로 온도가 상승할 경우 단열재가 견디지 못하고 떨어지거나 수축 현상으로 단열재들 사이에 틈이 생기게 된다. 이는 온도의 손실을 유발시킬 뿐만 아니라 열선 지지대를 이동시키게 되면서 열선에 변형을 주게 된다.

도 2는 히터 어셈블리의 내부를 보여주는 사진으로, 열선 지지대(12)들이 삐뚤어져서 열선(14)이 휘어지고, 내부 단열부재(16) 마저도 함께 빠져버린 것을 확인할 수 있다. 심한 경우에는 열선끼리 맞닿기도 해서 열선이 단선되는 문제도 발생된다. 또한, 상기 열선지지대(support)가 옆으로 삐뚤어지면서 내부 단열부 재(16)를 옆으로 밀어 단열재의 사이 틈이 벌어져 온도 콘트롤에서 문제가 발생되고 있다. 이러한 문제점들은 히타 어셈블리의 수명을 단축시키는 주요 원인이 된다.

이처럼, 온도센서의 안정적인 고정은 히터의 온도 정밀 제어, 히터의 사용주기, 기판 피막 두께에까지 영향을 미치게 되는 것이다.

본 발명은 이와 같은 종래 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 열선의 수축 팽창을 자유롭게 하여 열선의 휘어짐을 방지할 수 있는 새로운 형태의 열처리 장치의 히터 어셈블리 및 그 제조 방법을 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 온도 균일성을 향상시킬 수 있는 그리고 열손실을 최소화할 수 있는 새로운 형태의 열처리 장치의 히터 어셈블리 및 그 제조 방법을 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 열선을 고정하는 작업성을 향상시킬 수 있는 새로운 형태의 열처리 장치의 히터 어셈블리 및 그 제조 방법을 제공하는데 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 열처리 장치의 히터 어셈블리는 공정튜브의 바깥둘레에 나선형으로 배치되는 발열저항체; 상기 발열저항체가 끼워져 지지되는 지지홈을 갖는 지지부재; 상기 발열저항체를 둘러싸도록 원통형으로 미장시공되어 형성되는 1차 단열층과; 상기 단열층을 둘러싸는 2차 단열층; 및 상기 2차 단열층을 둘러싸는 케이스를 포함한다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 열처리 장치의 히터 어셈블리는 상기 발열저항체의 팽창에 따른 움직임이 자유롭도록, 상기 발열저항체와 상기 1차 단열층 사이에 틈새를 갖는다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 지지부재는 상기 지지홈이 형성된 선단부와; 상기 선단부로부터 연장되는 후단부를 갖고, 상기 1차 단열층에는 상기 지지부재의 후단부가 매몰되어 고정된다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 후단부는 상기 1차 단열층으로부터 빠지거나 움직이는 것을 방지하기 위해 양측으로 돌출된 돌출부를 갖는 T자형으로 이루어진다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 지지부재는 막대형태로 이루어지되; 상기 지지부재의 선단에는 상기 지지홈이 상하 등간격으로 형성되고, 상기 지지부재의 후단에는 양측으로 돌출된 돌출부가 형성되어 있으며, 상기 지지부재의 상단과 후단에는 상기 지지부재가 일렬로 상호 결합되도록 끼움돌기와 끼움홈이 형성된다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 지지홈은 상기 발열저항체가 삽입되는 입구를 갖으며, 상기 발열저항체의 진동, 팽창으로 인한 움직임이 자유롭도록 상기 지지홈의 크기는 상기 발열저항체보다 넓을 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 히터 어셈블리의 제조 방법은 열선을 나선형으로 배치하는 단계; 상기 나선형으로 배치된 상기 열선이 일정한 간격을 유지할 수 있도록 다수의 지지부재를 사용하여 상기 열선을 지지하는 단계; 상기 열선의 둘레를 종이로 감싸 종이층을 만드는 단계; 된죽 상태의 1차 단열재를 상기 종이의 외주면에 일정한 두께로 미장시공하여 1차 단열층을 만드는 단계; 상기 1차 단열재의 외주면을 2차 단열재로 감싸서 2차 단열층을 만드는 단계; 및 상기 2차 단열재의 외주면에 케이스를 씌우는 단계를 포함한다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 히터 어셈블리의 제조 방법은 상기 종이층을 제거하여 상기 열선과 상기 1차 단열층 사이에 틈새를 만드는 단계와, 상기 1차 단열층이 단단하게 굳어지도록 일정온도에서 일정시간동안 건조하는 단계를 더 포함한다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 종이층 제거 단계는 상기 열선을 가열시켜 상기 열선의 온도에 의해 상기 종이를 소각시켜 제거할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 1차 단열층을 만들 때 상기 지지부재의 후단부는 상기 1차 단열층내에 매몰될 수 있다.

