JP3347133B2 - 樹脂硬化方法および樹脂硬化装置 - Google Patents
樹脂硬化方法および樹脂硬化装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送テープの素子
を樹脂で封止し、封止された樹脂を加熱硬化させる樹脂
硬化方法および樹脂硬化装置に関する。
を樹脂で封止し、封止された樹脂を加熱硬化させる樹脂
硬化方法および樹脂硬化装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の封止された樹脂を加熱硬化させる
方法は、搬送テープに封止された樹脂を、発熱体として
遠赤外線を用いて直接加熱して硬化させたり、樹脂を温
風を用いて直接加熱して硬化させたりして樹脂硬化が行
われていた。
方法は、搬送テープに封止された樹脂を、発熱体として
遠赤外線を用いて直接加熱して硬化させたり、樹脂を温
風を用いて直接加熱して硬化させたりして樹脂硬化が行
われていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来方
法では遠赤外線や温風により樹脂を直接加熱するため、
樹脂表面に「焼け」と呼ぶ樹脂の変質が発生したり、樹
脂の形状変形が頻繁に発生したりしていた。特に、直接
加熱のために樹脂表面が早く硬化し、表面の硬化皮膜に
より閉じこめられた溶剤が蒸発する際に硬化皮膜を押し
上げ、「ふくれ」と呼ぶ品質欠陥が発生したりするとい
う問題点を有していた。また、樹脂の周辺部が加熱によ
って早く硬化するために、周辺部の樹脂が搬送テープ面
まで廻り込めず、搬送テープとの接着が悪く、剥離して
しまうという問題点も有していた。
法では遠赤外線や温風により樹脂を直接加熱するため、
樹脂表面に「焼け」と呼ぶ樹脂の変質が発生したり、樹
脂の形状変形が頻繁に発生したりしていた。特に、直接
加熱のために樹脂表面が早く硬化し、表面の硬化皮膜に
より閉じこめられた溶剤が蒸発する際に硬化皮膜を押し
上げ、「ふくれ」と呼ぶ品質欠陥が発生したりするとい
う問題点を有していた。また、樹脂の周辺部が加熱によ
って早く硬化するために、周辺部の樹脂が搬送テープ面
まで廻り込めず、搬送テープとの接着が悪く、剥離して
しまうという問題点も有していた。
【０００４】本発明は、従来方法における問題点を解消
するためになされたもので、樹脂と搬送テープとの密着
性を良くし、樹脂が剥離する危険性を減少させ得る樹脂
硬化方法および樹脂硬化装置を提供することを目的とし
ている。
するためになされたもので、樹脂と搬送テープとの密着
性を良くし、樹脂が剥離する危険性を減少させ得る樹脂
硬化方法および樹脂硬化装置を提供することを目的とし
ている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明による樹脂硬化方
法は、素子を封止するための樹脂が塗布された搬送テー
プを炉のテープ入口から供給し、炉のテープ出口から排
出するテープ供給排出工程と、このテープ供給排出工程
中で、搬送テープを反転させる反転手段によって搬送テ
ープの送り方向を反転させつつ、炉内で樹脂を加熱し硬
化させる加熱硬化工程と、を有する樹脂硬化方法におい
て、炉内を無酸化雰囲気状態に保持するための窒素ガス
を、テープ入口付近で炉内に導入している。
法は、素子を封止するための樹脂が塗布された搬送テー
プを炉のテープ入口から供給し、炉のテープ出口から排
出するテープ供給排出工程と、このテープ供給排出工程
中で、搬送テープを反転させる反転手段によって搬送テ
ープの送り方向を反転させつつ、炉内で樹脂を加熱し硬
化させる加熱硬化工程と、を有する樹脂硬化方法におい
て、炉内を無酸化雰囲気状態に保持するための窒素ガス
を、テープ入口付近で炉内に導入している。
【０００６】この構成によれば、加熱硬化工程におい
て、炉内中で多段式に搬送テープが送られるので、熱効
率が良くなる。また、この樹脂硬化方法によれば、炉内
