JP3341463B2 - 硬化性組成物 - Google Patents
硬化性組成物Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体用バッファコー
ト、層間絶縁膜、パッシベーション膜等を形成するのに
用いられる硬化性組成物に関するものであり、特に液晶
素子における透明基板やカラーフィルターなどの保護膜
を形成するのに好適な硬化性組成物に関するものであ
る。
ト、層間絶縁膜、パッシベーション膜等を形成するのに
用いられる硬化性組成物に関するものであり、特に液晶
素子における透明基板やカラーフィルターなどの保護膜
を形成するのに好適な硬化性組成物に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】近年、液晶素子に色分解用カラーフィル
ターを組み合わせたカラー液晶表示素子が、多々提案さ
れている。一般的なカラーフィルターの構成としてはガ
ラス等の透明基板上に画素を形成させた上に、保護膜層
を設け、次いでITO透明電極を配するものであるが、
この保護膜層には下層を構成する画素、ガラスさらには
画素間の間隙に設けられるブラックマトリックス成分と
して使用されるクロム等との接着性、上層を構成するI
TOとの接着性、液晶セルを構成するためのエポキシ封
止剤との接着性、画素不純物成分との遮断性、平滑性、
耐光性、耐湿熱性、耐溶剤性、耐薬品性、強靭性および
透明性、液晶セルを構成する際の後工程に要求される熱
処理への耐熱性等の幅広い特性が要求される。ガラス基
板への保護膜としても同様の特性が要求される。
ターを組み合わせたカラー液晶表示素子が、多々提案さ
れている。一般的なカラーフィルターの構成としてはガ
ラス等の透明基板上に画素を形成させた上に、保護膜層
を設け、次いでITO透明電極を配するものであるが、
この保護膜層には下層を構成する画素、ガラスさらには
画素間の間隙に設けられるブラックマトリックス成分と
して使用されるクロム等との接着性、上層を構成するI
TOとの接着性、液晶セルを構成するためのエポキシ封
止剤との接着性、画素不純物成分との遮断性、平滑性、
耐光性、耐湿熱性、耐溶剤性、耐薬品性、強靭性および
透明性、液晶セルを構成する際の後工程に要求される熱
処理への耐熱性等の幅広い特性が要求される。ガラス基
板への保護膜としても同様の特性が要求される。
【0003】このような保護膜を形成せしめる熱硬化性
組成物として、特に耐熱性の見地からシロキサンポリマ
前駆体やシリコーンポリイミド前駆体等の提案が行なわ
れている。シロキサンポリマ前駆体のひとつであるポリ
アルキルシルセスキオキサン前駆体としては、例えば特
開昭63−241076号、特開平3−126612
号、特開平3−188179号公報等に示されるごとく
広く知られており、また特開昭61−103927号公
報および特開昭63−291922号公報にはシリコー
ンポリイミド前駆体の製造方法が開示されている。さら
に特開昭63−291924号公報には特にカラーフィ
ルターの保護膜形成を主たる目的としたシロキサンポリ
マ前駆体とシリコーンポリイミド前駆体からなる硬化性
組成物の提案が行なわれている。
組成物として、特に耐熱性の見地からシロキサンポリマ
前駆体やシリコーンポリイミド前駆体等の提案が行なわ
れている。シロキサンポリマ前駆体のひとつであるポリ
アルキルシルセスキオキサン前駆体としては、例えば特
開昭63−241076号、特開平3−126612
号、特開平3−188179号公報等に示されるごとく
広く知られており、また特開昭61−103927号公
報および特開昭63−291922号公報にはシリコー
ンポリイミド前駆体の製造方法が開示されている。さら
に特開昭63−291924号公報には特にカラーフィ
ルターの保護膜形成を主たる目的としたシロキサンポリ
マ前駆体とシリコーンポリイミド前駆体からなる硬化性
組成物の提案が行なわれている。
【0004】しかしながら、特開昭63−291924
号公報において提案される硬化性組成物は総合的に優れ
たカラーフィルター保護膜を与えるものであるが、塗液
組成物としての塗布性や上下層構成成分との接着性、カ
ラーフィルター保護膜形成用塗液組成物としての保存性
等に問題点が残り、その改良が望まれていた。
号公報において提案される硬化性組成物は総合的に優れ
たカラーフィルター保護膜を与えるものであるが、塗液
組成物としての塗布性や上下層構成成分との接着性、カ
ラーフィルター保護膜形成用塗液組成物としての保存性
等に問題点が残り、その改良が望まれていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、液晶
素子における透明基板やカラーフィルターなどの保護膜
を形成するのに好適であって、特に塗布性が良好で接着
性の改良された保護膜を与え、また保存安定性に優れた
熱硬化性組成物を提供することにある。
素子における透明基板やカラーフィルターなどの保護膜
を形成するのに好適であって、特に塗布性が良好で接着
性の改良された保護膜を与え、また保存安定性に優れた
熱硬化性組成物を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】かかる本発明の目的は、
下記のA、BおよびC成分を硬化時の固形分比でそれぞ
れ1〜80重量%、1〜90重量%、0.1〜20重量
%含有することを特徴とする硬化性組成物。
下記のA、BおよびC成分を硬化時の固形分比でそれぞ
れ1〜80重量%、1〜90重量%、0.1〜20重量
%含有することを特徴とする硬化性組成物。
【0007】A:アミノ基を有しないアルコキシシラン
とアミノ基を有するアルコキシシランを含有するアルコ
キシシラン混合物を加水分解・縮合して得られるポリオ
ルガノシロキサンとテトラカルボン酸2無水物の反応物
であるアミック酸、またはアミノ基を有するアルコキシ
シランにテトラカルボン酸2無水物を反応させて得られ
るアミック酸であって、分子末端または側鎖にシラノー
ル基またはアルコキシシリル基を有するアミック酸 B:アミノ基を有しないアルコキシシランを加水分解・
縮合せしめて得られる化合物 C:アルミニウムキレート化合物、チタンキレート化合
物あるいはジルコニウムキレート化合物の群から選ばれ
た少なくとも一種の金属キレート化合物
とアミノ基を有するアルコキシシランを含有するアルコ
キシシラン混合物を加水分解・縮合して得られるポリオ
ルガノシロキサンとテトラカルボン酸2無水物の反応物
であるアミック酸、またはアミノ基を有するアルコキシ
シランにテトラカルボン酸2無水物を反応させて得られ
るアミック酸であって、分子末端または側鎖にシラノー
ル基またはアルコキシシリル基を有するアミック酸 B:アミノ基を有しないアルコキシシランを加水分解・
縮合せしめて得られる化合物 C:アルミニウムキレート化合物、チタンキレート化合
物あるいはジルコニウムキレート化合物の群から選ばれ
た少なくとも一種の金属キレート化合物
【0008】すなわち、耐熱性が良好で液晶素子におけ
る透明基板やカラーフィルターなどの保護膜を形成する
のに好適なシロキサンポリマ前駆体とシリコーンポリイ
ミド前駆体からなる硬化性組成物に金属キレート化合物
を配することにより、特にカラーフィルター保護膜の上
下層を構成する成分との接着性が大きく改良されること
を見出だし、本発明に到達したものである。
る透明基板やカラーフィルターなどの保護膜を形成する
のに好適なシロキサンポリマ前駆体とシリコーンポリイ
ミド前駆体からなる硬化性組成物に金属キレート化合物
を配することにより、特にカラーフィルター保護膜の上
下層を構成する成分との接着性が大きく改良されること
を見出だし、本発明に到達したものである。
【0009】以下、本発明の構成を順に説明する。
【0010】本発明のA成分である分子末端または側鎖
にシラノール基またはアルコキシシリル基を有するアミ
ック酸としては、そのような構造を有するものであれば
特に限定されないが、アミノ基を有するアルコキシシラ
ン、該アルコキシシランの加水分解物、該アルコキシシ
ランの加水分解縮合物、または、該アルコキシシランと
アミノ基を有しないアルコキシシランを加水分解共縮合
せしめて得られる化合物に、テトラカルボン酸2無水物
を反応せしめて得られるアミック酸が代表的である。
にシラノール基またはアルコキシシリル基を有するアミ
ック酸としては、そのような構造を有するものであれば
特に限定されないが、アミノ基を有するアルコキシシラ
ン、該アルコキシシランの加水分解物、該アルコキシシ
ランの加水分解縮合物、または、該アルコキシシランと
アミノ基を有しないアルコキシシランを加水分解共縮合
せしめて得られる化合物に、テトラカルボン酸2無水物
を反応せしめて得られるアミック酸が代表的である。
【0011】この中でも特に、アミノ基を有しないアル
コキシシランとアミノ基を有するアルコキシシランを含
有するアルコキシシラン混合物を加水分解・縮合して得
られるところの、分子内に第一級アミノ基および第二級
アミノ基から選ばれる少なくとも一種の基と、シラノー
ル基を有するポリオルガノシロキサン(シロキサン型ポ
リマ前駆体)とテトラカルボン酸2無水物の反応物が、
平滑性の良好な熱硬化性塗膜を与え、かつ保存安定性の
良好な硬化性組成物を与えるという点から好ましい。
コキシシランとアミノ基を有するアルコキシシランを含
有するアルコキシシラン混合物を加水分解・縮合して得
られるところの、分子内に第一級アミノ基および第二級
アミノ基から選ばれる少なくとも一種の基と、シラノー
ル基を有するポリオルガノシロキサン(シロキサン型ポ
