JP3371599B2 - 表面波素子の製造方法 - Google Patents
表面波素子の製造方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、基板上に選択的に薄膜
が形成された表面波素子の製造方法に関する。 【０００２】 【従来の技術】例えば温度特性改善等の目的のために、
表面波素子の外部取出し電極以外の部分にＳｉＯ2 薄膜
を選択的に形成する場合、従来、図７に示すように、多
数の表面波素子１０が形成された母基板１１上に、図８
に示すような各表面波素子１０毎に対応する、表面波素
子１０のサイズよりも小さめの四角形の窓２１が多数形
成された母基板１１と同一外形形状のマスク２０を載せ
て、マスク２０の上からＳｉＯ2 をスパッタリングする
ことにより各表面波素子１０の所定の部分に選択的にＳ
ｉＯ2 薄膜５を形成している。 【０００３】従来、母基板１１とマスクとの位置合わせ
は、母基板１１の表面波伝搬方向を示すオリエンテーシ
ョンフラット１１ａにマスク２０の直線部２２を合わ
せ、それぞれの外周部を合せることにより行なわれてい
る。 【０００４】そして、ＳｉＯ2 薄膜形成後、上記母基板
１１をダイサー等により切断して、図９に示すような個
々の表面波素子１０が形成される。 【０００５】図９に示す従来の表面波素子１０は、縦結
合型の表面波共振子フィルタであり、例えばＬｉＴａＯ
3 の基板１上に、２つのＩＤＴ電極２、２が近接して形
成され、ＩＤＴ電極２、２の外側には一対の反射器電極
３、３が形成され、基板１の４つの隅部にはそれぞれの
ＩＤＴ電極２の電極指の接続部からは外部取出し電極４
が引出されて形成されている。そして、外部取出し電極
４が形成された周縁部を除く基板１の中央部には、ＩＤ
Ｔ電極２、２及び反射器電極３、３を覆うようにＳｉＯ
2 薄膜５が形成されている。外部取出し電極４、４には
外部との電気的接続をとるためのボンディングワイヤ等
が接続される。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の表面波素子の製造方法においては、母基板１１とマ
スク２０との位置合わせは、それぞれの外周部を合わせ
て行われるため、個々の素子１０単位でみれば精度の高
い位置決めがなされておらず、マスク２０のずれが生
じ、個々の素子１０上の所定の位置に精度よく薄膜５を
形成するのが困難であった。したがって、従来の表面波
素子の製造方法においては、膜厚の変化する薄膜の周縁
部の位置が所定の位置からずれるために、電気的特性へ
の悪影響、例えば帯域内に大きなリップルが生じる等の
問題があった。また、このような薄膜形成位置の位置ず
れの影響を緩和するために、薄膜形成領域を大きくすれ
ば、表面波素子のサイズを大きくする必要があり、小形
化が困難となり、素子の取れ個数が少なくなり、歩留り
や生産性が悪くなるという問題があった。 【０００７】また、薄膜形成後、薄膜の位置ずれを判別
することは困難であった。 【０００８】そこで、本発明の目的は、表面波素子上に
マスクを用いて薄膜を形成する際、マスクの位置合わせ
の精度を向上することができ、よって、表面波素子上の
所定の位置に精度よく薄膜を形成することができる表面
波素子の製造方法を提供することにある。 【０００９】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、所定の電極を有する表面波素子が複数規
則的に配列されて形成された母基板上に、窓が設けられ
たマスクを配置し、前記マスクの窓を通して、前記電極
の所定の部分を覆うように前記母基板上に選択的に薄膜
を形成した後、前記母基板を切断機により切断し、個々
の表面波素子を切り出す表面波素子の製造方法におい
て、前記母基板上に、前記各表面波素子毎に前記マスク
の窓の辺の一部に対応する位置決め用マークを形成し、
前記位置決め用マークと前記窓の辺とを合せることによ
り、前記母基板と前記マスクとを位置合せすることを特
徴とするものである。 【００１０】 【作用】上記の構成によれば、母基板上に形成された多
数の位置決め用マークとマスクの窓の辺とを合せること
により、母基板とマスクの位置合わせを容易にかつ精度