を無酸化雰囲気状態に保つことができ、樹脂硬化の安定
化を図ることができる。さらに、窒素ガスを、テープ入
口付近で炉内に導入しているので、窒素ガスによって外
気の炉内への流入が阻止される。外気が炉内に流入して
くると、外気に含まれる塵も流入してくることとなり、
樹脂に対して悪影響を与えるものとなる。この構成で
は、外気中の塵の流入が阻止されるため、樹脂が搬送テ
ープから剥離してしまう等の危険性を減少させることが
できる。
て、炉内中で多段式に搬送テープが送られるので、熱効
率が良くなる。また、この樹脂硬化方法によれば、炉内
を無酸化雰囲気状態に保つことができ、樹脂硬化の安定
化を図ることができる。さらに、窒素ガスを、テープ入
口付近で炉内に導入しているので、窒素ガスによって外
気の炉内への流入が阻止される。外気が炉内に流入して
くると、外気に含まれる塵も流入してくることとなり、
樹脂に対して悪影響を与えるものとなる。この構成で
は、外気中の塵の流入が阻止されるため、樹脂が搬送テ
ープから剥離してしまう等の危険性を減少させることが
できる。
【０００７】他の発明の樹脂硬化方法は、素子を封止す
るための樹脂が塗布された搬送テープをテープ入口から
供給し、テープ出口から排出するテープ供給排出工程
と、このテープ供給排出工程中で、搬送テープを駆動し
つつ樹脂を加熱し硬化させる加熱硬化工程と、を有する
樹脂硬化方法において、搬送テープの周囲を無酸化雰囲
気状態にするための窒素ガスを、テープ入口付近で導入
し、搬送テープを囲むようにしている。
るための樹脂が塗布された搬送テープをテープ入口から
供給し、テープ出口から排出するテープ供給排出工程
と、このテープ供給排出工程中で、搬送テープを駆動し
つつ樹脂を加熱し硬化させる加熱硬化工程と、を有する
樹脂硬化方法において、搬送テープの周囲を無酸化雰囲
気状態にするための窒素ガスを、テープ入口付近で導入
し、搬送テープを囲むようにしている。
【０００８】この樹脂硬化方法によれば、搬送テープの
周囲を無酸化雰囲気状態に保つことができ、樹脂硬化の
安定化を図ることができる。また、窒素ガスを、テープ
入口付近で導入しているので、窒素ガスによって外気の
流入が阻止される。外気が流入してくると、外気に含ま
れる塵も流入してくることとなり、樹脂に対して悪影響
を与えるものとなる。この構成では、外気中の塵の流入
が阻止されるため、樹脂が搬送テープから剥離してしま
う等の危険性を減少させることができる。
周囲を無酸化雰囲気状態に保つことができ、樹脂硬化の
安定化を図ることができる。また、窒素ガスを、テープ
入口付近で導入しているので、窒素ガスによって外気の
流入が阻止される。外気が流入してくると、外気に含ま
れる塵も流入してくることとなり、樹脂に対して悪影響
を与えるものとなる。この構成では、外気中の塵の流入
が阻止されるため、樹脂が搬送テープから剥離してしま
う等の危険性を減少させることができる。
【０００９】他の発明は、上述の各発明の樹脂硬化方法
に加え、窒素ガスの導入箇所を、テープ入口からわずか
に内方で搬送テープの位置からさらに下方の位置に配置
している。この構成では、窒素ガスが外気の導入を阻止
すると共に、加熱される窒素が下から徐々に上昇し、自
然な流れが得られる。このため、加熱によって発生する
炉内や装置内の塵や煤が巻き上がることがなくなり、安
定した品質の樹脂硬化が行えるものとなる。
に加え、窒素ガスの導入箇所を、テープ入口からわずか
に内方で搬送テープの位置からさらに下方の位置に配置
している。この構成では、窒素ガスが外気の導入を阻止
すると共に、加熱される窒素が下から徐々に上昇し、自
然な流れが得られる。このため、加熱によって発生する
炉内や装置内の塵や煤が巻き上がることがなくなり、安
定した品質の樹脂硬化が行えるものとなる。
【００１０】他の発明は、上述の各発明の樹脂硬化方法
に加え、加熱硬化工程では、搬送テープを挟んで発熱体
とは反対側に配置された反射板により搬送テープの一方
の片面を間接的に加熱すると共に、発熱体で加熱される