リマ前駆体)とテトラカルボン酸2無水物の反応物が、
平滑性の良好な熱硬化性塗膜を与え、かつ保存安定性の
良好な硬化性組成物を与えるという点から好ましい。
【0012】アミノ基を有しないアルコキシシランとし
ては下記一般式(1)で表される化合物を挙げることが
できる。 [RX Si(OR´) 4-X] (1) (ただし、R、R´は同一もしくは異なっていてもよ
く、それぞれ水素、アルキル基、アリール基、アリル
基、フルオロアルキル基から選ばれる基である。またx
は0〜3の整数である。)
ては下記一般式(1)で表される化合物を挙げることが
できる。 [RX Si(OR´) 4-X] (1) (ただし、R、R´は同一もしくは異なっていてもよ
く、それぞれ水素、アルキル基、アリール基、アリル
基、フルオロアルキル基から選ばれる基である。またx
は0〜3の整数である。)
【0013】具体的には、テトラヒドロキシシラン、テ
トラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、メチルト
リメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ビニル
トリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシランフェニ
ルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、
ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラ
ン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキ
シシラン、トリフルオロメチルメトキシシラン、トリフ
ルオロエチルトリメトキシシラン、γ−メタアクリルオ
キシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタアクリルオ
キシプロピルトリエトキシシラン等を挙げることができ
るがこれらに限定されるものでは無い。
トラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、メチルト
リメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ビニル
トリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシランフェニ
ルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、
ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラ
ン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキ
シシラン、トリフルオロメチルメトキシシラン、トリフ
ルオロエチルトリメトキシシラン、γ−メタアクリルオ
キシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタアクリルオ
キシプロピルトリエトキシシラン等を挙げることができ
るがこれらに限定されるものでは無い。
【0014】アミノ基を有するアルコキシシランとして
は下記一般式(2)で表される化合物を挙げることがで
きる。 [R1 n Si(OR2 ) 4-n] (2) (ただし、R1 は有機基を表し、R1 の少なくとも一つ
は1〜3級のアミノ基を有する有機基であり、その他は
アルキル基、アリール基、アリル基、フルオロアルキル
基から選ばれる基である。R2 は同一もしくは異なって
いてもよく、それぞれ水素、アルキル基、アリール基、
アリル基、フルオロアルキル基から選ばれる基である。
またnは1〜3の整数である。)
は下記一般式(2)で表される化合物を挙げることがで
きる。 [R1 n Si(OR2 ) 4-n] (2) (ただし、R1 は有機基を表し、R1 の少なくとも一つ
は1〜3級のアミノ基を有する有機基であり、その他は
アルキル基、アリール基、アリル基、フルオロアルキル
基から選ばれる基である。R2 は同一もしくは異なって
いてもよく、それぞれ水素、アルキル基、アリール基、
アリル基、フルオロアルキル基から選ばれる基である。
またnは1〜3の整数である。)
【0015】具体的には、γ−アミノプロピルトリエト
キシシラン、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラ
ン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルメチル
ジメトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノ
プロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリ
メトキシシラン、γ−アミノプロピルメチルジメトキシ
シラン、2−アミノエチルアミノメチルトリメチルシラ
ン、2−アミノエチルアミノメチルトリメトキシシラ
ン、3−アミノプロピルジメチルエトキシシラン、2−
(2−アミノエチルチオエチル)トリエトキシシラン等
をあげることができるが、これらに限定されるものでは
無い。
キシシラン、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラ
ン、N−β(アミノエチル)γ−アミノプロピルメチル
ジメトキシシラン、N−β(アミノエチル)γ−アミノ
プロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリ
メトキシシラン、γ−アミノプロピルメチルジメトキシ
シラン、2−アミノエチルアミノメチルトリメチルシラ
ン、2−アミノエチルアミノメチルトリメトキシシラ
ン、3−アミノプロピルジメチルエトキシシラン、2−
(2−アミノエチルチオエチル)トリエトキシシラン等
をあげることができるが、これらに限定されるものでは
無い。
【0016】一般式(1)で表されるアミノ基を有しな
いアルコキシシランと一般式(2)で表されるアミノ基
を有するアルコキシシランの使用割合は特に限定される
ものではなく、前述のようにアミノ基を有するアルコキ
シシランのみを単独で使用することも可能である。ただ
し、好ましい使用割合は、全アルコキシシラン中のアミ
ノ基を有するアルコキシシランの割合が、5〜95重量
%、さらに好ましくは30〜80重量%である。
いアルコキシシランと一般式(2)で表されるアミノ基
を有するアルコキシシランの使用割合は特に限定される
ものではなく、前述のようにアミノ基を有するアルコキ
シシランのみを単独で使用することも可能である。ただ
し、好ましい使用割合は、全アルコキシシラン中のアミ
ノ基を有するアルコキシシランの割合が、5〜95重量
%、さらに好ましくは30〜80重量%である。
【0017】このようなアルコキシシランないしその混
合物を加水分解・縮合してポリオルガノシロキサンを得
るには、無溶剤あるいは有機溶剤の存在下に、必要に応
じて酸あるいはアミン成分を加水分解・縮合触媒とし
て、必要量の水を加えて0〜130℃の条件で撹拌して
やることにより容易に行なうことができる。これらの成
分を加水分解縮合反応させるために用いる水はイオン交
換水が好ましく、その量はアルコキシシラン1モルに対
して、1〜4倍モルの範囲で用いるのが好ましい。ま
た、加水分解縮合反応させるために用いる触媒は酸触媒
が好ましく、塩酸、硫酸、酢酸、トリフルオロ酢酸、リ
ン酸、ほう酸、パラトルエンスルフォン酸などが好まし
く使用される。
合物を加水分解・縮合してポリオルガノシロキサンを得
るには、無溶剤あるいは有機溶剤の存在下に、必要に応
じて酸あるいはアミン成分を加水分解・縮合触媒とし
て、必要量の水を加えて0〜130℃の条件で撹拌して
やることにより容易に行なうことができる。これらの成
分を加水分解縮合反応させるために用いる水はイオン交
換水が好ましく、その量はアルコキシシラン1モルに対
して、1〜4倍モルの範囲で用いるのが好ましい。ま
た、加水分解縮合反応させるために用いる触媒は酸触媒
が好ましく、塩酸、硫酸、酢酸、トリフルオロ酢酸、リ
ン酸、ほう酸、パラトルエンスルフォン酸などが好まし
く使用される。
【0018】A成分の調製に使用される有機溶剤として
は特に限定されるものではないが、塗布性の良好なコー
ティング用組成物を得るために好ましく使用される溶剤
主成分としては分子内に少なくとも一個の水酸基を含有
する沸点100〜300℃の液体および/または分子内
に少なくとも一個のエーテル結合を含有する沸点100
〜300℃の液体が挙げられる。このような有機溶剤成
分としては、例えば3−メチル−3−メトキシブタノー
ル、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、プロ
ピレングリコール−モノ−メチルエーテル、プロピレン
グリコール−モノ−メチルエーテルアセテート、ジプロ
ピレングリコール−モノ−メチルエーテル、トリプロピ
レングリコール−モノ−メチルエーテル、プロピレング
リコール−モノ−3級−ブチルエーテル、イソブチルア
ルコール、イソアミルアルコール、エチルセロソルブ、
エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブ、ブチ
ルセロソルブアセテート、メチルカルビトール、メチル
カルビトールアセテート、エチルカルビトール、エチル
カルビトールアセテート等が挙げられるがこれらに限定
されるものではない。また特にA成分の調製においては