よく行うことができる。したがって、表面波素子上の所
定の位置に精度よく薄膜を形成することができる。 【００１１】 【実施例】以下、本発明をその実施例を示す図面に基づ
いて説明する。図において、従来例と同一または相当す
る部分、同一機能のものについては同一符号を付す。 【００１２】図１は、本発明の第１実施例に係る表面波
素子の構成を示す平面図である。本実施例において用い
たマスクは従来例の図８に示すものと同じものである。 【００１３】本実施例の表面波素子１０には、ＩＤＴ電
極２、２、反射電極３、３及び４つの外部取出し電極４
の他に、４つの四角形の位置決め用マーク６ａが形成さ
れ、ＳｉＯ2 薄膜５は、位置決め用マーク６ａにマスク
２０の窓２１を合わせて、マスク２０を位置決めして形
成されている。各位置決め用マーク６ａは表面波伝搬方
向と垂直な方向の基板１の対向する端面の近傍に点対称
に形成され、ＳｉＯ2薄膜５の各隅部の外周辺に一致す
るように形成されている。位置決め用マーク６ａ以外の
構成については、従来例の図９に示すものと同様の構成
であり、その説明を省略する。 【００１４】具体的には、この表面波素子１０は、図１
に示す電極パターンの表面波素子１０が多数形成された
母基板（図示せず）上に、図８で示したマスク２０を、
各表面波素子１０の各位置決め用マーク６ａの外側の辺
にマスク２０の窓の辺を合わせて位置決めし、マスク２
０の窓２１を通して、ＳｉＯ2 をスパッタリングするこ
とにより、窓２１に対応する部分にＳｉＯ2 を付着させ
てＳｉＯ2 薄膜５を形成し、ＳｉＯ2 薄膜５形成後、上
記母基板をダイサー等により切断分割して形成される。 【００１５】なお、上記各電極２、３、４、６ａは、基
板１上にＡｌ等の電極材料をスパッタまたは蒸着等の方
法で成膜した後、フォトリソグラフィ技術等によりパタ
ーニングして形成されており、同一電極材料からなって
いる。 【００１６】この構成においては、各表面波素子１０毎
に位置決め用マーク６ａが形成され、位置決め用マーク
６ａの辺とマスク２０の窓２１の辺を合わせることによ
り、マスク２０の位置決めを行うので、母基板とマスク
２０の位置合わせを容易に精度よく行うことができる。
したがって、形成された薄膜５は、個々の表面波素子１
０上の所定の位置に精度よく形成されるので、薄膜５の
位置のずれに起因する特性の悪化が防止され、従来のも
のよりも薄膜形成領域を小さくすることもでき、小形で
良好な特性の表面波素子を得ることができる。 【００１７】さらに、位置決め用マーク６ａは、薄膜５
形成後の薄膜の位置ずれの確認にも利用することができ
る。つまり、位置決め用マーク６ａの薄膜５からの露出
度合いを顕微鏡（拡大鏡）等により容易に確認すること
ができる。また、薄膜５は絶縁体であり、位置決め用マ
ークと外部取出し電極とを導通して形成すれば、各位置
決め用マークの外周辺の近傍にプローブピン等をあて、
外部取出し電極との導通を測定することで薄膜の位置ず
れを電気的に自動判別することもできる。 【００１８】図２は本発明の第２実施例に係る表面波素
子の構成を示す平面図である。図３は本実施例において
用いたマスクの平面図である。 【００１９】本実施例の表面波素子１０には、第１実施
例に示す位置決め用マーク６ａの他に、さらに２つの四
角形の位置決め用マーク６ｂ形成されている。位置決め
用マーク６ｂ、６ｂは反射器電極３、３の外側に線対称
に形成され、表面波伝搬方向と垂直な方向の寸法は反射
器電極３の寸法と略同寸法に設定され、反射器電極３を
透過した反射波の位相が乱れないように表面波伝搬路幅
を完全に跨ぐように形成されている。 【００２０】また、図３に示すように、本実施例に用い
るマスク２０の各窓２１には、上記位置決め用マーク６
ｂに対応する形状の凸部２１ａが形成されている。 【００２１】本実施例のＳｉＯ2 薄膜５は、図２に示す
電極構成の表面波素子１０が多数形成された母基板上
に、図３に示すマスク２０を、各表面波素子１０の各位
置決め用マーク６ａ、６ｂの外側の辺に窓２１の周辺を
合致させて位置決めし、ＳｉＯ2 をスパッタリングする
ことにより形成される。 【００２２】この構成においては、母基板上には位置決
め用マーク６ａの他に、位置決め用マーク６ｂが形成さ