熱板により搬送テープの他方の片面を間接的に加熱する
間接加熱工程を設けている。このように構成すると、搬
送テープを間接的に加熱するので、樹脂は、均一かつ適
度に加熱され、「焼け」、「ふくれ」、形状変形のない
樹脂硬化ができる。また、搬送テープの両面が、熱板と
反射板とでそれぞれ間接的に加熱されるので、一層、
「焼け」、「ふくれ」、形状変形のない樹脂硬化が可能
となる。また、熱板と反射板の設置によって、搬送テー
プの両面を同じ熱源で容易に加熱できるようになる。さ
らに、一方の熱源によって樹脂を硬化させる際に、搬送
テープの他方の面側を間接的に加熱することとなり、樹
脂周辺部が搬送テープへ廻り込むのが容易になり、搬送
テープと樹脂との密着性を高めることができる。
に加え、加熱硬化工程では、搬送テープを挟んで発熱体
とは反対側に配置された反射板により搬送テープの一方
の片面を間接的に加熱すると共に、発熱体で加熱される
熱板により搬送テープの他方の片面を間接的に加熱する
間接加熱工程を設けている。このように構成すると、搬
送テープを間接的に加熱するので、樹脂は、均一かつ適
度に加熱され、「焼け」、「ふくれ」、形状変形のない
樹脂硬化ができる。また、搬送テープの両面が、熱板と
反射板とでそれぞれ間接的に加熱されるので、一層、
「焼け」、「ふくれ」、形状変形のない樹脂硬化が可能
となる。また、熱板と反射板の設置によって、搬送テー
プの両面を同じ熱源で容易に加熱できるようになる。さ
らに、一方の熱源によって樹脂を硬化させる際に、搬送
テープの他方の面側を間接的に加熱することとなり、樹
脂周辺部が搬送テープへ廻り込むのが容易になり、搬送
テープと樹脂との密着性を高めることができる。
【００１１】本発明の樹脂硬化装置は、素子を封止する
ための樹脂が塗布された搬送テープが炉内に供給される
テープ入口と、炉内に供給された搬送テープの送り方向
を反転させる反転手段と、炉の内部に配置され樹脂を加
熱し硬化させる加熱硬化手段と、搬送テープを炉内から
排出するテープ出口とを有する樹脂硬化装置において、
炉内を無酸化雰囲気状態に保持する窒素ガスを、テープ
入口付近で炉内に導入するため、テープ入口と窒素ガス
の導入口後端部とを近接配置している。
ための樹脂が塗布された搬送テープが炉内に供給される
テープ入口と、炉内に供給された搬送テープの送り方向
を反転させる反転手段と、炉の内部に配置され樹脂を加
熱し硬化させる加熱硬化手段と、搬送テープを炉内から
排出するテープ出口とを有する樹脂硬化装置において、
炉内を無酸化雰囲気状態に保持する窒素ガスを、テープ
入口付近で炉内に導入するため、テープ入口と窒素ガス
の導入口後端部とを近接配置している。
【００１２】この構成によれば、炉内中で多段式に搬送
テープが送られるので、熱効率が良くなる。また、この
樹脂硬化装置によれば、炉内を無酸化雰囲気状態に保つ
ことができ、樹脂硬化の安定化を図ることができる。さ
らに、窒素ガスを、テープ入口付近で炉内に導入してい
るので、窒素ガスによって外気の炉内への流入が阻止さ
れる。外気が炉内に流入してくると、外気に含まれる塵
も流入してくることとなり、樹脂に対して悪影響を与え
るものとなる。この構成では、外気中の塵の流入が阻止
されるため、樹脂が搬送テープから剥離してしまう等の
危険性を減少させることができる。
テープが送られるので、熱効率が良くなる。また、この
樹脂硬化装置によれば、炉内を無酸化雰囲気状態に保つ
ことができ、樹脂硬化の安定化を図ることができる。さ
らに、窒素ガスを、テープ入口付近で炉内に導入してい
るので、窒素ガスによって外気の炉内への流入が阻止さ
れる。外気が炉内に流入してくると、外気に含まれる塵
も流入してくることとなり、樹脂に対して悪影響を与え
るものとなる。この構成では、外気中の塵の流入が阻止
されるため、樹脂が搬送テープから剥離してしまう等の
危険性を減少させることができる。
【００１３】また、他の発明の樹脂硬化装置は、素子を