アミド酸結合の生成を伴うことから、N−メチルピロリ
ドン、γブチロラクトン、N,N−ジメチルアセトアミ
ド等の極性溶剤を併用することが望ましい。
は特に限定されるものではないが、塗布性の良好なコー
ティング用組成物を得るために好ましく使用される溶剤
主成分としては分子内に少なくとも一個の水酸基を含有
する沸点100〜300℃の液体および/または分子内
に少なくとも一個のエーテル結合を含有する沸点100
〜300℃の液体が挙げられる。このような有機溶剤成
分としては、例えば3−メチル−3−メトキシブタノー
ル、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、プロ
ピレングリコール−モノ−メチルエーテル、プロピレン
グリコール−モノ−メチルエーテルアセテート、ジプロ
ピレングリコール−モノ−メチルエーテル、トリプロピ
レングリコール−モノ−メチルエーテル、プロピレング
リコール−モノ−3級−ブチルエーテル、イソブチルア
ルコール、イソアミルアルコール、エチルセロソルブ、
エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブ、ブチ
ルセロソルブアセテート、メチルカルビトール、メチル
カルビトールアセテート、エチルカルビトール、エチル
カルビトールアセテート等が挙げられるがこれらに限定
されるものではない。また特にA成分の調製においては
アミド酸結合の生成を伴うことから、N−メチルピロリ
ドン、γブチロラクトン、N,N−ジメチルアセトアミ
ド等の極性溶剤を併用することが望ましい。
【0019】アルコキシシランないしその混合物の加水
分解および縮合の条件は、反応系の構成に応じて決定さ
れ、特に限定されるものではないが、加水分解は0〜7
0℃、0.1〜5時間、縮合は30〜150℃、1〜1
0時間で進行せしめることが望ましく、また、特に保存
安定性が良好でかつ高分子量のシロキサンポリマーを得
るには、常圧あるいは減圧下で生成水を留出させながら
の縮合を40〜150℃で進行せしめることが好まし
い。
分解および縮合の条件は、反応系の構成に応じて決定さ
れ、特に限定されるものではないが、加水分解は0〜7
0℃、0.1〜5時間、縮合は30〜150℃、1〜1
0時間で進行せしめることが望ましく、また、特に保存
安定性が良好でかつ高分子量のシロキサンポリマーを得
るには、常圧あるいは減圧下で生成水を留出させながら
の縮合を40〜150℃で進行せしめることが好まし
い。
【0020】アルコキシシランないしその混合物の加水
分解後、常圧あるいは減圧下で副生するアルコールおよ
び水を留出させながらの縮合を行なうことが好ましい。
このようにアルコールおよび水の留出を行なうことによ
り、特に塗布性、保存安定性の優れた硬化性組成物を得
ることができる。
分解後、常圧あるいは減圧下で副生するアルコールおよ
び水を留出させながらの縮合を行なうことが好ましい。
このようにアルコールおよび水の留出を行なうことによ
り、特に塗布性、保存安定性の優れた硬化性組成物を得
ることができる。
【0021】このようにして得られたポリオルガノシロ
キサンとテトラカルボン酸2無水物の反応は、通常アミ
ノ基を有する化合物のアミノ基に対して当量のテトラカ
ルボン酸2無水物を有機溶剤の存在下に、5〜40重量
%の濃度で0〜130℃の条件下で反応せしめることに
より容易に行なうことができ、該アミック酸を得ること
ができる。
キサンとテトラカルボン酸2無水物の反応は、通常アミ
ノ基を有する化合物のアミノ基に対して当量のテトラカ
ルボン酸2無水物を有機溶剤の存在下に、5〜40重量
%の濃度で0〜130℃の条件下で反応せしめることに
より容易に行なうことができ、該アミック酸を得ること
ができる。
【0022】このアミック酸合成において使用されるテ
トラカルボン酸2無水物としては公知のテトラカルボン
酸2無水物のすべてが使用できるが、好ましくはピロメ
リット酸2無水物、3,3´,4,4´−ベンゾフェノ
ンテトラカルボン酸2無水物、3,3´,4,4´−ビ
フェニルテトラカルボン酸2無水物、3,3´,4,4
´−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸2無水物、
1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸2無水
物、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸2無水物
もしくはこれらの混合物等を挙げることができる。
トラカルボン酸2無水物としては公知のテトラカルボン
酸2無水物のすべてが使用できるが、好ましくはピロメ
リット酸2無水物、3,3´,4,4´−ベンゾフェノ
ンテトラカルボン酸2無水物、3,3´,4,4´−ビ
フェニルテトラカルボン酸2無水物、3,3´,4,4
´−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸2無水物、
1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸2無水
物、1,2,3,4−ブタンテトラカルボン酸2無水物
もしくはこれらの混合物等を挙げることができる。
【0023】本発明のB成分は、アルコキシシランを加
水分解・縮合して得られる化合物であるが、原料成分の
アルコキシシランとしては、A成分の原料として使用さ
れる、アミノ基を有しないアルコキシシランが使用でき
る。
水分解・縮合して得られる化合物であるが、原料成分の
アルコキシシランとしては、A成分の原料として使用さ
れる、アミノ基を有しないアルコキシシランが使用でき
る。
【0024】本発明において使用されるB成分の構成は
特に限定されるものではないが、メチルトリメトキシシ
ラン30〜70モル%、フェニルトリメトキシシラン3
0〜70モル%あるいはγ−メタアクリルオキシプロピ
ルトリアルコキシシラン0〜100モル%から成る組成
物が得られる塗膜の特性、塗布特性の観点から好ましく
使用される。
特に限定されるものではないが、メチルトリメトキシシ
ラン30〜70モル%、フェニルトリメトキシシラン3
0〜70モル%あるいはγ−メタアクリルオキシプロピ
ルトリアルコキシシラン0〜100モル%から成る組成
物が得られる塗膜の特性、塗布特性の観点から好ましく
使用される。
【0025】これらのアルコキシシランを加水分解縮合
するには、A成分の原料のポリオルガノシロキサンの加
水分解縮合と同様にすればよく、調整に用いる有機溶剤
も同様のものを用いればよい。
するには、A成分の原料のポリオルガノシロキサンの加
水分解縮合と同様にすればよく、調整に用いる有機溶剤
も同様のものを用いればよい。
【0026】本発明のC成分の金属キレート化合物とし
ては、アルミニウムキレート化合物、チタンキレート化
合物、ジルコニウムキレート化合物から選ばれる金属キ
レート化合物の少なくとも1種が使用されるが、アルミ
ニウムトリアルコオキサイド、チタンテトラアルコオキ
サイド、ジルコニウムテトラアルコオキサイドとβ−ジ
ケトン化合物あるいはβ−ケトエステルを反応せしめて
得られる金属キレート化合物が好ましく使用される。具
体的にはアルミニウムトリス(エチルアセトアセテー
ト)、ジプロポキシチタンビス(エチルアセトアセテー
ト)、ジブトキシジルコニウムビス(エチルアセトアセ
テート)、ジルコニウムテトラ(エチルアセトアセテー
ト)、チタンテトラ(エチルアセトアセテート)、アル
ミニウムトリス(アセチルルアセトナート)、ジプロポ
キシチタンビス(アセチルアセトナート)、ジブトキシ
ジルコニウムビス(アセチルアセトナート)、ジルコニ
ウムテトラ(アセチルアセトナート)、チタンテトラ
(アセチルアセトナート)等を挙げることができる。
ては、アルミニウムキレート化合物、チタンキレート化
合物、ジルコニウムキレート化合物から選ばれる金属キ
レート化合物の少なくとも1種が使用されるが、アルミ
ニウムトリアルコオキサイド、チタンテトラアルコオキ
サイド、ジルコニウムテトラアルコオキサイドとβ−ジ
ケトン化合物あるいはβ−ケトエステルを反応せしめて
得られる金属キレート化合物が好ましく使用される。具
体的にはアルミニウムトリス(エチルアセトアセテー
ト)、ジプロポキシチタンビス(エチルアセトアセテー
ト)、ジブトキシジルコニウムビス(エチルアセトアセ
テート)、ジルコニウムテトラ(エチルアセトアセテー
ト)、チタンテトラ(エチルアセトアセテート)、アル
ミニウムトリス(アセチルルアセトナート)、ジプロポ
キシチタンビス(アセチルアセトナート)、ジブトキシ
ジルコニウムビス(アセチルアセトナート)、ジルコニ
ウムテトラ(アセチルアセトナート)、チタンテトラ
(アセチルアセトナート)等を挙げることができる。
【0027】これらの金属キレート化合物は金属酸化物
濃度1〜30重量%の有機溶剤溶液として使用されるこ
とが好ましく、有機溶剤としては特に限定されるもので
は無いが、本発明のA成分、B成分と同様の溶剤成分が
使用できる。
濃度1〜30重量%の有機溶剤溶液として使用されるこ
とが好ましく、有機溶剤としては特に限定されるもので
は無いが、本発明のA成分、B成分と同様の溶剤成分が
使用できる。
【0028】本発明の硬化性組成物は、上記A成分、B
成分、C成分を混合する事により得ることができ、通
常、室温〜50℃で撹拌下に行なわれる。混合比率とし
ては硬化時の固形分比でA成分:1〜80重量%、B成
分:1〜90重量%、C成分:0.1〜20重量%であ
り、好ましくはA成分:10〜50重量%、B成分:5
0〜80重量%、C成分:0.5〜10重量%である。