れ、位置決め用マーク６ｂに合致するように窓２１の凸
部２１ａを合わせることにより、マスクの位置決めを行
うので、母基板とマスクの位置合わせを、より容易に精
度よく行うことができる。 【００２３】また、この構成により形成された薄膜５の
外周辺は凹凸状に形成されるので、薄膜５の応力が分散
し、基板１のクラック等の発生を低減する効果もある。 【００２４】なお、本実施例においては、位置決め用マ
ーク６ａは必ずしも必要ではない。また、本実施例のよ
うに、位置決め用マークが表面波の伝搬路にある場合
は、位置決め用マークは伝搬路を跨ぐように形成する必
要があり、反射器電極との距離及び表面波伝搬方向の幅
は、位置決め用マークによる反射波と反射器電極での反
射波との位相が同位相となるように設定することが望ま
しい。 【００２５】上記各実施例において用いられたマスクの
窓は個々の表面波素子毎に対応して形成されているが、
図４に示すように、マスク２０の窓２１は表面波伝搬方
向と垂直な方向において複数の表面波素子に跨がって形
成されたものでもよく、また、図示しないが表面波伝搬
方向において複数の表面波素子に跨がって形成されたも
のでもよい。 【００２６】図５及び図６に示す表面波素子１０は、図
４に示すマスク２０を用いて薄膜５を形成したものであ
り、表面波伝搬方向と垂直な方向の端面間に亘って薄膜
５が形成され、薄膜５形成領域の４つの隅部には位置決
め用マーク６ａが、表面波伝搬方向における薄膜５形成
領域の略中央部の両側には位置決め用マーク６ｂが形成
されている。なお、図６に示す表面波素子１０は、ＩＤ
Ｔ電極２、２、反射器電極３、３で構成される１段の縦
結合型共振子フィルタを３段縦続接続した表面波共振子
フィルタである。 【００２７】なお、上記各実施例では位置決め用マーク
の形状は四角形のもので説明したが、これに限るもので
はなく、三角形等の他の形状としてもよい。また、位置
決め用マークと他の各電極とは別の材料であってもよ
い。 【００２８】また、上記各実施例では圧電基板上に形成
された反射器電極及びＩＤＴ電極を覆うようにＳｉＯ2
薄膜を形成した縦結合型共振子フィルタで説明したが、
基板の種類、薄膜の種類、表面波素子を構成する電極の
構成等は、これに限るものではなく、基板及び薄膜は圧
電性または他の絶縁性のものでもよく、表面波素子を構
成する電極としては、１つのＩＤＴ電極のみで構成され
たものでもよい。 【００２９】例えば、ガラス等の絶縁基板上にＩＤＴ電
極等を形成し、この電極上に、ＺｎＯ等の圧電性薄膜を
選択的に形成する場合、あるいは、サファイア基板の全
面にＺｎＯ薄膜を形成した基板上にＩＤＴ電極等を形成
し、この電極上に、特性改善または電極保護のために絶
縁性または圧電性の薄膜を選択的に形成する場合にも本
発明を適用できる。 【００３０】 【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
母基板上に多数の位置決め用マークが形成され、この位
置決め用マークに合せてマスクの窓を位置決めするの
で、母基板とマスクの位置合わせを容易にかつ精度よく
行うことができ、表面波素子上の所定の位置に精度よく
薄膜を形成することができる。 【００３１】したがって、薄膜の位置のずれに起因する
特性の悪化が防止され、従来のものよりも薄膜形成領域
を小さくすることもでき、小形で良好な特性の表面波素
子を得ることができる。 【００３２】また、位置決め用マークにより、薄膜の位
置ずれの確認をも容易に行うことができる。
が形成された表面波素子の製造方法に関する。 【０００２】 【従来の技術】例えば温度特性改善等の目的のために、
表面波素子の外部取出し電極以外の部分にＳｉＯ2 薄膜
を選択的に形成する場合、従来、図７に示すように、多
数の表面波素子１０が形成された母基板１１上に、図８
に示すような各表面波素子１０毎に対応する、表面波素
子１０のサイズよりも小さめの四角形の窓２１が多数形
成された母基板１１と同一外形形状のマスク２０を載せ
て、マスク２０の上からＳｉＯ2 をスパッタリングする
ことにより各表面波素子１０の所定の部分に選択的にＳ
ｉＯ2 薄膜５を形成している。 【０００３】従来、母基板１１とマスクとの位置合わせ