封止するための樹脂が塗布された搬送テープが供給され
るテープ入口と、その内部に配置され樹脂を加熱し硬化
させる加熱硬化手段と、搬送テープを排出するテープ出
口とを有する樹脂硬化装置において、搬送テープの周囲
を無酸化雰囲気状態にするための窒素ガスを、テープ入
口付近で導入するため、テープ入口と窒素ガスの導入口
後端部とを近接配置している。
封止するための樹脂が塗布された搬送テープが供給され
るテープ入口と、その内部に配置され樹脂を加熱し硬化
させる加熱硬化手段と、搬送テープを排出するテープ出
口とを有する樹脂硬化装置において、搬送テープの周囲
を無酸化雰囲気状態にするための窒素ガスを、テープ入
口付近で導入するため、テープ入口と窒素ガスの導入口
後端部とを近接配置している。
【００１４】この樹脂硬化装置によれば、搬送テープの
周囲を無酸化雰囲気状態に保つことができ、樹脂硬化の
安定化を図ることができる。また、窒素ガスを、テープ
入口付近で導入しているので、窒素ガスによって外気の
流入が阻止される。外気が炉内に流入してくると、外気
に含まれる塵も流入してくることとなり、樹脂に対して
悪影響を与えるものとなる。この構成では、外気中の塵
の流入が阻止されるため、品質劣化した樹脂が搬送テー
プから剥離してしまう等の危険性を減少させることがで
きる。
周囲を無酸化雰囲気状態に保つことができ、樹脂硬化の
安定化を図ることができる。また、窒素ガスを、テープ
入口付近で導入しているので、窒素ガスによって外気の
流入が阻止される。外気が炉内に流入してくると、外気
に含まれる塵も流入してくることとなり、樹脂に対して
悪影響を与えるものとなる。この構成では、外気中の塵
の流入が阻止されるため、品質劣化した樹脂が搬送テー
プから剥離してしまう等の危険性を減少させることがで
きる。
【００１５】さらに、他の発明は、上述の発明の樹脂硬
化装置に加え、窒素ガスの導入口後端部を、テープ入口
からわずかに内方で搬送テープの位置からさらに下方の
位置に配置している。この構成のため、窒素ガスが外気
の導入を阻止すると共に、加熱される窒素が下から徐々
に上昇し、自然な流れが得られる。このため、加熱によ
って発生する炉内や装置内の塵や煤が巻き上がることが
なくなり、安定した品質の樹脂硬化が行えるものとな
る。
化装置に加え、窒素ガスの導入口後端部を、テープ入口
からわずかに内方で搬送テープの位置からさらに下方の
位置に配置している。この構成のため、窒素ガスが外気
の導入を阻止すると共に、加熱される窒素が下から徐々
に上昇し、自然な流れが得られる。このため、加熱によ
って発生する炉内や装置内の塵や煤が巻き上がることが
なくなり、安定した品質の樹脂硬化が行えるものとな
る。
【００１６】他の発明は、上述の各発明の樹脂硬化装置
に加え、搬送テープを挟んで発熱体とは反対側に配置さ
れ、搬送テープの一方の片面を間接的に加熱する反射板
と、発熱体で加熱され、搬送テープの他方の片面を間接
的に加熱する熱板と、を設けている。このように構成す
ると、搬送テープを間接的に加熱するので、樹脂は、均
一かつ適度に加熱され、「焼け」、「ふくれ」、形状変
形のない樹脂硬化ができる。また、搬送テープの両面
が、熱板と反射板とでそれぞれ間接的に加熱されるの
で、一層、「焼け」、「ふくれ」、形状変形のない樹脂
硬化が可能となる。また、熱板と反射板の設置によっ
て、搬送テープの両面を同じ熱源で容易に加熱できるよ
うになる。さらに、一方の熱源によって樹脂を硬化させ
る際に、搬送テープの他方の面側を間接的に加熱するこ
ととなり、樹脂周辺部が搬送テープへ廻り込むのが容易
になり、搬送テープと樹脂との密着性を高めることがで
きる。
に加え、搬送テープを挟んで発熱体とは反対側に配置さ
れ、搬送テープの一方の片面を間接的に加熱する反射板
と、発熱体で加熱され、搬送テープの他方の片面を間接
的に加熱する熱板と、を設けている。このように構成す
ると、搬送テープを間接的に加熱するので、樹脂は、均
一かつ適度に加熱され、「焼け」、「ふくれ」、形状変