A成分の濃度が1重量%より少ないと得られる被膜の強
靭性が不足し、80重量%よりも多くなると、被膜の耐
湿熱性に問題が生じてくる。またB成分の濃度が1重量
%より少ないと得られる被膜の平滑性が不足し、90重
量%よりも多くなると、被膜の強靭性に問題が生じ、C
成分の濃度が0.1重量%より少ないと得られる被膜の
接着性が不足し、20重量%よりも多くなると、被膜に
クラックが生じ易い。
成分、C成分を混合する事により得ることができ、通
常、室温〜50℃で撹拌下に行なわれる。混合比率とし
ては硬化時の固形分比でA成分:1〜80重量%、B成
分:1〜90重量%、C成分:0.1〜20重量%であ
り、好ましくはA成分:10〜50重量%、B成分:5
0〜80重量%、C成分:0.5〜10重量%である。
A成分の濃度が1重量%より少ないと得られる被膜の強
靭性が不足し、80重量%よりも多くなると、被膜の耐
湿熱性に問題が生じてくる。またB成分の濃度が1重量
%より少ないと得られる被膜の平滑性が不足し、90重
量%よりも多くなると、被膜の強靭性に問題が生じ、C
成分の濃度が0.1重量%より少ないと得られる被膜の
接着性が不足し、20重量%よりも多くなると、被膜に
クラックが生じ易い。
【0029】本発明の硬化性組成物は通常コーティング
用組成物として溶液系で使用されるが、溶剤構成として
は溶剤成分中でγ−ブチロラクトンないしN−メチルピ
ロリドンが5〜50重量%、3−メチル−3−メトキシ
ブタノールあるいはそのアセテートあるいはプロピレン
グリコールモノメチルエーテルが30〜90重量%であ
ることが塗布性の見地から好ましい。
用組成物として溶液系で使用されるが、溶剤構成として
は溶剤成分中でγ−ブチロラクトンないしN−メチルピ
ロリドンが5〜50重量%、3−メチル−3−メトキシ
ブタノールあるいはそのアセテートあるいはプロピレン
グリコールモノメチルエーテルが30〜90重量%であ
ることが塗布性の見地から好ましい。
【0030】本発明の硬化性組成物をコーティング用組
成物として用いる場合、基板塗布後、通常、加熱により
硬化させればよく、液晶表示素子のカラーフィルターの
保護膜ないし平坦化膜形成用の熱硬化性組成物として有
用であるが、半導体素子の保護膜、層間絶縁膜、導波路
形成用材料、位相シフター用材料、さらには各種電子部
品の保護膜としても用いることができる。
成物として用いる場合、基板塗布後、通常、加熱により
硬化させればよく、液晶表示素子のカラーフィルターの
保護膜ないし平坦化膜形成用の熱硬化性組成物として有
用であるが、半導体素子の保護膜、層間絶縁膜、導波路
形成用材料、位相シフター用材料、さらには各種電子部
品の保護膜としても用いることができる。
【0031】例えば、カラーフィルターの保護膜として
用いる場合は、ガラス等の透明基板の上の着色層および
必要に応じて該着色層の間隙に設けられた遮光層の上
に、本発明の硬化性組成物を塗布、硬化させて透明保護
膜とする。
用いる場合は、ガラス等の透明基板の上の着色層および
必要に応じて該着色層の間隙に設けられた遮光層の上
に、本発明の硬化性組成物を塗布、硬化させて透明保護
膜とする。
【0032】
【実施例】次に、実施例により本発明をさらに詳細に説
明する。
明する。
【0033】調製例1 メチルトリメトキシシラン4.08g(0.03モ
ル)、フェニルトリメトキシシラン9.9g(0.05
モル)、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン2
8.8g(0.15モル)をγ−ブチロラクトン15
6.3g、3−メチル−3−メトキシブタノール150
gに溶解し、30℃で撹拌しながら、9.12gの蒸留
水を加えた後、50℃で2時間加熱撹拌し、加水分解・
縮合を行なった後、130°Cに昇温し、さらに縮合を
進めながら生成したアルコールと水を留去させた。この
溶液を50℃に冷却した後、撹拌下に3,3´,4,4
´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸2無水物24.1
7g(0.075モル)を添加反応させてアミック酸系
ポリオルガノシロキサン溶液を得た。このように得られ
た溶液の固形分濃度を測定すると13.5重量%であ
り、粘度は25センチポイズ(25℃)であった。
ル)、フェニルトリメトキシシラン9.9g(0.05
モル)、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン2
8.8g(0.15モル)をγ−ブチロラクトン15
6.3g、3−メチル−3−メトキシブタノール150
gに溶解し、30℃で撹拌しながら、9.12gの蒸留
水を加えた後、50℃で2時間加熱撹拌し、加水分解・
縮合を行なった後、130°Cに昇温し、さらに縮合を
進めながら生成したアルコールと水を留去させた。この
溶液を50℃に冷却した後、撹拌下に3,3´,4,4
´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸2無水物24.1
7g(0.075モル)を添加反応させてアミック酸系
ポリオルガノシロキサン溶液を得た。このように得られ
た溶液の固形分濃度を測定すると13.5重量%であ
り、粘度は25センチポイズ(25℃)であった。
【0034】調製例2 メチルトリメトキシシラン4.08g(0.03モ
ル)、フェニルトリメトキシシラン5.94g(0.0
3モル)、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン
28.8g(0.15モル)をγ−ブチロラクトン15
6.3g、3−メチル−3−メトキシブタノール150
gに溶解し、30℃で撹拌しながら、8.64gの蒸留
水を加えた後、80℃で2時間加熱撹拌し、加水分解・
縮合を行なった。この溶液を50℃に冷却した後、撹拌
下に3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボ
ン酸2無水物24.17g(0.075モル)を添加し
アミック酸系ポリオルガノシロキサン溶液を得た。この
ように得られた溶液の濃度を測定すると12.2重量%
であり、粘度は15センチポイズ(25℃)であった。 調製例3 メチルトリメトキシシラン4.08g(0.03モ
ル)、フェニルトリメトキシシラン5.94g(0.0
3モル)、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン
28.8g(0.15モル)をγ−ブチロラクトン10
0.0g、3−メチル−3−メトキシブタノール169
gに溶解し、30℃で撹拌しながら、8.64gの蒸留
水を加えた後、50℃で2時間加熱撹拌し、加水分解・
縮合を行なった後、20mmHg減圧下に撹拌して生成
したアルコールと水を留出させた。
ル)、フェニルトリメトキシシラン5.94g(0.0
3モル)、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン
28.8g(0.15モル)をγ−ブチロラクトン15
6.3g、3−メチル−3−メトキシブタノール150
gに溶解し、30℃で撹拌しながら、8.64gの蒸留
水を加えた後、80℃で2時間加熱撹拌し、加水分解・
縮合を行なった。この溶液を50℃に冷却した後、撹拌
下に3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボ
ン酸2無水物24.17g(0.075モル)を添加し
アミック酸系ポリオルガノシロキサン溶液を得た。この
ように得られた溶液の濃度を測定すると12.2重量%
であり、粘度は15センチポイズ(25℃)であった。 調製例3 メチルトリメトキシシラン4.08g(0.03モ
ル)、フェニルトリメトキシシラン5.94g(0.0
3モル)、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン
28.8g(0.15モル)をγ−ブチロラクトン10
0.0g、3−メチル−3−メトキシブタノール169
gに溶解し、30℃で撹拌しながら、8.64gの蒸留
水を加えた後、50℃で2時間加熱撹拌し、加水分解・
縮合を行なった後、20mmHg減圧下に撹拌して生成
したアルコールと水を留出させた。
【0035】この溶液を50℃で撹拌しながら3,3
´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸2無水
物24.17g(0.075モル)を添加しアミック酸
系ポリオルガノシロキサン溶液を得た。このように得ら
れた溶液の濃度を測定すると15.5重量%であり、粘
度は22.1センチポイズ(25℃)であった。
´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸2無水
物24.17g(0.075モル)を添加しアミック酸
系ポリオルガノシロキサン溶液を得た。このように得ら
れた溶液の濃度を測定すると15.5重量%であり、粘
度は22.1センチポイズ(25℃)であった。
【0036】調製例4 メチルトリメトキシシラン5.44g(0.04モ
ル)、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン1
9.2g(0.1モル)をγ−ブチロラクトン90g、
3−メチル−3−メトキシブタノール90gの混合液に
溶解し、30℃で撹拌しながら、5.7gの蒸留水を加
えた後、80℃で2時間加熱撹拌し、加水分解・縮合を
行なった。この溶液を50℃に冷却した後、撹拌下に
3,3´,4,4´−ビフェニルテトラカルボン酸2無