이하, 본 발명에 따른 열처리 장치의 히터 어셈블리를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

종래 기술과 비교한 본 발명의 이점은 첨부된 도면을 참조한 상세한 설명과 특허청구범위를 통하여 명백하게 될 것이다. 특히, 본 발명은 특허청구범위에서 잘 지적되고 명백하게 청구된다. 그러나, 본 발명은 첨부된 도면과 관련해서 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 가장 잘 이해될 수 있다. 도면에 있어서 동일한 참조부호는 다양한 도면을 통해서 동일한 구성요소를 나타낸다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 열처리 장치의 히터 어셈블리의 부분 단면 사시도이다. 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 열처리 장치의 히터 어셈블리의 부 분 단면 평면도이다. 도 5는 도 4에 도시된 지지부재를 보여주는 도면이다.

본 발명에 따른 열처리 장치의 히터 어셈블리(100)는 고온 분위기하에서 기판 내에 원하는 도전형의 불순물을 확산시키는 공정을 수행하는 수직형 퍼니스 장치에 사용될 수 있다. 여기서, 퍼니스 장치는 복수의 기판들이 적재되는 보우트가 수용되는 공정튜브를 갖으며, 이 공정튜브 외측에는 히터 어셈블리가 설치되어 공정튜브를 소정 온도로 가열하게 된다.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 히터 어셈블리(100)는 발열저항체(110), 지지부재(130)들, 1차 단열층(140), 2차 단열층(150) 그리고 케이스(160)를 포함한다.

발열저항체(110)는 공정튜브(도 4에 가상선으로 표시됨;200)의 바깥둘레에 배치되며, 발열저항체로서는, Fe Cr Al로 되는 히이터(이하 열선이라고 함)가 사용된다. 이러한 열선(110)을 사용함으로써 공정튜브내를 예를 들면 1200℃정도까지 고온 가열하는 것이 가능하다.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 열선(110)은 공정튜브의 바깥둘레에 나선형으로 배치되는데, 이 열선은 지지부재(130)들에 의해 지지된다. 본 실시예에서는 지지부재(130)들이 45도 간격으로 열선을 지지하도록 설치되어 있으나, 이는 하나의 예에 불과하며, 지지부재들은 30도-15도(12등분-24등분) 간격으로 열선을 지지하도록 설치될 수 있다. 이처럼 지지부재들이 12-24등분 간격으로 열선을 조밀하게 지지할 경우 열선의 휨 등을 방지할 수 있어 열선의 수명을 향상시킬 수 있다.

지지부재(130)는 긴 막대 형상으로 이루어지는데, 지지부재의 상단과 하단에는 끼움돌기(132a)와 끼움홈(132b)이 형성된다. 지지부재(130)들은 끼움돌기(132a) 와 끼움홈(132b) 구조에 의하여 일렬로 상호 결합된다. 끼움돌기와 끼움홈은 더브테일(dove tail) 형상으로 형성됨으로써 지지부재가 전방이나 후방으로 이동되는 것이 방지된다.

