JP3347917B2 - リリーフ弁 - Google Patents

リリーフ弁

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JP3347917B2
JP3347917B2 JP14803795A JP14803795A JP3347917B2 JP 3347917 B2 JP3347917 B2 JP 3347917B2 JP 14803795 A JP14803795 A JP 14803795A JP 14803795 A JP14803795 A JP 14803795A JP 3347917 B2 JP3347917 B2 JP 3347917B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は主に水道水や清水を作動
流体として使用する水圧駆動装置に使用するリリーフ弁
に関するものである。
【0002】
【従来技術】従来、高速且つ大動力のアクチュエータを
駆動する駆動源として、主に作動流体に鉱物油を用いる
油圧駆動装置が使用されてきた。しかしながら、作動流
体が鉱物油である油圧駆動装置の欠点は、鉱物油が燃焼
することによる火災の危険があること、鉱物油の漏れに
より環境の汚染が発生する恐れがあること、更に作動流
体の交換の際に鉱物油の廃液処理が必要になる等の問題
がある。特に延焼に際し大きな危険性を抱えていること
は明らかであり、防火性が重視される場所では、高含水
流体が用いられるようになっている。
【0003】この高含水流体は95%が水であるから火
災の問題はないが、廃液処理の問題は依然として残る。
現在技術に要望される自然環境との調和を重視すると、
水は自然環境と完全に融和する流体であることから、こ
の水を作動流体とする水圧駆動装置が要望されている。
この水圧駆動装置の開発には水圧回路の最高圧力を設定
して、回路の圧力を一定に保つリリーフ弁の開発が不可
欠である。このリリーフ弁には直動形とバランスピスト
ン形があるが、リリーフ性能の良いバランスピストン形
の開発が望まれる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来鉱物油を作動流体
とするバランスピストン形のリリーフ弁のパイロット部
は、通油路を形成した弁座と該弁座にバネ圧で当接し該
通油路を閉鎖するポペット弁を具備し、該通油路を通る
作動流体油の油圧により該ポペット弁を弁座より離間さ
せるように構成している。そして圧力調整のためにこの
バネ圧を手動で調整するように構成されている。そのた
め遠隔操作が困難であった。また、このバネ圧の調整を
電磁ソレノイドを使用して行なうものもあるが、リリー
フ弁の大型化に伴い応答が遅くなるという問題があっ
た。
【0005】また、従来のリリーフ弁は静特性が悪い、
即ち流量変化に伴い設定値に対する圧力の変化が大きい
という問題があり、圧力オーバライドの改善されたリリ
ーフ弁の開発が要望されていた。
【0006】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、遠隔操作が容易でパイロット部の応答が速く、且つ
圧力オーバライドの改善されたリリーフ弁を提供するこ
とを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項1に記載の発明は、主弁を有する主弁部及びポペ
ット弁を有するパイロット部を具備し、作動流体である
作動液の液圧により前記ポペット弁が開くことにより、
前記主弁が弁座より離間し、該主弁と弁座の隙間から作
動液が流出し、該作動液の圧力が所定の一定圧力になる
ようにするバランスピストン形のリリーフ弁において、
パイロット部は並設した第1のパイロット部と第2のパ
イロット部からなり、第1のパイロット部は前記ポペッ
ト弁が当接する弁座を具備し、該ポペット弁と弁座の間
隙を調整する手段として圧電素子を設け、該圧電素子に
印加する電圧を制御する制御手段と、作動液の液圧を検
出する液圧センサを設け、制御手段は、圧力/電圧変換
器、加算器、演算回路、増幅器及び操作部を具備し、該
加算器で該操作部で設定された設定液圧と前記液圧セン
サで検出され該圧力/電圧変換器で変換された検出液圧
との偏差を求め、演算回路で該検出液圧が所定の設定液
圧以下であったらポペット弁を前記弁座に当接させ該弁
座に形成した通液路を閉じ、該検出液圧が該設定液圧を