水物14.72g(0.05モル)を添加しアミック酸
系ポリオルガノシロキサン溶液を得た。このように得ら
れた溶液の濃度を測定すると12.1重量%であり、粘
度は18センチポイズ(25℃)であった。
ル)、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン1
9.2g(0.1モル)をγ−ブチロラクトン90g、
3−メチル−3−メトキシブタノール90gの混合液に
溶解し、30℃で撹拌しながら、5.7gの蒸留水を加
えた後、80℃で2時間加熱撹拌し、加水分解・縮合を
行なった。この溶液を50℃に冷却した後、撹拌下に
3,3´,4,4´−ビフェニルテトラカルボン酸2無
水物14.72g(0.05モル)を添加しアミック酸
系ポリオルガノシロキサン溶液を得た。このように得ら
れた溶液の濃度を測定すると12.1重量%であり、粘
度は18センチポイズ(25℃)であった。
【0037】調製例5 3,3´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸
2無水物180.0g(0.56モル)をγ−ブチロラ
クトン393.4g、3−メチル−3−メトキシブタノ
ール573.5gの混合液に溶解し、30℃で10分間
撹拌した後、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラ
ン213.7g(1.12モル)を添加した。その後、
40℃で撹拌加熱し、27.2重量%濃度で、32.5
センチポイズ(25℃)のアミック酸溶液を得た。
2無水物180.0g(0.56モル)をγ−ブチロラ
クトン393.4g、3−メチル−3−メトキシブタノ
ール573.5gの混合液に溶解し、30℃で10分間
撹拌した後、γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラ
ン213.7g(1.12モル)を添加した。その後、
40℃で撹拌加熱し、27.2重量%濃度で、32.5
センチポイズ(25℃)のアミック酸溶液を得た。
【0038】調製例6 メチルトリメトキシシラン272.0g(2.0mo
l)、フェニルトリメトキシシラン396.0g(2.
0mol)を3−メチル−3−メトキシブタノール78
5.6gに溶解した後に、燐酸3.34gと水216g
の混合物を攪拌しながら加えた。得られた溶液をバス温
105℃で1時間加熱し、主として副生するメタノール
からなる成分302gを留出せしめた。次いでバス温1
30℃で2.0時間加熱し、内温を118℃まで上げ
て、主として水とアルコールからなる成分147gを留
出せしめた後、室温まで冷却して、3−メチル−3−メ
トキシブタノール86gを加えて、30.1重量%濃度
で、50.5センチポイズ(25℃)のポリオルガノシ
ロキサン系溶液を得た。
l)、フェニルトリメトキシシラン396.0g(2.
0mol)を3−メチル−3−メトキシブタノール78
5.6gに溶解した後に、燐酸3.34gと水216g
の混合物を攪拌しながら加えた。得られた溶液をバス温
105℃で1時間加熱し、主として副生するメタノール
からなる成分302gを留出せしめた。次いでバス温1
30℃で2.0時間加熱し、内温を118℃まで上げ
て、主として水とアルコールからなる成分147gを留
出せしめた後、室温まで冷却して、3−メチル−3−メ
トキシブタノール86gを加えて、30.1重量%濃度
で、50.5センチポイズ(25℃)のポリオルガノシ
ロキサン系溶液を得た。
【0039】調製例7 メチルトリメトキシシラン272.0g(2.0mo
l)、フェニルトリメトキシシラン396.0g(2.
0mol)を3−メチル−3−メトキシブタノール78
5.6gに溶解した後に、酢酸0.34gと水216g
の混合物を攪拌しながら加えた。得られた溶液をバス温
105℃で1時間加熱し、主として副生するメタノール
からなる成分302gを留出せしめた。次いでバス温1
30℃で2.0時間加熱し、内温を118℃まで上げ
て、主として水とアルコールからなる成分147gを留
出せしめた後、室温まで冷却して、3−メチル−3−メ
トキシブタノール86gを加えて、30.5重量%濃度
で、48.5センチポイズ(25℃)のポリオルガノシ
ロキサン系溶液を得た。
l)、フェニルトリメトキシシラン396.0g(2.
0mol)を3−メチル−3−メトキシブタノール78
5.6gに溶解した後に、酢酸0.34gと水216g
の混合物を攪拌しながら加えた。得られた溶液をバス温
105℃で1時間加熱し、主として副生するメタノール
からなる成分302gを留出せしめた。次いでバス温1
30℃で2.0時間加熱し、内温を118℃まで上げ
て、主として水とアルコールからなる成分147gを留
出せしめた後、室温まで冷却して、3−メチル−3−メ
トキシブタノール86gを加えて、30.5重量%濃度
で、48.5センチポイズ(25℃)のポリオルガノシ
ロキサン系溶液を得た。
【0040】調製例8 γメタクリロキシプロピルトリメトキシシラン46.4
g(0.2mol)を3−メチル−3−メトキシブタノ
ール97.2gに溶解した後に、酢酸0.23gと水1
0.8gの混合物を攪拌しながら加えた。得られた溶液
をバス温50℃で2時間加熱した後、20mmHg減圧
下に撹拌して生成したアルコールと水を留出させて、2
5.5重量%濃度で、5.5センチポイズ(25℃)の
ポリオルガノシロキサン系溶液を得た。
g(0.2mol)を3−メチル−3−メトキシブタノ
ール97.2gに溶解した後に、酢酸0.23gと水1
0.8gの混合物を攪拌しながら加えた。得られた溶液
をバス温50℃で2時間加熱した後、20mmHg減圧
下に撹拌して生成したアルコールと水を留出させて、2
5.5重量%濃度で、5.5センチポイズ(25℃)の
ポリオルガノシロキサン系溶液を得た。
【0041】調製例9 メチルトリメトキシシラン95.2g(0.7mo
l)、ジメチルジメトキシシラン36g(0.3mo
l)、フェニルトリメトキシシラン39.6g(0.2
mol)をプロピレングリコールモノメチルエーテル1
93.4gに溶解し、これに、水60g、燐酸1.7g
の混合物を攪拌しながら加えた。得られた溶液をバス温
105℃で2.5時間加熱し、内温を90℃まで上げ
て、主として副生するメタノールからなる成分113g
を留出せしめた。次いでバス温125℃で3.5時間加
熱し、内温を112℃まで上げて、主として水とプロピ
レングリコールモノメチルエーテルからなる成分78g
を留出せしめた後、室温まで冷却し、プロピレングリコ
ールモノメチルエーテル82.1gで希釈した。このよ
うにして30.5重量%濃度で、25.5センチポイズ
(25℃)のポリオルガノシロキサン系溶液を得た。
l)、ジメチルジメトキシシラン36g(0.3mo
l)、フェニルトリメトキシシラン39.6g(0.2
mol)をプロピレングリコールモノメチルエーテル1
93.4gに溶解し、これに、水60g、燐酸1.7g
の混合物を攪拌しながら加えた。得られた溶液をバス温
105℃で2.5時間加熱し、内温を90℃まで上げ
て、主として副生するメタノールからなる成分113g
を留出せしめた。次いでバス温125℃で3.5時間加
熱し、内温を112℃まで上げて、主として水とプロピ
レングリコールモノメチルエーテルからなる成分78g
を留出せしめた後、室温まで冷却し、プロピレングリコ
ールモノメチルエーテル82.1gで希釈した。このよ
うにして30.5重量%濃度で、25.5センチポイズ
(25℃)のポリオルガノシロキサン系溶液を得た。
【0042】調製例10 アセト酢酸エチルエステル650gと3−メチル−3−
メトキシブタノール1567gの混合液にテトラブトキ
シジルコニウム383gを添加して30℃で1時間撹拌
した後24時間放置してジルコニア換算で5重量%のジ
ルコニウムキレート溶液を得た。
メトキシブタノール1567gの混合液にテトラブトキ
シジルコニウム383gを添加して30℃で1時間撹拌
した後24時間放置してジルコニア換算で5重量%のジ
ルコニウムキレート溶液を得た。
【0043】調製例11 アセト酢酸エチルエステル520gと3−メチル−3−
メトキシブタノール818gの混合液にテトラブトキシ
チタン340gを添加して30℃で1時間撹拌した後2
4時間放置して酸化チタン換算濃度で5重量%のチタン
キレート溶液を得た。
メトキシブタノール818gの混合液にテトラブトキシ
チタン340gを添加して30℃で1時間撹拌した後2
4時間放置して酸化チタン換算濃度で5重量%のチタン
キレート溶液を得た。
【0044】調製例12 アセト酢酸エチルエステル520gにトリ(2−エトキ
シエトキシ)アルミニウム 1モル/Kgのイソプロパ
ノール溶液1kgを添加して30℃で1時間撹拌した後
24時間放置してアルミナ換算濃度で3.4重量%のア
ルミニウムキレート溶液を得た。
シエトキシ)アルミニウム 1モル/Kgのイソプロパ
ノール溶液1kgを添加して30℃で1時間撹拌した後
24時間放置してアルミナ換算濃度で3.4重量%のア
ルミニウムキレート溶液を得た。
【0045】実施例1 調製例1で得られたアミック酸系ポリオルガノシロキサ
ン溶液7.5gと調製例6で得られたポリオルガノシロ
キサン溶液10.0gおよび調製例10で得られたキレ
ート溶液1.5gを混合し、孔径0.2μのフィルター
で濾過しコーテイング塗液を調製した。この塗液を1m
m厚みの無アルカリガラス板上にスピンコータで塗布
し、80℃熱風乾燥機中で10分間プレキュアした後2
80℃で1時間のキュアを行ない1.5μmの塗膜を形
成させた。この塗膜は欠点がなく良好な平坦性(±0.