지지부재(130)는 열선이 끼워져 지지되는 지지홈(135)이 상하 등간격으로 형성된 선단부(134)와, 양측으로 돌출된 돌출부(136a)가 형성된 후단부(136)를 갖는다. 후단부(136)의 형상은 T자의 형상을 갖는다. 지지부재(130)는 후단부에 돌출부(136a)를 형성함으로써 1차 단열층(140)으로부터 빠지거나 움직이는 것이 방지된다. 특히, 본 발명의 지지부재(130)는 복수의 지지홈(135)들을 갖는 구조이기 때문에, 기존 구조보다 조립성이 뛰어나다. 특히, 지지홈(135)은 공정튜브 방향으로 일부가 개방된 통로(135a)를 갖으며, 열선은 이 통로(135a)를 통해 삽입되어 지지홈(135)내에 놓여진다. 지지홈(135)은 공정튜브 방향으로 일부가 개방된 구조를 갖기 때문에, 열선(110)의 열이 지지부재(130)에 의해 가로막히지 않음으로써 열선의 미세한 온도 변화가 공정튜브로 즉시 전달될 수 있는 각별한 효과를 갖는다. 또한, 공정튜브(200) 방향으로 일부가 개방된 구조를 갖는 지지홈(135)은 완전히 밀폐된 지지홈에 비해 열선의 열변형에 충분히 대처할 수 있는 이점이 있다. 그리고, 지지홈(135)의 입구(135a)는 열선의 직경보다 1.0mm 크게 하여 쉽게 조립이 가능하도록 하였으며, 지지홈의 크기를 열선의 직경보다 크게 하여 열선의 진동,팽창으로 인한 움직임을 자유롭게 보장하여 열선의 열변형에 충분히 대처할 수 있도록 하였다. 지지부재들은 세라믹 소재로 이루어진다.

한편, 지지부재(130)는 1차 단열층(140)에 의해 지지된다. 즉, 지지부재의 후단부는 1차 단열층(120) 내에 위치되어 고정된다.

1차 단열층은 열선(110)을 둘러싸도록 원통형으로 이루어지며, 지지부재(130)의 후단부(136)가 덮여질 수 있는 두께를 갖는다. 1차 단열층(140)과 열선(130) 사이에는 소정 간격(3-5mm)의 틈새(180)가 있으며, 이 틈새(180)는 열선의 팽창에 따른 움직임을 자유롭게 하기 위한 여유 공간으로 활용된다. 한편, 1차 단열층(140)의 소재로는, 예를 들면 세라믹 화이바가 사용된다. 1차 단열층은 세라믹 화이바를 반죽상태로 만들어서 열선 둘레에 일정 두께로 미장한 후 건조시킴으로써 형성된다. 이처럼, 1차 단열층은 블록형태의 단열재를 쌓아서 만드는 것이 아니라 반죽 상태의 세라믹 화이바를 일정두께로 미장하여 건조시켜 형성함으로써, 추후에 고온에서도 단열재의 수축으로 인한 틈새가 발생되지 않아 열손실을 방지할 수 있다. 그리고 지지부재(130)를 보다 견고하게 고정시킬 수 있다.

1차 단열층(140)은 2차 단열층(150)에 의해 감싸진다. 2차 단열층(150)의 소재로는 솜 같은 단열재(예를 들면 유리섬유)가 사용되며, 2차 단열층(150)은 케이스(160)에 의해 감싸진다.

이처럼, 1차 및 2차 단열층(140,150)이 사용함으로써, 열선으로부터의 열량가운데, 복사열 및 전도열로서 빼앗기는 열량을 감소시켜서 공정튜브를 효율성 있게 가열하는 것이 가능하게 된다.

도 6a 내지 도 6f는 본 발명에 따른 히터 어셈블리의 제조 과정을 순차적으로 보여주는 도면들이고, 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 히터 어셈블리의 제조 방법에 대한 플로우 챠트이다.