形のない樹脂硬化ができる。また、搬送テープの両面
が、熱板と反射板とでそれぞれ間接的に加熱されるの
で、一層、「焼け」、「ふくれ」、形状変形のない樹脂
硬化が可能となる。また、熱板と反射板の設置によっ
て、搬送テープの両面を同じ熱源で容易に加熱できるよ
うになる。さらに、一方の熱源によって樹脂を硬化させ
る際に、搬送テープの他方の面側を間接的に加熱するこ
ととなり、樹脂周辺部が搬送テープへ廻り込むのが容易
になり、搬送テープと樹脂との密着性を高めることがで
きる。
【００１７】
【発明の実施の形態】本発明による実施の形態を図面に
基づいて説明する。図１は、本発明による実施の形態を
示す筐体と炉体の断面図である。図２は、本発明の実施
の形態を示す図１のＡ−Ａ拡大断面図である。
基づいて説明する。図１は、本発明による実施の形態を
示す筐体と炉体の断面図である。図２は、本発明の実施
の形態を示す図１のＡ−Ａ拡大断面図である。
【００１８】図において、１は筐体、２は筐体１上に設
けられている炉体、３は搬送テープで、素子４がボンデ
ィングされ、樹脂５により封止されている。６、７は、
炉体内で搬送テープ３を反転させるためのキュアガイ
ド、８、９は、搬送テープ３とキュアガイド６で反転さ
れた搬送テープ３との間に設けられている加熱硬化手段
の一部となる発熱体、１０は、キュアガイド７で反転さ
れた搬送テープ３の上方に設けられている加熱硬化手段
の一部となる発熱体である。
けられている炉体、３は搬送テープで、素子４がボンデ
ィングされ、樹脂５により封止されている。６、７は、
炉体内で搬送テープ３を反転させるためのキュアガイ
ド、８、９は、搬送テープ３とキュアガイド６で反転さ
れた搬送テープ３との間に設けられている加熱硬化手段
の一部となる発熱体、１０は、キュアガイド７で反転さ
れた搬送テープ３の上方に設けられている加熱硬化手段
の一部となる発熱体である。
【００１９】１１は、搬送テープ３と発熱体８との間に
配設されている加熱硬化手段の一部となると共に間接加
熱手段となる熱板、１２は搬送テープ３と発熱体９との
間に配設されている加熱硬化手段の一部となると共に間
接加熱手段となる熱板、１３は、搬送テープ３と発熱体
１０との間に配設されている加熱硬化手段の一部となる
と共に間接加熱手段となる熱板、１４は、搬送テープ３
を挟んで熱板１１と対向する位置に配設されている加熱
硬化手段の一部となると共に間接加熱手段となる反射板
である。
配設されている加熱硬化手段の一部となると共に間接加
熱手段となる熱板、１２は搬送テープ３と発熱体９との
間に配設されている加熱硬化手段の一部となると共に間
接加熱手段となる熱板、１３は、搬送テープ３と発熱体
１０との間に配設されている加熱硬化手段の一部となる
と共に間接加熱手段となる熱板、１４は、搬送テープ３
を挟んで熱板１１と対向する位置に配設されている加熱
硬化手段の一部となると共に間接加熱手段となる反射板
である。
【００２０】搬送テープ３は、テープ入口１５から供給
され、反転手段となるキュアガイド６と７により反転さ
せられてテープ出口１６から排出される。テープ入口１
５から供給された搬送テープ３は、キュアガイド６で反
転されるまでの加熱開始段階において、次のように加熱
される。
され、反転手段となるキュアガイド６と７により反転さ
せられてテープ出口１６から排出される。テープ入口１
５から供給された搬送テープ３は、キュアガイド６で反
転されるまでの加熱開始段階において、次のように加熱
される。
【００２１】すなわち、素子４を封止した樹脂５は、遠
赤外線等の発熱体８により加熱された熱板１１により間
接的に加熱されると共に、熱板１１と対向する位置に配
設された反射板１４により熱板１１の熱が輻射され搬送
テープ３の裏面側を間接的に加熱する。この結果、搬送
テープ３の表面側と裏面側が均一に加熱される。これに
より、樹脂５は、熱板１１により間接的に加熱されるた
めに、「焼け」、「ふくれ」、形状変形もなく樹脂を硬