1μm以下)を有し、400〜650nmの可視領域で
95%以上の光透過性を示し、鉛筆引っ掻き硬度は4H
を示した。ガラス板への接着性をテープ剥離によるゴバ
ン目試験(JIS K−5400)で評価したが、剥離
は全く見られなかった。これらの特性は220℃のギヤ
オーブン中で200時間加熱処理しても低下することが
なく、また120℃、2気圧、100%RH、96時間
の湿熱処理を行なっても低下しなかった。
ン溶液7.5gと調製例6で得られたポリオルガノシロ
キサン溶液10.0gおよび調製例10で得られたキレ
ート溶液1.5gを混合し、孔径0.2μのフィルター
で濾過しコーテイング塗液を調製した。この塗液を1m
m厚みの無アルカリガラス板上にスピンコータで塗布
し、80℃熱風乾燥機中で10分間プレキュアした後2
80℃で1時間のキュアを行ない1.5μmの塗膜を形
成させた。この塗膜は欠点がなく良好な平坦性(±0.
1μm以下)を有し、400〜650nmの可視領域で
95%以上の光透過性を示し、鉛筆引っ掻き硬度は4H
を示した。ガラス板への接着性をテープ剥離によるゴバ
ン目試験(JIS K−5400)で評価したが、剥離
は全く見られなかった。これらの特性は220℃のギヤ
オーブン中で200時間加熱処理しても低下することが
なく、また120℃、2気圧、100%RH、96時間
の湿熱処理を行なっても低下しなかった。
【0046】さらにこのガラス板上塗膜に液晶セル封止
用エポキシ樹脂を1mm幅8μm厚みに塗布・キュアさ
せて剥離力を測定したところ、2Kg/cm以上の実用
強度を示し、この接着性は120℃、2気圧、100%
RH、24時間の湿熱処理を行なっても低下しなかっ
た。
用エポキシ樹脂を1mm幅8μm厚みに塗布・キュアさ
せて剥離力を測定したところ、2Kg/cm以上の実用
強度を示し、この接着性は120℃、2気圧、100%
RH、24時間の湿熱処理を行なっても低下しなかっ
た。
【0047】また、このコーテイング塗液を室温(25
℃)で30日間放置した後、同様の塗布と評価を行い、
同様特性の塗膜が得られることを確認した。
℃)で30日間放置した後、同様の塗布と評価を行い、
同様特性の塗膜が得られることを確認した。
【0048】比較例1 実施例1において調製例10で得られたキレート溶液
1.5gを使用しないで同様にコーテイング塗液を調
製、同様の塗布と評価を行なったところ、120℃、2
気圧、100%RH、96時間の湿熱処理後のゴバン目
試験(JIS K−5400)で約20%の塗膜剥離が
生じた。
1.5gを使用しないで同様にコーテイング塗液を調
製、同様の塗布と評価を行なったところ、120℃、2
気圧、100%RH、96時間の湿熱処理後のゴバン目
試験(JIS K−5400)で約20%の塗膜剥離が
生じた。
【0049】比較例2 実施例1において、調製例1で得られたアミック酸系ポ
リオルガノシロキサン溶液7.5gを使用しないで同様
にコーテイング塗液を調製、同様の塗布と評価を行なっ
たところ、塗膜の一部にクラックが発生した。
リオルガノシロキサン溶液7.5gを使用しないで同様
にコーテイング塗液を調製、同様の塗布と評価を行なっ
たところ、塗膜の一部にクラックが発生した。
【0050】実施例2 実施例1において1mm厚みの無アルカリガラス板の代
わりに、該ガラス板上に蒸着クロムのブラックマトリッ
クスとポリイミドをバインダー成分とする顔料分散タイ
プのRGB画素を形成させたカラーフィルターを使用し
て、このカラーフィルター上に同様の塗布とプレキュア
・キュアを行なった。当初ブラックマトリックスと画素
の段差は1.5μmであったが該コーテイング膜形成後
の段差は0.3μmとなった。その他の特性は実施例1
とほぼ同様であったが、120℃、2気圧、100%R
H、96時間の湿熱処理後のゴバン目試験(JIS K
−5400)で蒸着クロムのブラックマトリックス上で
の塗膜剥離は約30%にすぎず、実用レベルとして十分
なものであった。
わりに、該ガラス板上に蒸着クロムのブラックマトリッ
クスとポリイミドをバインダー成分とする顔料分散タイ
プのRGB画素を形成させたカラーフィルターを使用し
て、このカラーフィルター上に同様の塗布とプレキュア
・キュアを行なった。当初ブラックマトリックスと画素
の段差は1.5μmであったが該コーテイング膜形成後
の段差は0.3μmとなった。その他の特性は実施例1
とほぼ同様であったが、120℃、2気圧、100%R
H、96時間の湿熱処理後のゴバン目試験(JIS K
−5400)で蒸着クロムのブラックマトリックス上で
の塗膜剥離は約30%にすぎず、実用レベルとして十分
なものであった。
【0051】比較例3 実施例1において調製例10で得られたキレート溶液
1.5gを使用しないで同様にコーテイング塗液を調
製、実施例2と同様の塗布と評価を行なったところ、1
20℃、2気圧、100%RH、96時間の湿熱処理後
のゴバン目試験(JIS K−5400)で蒸着クロム
のブラックマトリックス上で100%の塗膜剥離が生じ
た。
1.5gを使用しないで同様にコーテイング塗液を調
製、実施例2と同様の塗布と評価を行なったところ、1
20℃、2気圧、100%RH、96時間の湿熱処理後
のゴバン目試験(JIS K−5400)で蒸着クロム
のブラックマトリックス上で100%の塗膜剥離が生じ
た。
【0052】比較例4 実施例1において、調製例6で得られたポリオルガノシ
ロキサン溶液10.0gを使用しないで同様にコーテイ
ング塗液を調製、実施例2と同様の塗布と評価を行なっ
た。当初ブラックマトリックスと画素の段差は1.5μ
mであったが該コーテイング膜形成後の段差は0.5μ
mとなり、実施例2の場合と比較して平坦化特性の低下
が生じた。また、400〜650nmの可視領域で約5
%の光透過性の低下が生じた。
ロキサン溶液10.0gを使用しないで同様にコーテイ
ング塗液を調製、実施例2と同様の塗布と評価を行なっ
た。当初ブラックマトリックスと画素の段差は1.5μ
mであったが該コーテイング膜形成後の段差は0.5μ
mとなり、実施例2の場合と比較して平坦化特性の低下
が生じた。また、400〜650nmの可視領域で約5
%の光透過性の低下が生じた。
【0053】実施例3 調製例2で得られたアミック酸系ポリオルガノシロキサ
ン溶液7.5gと調製例7で得られたポリオルガノシロ
キサン溶液10.0gおよび調製例11で得られたキレ
ート溶液3.0gを混合し、孔径0.2μのフィルター
で濾過しコーテイング塗液を調製した。この塗液を1m
m厚みの無アルカリガラス板上にスピンコータで塗布
し、80℃熱風乾燥機中で10分間プレキュアした後2
80℃で1時間のキュアを行ない2.0μの塗膜を形成
させた。この塗膜は欠点がなく良好な平坦性を有し、4
00〜650nmの可視領域で95%以上の光透過性を
有し、鉛筆引っ掻き硬度は4Hを示した。
ン溶液7.5gと調製例7で得られたポリオルガノシロ
キサン溶液10.0gおよび調製例11で得られたキレ
ート溶液3.0gを混合し、孔径0.2μのフィルター
で濾過しコーテイング塗液を調製した。この塗液を1m
m厚みの無アルカリガラス板上にスピンコータで塗布
し、80℃熱風乾燥機中で10分間プレキュアした後2
80℃で1時間のキュアを行ない2.0μの塗膜を形成
させた。この塗膜は欠点がなく良好な平坦性を有し、4
00〜650nmの可視領域で95%以上の光透過性を
有し、鉛筆引っ掻き硬度は4Hを示した。
【0054】ガラス板への接着性をテープ剥離によるゴ
バン目試験(JIS K−5400)で評価したが、剥
離は全く見られなかった。これらの特性は220℃のギ
ヤオーブン中で200時間加熱処理しても低下すること
がなく、また120℃、2気圧、100%RH、96時
間の湿熱処理を行なっても低下しなかった。
バン目試験(JIS K−5400)で評価したが、剥
離は全く見られなかった。これらの特性は220℃のギ
ヤオーブン中で200時間加熱処理しても低下すること
がなく、また120℃、2気圧、100%RH、96時