도 6a 내지 도 6f 그리고 도 7을 참조하여 히터 어셈블리의 제조 과정을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 열선(110)을 나선형으로 형성한다(s12). 이때 열선(110) 안쪽에는 공정튜브가 위치될 만한 공간이 마련되어 진다. 나선형으로 만들어진 열선(110)은 다수의 지지부재(130)의 지지홈(135)에 끼워져 고정된다(도 6a)(s14). 지지부재(130)들에 의해 열선 고정이 완료되면, 열선 둘레를 종이로 감싸 종이층(182)을 만든다(도 6b)(s16). 이 종이층은 열선이 지지부재에 의해 고정되기 전에 미리 만들어질 수 있다. 이 종이층은 나중에 소각하여 제거한다. 종이층(182)의 외주면에는 미리 만들어 놓은 된죽 상태의 세라믹 화이바(1차 단열재)가 일정 두께로 미장되어 1차 단열층(140)이 만들어진다(도 6c)(s18). 이때 1차 단열층(140)의 두께는 최소한 지지부재의 후단부까지 덮일 수 있는 정도가 바람직하다. 이렇게 만들어진 1차 단열층(140)을 단단하게 하기 위해서 150도 정도의 온도에서 4-6시간동안 건조 공정을 거친다. 이 건조 공정은 2차 단열층을 만든 이후에 진행될 수도 있다. 그리고 나서, 1차 단열층 외주면에 2차 단열층(150)을 덮고(도 6d)(s20), 2차 단열층의 외주면에 케이스(160)를 씌운다(도 6e)(s24). 그리고 나서는, 종이층(182)을 소각하여 제거한다(도 6f)(s26). 종이층(182) 소각은 열선에 전기를 공급하여 열선이 가열되면, 그 고온에 의해 종이층이 소각되어 제거되는 것이다. 종이층이 제거되면 열선과 1차단열층 사이에 종이 두께(3-5mm)만큼의 틈새(180)가 만들어진다. 이 틈새(180)는 열선(110)의 온도 승온시 팽창을 소화해 낼 수 있어서 열선의 응력이 없으며, 열선(110)의 움직임이 자유로워서 열선이 바깥쪽으로 팽창되는 것이 가능하 여 열선이 상하 방향으로 휘어지는 것이 방지된다. 특히, 1차 단열층(140)의 단열재는 열선보다 순간 온도의 반응이 늦게 일어나기 때문에, 열선이 1차 단열층(140)에서 떨어져 있으면 온도의 순간적인 변화(온도의 정밀제어)가 가능하다. 여기서, 1차 단열층의 건조 공정은 1차 단열층을 만든 직후 또는 2차 단열층을 만든 직후에 실시하여도 무관하다.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 그리고, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예들은 본 발명을 실시하는데 있어 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명은 열선이 끼워져 지지되는 지지홈들이 복수개가 형성된 길이가 긴 지지부재를 사용함으로써, 기존에 하나의 지지홈을 갖는 지지부재에 비해 그 조립성이 뛰어나다.

또한, 본 발명은 지지홈이 공정튜브 방향으로 일부가 개방된 구조를 갖기 때 문에, 열선의 열이 지지부재에 의해 가로막히지 않음으로써 열선의 미세한 온도 변화가 공정튜브로 즉시 전달될 수 있는 각별한 효과를 갖는다.

또한, 본 발명은 지지홈의 입구가 열선의 직경보다 1.0mm 크게 되어 있어 열선이 쉽게 삽입될 수 있으며, 지지홈의 크기를 열선의 직경보다 크게 하여 열선의 진동,팽창으로 인한 움직임을 자유롭게 보장하여 열선의 열변형에 충분히 대처할 수 있도록 하였다.

또한, 본 발명은 1차 단열층이 세라믹 화이바를 반죽상태로 만들어서 열선 둘레에 일정 두께로 미장한 후 건조시켜 형성함으로써, 공정 진행시 고온에서도 단열재의 수축으로 인한 틈새가 발생되지 않아 열손실을 방지할 수 있다. 그리고 지지부재를 보다 견고하게 고정시킬 수 있다.