は、母基板１１の表面波伝搬方向を示すオリエンテーシ
ョンフラット１１ａにマスク２０の直線部２２を合わ
せ、それぞれの外周部を合せることにより行なわれてい
る。 【０００４】そして、ＳｉＯ2 薄膜形成後、上記母基板
１１をダイサー等により切断して、図９に示すような個
々の表面波素子１０が形成される。 【０００５】図９に示す従来の表面波素子１０は、縦結
合型の表面波共振子フィルタであり、例えばＬｉＴａＯ
3 の基板１上に、２つのＩＤＴ電極２、２が近接して形
成され、ＩＤＴ電極２、２の外側には一対の反射器電極
３、３が形成され、基板１の４つの隅部にはそれぞれの
ＩＤＴ電極２の電極指の接続部からは外部取出し電極４
が引出されて形成されている。そして、外部取出し電極
４が形成された周縁部を除く基板１の中央部には、ＩＤ
Ｔ電極２、２及び反射器電極３、３を覆うようにＳｉＯ
2 薄膜５が形成されている。外部取出し電極４、４には
外部との電気的接続をとるためのボンディングワイヤ等
が接続される。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の表面波素子の製造方法においては、母基板１１とマ
スク２０との位置合わせは、それぞれの外周部を合わせ
て行われるため、個々の素子１０単位でみれば精度の高
い位置決めがなされておらず、マスク２０のずれが生
じ、個々の素子１０上の所定の位置に精度よく薄膜５を
形成するのが困難であった。したがって、従来の表面波
素子の製造方法においては、膜厚の変化する薄膜の周縁
部の位置が所定の位置からずれるために、電気的特性へ
の悪影響、例えば帯域内に大きなリップルが生じる等の
問題があった。また、このような薄膜形成位置の位置ず
れの影響を緩和するために、薄膜形成領域を大きくすれ
ば、表面波素子のサイズを大きくする必要があり、小形
化が困難となり、素子の取れ個数が少なくなり、歩留り
や生産性が悪くなるという問題があった。 【０００７】また、薄膜形成後、薄膜の位置ずれを判別
することは困難であった。 【０００８】そこで、本発明の目的は、表面波素子上に
マスクを用いて薄膜を形成する際、マスクの位置合わせ
の精度を向上することができ、よって、表面波素子上の
所定の位置に精度よく薄膜を形成することができる表面
波素子の製造方法を提供することにある。 【０００９】 【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、所定の電極を有する表面波素子が複数規
則的に配列されて形成された母基板上に、窓が設けられ
たマスクを配置し、前記マスクの窓を通して、前記電極
の所定の部分を覆うように前記母基板上に選択的に薄膜
を形成した後、前記母基板を切断機により切断し、個々
の表面波素子を切り出す表面波素子の製造方法におい
て、前記母基板上に、前記各表面波素子毎に前記マスク
の窓の辺の一部に対応する位置決め用マークを形成し、
前記位置決め用マークと前記窓の辺とを合せることによ
り、前記母基板と前記マスクとを位置合せすることを特
徴とするものである。 【００１０】 【作用】上記の構成によれば、母基板上に形成された多
数の位置決め用マークとマスクの窓の辺とを合せること
により、母基板とマスクの位置合わせを容易にかつ精度
よく行うことができる。したがって、表面波素子上の所
定の位置に精度よく薄膜を形成することができる。 【００１１】 【実施例】以下、本発明をその実施例を示す図面に基づ
いて説明する。図において、従来例と同一または相当す
る部分、同一機能のものについては同一符号を付す。 【００１２】図１は、本発明の第１実施例に係る表面波
素子の構成を示す平面図である。本実施例において用い
たマスクは従来例の図８に示すものと同じものである。 【００１３】本実施例の表面波素子１０には、ＩＤＴ電
極２、２、反射電極３、３及び４つの外部取出し電極４
の他に、４つの四角形の位置決め用マーク６ａが形成さ
れ、ＳｉＯ2 薄膜５は、位置決め用マーク６ａにマスク
２０の窓２１を合わせて、マスク２０を位置決めして形
成されている。各位置決め用マーク６ａは表面波伝搬方
向と垂直な方向の基板１の対向する端面の近傍に点対称
に形成され、ＳｉＯ2薄膜５の各隅部の外周辺に一致す