化させることができる。また、搬送テープ３面への樹脂
５の廻り込みを容易にし、搬送テープ３と樹脂５の周辺
部との密着性が高められ、搬送テープ３に樹脂５を密着
させることができる。
赤外線等の発熱体８により加熱された熱板１１により間
接的に加熱されると共に、熱板１１と対向する位置に配
設された反射板１４により熱板１１の熱が輻射され搬送
テープ３の裏面側を間接的に加熱する。この結果、搬送
テープ３の表面側と裏面側が均一に加熱される。これに
より、樹脂５は、熱板１１により間接的に加熱されるた
めに、「焼け」、「ふくれ」、形状変形もなく樹脂を硬
化させることができる。また、搬送テープ３面への樹脂
５の廻り込みを容易にし、搬送テープ３と樹脂５の周辺
部との密着性が高められ、搬送テープ３に樹脂５を密着
させることができる。
【００２２】キュアガイド７で反転されるまでの加熱中
間段階において、搬送テープ３は発熱体９により加熱さ
れた熱板１２により間接的に加熱される。これにより、
樹脂５の硬化が促進される。キュアガイド７で反転され
てテープ出口１６までの加熱最終段階において、搬送テ
ープ３は発熱体１０により加熱された熱板１３により間
接的に加熱される。これにより、樹脂５の硬化が更に促
進される。また、炉体２は、気密性を保つようになって
いるので、筐体１に設けられた導入口１７から窒素ガス
等を導入し、炉体２に設けられた排出口１８から排出す
るようにすれば、炉体２内を無酸化雰囲気状態に保つこ
とができ、樹脂硬化の安定化を図ることができる。
間段階において、搬送テープ３は発熱体９により加熱さ
れた熱板１２により間接的に加熱される。これにより、
樹脂５の硬化が促進される。キュアガイド７で反転され
てテープ出口１６までの加熱最終段階において、搬送テ
ープ３は発熱体１０により加熱された熱板１３により間
接的に加熱される。これにより、樹脂５の硬化が更に促
進される。また、炉体２は、気密性を保つようになって
いるので、筐体１に設けられた導入口１７から窒素ガス
等を導入し、炉体２に設けられた排出口１８から排出す
るようにすれば、炉体２内を無酸化雰囲気状態に保つこ
とができ、樹脂硬化の安定化を図ることができる。
【００２３】なお、図１に示されるように、炉体２内を
無酸化雰囲気状態に保持する窒素ガス等を炉体２内に導
入するための導入口１７を、搬送テープ３の樹脂塗布面
とは反対側の面側であって、搬送テープ３の下方位置に
設けている。また、導入された窒素ガス等を排出する排
出口１８を、炉体２の上方位置に設け、加熱された窒素
ガス等が上昇した際に、排出しやすくしている。また、
搬送テープ３と窒素ガス等の導入口１７との間には反射
板１４が配置されており、窒素ガス等の導入時に、窒素
ガス等が搬送テープ３に直接当たらないように構成して
いる。さらに、搬送テープ３の周囲や炉体２内を無酸化
雰囲気状態にするための窒素ガスを、テープ入口１５付
近で導入するため、テープ入口１５と窒素ガスの導入口
後端部（炉体２への導入部）とを近接配置している。
無酸化雰囲気状態に保持する窒素ガス等を炉体２内に導
入するための導入口１７を、搬送テープ３の樹脂塗布面
とは反対側の面側であって、搬送テープ３の下方位置に
設けている。また、導入された窒素ガス等を排出する排
出口１８を、炉体２の上方位置に設け、加熱された窒素
ガス等が上昇した際に、排出しやすくしている。また、
搬送テープ３と窒素ガス等の導入口１７との間には反射
板１４が配置されており、窒素ガス等の導入時に、窒素
ガス等が搬送テープ３に直接当たらないように構成して
いる。さらに、搬送テープ３の周囲や炉体２内を無酸化
雰囲気状態にするための窒素ガスを、テープ入口１５付
近で導入するため、テープ入口１５と窒素ガスの導入口
後端部（炉体２への導入部）とを近接配置している。
【００２４】
【発明の効果】各発明によれば、搬送テープの周囲や炉
内等を無酸化雰囲気状態に保つことができ、樹脂硬化の
安定化と、樹脂と搬送テープの密着性の向上を図ること
