JP2004098063A - 樹脂硬化装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 樹脂と搬送テープとの密着性が良く、「焼け」、「ふくれ」、形状変形のない樹脂硬化方法を提供すること。
【解決手段】 この樹脂硬化方法は、筐体(1)と気密性を有する炉体(2)とを有してなり、炉体(2)を通る搬送テープ(3)にはボンディングされた素子(4)を封止する樹脂(5)が塗布されている。この炉体(2)内に、搬送テープ(3)を反転させる複数個のキュアガイド(6、7)と、樹脂(5)を加熱硬化させる複数個の発熱体(8、9、10)と、発熱体(8、9、10)により加熱される複数個の熱板(11、12、13)と、搬送テープ(3)の裏面側を加熱させる反射板(14)とを配設している。それにより、樹脂(5)を加熱硬化させている。
【選択図】 図1
【解決手段】 この樹脂硬化方法は、筐体(1)と気密性を有する炉体(2)とを有してなり、炉体(2)を通る搬送テープ(3)にはボンディングされた素子(4)を封止する樹脂(5)が塗布されている。この炉体(2)内に、搬送テープ(3)を反転させる複数個のキュアガイド(6、7)と、樹脂(5)を加熱硬化させる複数個の発熱体(8、9、10)と、発熱体(8、9、10)により加熱される複数個の熱板(11、12、13)と、搬送テープ(3)の裏面側を加熱させる反射板(14)とを配設している。それにより、樹脂(5)を加熱硬化させている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、搬送テープ上の素子を樹脂で封止し、封止された樹脂を加熱硬化させる樹脂硬化装置に関する。
従来の封止された樹脂を加熱硬化させる方法は、搬送テープに封止された樹脂を、発熱体として遠赤外線を用いて直接加熱して硬化させたり、樹脂を温風を用いて直接加熱して硬化させたりして樹脂硬化が行われていた。
しかしながら、従来方法では遠赤外線や温風により樹脂を直接加熱するため、樹脂表面に「焼け」と呼ぶ樹脂の変質が発生したり、樹脂の形状変形が頻繁に発生したりしていた。特に、直接加熱のために樹脂表面が早く硬化し、表面の硬化皮膜により閉じこめられた溶剤が蒸発する際に硬化皮膜を押し上げ、「ふくれ」と呼ぶ品質欠陥が発生したりするという問題点を有していた。また、樹脂の周辺部が加熱によって早く硬化するために、周辺部の樹脂が搬送テープ面まで廻り込めず、搬送テープとの接着が悪く、剥離してしまうという問題点も有していた。
また、搬送テープに塗布されている樹脂は、テープ入口に到達した段階では、加熱されていないため、乾いていない。そのため、かかる樹脂から生じるガスが、炉体の内壁、および炉体の内部で搬送されている搬送テープに付着する等の悪影響を及ぼす場合がある。
本発明は、従来方法における問題点を解消するためになされたもので、樹脂から生じるガスが炉体の内部に入り込むのを防止することのできる樹脂硬化装置を提供することを目的としている。
本発明による樹脂硬化装置は、素子を封止するための樹脂が塗布された搬送テープを炉体内に送入するテープ入口と、炉体内に配設された加熱機構と、搬送テープを炉体外へ送出するテープ出口を有する樹脂硬化装置において、炉体内の雰囲気を炉体に設けられた排出口から炉体外へ排出することとしたものである。
また、本発明による他の樹脂硬化装置は、素子を封止するための樹脂が塗布された搬送テープを炉体内に送入するテープ入口と、炉体内に配設された加熱機構と、搬送テープを炉体外へ送出するテープ出口を有する樹脂硬化装置において、炉体内の雰囲気を炉体に設けられた排出口から炉体外へ排出することとしたものである。
さらに、他の発明は、上述の各発明に加えて更に、排出口は、テープ入口の付近に配設されたものである。
また、他の発明は、上述の発明に加えて更に、炉体内に導入された窒素ガスは、排出口から炉体外へ排出されるものである。
このように構成すると、加熱機構によって、搬送テープの走行経路において、樹脂硬化が為される。また、炉体に設けられている排出口を介して、炉体内の雰囲気が外部に排出される。
本発明によれば、炉体内の雰囲気が、排出口を介して外部に排出されるため、炉体内でテープに塗布されている樹脂から生じるガスが、外部に排出される。それにより、炉体内でテープに塗布されている樹脂から生じるガスを、外部に排出させることができる。特に、排出口をテープ入口の付近に配設した場合、搬送テープに塗布されている樹脂から生じるガスを、いち早く取り除くことができる。このため、当該ガスが炉体の内部に入り込んで、当該炉体の内部で搬送されている搬送テープに付着したり、炉体の内壁に付着する等の悪影響を防止することができる。
本発明による実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は、本発明による実施の形態を示す筐体と炉体の断面図である。図2は、本発明の実施の形態を示す図1のA−A拡大断面図である。
図において、1は筐体、2は筐体1上に設けられている炉体、3は搬送テープで、素子4がボンディングされ、樹脂5により封止されている。6、7は、炉体内で搬送テープ3を反転させるためのキュアガイド、8、9は、搬送テープ3とキュアガイド6で反転された搬送テープ3との間に設けられている加熱硬化手段の一部となる発熱体、10は、キュアガイド7で反転された搬送テープ3の上方に設けられている加熱硬化手段の一部となる発熱体である。
11は、搬送テープ3と発熱体8との間に配設されている加熱硬化手段の一部となると共に間接加熱手段となる熱板、12は搬送テープ3と発熱体9との間に配設されている加熱硬化手段の一部となると共に間接加熱手段となる熱板、13は、搬送テープ3と発熱体10との間に配設されている加熱硬化手段の一部となると共に間接加熱手段となる熱板、14は、搬送テープ3を挟んで熱板11と対向する位置に配設されている加熱硬化手段の一部となると共に間接加熱手段となる反射板である。
搬送テープ3は、テープ入口15から供給され、キュアガイド6と7により反転させられてテープ出口16から排出される。テープ入口15から供給された搬送テープ3は、キュアガイド6で反転されるまでの加熱開始段階において、次のように加熱される。