越えたら偏差に応じた電圧を増幅器を介して圧電素子に
印加し、該ポペット弁を該弁座の間隙を調整するように
構成し、第2のパイロット部はポペット弁と通液路が形
成された弁座を具備し、バネ圧で該ポペット弁を該弁座
に当接させ該通液路を閉鎖すると共に、作動液の圧力に
より該バネ圧に抗して該ポペット弁を該弁座から離間さ
せるように構成し、第2のパイロット部のバネ圧による
圧力設定値を第1のパイロット部の操作部で設定した設
定液圧値より大きくしたことを特徴とする。
【0008】
【0009】
【0010】
【0011】
【0012】
【作用】請求項1の発明によれば、制御手段は作動液の
圧力が所定の設定値以下であったらポペット弁を弁座に
当接させ通液路を閉じ、圧力が該設定値を越えたらポペ
ット弁と弁座の間隙を調整し、該間隙を通して作動液を
通液路に流すようにし、この通液量が所定量を越えると
主弁が動作して作動液を流出する。圧電素子は応答が速
く、圧力変動に素速く応答できるから、流量変動に対す
る圧力変動が小さくなる。即ち、圧力オーバライドが改
善される。また、第2のパイロット部のバネ圧による圧
力設定値を第1のパイロット部の設定液圧値より所定値
大きく設定することにより、第2のパイロット部は第1
のパイロット部が動作しない場合のバックアップとして
動作するから、安全性が向上する。
【0013】
【0014】
【0015】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図1は本発明に係るリリーフ弁の構造を示す断面
図である。なお、本実施例では作動流体として水を用い
る例を説明するが、作動流体は水に限定されるものでは
なく、飽和蒸気圧及び粘性が水に近い液体でもよい。図
1に示すように、水圧リリーフ弁は主弁部Aと第1のパ
イロット部C、第2のパイロット部B及び制御部Dとを
具備する。
【0016】主弁部Aはケーシング10、主弁11及び
弁座12を具備している。弁座12はケーシング10に
設けられた穴に固定され、主弁11はケーシング10に
設けられた穴中をウエアリング(軸受)13で支持さ
れ、所定のストロークで上下動できるようになってい
る。
【0017】また、主弁11の上部と第2のパイロット
部Bのケーシング30の間にはコイル状のスプリング1
4が配設され、該スプリング14の弾発力により主弁1
1は弁座12に向かって付勢されている。なお、15は
ケーシング10の内面と主弁11の外周面の間の気密を
保持するパッキンである。
【0018】第2のパイロット部Bは図3に示すよう
に、ケーシング30、ポペット弁31、弁座32、絞り
部材33、押え部材34、押え部材35を具備する。弁
座32は間に絞り部材33を介在して押え部材34で固
定される。また、ポペット弁31と押え部材35の間に
はコイル状のスプリング36が配設され、該スプリング
36の弾発力によりポペット弁31は弁座32に向かっ
て付勢されている。
【0019】また、スプリング36の反ポペット弁31
側の端部にはバネ座38が配設され、該バネ座38は軸
37を回転させることにより、押え部材35に設けられ
た穴内を進退し、スプリング36がポペット弁31に加
える弾発力を調整できるようになっている。なお、図示
は省略するが、通常軸37の端部には設定用ハンドルが
取り付けられている。ポペット弁31は一端がケーシン
グ10に固定された板バネ39で支持されている。
【0020】第1のパイロット部Cは図2に示すよう
に、ケーシング50、ポペット弁51、弁座52、ポペ
ット弁押し部材53、弁座支持部材54、圧電素子5
7、圧電素子支持部材55を具備する。弁座52の先端
中心部には通水穴52aが形成され、該通水穴52aに
ポペット弁押し部材53の先端部が進退自在に挿入され
ている。該ポペット弁押し部材53の後端は圧電素子5
7の先端に固定され、該圧電素子57の後端はケーシン
グ50の端部に固定された圧電素子支持部材55に固定
されている。また、ポペット弁51は弁座支持部材54
の中央部に形成された穴に進退自在に収納され、スプリ
ング56の弾発力で弁座52に向かって付勢されてい
る。
【0021】主弁部Aのケーシング10の反第2のパイ
ロット部B側には板材70が設けられ、該板材70を貫
通して弁座12の中央部を貫通する通水穴16が設けら
れている。該通水穴16は主弁11の中央部に軸方向に
配設された多段絞り部材18に設けた通水穴に連通し、