ができる。また、窒素ガスを、テープ入口付近で炉内等
に導入しているので、窒素ガスによって外気の炉内等へ
の流入が阻止される。外気が炉内等に流入してくると、
外気に含まれる塵も流入してくることとなり、樹脂に付
着あるいは埋没して樹脂塗布不良の原因となる。各発明
では、外気中の塵の流入が阻止されるため、樹脂品質の
劣化が防止できることとなる。
内等を無酸化雰囲気状態に保つことができ、樹脂硬化の
安定化と、樹脂と搬送テープの密着性の向上を図ること
ができる。また、窒素ガスを、テープ入口付近で炉内等
に導入しているので、窒素ガスによって外気の炉内等へ
の流入が阻止される。外気が炉内等に流入してくると、
外気に含まれる塵も流入してくることとなり、樹脂に付
着あるいは埋没して樹脂塗布不良の原因となる。各発明
では、外気中の塵の流入が阻止されるため、樹脂品質の
劣化が防止できることとなる。
【図１】本発明による実施の形態を示す筐体と炉体の断
面図である。
面図である。
【図２】本発明の実施の形態を示す図１のＡ−Ａ拡大断
面図である。
面図である。
１ 筐体 ２ 炉体 ３ 搬送テープ ４ 素子 ５ 樹脂 ６，７ キュアガイド（反転手段） ８，９，１０ 発熱体（加熱硬化手段の一部） １１，１２，１３ 熱板（加熱硬化手段の一部であり間
接加熱手段） １４ 反射板（加熱硬化手段の一部であり間接加熱手
段） １５ テープ入口 １６ テープ出口 １７ 導入口 １８ 排出口
接加熱手段） １４ 反射板（加熱硬化手段の一部であり間接加熱手
段） １５ テープ入口 １６ テープ出口 １７ 導入口 １８ 排出口
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開2001−179756（ＪＰ，Ａ) 特開2001−187409（ＪＰ，Ａ) 特開2001−187408（ＪＰ，Ａ) 特開2001−191341（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−98411（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−38012（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−33580（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−86267（ＪＰ，Ａ) 特開2001−176900（ＪＰ，Ａ) 特開2001−189332（ＪＰ，Ａ) 特開2001−196398（ＪＰ，Ａ) 特開2001−127084（ＪＰ，Ａ) 特開2001−203225（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/56 B05C 9/12 B05D 3/02 B05D 3/04 B05D 7/04
Claims (8)
- 【請求項１】 素子を封止するための樹脂が塗布された
搬送テープを炉のテープ入口から供給し、上記炉のテー
プ出口から排出するテープ供給排出工程と、このテープ
供給排出工程中で、上記搬送テープを反転させる反転手
段によって上記搬送テープの送り方向を反転させつつ、
上記炉内で上記樹脂を加熱し硬化させる加熱硬化工程
と、を有する樹脂硬化方法において、 上記炉内を無酸化雰囲気状態に保持するための窒素ガス
を、上記テープ入口付近で上記炉内に導入することを特
徴とする樹脂硬化方法。 - 【請求項２】 素子を封止するための樹脂が塗布された
搬送テープをテープ入口から供給し、テープ出口から排
出するテープ供給排出工程と、このテープ供給排出工程
中で、上記搬送テープを駆動しつつ上記樹脂を加熱し硬
化させる加熱硬化工程と、を有する樹脂硬化方法におい
て、 上記搬送テープの周囲を無酸化雰囲気状態にするための
窒素ガスを、上記テープ入口付近で導入し、上記搬送テ
ープを囲むようにしたことを特徴とする樹脂硬化方法。 - 【請求項３】 前記窒素ガスの導入箇所を、前記テープ