間の湿熱処理を行なっても低下しなかった。
【0055】また、このコーテイング塗液を室温(25
℃)で30日間放置した後、同様の塗布と評価を行い、
同様特性の塗膜が得られることを確認した。
℃)で30日間放置した後、同様の塗布と評価を行い、
同様特性の塗膜が得られることを確認した。
【0056】実施例4 実施例3において、調製例2で得られたアミック酸系ポ
リオルガノシロキサン溶液7.5gの代わりに調製例3
で得られたアミック酸系ポリオルガノシロキサン溶液
7.5gを使用して、同様のコーテイング塗液調製・評
価を行ったところ同様の優れた特性(平坦性、光透過
性、鉛筆引っ掻き硬度、密着性、剥離力、保存性)を有
する塗膜を得ることができた。
リオルガノシロキサン溶液7.5gの代わりに調製例3
で得られたアミック酸系ポリオルガノシロキサン溶液
7.5gを使用して、同様のコーテイング塗液調製・評
価を行ったところ同様の優れた特性(平坦性、光透過
性、鉛筆引っ掻き硬度、密着性、剥離力、保存性)を有
する塗膜を得ることができた。
【0057】実施例5 実施例3において、調製例2で得られたアミック酸系ポ
リオルガノシロキサン溶液7.5gの代わりに調製例4
で得られたアミック酸系ポリオルガノシロキサン溶液5
gを使用して、同様のコーテイング塗液調製・評価を行
ったところ同様の優れた特性(平坦性、光透過性、鉛筆
引っ掻き硬度、密着性、剥離力、保存性)を有する塗膜
を得ることができた。
リオルガノシロキサン溶液7.5gの代わりに調製例4
で得られたアミック酸系ポリオルガノシロキサン溶液5
gを使用して、同様のコーテイング塗液調製・評価を行
ったところ同様の優れた特性(平坦性、光透過性、鉛筆
引っ掻き硬度、密着性、剥離力、保存性)を有する塗膜
を得ることができた。
【0058】実施例6 調製例5で得られたアミック酸溶液11.5gと調製例
7で得られたポリオルガノシロキサン溶液10.0gお
よび調製例10で得られたキレート溶液1.5gを混合
し、孔径0.2μのフィルターで濾過しコーテイング塗
液を調製した。この塗液を1mm厚みの無アルカリガラ
ス板上にスピンコータで塗布し、80℃熱風乾燥機中で
10分間プレキュアした後280℃で1時間のキュアを
行ない1.5μの塗膜を形成させた。この塗膜は欠点が
なく良好な平坦性を有し、400〜650nmの可視領
域で97%以上の光透過性を有し、鉛筆引っ掻き硬度は
4Hを示した。
7で得られたポリオルガノシロキサン溶液10.0gお
よび調製例10で得られたキレート溶液1.5gを混合
し、孔径0.2μのフィルターで濾過しコーテイング塗
液を調製した。この塗液を1mm厚みの無アルカリガラ
ス板上にスピンコータで塗布し、80℃熱風乾燥機中で
10分間プレキュアした後280℃で1時間のキュアを
行ない1.5μの塗膜を形成させた。この塗膜は欠点が
なく良好な平坦性を有し、400〜650nmの可視領
域で97%以上の光透過性を有し、鉛筆引っ掻き硬度は
4Hを示した。
【0059】ガラス板への接着性をテープ剥離によるゴ
バン目試験(JIS K−5400)で評価したが、剥
離は全く見られなかった。これらの特性は220℃のギ
ヤオーブン中で200時間加熱処理しても低下すること
がなく、また120℃、2気圧、100%RH、96時
間の湿熱処理を行なっても低下しなかった。
バン目試験(JIS K−5400)で評価したが、剥
離は全く見られなかった。これらの特性は220℃のギ
ヤオーブン中で200時間加熱処理しても低下すること
がなく、また120℃、2気圧、100%RH、96時
間の湿熱処理を行なっても低下しなかった。
【0060】基板として1mm厚みの無アルカリガラス
板の代わりに、該ガラス板上に蒸着クロムのブラックマ
トリックスとポリイミドをバインダー成分とする顔料分
散タイプのRGB画素を形成させたカラーフィルターを
使用して、このカラーフィルター上に同様の塗布とプレ
キュア・キュアを行なった。塗膜の特性はガラス板上塗
膜とほぼ同様であったが、120℃、2気圧、100%
RH、24時間の湿熱処理後のゴバン目試験(JIS
K−5400)で蒸着クロムのブラックマトリックス上
での塗膜剥離は約20%にすぎず、実用レベルとして十
分なものであった。
板の代わりに、該ガラス板上に蒸着クロムのブラックマ
トリックスとポリイミドをバインダー成分とする顔料分
散タイプのRGB画素を形成させたカラーフィルターを
使用して、このカラーフィルター上に同様の塗布とプレ
キュア・キュアを行なった。塗膜の特性はガラス板上塗
膜とほぼ同様であったが、120℃、2気圧、100%
RH、24時間の湿熱処理後のゴバン目試験(JIS
K−5400)で蒸着クロムのブラックマトリックス上
での塗膜剥離は約20%にすぎず、実用レベルとして十
分なものであった。
【0061】比較例5 実施例6において調製例10で得られたキレート溶液
1.5gを使用しないで同様にコーテイング塗液を調
製、同様の塗布と評価を行なったところ、120℃、2
気圧、100%RH、96時間の湿熱処理後のゴバン目
試験(JIS K−5400)において蒸着クロムのブ
ラックマトリックス上で100%の塗膜剥離が生じた。
1.5gを使用しないで同様にコーテイング塗液を調
製、同様の塗布と評価を行なったところ、120℃、2
気圧、100%RH、96時間の湿熱処理後のゴバン目
試験(JIS K−5400)において蒸着クロムのブ
ラックマトリックス上で100%の塗膜剥離が生じた。
【0062】実施例7 実施例3において、調製例7で得られたポリオルガノシ
ロキサン溶液10gの代わりに調製例8で得られたポリ
オルガノシロキサン溶液5gを使用して、同様にコーテ
イング塗液を調製した。この塗液を1mm厚みの無アル
カリガラス板上にスピンコータで塗布し、80℃熱風乾
燥機中で10分間プレキュアした後280℃で1時間の
キュアを行ない1.5μの塗膜を形成させた。この塗膜
は欠点がなく良好な平坦性を有し、400〜650nm
の可視領域で97%以上の光透過性を有し、鉛筆引っ掻
き硬度は5Hを示した。
ロキサン溶液10gの代わりに調製例8で得られたポリ
オルガノシロキサン溶液5gを使用して、同様にコーテ
イング塗液を調製した。この塗液を1mm厚みの無アル
カリガラス板上にスピンコータで塗布し、80℃熱風乾
燥機中で10分間プレキュアした後280℃で1時間の
キュアを行ない1.5μの塗膜を形成させた。この塗膜
は欠点がなく良好な平坦性を有し、400〜650nm
の可視領域で97%以上の光透過性を有し、鉛筆引っ掻
き硬度は5Hを示した。
【0063】ガラス板への接着性をテープ剥離によるゴ
バン目試験(JIS K−5400)で評価したが、剥
離は全く見られなかった。これらの特性は220℃のギ
ヤオーブン中で200時間加熱処理しても低下すること
がなく、また120℃、2気圧、100%RH、96時
間の湿熱処理を行なっても低下しなかった。
バン目試験(JIS K−5400)で評価したが、剥
離は全く見られなかった。これらの特性は220℃のギ
ヤオーブン中で200時間加熱処理しても低下すること
がなく、また120℃、2気圧、100%RH、96時
間の湿熱処理を行なっても低下しなかった。
【0064】実施例8 実施例3において、調製例7で得られたポリオルガノシ
ロキサン溶液10gの代わりに調製例9で得られたポリ
オルガノシロキサン溶液10gを使用して、同様にコー
テイング塗液を調製した。この塗液を1mm厚みの無ア
ルカリガラス板上にスピンコータで塗布し、80℃熱風
乾燥機中で10分間プレキュアした後280℃で1時間
のキュアを行ない1.5μの塗膜を形成させた。この塗
膜は欠点がなく良好な平坦性を有し、400〜650n
mの可視領域で97%以上の光透過性を有し、鉛筆引っ
掻き硬度は3Hを示した。
ロキサン溶液10gの代わりに調製例9で得られたポリ
オルガノシロキサン溶液10gを使用して、同様にコー
テイング塗液を調製した。この塗液を1mm厚みの無ア
ルカリガラス板上にスピンコータで塗布し、80℃熱風