るように形成されている。位置決め用マーク６ａ以外の
構成については、従来例の図９に示すものと同様の構成
であり、その説明を省略する。 【００１４】具体的には、この表面波素子１０は、図１
に示す電極パターンの表面波素子１０が多数形成された
母基板（図示せず）上に、図８で示したマスク２０を、
各表面波素子１０の各位置決め用マーク６ａの外側の辺
にマスク２０の窓の辺を合わせて位置決めし、マスク２
０の窓２１を通して、ＳｉＯ2 をスパッタリングするこ
とにより、窓２１に対応する部分にＳｉＯ2 を付着させ
てＳｉＯ2 薄膜５を形成し、ＳｉＯ2 薄膜５形成後、上
記母基板をダイサー等により切断分割して形成される。 【００１５】なお、上記各電極２、３、４、６ａは、基
板１上にＡｌ等の電極材料をスパッタまたは蒸着等の方
法で成膜した後、フォトリソグラフィ技術等によりパタ
ーニングして形成されており、同一電極材料からなって
いる。 【００１６】この構成においては、各表面波素子１０毎
に位置決め用マーク６ａが形成され、位置決め用マーク
６ａの辺とマスク２０の窓２１の辺を合わせることによ
り、マスク２０の位置決めを行うので、母基板とマスク
２０の位置合わせを容易に精度よく行うことができる。
したがって、形成された薄膜５は、個々の表面波素子１
０上の所定の位置に精度よく形成されるので、薄膜５の
位置のずれに起因する特性の悪化が防止され、従来のも
のよりも薄膜形成領域を小さくすることもでき、小形で
良好な特性の表面波素子を得ることができる。 【００１７】さらに、位置決め用マーク６ａは、薄膜５
形成後の薄膜の位置ずれの確認にも利用することができ
る。つまり、位置決め用マーク６ａの薄膜５からの露出
度合いを顕微鏡（拡大鏡）等により容易に確認すること
ができる。また、薄膜５は絶縁体であり、位置決め用マ
ークと外部取出し電極とを導通して形成すれば、各位置
決め用マークの外周辺の近傍にプローブピン等をあて、
外部取出し電極との導通を測定することで薄膜の位置ず
れを電気的に自動判別することもできる。 【００１８】図２は本発明の第２実施例に係る表面波素
子の構成を示す平面図である。図３は本実施例において
用いたマスクの平面図である。 【００１９】本実施例の表面波素子１０には、第１実施
例に示す位置決め用マーク６ａの他に、さらに２つの四
角形の位置決め用マーク６ｂ形成されている。位置決め
用マーク６ｂ、６ｂは反射器電極３、３の外側に線対称
に形成され、表面波伝搬方向と垂直な方向の寸法は反射
器電極３の寸法と略同寸法に設定され、反射器電極３を
透過した反射波の位相が乱れないように表面波伝搬路幅
を完全に跨ぐように形成されている。 【００２０】また、図３に示すように、本実施例に用い
るマスク２０の各窓２１には、上記位置決め用マーク６
ｂに対応する形状の凸部２１ａが形成されている。 【００２１】本実施例のＳｉＯ2 薄膜５は、図２に示す
電極構成の表面波素子１０が多数形成された母基板上
に、図３に示すマスク２０を、各表面波素子１０の各位
置決め用マーク６ａ、６ｂの外側の辺に窓２１の周辺を
合致させて位置決めし、ＳｉＯ2 をスパッタリングする
ことにより形成される。 【００２２】この構成においては、母基板上には位置決
め用マーク６ａの他に、位置決め用マーク６ｂが形成さ
れ、位置決め用マーク６ｂに合致するように窓２１の凸
部２１ａを合わせることにより、マスクの位置決めを行
うので、母基板とマスクの位置合わせを、より容易に精
度よく行うことができる。 【００２３】また、この構成により形成された薄膜５の
外周辺は凹凸状に形成されるので、薄膜５の応力が分散
し、基板１のクラック等の発生を低減する効果もある。 【００２４】なお、本実施例においては、位置決め用マ
ーク６ａは必ずしも必要ではない。また、本実施例のよ
うに、位置決め用マークが表面波の伝搬路にある場合
は、位置決め用マークは伝搬路を跨ぐように形成する必
要があり、反射器電極との距離及び表面波伝搬方向の幅
は、位置決め用マークによる反射波と反射器電極での反
射波との位相が同位相となるように設定することが望ま
しい。 【００２５】上記各実施例において用いられたマスクの
窓は個々の表面波素子毎に対応して形成されているが、