主弁11の後端に形成された2次圧室17に連通してい
る。
【0022】図4は主弁11及び多段絞り部材18の構
造を示す図である。同図(a)は全体の断面図、同図
(b)は多段絞り部材18のA−A断面図、同図(c)
は多段絞り部材18のB−B断面図、同図(d)は多段
絞り部材18のC−C断面図である。
【0023】主弁11の先端(図では下端)には後に詳
述する2段形絞りFを構成するための、鍔11aと鍔1
1bが所定の間隔を設けて形成され、後端(図では上
端)にはスプリング14の端部が挿入される凹部11d
が形成されている。主弁11の中央部に軸方向に設けら
れた多段絞り部材18は3段の絞り部材18−1、18
−2、18−3からなる。絞り部材18−1には中心部
に1個の通水穴18−1aが形成され、絞り部材18−
2には中心部に1個の通水穴18−2aが形成され、絞
り部材18−3には中心から外れた位置に1個の通水穴
18−3aが形成されている。各通水穴の断面積は、
(通水穴18−1aの断面積)>(通水穴18−2aの
断面積)>(通水穴18−3aの断面積)とする。
【0024】また、絞部材18−3と絞り部材18−2
の間には2次圧室20が設けられている。前記弁座12
の通水穴16は主弁11の先端中央に形成された通水穴
19に連通し、該通水穴19は絞り部材18−3の通水
穴18−3aに連通し、該通水穴18−3aは2次圧室
20に連通し、該2次圧室20は絞り部材18−2の通
水穴18−2aに連通し、該通水穴18−2aは絞り部
材18−1の通水穴18−1aに連通している。そして
該通水穴18−1aは上記2次圧室17に連通してい
る。
【0025】上記主弁部Aのケーシング10に設けられ
た2次圧室17は図3に示す第2のパイロット部Bのケ
ーシング30に形成された通水穴40に連通し、該通水
穴40は押え部材34の外周に形成された通水穴34a
に連通し、該通水穴34aは押え部材34の中央部に形
成された通水穴34bに連通している。該通水穴34b
は絞り部材33の中央部に形成された通水穴33aに連
通し、該通水穴33aは弁座32の中央部に形成された
通水穴32aに連通している。また、ケーシング30に
はポペット弁31が収容される通水室41と該通水室4
1に連通する通水穴42が形成されている。
【0026】また、第2のパイロット部Bの通水穴34
aはこれに連通する通水穴43を通して、図2に示す第
1のパイロット部Cのケーシング50に形成された通水
穴58に連通する。該通水穴58はポペット弁51及び
弁座52が収容される通水室59に連通する。弁座52
の先端中心部に形成された通水穴52aはポペット弁押
し部材53が収容される通水室60に連通し、該通水室
60は通水穴61、62と連通する。更に該通水穴62
は前記第2のパイロット部Bの通水穴44に連通する。
【0027】また、第2のパイロット部Bの通水穴42
は主弁部Aのケーシング10に連続して形成された通水
穴21、22、23、24に連通している。通水穴23
は主弁11の先端と弁座12の先端の間に形成される2
段形絞りFに連通するようになっており、通水穴24は
水タンクに連通するようになっている。
【0028】図5は上記2段形絞りFの構造を示す図で
ある。図示するように、本2段形絞りFは主弁11の先
端(図では下端)に鍔11bと鍔11aを所定の間隔を
設けて形成している。一方弁座12の先端(図では上
端)には円筒突起部12aを形成している。鍔11bの
外径は円筒突起部12aの外径より小さく内径より大き
く形成され、鍔11bと鍔11aの間に位置する部分1
1cの外径は円筒突起部12aの内径より小さく形成し
ている。
【0029】図5は主弁11が弁座12から離間した状
態を示し、主弁11が弁座12に突接した状態では、鍔
11bの下面は円筒突起部12aの上面に当接して、通
水穴16に連通する円筒突起部12a内の通水室12b
を閉鎖する。主弁11が弁座12から離間した状態では
弁座12と鍔11aの間に絞り部eを形成し、鍔11b
の下面は円筒突起部12aの上面の間に絞り部fを形成
する。通水穴16からの高圧水は絞り部e、円筒突起部
12a内の通水室12b、絞り部f、主弁11及び円筒
突起部12aの外周部に形成された通水室10aを通っ
て段階的に降圧し、通水穴24へと流れる。
【0030】上記構造の水圧リリーフ弁において、主弁
部Aの弁座12の通水穴16は水圧ポンプ等の高圧水に
