JP3336662B2 - 乾燥装置の処理槽 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、乾燥装置の処理槽に係
り、特にガラス基板，シリコン基板を被処理物とした乾
燥装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来は、実開平4−48621号公報記載のよ
うに、排水口及び処理槽底面の傾斜最下部がエア吐出ノ
ズルの吐出口位置より排出口側に形成されており、排水
性に対する考慮がされていなかった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来技術では、図５，
図６に示すように、排水口５及び処理槽９の底面の傾斜
最下部１０が、エア吐出ノズル３の吐出口４位置より排
出口側に形成されている。そのために以下のような問題
があった。

【０００４】上下に設置されたエア吐出ノズル３によ
り、被処理物２の表面より除去された液体６は処理槽９
の底面に落ち、エアの流れ１１によりエア吐出ノズル３
の吐出口４位置より排出口側に水たまり７を作る。この
水たまり７は、エア吐出ノズル３から吐出される空気圧
等により波立ち、水滴やミストを発生させる。そこに、
液体６除去後の被処理物２が搬送ローラ８により持ち込
まれるために、水滴やミストが再付着するという問題が
あった。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、処理槽の排水
口的を達成するために、処理槽の底面にエア吐出ノズル
からなる乾燥手段の配設位置より投入口側の位置に排水
口を設け、かつこの底面を傾斜面とし、排水口はこの傾
斜最下部に設けることにより、底面に落ちた液体が乾燥
手段としてのエア吐出ノズルの吐出口より排出口側に流
れていかないようにし、再汚染を防止することである。

【０００６】処理槽９の排水口５を底面の傾斜最下部１
０に設け、空気圧又は不活性ガス圧等により被処理物の
表面に付着している液体を除去する乾燥手段としてのエ
ア吐出ノズル３の吐出口４位置より投入口側に形成する
構造とする。これにより、被洗浄物２の表面に付着して
いた液体６は排水口５の上、傾斜最下部１０周辺に落
ち、エア吐出ノズル３の吐出口４から排出口の間には水
たまりができる事なく効率的に排水することができる。

【０００７】

【実施例】以下、本発明の実施例を図１から図４により
説明する。

【０００８】被洗浄物２は、図には記載されていない駆
動機構により駆動される搬送ローラ８により搬送方向１
の方向に搬送される。

【０００９】処理槽９は、６面を１枚あるいは複数枚の
板で構成された箱状の形状であり、投入口面及び排出口
面には被洗浄物２が通過可能な最小寸法の通過口が形成
されている。また底面は、被処理物２の表面より除去さ
れた液体６を排水させるための排水口５及び、排水性を
向上させるための傾斜部が形成された構造となってお
り、排水口５は傾斜最下部１０に形成される。更に、排
水口５及び傾斜最下部１０は、エア吐出ノズル３の吐出
口４位置より投入口側に形成されている。なお、処理槽
９の底面は、図１，図３，図４に示すように全て傾斜部
でも、図２に示すように傾斜部と水平部の両面があって
も良いものとする。

【００１０】このような構造において、搬送ローラ８に
より搬送された被洗浄物２は、上下に設置されたエア吐
出ノズル３の間を通過するとき、その吐出口４から投入
口側へ吐出される空気圧により、被洗浄物２の表面に付
着していた液体６は除去される。除去された液体６は処
理槽９の底面に落ち、傾斜を伝わり排水口５から処理槽
９の外部に排水される。

【００１１】一部の排水しきれない液体６が処理槽９の
底面に残り、空気圧等による波立ちにより水滴やミスト
を発生させても、発生する場所はエア吐出ノズル３より
投入口側なので、その時点での被処理物２の表面状態
は、液体６が付着している状態であり、水滴やミストが
再付着しても、この後にエア吐出ノズル３の間を通過さ
れ液体６を除去するので、それと同時に水滴やミストも
除去される。また、エア吐出ノズル３より排出口側では
水たまりがないため水滴やミストが発生することはな
く、乾燥した被処理物２が再汚染されることはない。

【００１２】

【発明の効果】本発明によれば、処理槽の底面におい
て、乾燥手段の配設位置より投入口側に排水口が設けら
れ、しかもこの底面を傾斜面として、その傾斜最下部位
置に排水口を形成してあるため、乾燥した被処理物への
水滴やミストが付着して再汚染するのを防止し、効率よ
く排水を行うことができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である乾燥装置の正面図であ
る。

【図２】本発明の一実施例である乾燥装置の正面図であ
る。

【図３】本発明の一実施例である乾燥装置の左側面図で
ある。

【図４】本発明の一実施例である乾燥装置の上面図であ
る。

【図５】従来技術による乾燥装置の上面図である。

【図６】従来技術による乾燥装置の正面図である。

【符号の説明】

１…搬送方向、２…被処理物、３…エア吐出ノズル、４
…吐出口、５…排水口、６…液体、７…水たまり、８…
搬送ローラ、９…処理槽、１０…傾斜最下部、１１…エ
アの流れ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−256572（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−93289（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−15421（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/304 F26B 15/12

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被処理物を水平方向に支持し搬送する搬
   送手段と、前記被処理物の表面に付着した液体を空気圧
   又は不活性ガス圧等により除去するエア吐出ノズルから
   なる乾燥手段を、６面を覆われ、かつ被処理物を投入す
   る投入口と排出する排出口が形成された処理槽内に設置
   した乾燥装置において、前記処理槽の底面には、前記乾燥手段の配設位置より前
   記投入口側の位置に排水口を設け、 かつ前記底面を傾斜面となし、前記排水口はこの傾斜最
   下部に設ける 構成としたことを特徴とする乾燥装置の処
   理槽。