図４に示すように、マスク２０の窓２１は表面波伝搬方
向と垂直な方向において複数の表面波素子に跨がって形
成されたものでもよく、また、図示しないが表面波伝搬
方向において複数の表面波素子に跨がって形成されたも
のでもよい。 【００２６】図５及び図６に示す表面波素子１０は、図
４に示すマスク２０を用いて薄膜５を形成したものであ
り、表面波伝搬方向と垂直な方向の端面間に亘って薄膜
５が形成され、薄膜５形成領域の４つの隅部には位置決
め用マーク６ａが、表面波伝搬方向における薄膜５形成
領域の略中央部の両側には位置決め用マーク６ｂが形成
されている。なお、図６に示す表面波素子１０は、ＩＤ
Ｔ電極２、２、反射器電極３、３で構成される１段の縦
結合型共振子フィルタを３段縦続接続した表面波共振子
フィルタである。 【００２７】なお、上記各実施例では位置決め用マーク
の形状は四角形のもので説明したが、これに限るもので
はなく、三角形等の他の形状としてもよい。また、位置
決め用マークと他の各電極とは別の材料であってもよ
い。 【００２８】また、上記各実施例では圧電基板上に形成
された反射器電極及びＩＤＴ電極を覆うようにＳｉＯ2
薄膜を形成した縦結合型共振子フィルタで説明したが、
基板の種類、薄膜の種類、表面波素子を構成する電極の
構成等は、これに限るものではなく、基板及び薄膜は圧
電性または他の絶縁性のものでもよく、表面波素子を構
成する電極としては、１つのＩＤＴ電極のみで構成され
たものでもよい。 【００２９】例えば、ガラス等の絶縁基板上にＩＤＴ電
極等を形成し、この電極上に、ＺｎＯ等の圧電性薄膜を
選択的に形成する場合、あるいは、サファイア基板の全
面にＺｎＯ薄膜を形成した基板上にＩＤＴ電極等を形成
し、この電極上に、特性改善または電極保護のために絶
縁性または圧電性の薄膜を選択的に形成する場合にも本
発明を適用できる。 【００３０】 【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
母基板上に多数の位置決め用マークが形成され、この位
置決め用マークに合せてマスクの窓を位置決めするの
で、母基板とマスクの位置合わせを容易にかつ精度よく
行うことができ、表面波素子上の所定の位置に精度よく
薄膜を形成することができる。 【００３１】したがって、薄膜の位置のずれに起因する
特性の悪化が防止され、従来のものよりも薄膜形成領域
を小さくすることもでき、小形で良好な特性の表面波素
子を得ることができる。 【００３２】また、位置決め用マークにより、薄膜の位
置ずれの確認をも容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例に係る表面波素子の平面図
である。 【図２】本発明の第２実施例に係る表面波素子の平面図
である。 【図３】本発明の第２実施例に係るマスクの平面図であ
る。 【図４】本発明の他の実施例に係るマスクの平面図であ
る。 【図５】本発明の他の実施例に係る表面波素子の平面図
である。 【図６】本発明の他の実施例に係る表面波素子の平面図
である。 【図７】本発明及び従来の表面波素子が多数形成された
母基板の平面図である。 【図８】本発明の第１実施例及び従来のマスクの平面図
である。 【図９】従来の表面波素子の平面図である。 【符号の説明】 １ 基板 ２ ＩＤＴ電極 ３ 反射器電極 ４ 外部取出し電極 ５ 薄膜 ６ａ，６ｂ 位置決め用マーク １０ 表面波素子 １１ 母基板 ２０ マスク ２１ 窓 ２１ａ 凸部
である。 【図２】本発明の第２実施例に係る表面波素子の平面図
である。 【図３】本発明の第２実施例に係るマスクの平面図であ
る。 【図４】本発明の他の実施例に係るマスクの平面図であ
る。 【図５】本発明の他の実施例に係る表面波素子の平面図
である。 【図６】本発明の他の実施例に係る表面波素子の平面図
である。 【図７】本発明及び従来の表面波素子が多数形成された
母基板の平面図である。 【図８】本発明の第１実施例及び従来のマスクの平面図
である。 【図９】従来の表面波素子の平面図である。 【符号の説明】 １ 基板 ２ ＩＤＴ電極 ３ 反射器電極 ４ 外部取出し電極 ５ 薄膜 ６ａ，６ｂ 位置決め用マーク １０ 表面波素子 １１ 母基板 ２０ マスク ２１ 窓 ２１ａ 凸部