連通している。該通水穴16には水圧を検出する圧力セ
ンサ80が設けられており、該圧力センサの出力は信号
線81を通って制御部Dに入力され、制御部Dからの出
力である圧電素子57の駆動電圧は信号線82を通って
圧電素子57に印加されるようになっている。
【0031】上記構造の水圧リリーフ弁において、通水
穴16の高圧水は主弁11の通水穴19、多段絞り部材
18の絞り部材18−3の通水穴18−3a、2次圧室
20、絞り部材18−2の通水穴18−2a、絞り部材
18−1の通水穴18−1aと流れ、第2のパイロット
部Bの通水穴40、通水穴34a、通水穴43を通り、
更に第1のパイロット部Cの通水穴58を通って、通水
室59に流入する。
【0032】ここで、後に詳述するように、通水穴16
の圧力が設定値以下、即ち圧力センサ80で検出された
値が設定値以下であれば、制御部Dから圧電素子57に
駆動電圧は出力されないようになっている。この状態で
ポペット弁押し部材53の先端は弁座52から突出しな
いようになっており、ポペット弁51はスプリング56
の弾発力に押されて通水穴52aを閉鎖している。従っ
て、2次圧室17の水圧は通水穴16の水圧と同圧とな
り、主弁11はスプリング14の弾発力に押され、主弁
11の先端部と弁座12の間に設けられた2段形絞りF
を閉じるから、通水穴16の高圧水は通水穴23に流れ
ない。
【0033】通水穴16の圧力が上昇し、圧力センサ8
0の出力が設定値を越えれば、その偏差値に比例する駆
動電圧が制御部Dから出力され、圧電素子57に印加さ
れる。これにより圧電素子57は印加される駆動電圧に
応じて伸び、ポペット弁押し部材53を押すから、ポペ
ット弁51はその伸びる分弁座52から離間する。この
ポペット弁51と弁座52の間の間隙を通って、水は通
水穴52aに流れ、通水室60、通水穴61、62、4
4、通水室41、通水穴42、通水穴21、22、2
3、24と流れる。これにより、通水穴16の圧力と設
定圧力の偏差に応じた水がポペット弁51と弁座52の
間隙を通って通水穴24に流れるから、通水穴16は設
定値に維持される。
【0034】なお、この場合、主弁11の多段絞り部材
18の通水穴も、上記のように絞り部材18−3の通水
穴18−3a、2次圧室20、絞り部材18−2の通水
穴18−2a、絞部材18−1の通水穴18−1a、2
次圧室17と流れる間に急激に降圧するのではなく、除
々に降圧するからキャビテーションの発生は抑制され、
主弁11に振動や衝撃の不具合を与えることがない。
【0035】通水穴16の圧力が上昇し、ポペット弁5
1と弁座52の間の間隙が大きくなり、流れる水量が多
くなると、2次圧室17の圧力は降下し、主弁11の上
下の圧力差がスプリング14の弾発力より大きくなる
と、主弁11は上昇し、2段形絞りFが開くから、該2
段形絞りFの絞り部e、fを通って高圧水は通水穴24
に流れ、圧力を設定値に保つ。
【0036】この時、通水穴16を通って高圧水が大気
圧に近い通水穴23、24に流れるので、作動流体が水
の場合は油と異なり飽和蒸気圧は高いから、2段形絞り
Fがないと急激な圧力降下により、キャビテーションが
発生し、騒音が発生したり、激しい衝撃圧力が生じた
り、作動流体と接する部分に損傷を与えるという問題が
発生する。しかしながら、本実施例では2段形絞りFを
設けているので、水圧は該2段形絞りFの絞り部e、f
を通って段階的に降下し、キャビテーションの発生は抑
えられ、上記のような不具合が発生しない。
【0037】また、何らかの原因で、通水穴16の圧力
が設定値を越えて上昇しても第1のパイロット部Cが作
動しない場合は、第2のパイロット部Bの通水穴34
a、通水穴33aを通って弁座32の通水穴32aに達
する水の圧力により、ポペット弁31は押され、弁座3
2から離間する。これにより、高圧水は通水穴32aを
通って通水穴42、通水穴21、22、23、24を通
って水タンクへと流れる。
【0038】そしてその流量が大きくなり、2次圧室2
0の圧力が降下し、主弁11の上下の圧力差がスプリン
グ17の弾発力に打ち勝つと、主弁11は上昇する。こ
れにより、通水穴16の高圧水は2段形絞りF、通水穴
23、24を通って水タンクへと流れる。従って、第2
のパイロット部Bの設定水圧を第1のパイロット部Cの
設定水圧より高く設定しておけば、第2のパイロット部
Bは第1のパイロット部Cのバックアップとして作用す
ることになる。