乾燥機中で10分間プレキュアした後280℃で1時間
のキュアを行ない1.5μの塗膜を形成させた。この塗
膜は欠点がなく良好な平坦性を有し、400〜650n
mの可視領域で97%以上の光透過性を有し、鉛筆引っ
掻き硬度は3Hを示した。
【0065】ガラス板への接着性をテープ剥離によるゴ
バン目試験(JIS K−5400)で評価したが、剥
離は全く見られなかった。これらの特性は220℃のギ
ヤオーブン中で200時間加熱処理しても低下すること
がなく、また120℃、2気圧、100%RH、96時
間の湿熱処理を行なっても低下しなかった。
バン目試験(JIS K−5400)で評価したが、剥
離は全く見られなかった。これらの特性は220℃のギ
ヤオーブン中で200時間加熱処理しても低下すること
がなく、また120℃、2気圧、100%RH、96時
間の湿熱処理を行なっても低下しなかった。
【0066】実施例9 実施例3において、調製例11で得られたキレート溶液
3.0gの代わりに調製例12で得られたキレート溶液
3gを使用して、同様のコーテイング塗液調製・評価を
行ったところ同様の優れた特性(平坦性、光透過性、鉛
筆引っ掻き硬度、密着性、剥離力、保存性)を有する塗
膜を得ることができた。
3.0gの代わりに調製例12で得られたキレート溶液
3gを使用して、同様のコーテイング塗液調製・評価を
行ったところ同様の優れた特性(平坦性、光透過性、鉛
筆引っ掻き硬度、密着性、剥離力、保存性)を有する塗
膜を得ることができた。
【0067】
【発明の効果】本発明の硬化性組成物は、塗布性、接着
性、保存安定性に優れ、特に液晶素子におけるカラーフ
ィルター保護膜への適用に優れており、塗布後の被膜は
ガラス、画素、クロム、エポキシ樹脂との接着性が良好
であり、経時劣化が生じ難い。また、B成分(シロキサ
ンポリマ)を含有するので、カラーフィルター等の段差
のある基板上に塗布した場合にも平坦性が優れており、
また光透過性も優れたものとなる。
性、保存安定性に優れ、特に液晶素子におけるカラーフ
ィルター保護膜への適用に優れており、塗布後の被膜は
ガラス、画素、クロム、エポキシ樹脂との接着性が良好
であり、経時劣化が生じ難い。また、B成分(シロキサ
ンポリマ)を含有するので、カラーフィルター等の段差
のある基板上に塗布した場合にも平坦性が優れており、
また光透過性も優れたものとなる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C08L 83/00 - 83/16
Claims (4)
- 【請求項1】 下記のA、BおよびC成分を硬化時の固
形分比でそれぞれ1〜80重量%、1〜90重量%、
0.1〜20重量%含有することを特徴とする硬化性組
成物。 A:アミノ基を有しないアルコキシシランとアミノ基を
有するアルコキシシランを含有するアルコキシシラン混
合物を加水分解・縮合して得られるポリオルガノシロキ
サンとテトラカルボン酸2無水物の反応物であるアミッ
ク酸、またはアミノ基を有するアルコキシシランにテト
ラカルボン酸2無水物を反応させて得られるアミック酸
であって、分子末端または側鎖にシラノール基またはア
ルコキシシリル基を有するアミック酸 B:アミノ基を有しないアルコキシシランを加水分解・
縮合せしめて得られる化合物 C:アルミニウムキレート化合物、チタンキレート化合
物あるいはジルコニウムキレート化合物の群から選ばれ
た少なくとも一種の金属キレート化合物 - 【請求項2】 A成分におけるアミノ基を有しないアル
コキシシランが、下記一般式(1)で表される化合物で
あることを特徴とする請求項1記載の硬化性組成物。 [RX Si(OR´)4-X] (1) (ただし、R、R´は同一もしくは異なっていてもよ
く、それぞれ水素、アルキル基、アリール基、アリル
基、フルオロアルキル基から選ばれる基である。またx
は0〜3の整数である。) - 【請求項3】 A成分におけるアミノ基を有するアルコ
キシシランが、下記一般式(2)で表される化合物であ
ることを特徴とする請求項1記載の硬化性組成物。 [R1 n Si(OR2 )4-n ] (ただし、R1 は有機基を表し、R1 の少なくとも一つ
は1〜3級のアミノ基を有する有機基であり、その他は
アルキル基、アリール基、アリル基、フルオロアルキル
基から選ばれる基である。R2 は同一もしくは異なって
いてもよく、それぞれ水素、アルキル基、アリール基、
アリル基、フルオロアルキル基から選ばれる基である。
またnは1〜3の整数である。) - 【請求項4】 B成分の原料であるアルコキシシラン
が、下記一般式(1)で表される化合物であることを特
徴とする請求項1記載の硬化性組成物。 [RX Si(OR´)4-X] (1) (ただし、R、R´は同一もしくは異なっていてもよ
く、それぞれ水素、アルキル基、アリール基、アリル
基、フルオロアルキル基から選ばれる基である。またx
は0〜3の整数である。)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13191494A JP3341463B2 (ja) | 1994-06-14 | 1994-06-14 | 硬化性組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13191494A JP3341463B2 (ja) | 1994-06-14 | 1994-06-14 | 硬化性組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07331074A JPH07331074A (ja) | 1995-12-19 |
JP3341463B2 true JP3341463B2 (ja) | 2002-11-05 |
Family
ID=15069142
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13191494A Expired - Fee Related JP3341463B2 (ja) | 1994-06-14 | 1994-06-14 | 硬化性組成物 |
Country Status (1)
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---|---|
JP (1) | JP3341463B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0867754A (ja) * | 1994-06-24 | 1996-03-12 | Toray Ind Inc | 硬化性組成物 |
JP2009286980A (ja) * | 2008-06-02 | 2009-12-10 | Nissan Chem Ind Ltd | アルカリ可溶性樹脂及び感光性樹脂組成物 |
JP5314616B2 (ja) * | 2010-02-08 | 2013-10-16 | 富士フイルム株式会社 | 半導体素子用基板の製造方法 |
US20110193103A1 (en) * | 2010-02-08 | 2011-08-11 | Fujifilm Corporation | Semiconductor device, method for producing the semiconductor device, substrate for semiconductor element and method for producing the substrate |
-
1994
- 1994-06-14 JP JP13191494A patent/JP3341463B2/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|
JPH07331074A (ja) | 1995-12-19 |
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