─────────────────────────────────────────────────────
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(56)参考文献 特開 平４−150404（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−211908（ＪＰ，Ａ)
特開 平１−231512（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−302610（ＪＰ，Ａ)
特開 昭62−263709（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−87863（ＪＰ，Ａ)
特開 昭57−147312（ＪＰ，Ａ)
特開 昭59−54225（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−271109（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−13837（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H03H 3/08
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 所定の電極を有する表面波素子が複数規
則的に配列されて形成された母基板上に、窓が設けられ
たマスクを配置し、前記マスクの窓を通して、前記電極
の所定の部分を覆うように前記母基板上に選択的に薄膜
を形成した後、前記母基板を切断機により切断し、個々
の表面波素子を切り出す表面波素子の製造方法におい
て、 前記母基板上に、前記各表面波素子毎に前記マスクの窓
の辺の一部に対応する位置決め用マークを形成し、前記
位置決め用マークと前記窓の辺とを合せることにより、
前記母基板と前記マスクとを位置合せすることを特徴と
する表面波素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06643095A JP3371599B2 (ja) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 表面波素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06643095A JP3371599B2 (ja) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 表面波素子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08265077A JPH08265077A (ja) | 1996-10-11 |
| JP3371599B2 true JP3371599B2 (ja) | 2003-01-27 |
Family
ID=13315564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06643095A Expired - Fee Related JP3371599B2 (ja) | 1995-03-24 | 1995-03-24 | 表面波素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3371599B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6575197B2 (ja) * | 2015-07-23 | 2019-09-18 | 株式会社デンソー | 弾性表面波素子 |
-
1995
- 1995-03-24 JP JP06643095A patent/JP3371599B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08265077A (ja) | 1996-10-11 |
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