【0039】図6は制御部Dの構成を示す図である。図
示するように、圧力/電圧変換器101、加算器10
2、演算回路103、増幅器104、操作部105を具
備し、操作部105で設定された設定圧力P1は加算器
102の一方の入力端に入力され、圧力センサ80の出
力は圧力/電圧変換器101で電圧信号の検出圧力P2
に変換され、加算器102の他方の入力端に入力され
る。該加算器102で設定圧力P1と検出圧力P2の偏
差が求められ、演算回路103で該偏差値に応じた出力
が得られ増幅器104が増幅し、該偏差値に応じた電圧
値を圧電素子57に駆動電圧として印加する。これによ
りに圧電素子57は該駆動電圧に応じて伸縮する。
【0040】図7は制御系全体の構成を示す図である。
上記のように増幅器104から設定圧力P1と検出圧力
P2の偏差値に応じた電圧を圧電素子57に出力し、こ
れに応じて上記のように第1のパイロット部C及び主弁
11が作動する。圧力は圧力センサ80で検出され、そ
の出力は圧力/電圧変換器101を加算器102にフィ
ードバックする。
【0041】上記第1のパイロット部Cの圧力調整用ア
クチュエータとして圧電素子57を用いることにより、
圧電素子57は電磁ソレノイドとは異なり応答が速く、
特に積層化したものは小型で強力という特徴がある。但
し積層化したものはヒステリシスが大きく、オープンル
ープでの精密な位置決めは困難であるため、圧力を圧力
センサ80で検出しフィードバックすることにより精密
な位置決めも可能となる。従って、圧力オーバライドも
著しく改善される。
【0042】図8は本発明の他のリリーフ弁の構造を示
す断面図である。同図が図1と相違する点は、図8では
第2のパイロット部Bが無いだけで他は図1のものと略
同一構造である。その作用も第2のパイロット部Bによ
るバックアップ作用が無いだけで図1のものと略同一で
ある。
【0043】なお、上記実施例では主弁11と弁座12
の間に2段形絞りFを設けたが、キャビテーションを防
止するため水圧を除々に下げる機構であれば良く、2段
形絞りFに限定するものではない。
【0044】図9は第1パイロット部Cの他の構造例を
示す図である。本第1のパイロット部Cが図2のパイロ
ット部Cと相違する点は、ポペット弁51が圧電素子5
7の一端に固定され、ポペット弁押し部材53がスプリ
ング63の弾発力でポペット弁51の方向に付勢されて
いる点である。他の構造は図2と略同一である。
【0045】上記構造の第1のパイロット部Cにおい
て、上記制御部は作動水の圧力が設定値以下の時は圧電
素子57に電圧を印加することにより、圧電素子57は
伸びポペット弁51を押して、弁座52の通水路52a
を閉じる。作動水の圧力が設定値を越えたら圧電素子5
7に印加した電圧を止めるか、或いは設定値と作動水の
圧力の偏差に応じて電圧を印加して、ポペット弁51の
先端と通水路52aの先端の間隙を調整する。これによ
り該間隙を通った通水室60、通水穴61、62と流れ
る。なお、図9では省略したが、スプリング63の弾発
力を調整する手段を設けても良い。
【0046】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1に記載の
発明によれば、制御手段はその加算器にて操作部で設定
された設定液圧と検出液圧の偏差を求め、検出液圧が所
定の設定値以下であったら、ポペット弁を弁座に当接さ
せ該弁座に形成された通液路を閉じ、該液圧が該設定値
を越えたら偏差に応じた電圧を増幅器を介して圧電素子
に印加することにより、ポペット弁と弁座の間隙を調整
して通液路に流れる作動液の流量を調整し、該通液路を
通る作動液の流量が所定量を越えると主弁が動作して作
動液を流出するから、圧力変動に対する応答が電磁ソレ
ノイドを用いた場合に比較し速く、流量に対する圧力変
動が小さく、即ち、圧力オーバライドが改善され、更に
第2のパイロット部のバネ圧による圧力設定値を第1の
パイロット部の設定液圧値より所定値大きく設定するこ
とにより、第2のパイロット部は第1のパイロット部が
動作しない場合のバックアップとして動作するから、安
全性が向上するという優れた効果が得られる。
【0047】
【0048】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のリリーフ弁の構造を示す断面図であ
る。
【図2】本発明のリリーフ弁の第1のパイロット部の構