すなわち、素子4を封止した樹脂5は、遠赤外線等の発熱体8により加熱された熱板11により間接的に加熱されると共に、熱板11と対向する位置に配設された反射板14により熱板11の熱が輻射され搬送テープ3の裏面側を間接的に加熱する。この結果、搬送テープ3の表面側と裏面側が均一に加熱される。これにより、樹脂5は、熱板11により間接的に加熱されるために、「焼け」、「ふくれ」、形状変形もなく樹脂を硬化させることができる。また、搬送テープ3面への樹脂5の廻り込みを容易にし、搬送テープ3と樹脂5の周辺部との密着性が高められ、搬送テープ3に樹脂5を密着させることができる。
キュアガイド7で反転されるまでの加熱中間段階において、搬送テープ3は発熱体9により加熱された熱板12により間接的に加熱される。これにより、樹脂5の硬化が促進される。キュアガイド7で反転されてテープ出口16までの加熱最終段階において、搬送テープ3は発熱体10により加熱された熱板13により間接的に加熱される。これにより、樹脂5の硬化が更に促進される。また、炉体2は、気密性を保つようになっているので、筐体1に設けられた導入口17から窒素ガス等を導入し、炉体2に設けられた排出口18から排出するようにすれば、炉体2内を無酸化雰囲気状態に保つことができ、樹脂硬化の安定化を図ることができる。
以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明については、上述の実施の形態に限られず、種々変形可能である。例えば、上述の実施の形態では、導入口17から窒素ガス等を導入し、排出口18から排出する構成について説明している。しかしながら、例えば当該導入口17および排出口18に接続されるポンプおよび窒素ガス等のガス供給源の接続を変更(逆転)させることにより、図1における導入口17を排出口として機能させると共に、図1における排出口18を導入口として機能させることも、可能である。排出口18を導入口として機能させる場合、図1に示されるように、当該導入口がテープ入口15の付近に設けられる構成となる。
それにより、搬送テープ3に塗布されている樹脂5が乾いていない状態のために生じるガスは、当該導入口を介していち早く外部に排出される。そのため、当該ガスが炉体2の内部に入り込んで、当該炉体2の内部で搬送されていて、既に樹脂が乾燥している搬送テープ3に付着したり、炉体2の内壁に付着する等の悪影響を防止することができる。
1 筐体
2 炉体
3 搬送テープ
4 素子
5 樹脂
6,7 キュアガイド
8,9,10 発熱体(加熱硬化手段の一部)
11,12,13 熱板(加熱硬化手段の一部であり間接加熱手段)
14 反射板(加熱硬化手段の一部であり間接加熱手段)
15 テープ入口
16 テープ出口
17 導入口
18 排出口
2 炉体
3 搬送テープ
4 素子
5 樹脂
6,7 キュアガイド
8,9,10 発熱体(加熱硬化手段の一部)
11,12,13 熱板(加熱硬化手段の一部であり間接加熱手段)
14 反射板(加熱硬化手段の一部であり間接加熱手段)
15 テープ入口
16 テープ出口
17 導入口
18 排出口
Claims (3)
- 本発明は、筐体(1)と気密性を有する炉体(2)とを有してなり、前記炉体(2)を通る搬送テープ(3)にはボンディングされた素子(4)を封止する樹脂(5)が塗布されており、前記炉体(2)内に、前記搬送テープ(3)を反転させる複数個のキュアガイド(6、7)と、前記樹脂(5)を加熱硬化させる複数個の発熱体(8、9、10)と、前記発熱体(8、9、10)により加熱される複数個の熱板(11、12、13)と、前記搬送テープ(3)の裏面側を加熱させる反射板(14)とを配設し、前記樹脂(5)を加熱硬化させることを特徴とする樹脂硬化方法。
- 前記熱板(11、12、13)を前記搬送テープ(3)と前記発熱体(8、9、10)との間に配設させてなることを特徴とする請求項1記載の樹脂硬化方法。
- 加熱硬化の開始段階に、前記反射板(14)を前記搬送テープ(3)を挟んで前記熱板(11、12、13)と対向する位置に配設させてなることを特徴とする請求項2記載の樹脂硬化方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003376036A JP2004098063A (ja) | 2003-11-05 | 2003-11-05 | 樹脂硬化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003376036A JP2004098063A (ja) | 2003-11-05 | 2003-11-05 | 樹脂硬化装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP35494693A Division JPH07178368A (ja) | 1993-12-22 | 1993-12-22 | 樹脂硬化方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004098063A true JP2004098063A (ja) | 2004-04-02 |
Family
ID=32291000
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003376036A Pending JP2004098063A (ja) | 2003-11-05 | 2003-11-05 | 樹脂硬化装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004098063A (ja) |
-
2003
- 2003-11-05 JP JP2003376036A patent/JP2004098063A/ja active Pending
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060328 |
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A02 | Decision of refusal |
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