入口からわずかに内方で前記搬送テープの位置からさら
に下方の位置に配置したことを特徴とする請求項１また
は２記載の樹脂硬化方法。 - 【請求項４】 前記加熱硬化工程では、前記搬送テープ
を挟んで発熱体とは反対側に配置された前記反射板によ
り前記搬送テープの一方の片面を間接的に加熱すると共
に、上記発熱体で加熱される熱板により前記搬送テープ
の他方の片面を間接的に加熱する間接加熱工程を設けた
ことを特徴とする請求項１，２または３記載の樹脂硬化
方法。 - 【請求項５】 素子を封止するための樹脂が塗布された
搬送テープが炉内に供給されるテープ入口と、炉内に供
給された上記搬送テープの送り方向を反転させる反転手
段と、炉の内部に配置され上記樹脂を加熱し硬化させる
加熱硬化手段と、上記搬送テープを炉内から排出するテ
ープ出口とを有する樹脂硬化装置において、 上記炉内を無酸化雰囲気状態に保持する窒素ガスを、上
記テープ入口付近で上記炉内に導入するため、上記テー
プ入口と窒素ガスの導入口後端部とを近接配置したこと
を特徴とする樹脂硬化装置。 - 【請求項６】 素子を封止するための樹脂が塗布された
搬送テープが供給されるテープ入口と、その内部に配置
され上記樹脂を加熱し硬化させる加熱硬化手段と、上記
搬送テープを排出するテープ出口とを有する樹脂硬化装
置において、 上記搬送テープの周囲を無酸化雰囲気状態にするための
窒素ガスを、上記テープ入口付近で導入するため、上記
テープ入口と窒素ガスの導入口後端部とを近接配置した
ことを特徴とする樹脂硬化装置。 - 【請求項７】 前記窒素ガスの導入口後端部を、前記テ
ープ入口からわずかに内方で前記搬送テープの位置から
さらに下方の位置に配置したことを特徴とする請求項５
または６記載の樹脂硬化装置。 - 【請求項８】 前記搬送テープを挟んで発熱体とは反対
側に配置され、前記搬送テープの一方の片面を間接的に
加熱する前記反射板と、上記発熱体で加熱され、前記搬
送テープの他方の片面を間接的に加熱する熱板と、を設
けたことを特徴とする請求項５，６または７記載の樹脂
硬化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000328945A JP3347133B2 (ja) | 2000-10-27 | 2000-10-27 | 樹脂硬化方法および樹脂硬化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000328945A JP3347133B2 (ja) | 2000-10-27 | 2000-10-27 | 樹脂硬化方法および樹脂硬化装置 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35494693A Division JPH07178368A (ja) | 1993-12-22 | 1993-12-22 | 樹脂硬化方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001168120A JP2001168120A (ja) | 2001-06-22 |
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Family Applications (1)
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|---|---|
| JP (1) | JP3347133B2 (ja) |
-
2000
- 2000-10-27 JP JP2000328945A patent/JP3347133B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP2001168120A (ja) | 2001-06-22 |
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