造を示す断面図である。
【図3】本発明のリリーフ弁の第2のパイロット部の構
造を示す断面図である。
【図4】本発明のリリーフ弁の主弁の構造を示す図で、
同図(a)は全体の断面図、同図(b)は多段絞り部材
のA−A断面図、同図(c)は多段絞り部材のB−B断
面図、同図(d)は多段絞り部材のC−C断面図であ
る。
【図5】本発明のリリーフ弁の主弁と弁座の間の2段形
絞りの構造を示す図である。
【図6】本発明のリリーフ弁の制御部の構成を示す図で
ある。
【図7】本発明のリリーフ弁の制御系全体の構成を示す
図である。
【図8】本発明のリリーフ弁の構造を示す断面図であ
る。
【図9】本発明のリリーフ弁の第1のパイロット部の構
造を示す断面図である。
【符号の説明】
A 主弁部 B 第2のパイロット部 C 第1のパイロット部 10 ケーシング 11 主弁 12 弁座 13 ウエアリング 14 スプリング 15 パッキン 17 2次圧室 18 多段絞り部材 30 ケーシング 31 ポペット弁 32 弁座 33 絞り部材 34 押え部材 35 押え部材 36 スプリング 37 軸 38 バネ座 39 板バネ 50 ケーシング 51 ポペット弁 52 弁座 53 ポペット弁押し部材 54 弁座支持部材 56 スプリング 57 圧電素子 63 スプリング
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 浦田 暎三 東京都町田市小川二丁目18番18号 (56)参考文献 特開 平3−123911(JP,A) 特開 平6−265036(JP,A) 特開 平5−272656(JP,A) 特開 平4−31914(JP,A) 特開 平4−50581(JP,A) 特開 平3−249487(JP,A) 特開 平6−281046(JP,A) 特開 平7−83344(JP,A) 特開 平6−17955(JP,A) 特開 昭59−190582(JP,A) 特開 昭60−129481(JP,A) 実開 平4−55607(JP,U) 実開 昭51−29329(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) F16K 17/00 - 17/168 F16K 31/06 - 31/42 G05D 16/00 - 16/20

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 主弁を有する主弁部及びポペット弁を有
    するパイロット部を具備し、作動流体である作動液の液
    圧により前記ポペット弁が開くことにより、前記主弁が
    弁座より離間し、該主弁と弁座の隙間から作動液が流出
    し、該作動液の圧力が所定の一定圧力になるようにする
    バランスピストン形のリリーフ弁において、 前記パイロット部は並設した第1のパイロット部と第2
    のパイロット部からなり、 前記第1のパイロット部は 前記ポペット弁が当接する弁
    座を具備し、該ポペット弁と弁座の間隙を調整する手段
    として圧電素子を設け、該圧電素子に印加する電圧を制
    御する制御手段と、前記作動液の液圧を検出する液圧セ
    ンサを設け、 前記制御手段は、圧力/電圧変換器、加算器、演算回
    路、増幅器及び操作部を具備し、該加算器で該操作部で
    設定された設定液圧と前記液圧センサで検出され該圧力
    /電圧変換器で変換された検出液圧との偏差を求め、前
    記演算回路で該検出液圧が所定の設定液圧以下であった
    ら前記ポペット弁を前記弁座に当接させ該弁座に形成し
    た通液路を閉じ、該検出液圧が該設定液圧を越えたら前
    記偏差に応じた電圧を前記増幅器を介して前記圧電素子
    に印加し、該ポペット弁を該弁座の間隙を調整するよう
    に構成し 前記第2のパイロット部はポペット弁と通液路が形成さ
    れた弁座を具備し、バネ圧で該ポペット弁を該弁座に当
    接させ該通液路を閉鎖すると共に、前記作動液の圧力に
    より該バネ圧に抗して該ポペット弁を該弁座から離間さ
    せるように構成し、 前記第2のパイロット部のバネ圧による圧力設定値を前
    記第1のパイロット部の操作部で設定した設定液圧値よ
    り大きくした ことを特徴とするリリーフ弁。
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