또한, 본 발명은 열선과 1차단열층 사이에 종이 두께(3-5mm)만큼의 틈새가 만들어짐으로써, 열선이 바깥쪽으로 팽창되는 것이 가능하여 열선이 상하 방향으로 휘어지는 것이 방지되며, 열선이 1차 단열층에서 떨어져 있으면 온도의 순간적인 변화(온도의 정밀제어)가 가능하다.

Claims (7)

1. 열처리 장치의 히터 어셈블리에 있어서:

   공정튜브의 바깥둘레에 나선형으로 배치되는 발열저항체;

   상기 발열저항체가 끼워져 지지되는 지지홈을 갖는 지지부재;

   상기 발열저항체를 둘러싸도록 원통형으로 미장시공되어 형성되는 1차 단열층과;

   상기 1차 단열층을 둘러싸는 2차 단열층; 및

   상기 2차 단열층을 둘러싸는 케이스를 포함하되;

   상기 지지부재는

   상기 지지홈이 형성된 선단부와; 상기 선단부로부터 연장되고, 상기 1차 단열층에 매몰되어 고정되는 후단부를 갖으며,

   상기 지지부재의 후단부는 상기 1차 단열층으로부터 빠지거나 움직이는 것을 방지하기 위해 양측으로 돌출된 돌출부를 갖는 T자형인 것을 특징으로 하는 열처리 장치의 히터 어셈블리.
2. 열처리 장치의 히터 어셈블리에 있어서:

   공정튜브의 바깥둘레에 나선형으로 배치되는 발열저항체;

   상기 발열저항체가 끼워져 지지되는 지지홈을 갖는 지지부재;

   상기 발열저항체를 둘러싸도록 원통형으로 미장시공되어 형성되는 1차 단열 층과;

   상기 1차 단열층을 둘러싸는 2차 단열층; 및

   상기 2차 단열층을 둘러싸는 케이스를 포함하되;

   상기 지지부재는

   막대형태로 이루어지되;

   상기 지지부재의 선단에는 상기 지지홈이 상하 등간격으로 형성되고, 상기 지지부재의 후단에는 양측으로 돌출된 돌출부가 형성되어 있으며,

   상기 지지부재의 상단과 후단에는 상기 지지부재가 일렬로 상호 결합되도록 끼움돌기와 끼움홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 열처리 장치의 히터 어셈블리.
3. 공정튜브를 가열하기 위한 히터 어셈블리의 제조 방법에 있어서:

   열선을 나선형으로 배치하는 단계;

   상기 나선형으로 배치된 상기 열선이 일정한 간격을 유지할 수 있도록 다수의 지지부재를 사용하여 상기 열선을 지지하는 단계;

   상기 열선의 둘레를 종이로 감싸 종이층을 만드는 단계;

   된죽 상태의 1차 단열재를 상기 종이의 외주면에 일정한 두께로 미장시공하여 1차 단열층을 만드는 단계;

   상기 1차 단열재의 외주면을 2차 단열재로 감싸서 2차 단열층을 만드는 단계;

   상기 2차 단열재의 외주면에 케이스를 씌우는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 히터 어셈블리의 제조 방법.
4. 제3항에 있어서,

   상기 히터 어셈블리의 제조 방법은

   상기 종이층을 제거하여 상기 열선과 상기 1차 단열층 사이에 틈새를 만드는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 히터 어셈블리의 제조 방법.
5. 제4항에 있어서,

   상기 종이층 제거 단계는 상기 열선을 가열시켜 상기 열선의 온도에 의해 상기 종이를 태워 없애는 것을 특징으로 하는 히터 어셈블리의 제조 방법.
6. 제3항에 있어서,

   상기 히터 어셈블리의 제조 방법은

   상기 1차 단열층이 단단하게 굳어지도록 일정온도에서 일정시간동안 건조하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 히터 어셈블리의 제조 방법.
7. 제3항에 있어서,

   상기 1차 단열층을 만들 때 상기 지지부재의 후단부는 상기 1차 단열층내에 매몰되는 것을 특징으로 하는 히터 어셈블리의 제조 방법.

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