JP3333397B2 - 密封試料室形成装置およびｘ線分析装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、分析または測定す
る試料を密封状態に保持する密封試料室形成装置および
Ｘ線分析装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の密封試料室形成装置において、
従来、密封試料室を大型化し密封試料室内に一度に多数
の試料を保持できるようにしたものがある。このような
装置においては、前記密封試料室内の試料を交換する回
数を減少させることができるため、作業効率を向上させ
ることができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
ような大型の密封試料室を有する密封試料室形成装置に
おいて、密封試料室内部にヘリウム等の充填用気体を充
填させると共に密封試料室内部の空気を外部へ排出する
場合、すなわち充填用気体に置換する場合、密封試料室
内の容積が大きいため充填用気体に置換するのに長時間
を要してしまう問題がある。さらに、密封試料室内の容
積が大きく多量の充填用気体が必要となりコスト高にな
ってしまう問題もある。

【０００４】本発明は、前述の事情に鑑み、下記の記載
内容を課題とする。 （Ｏ01）密封試料室内部の気体の置換に要する時間を短
縮できる密封試料室形成装置および前記密封試料室形成
装置を備えたＸ線分析装置を提供すること。 （Ｏ02）充填用気体の置換に要するコストを低下させる
ことができる密封試料室形成装置および前記密封試料室
形成装置を備えたＸ線分析装置を提供すること。

【０００５】

【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決す
るために案出した本発明を説明するが、本発明の要素に
は、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実
施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。ま
た、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する
理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明
の範囲を実施例に限定するためではない。

【０００６】（第１発明）前記課題を解決するために、
本出願の第１発明の密封試料室形成装置は、下記の要件
を備えたことを特徴とする、（Ａ01）密封試料室形成用
第１部材（４）、（Ａ02）前記密封試料室形成用第１部
材（４）に外周部が密着して前記密封試料室形成用第１
部材（４）との間に密封試料室（Ａ）を形成する密着位
置と前記密封試料室形成用第１部材（４）から離れた開
放位置との間で可動の密封試料室形成用第２部材（１
３）、（Ａ03）前記密封試料室形成用第１部材（４）お
よび密封試料室形成用第２部材（１３）の一方に支持さ
れた試料保持部材（１０）、（Ａ04）前記密封試料室形
成用第１部材（４）および密封試料室形成用第２部材
（１３）の他方に脱着可能で且つ前記密封試料室（Ａ）
の容積を調節する容積調節用詰物（７１）。

【０００７】（第１発明の作用）前述の特徴を備えた本
出願の第１発明の密封試料室形成装置では、密封試料室
形成用第１部材（４）に対して離れた開放位置と密着し
た密着位置との間で可動の密封試料室形成用第２部材
（１３）は、開放位置において、前記試料保持部材（１
０）に対する試料の装着または保持された試料の交換等
の作業を行うことができる。また、前記密封試料室形成
用第２部材（１３）は、前記密着位置において密封試料
室形成用第１部材（４）に外周部が密着して前記密封試
料室形成用第１部材（４）との間に密封試料室（Ａ）を
形成する。この密着位置において、前記密封試料室形成
用第１部材（４）および密封試料室形成用第２部材（１
３）の一方に支持された試料保持部材（１０）に保持さ
れた試料に対する分析、観察等の作業を行うことができ
る。前記密封試料室形成用第１部材（４）および密封試
料室形成用第２部材（１３）の他方に脱着可能な容積調
節用詰物（７１）は、前記密封試料室（Ａ）の容積を調
節する。すなわち、容積調節用詰物（７１）を前記密封
試料室形成用第１部材（４）および密封試料室形成用第
２部材（１３）の前記他方に装着することにより、前記
密封試料室（Ａ）の容積を減少させることができる。密
封試料室（Ａ）の容積が小さい場合、密封試料室（Ａ）
内を真空にする時間、または、密封試料室（Ａ）内に空
気以外の気体を充填する際の時間等を短縮することがで
き、また、充填気体の量を節約することができる。

【０００８】（第２発明）また、本出願の第２発明のＸ
線分析装置は、下記の要件を備えたことを特徴とする、
（Ｂ01）密封試料室形成用第１部材（４）、（Ｂ02）前
記密封試料室形成用第１部材（４）に外周部が密着して
前記密封試料室形成用第１部材（４）との間に密封試料
室（Ａ）を形成する密着位置と前記密封試料室形成用第
１部材（４）から離れた開放位置との間で可動の密封試
料室形成用第２部材（１３）、（Ｂ03）前記密封試料室
形成用第１部材（４）および密封試料室形成用第２部材
（１３）の一方に支持された試料保持部材（１０）、
（Ｂ04）前記密封試料室形成用第１部材（４）および密
封試料室形成用第２部材（１３）の他方に脱着可能で且
つ前記密封試料室（Ａ）の容積を調節する容積調節用詰
物（７１）、（Ｂ05）前記試料保持部材（１０）に保持
された試料にＸ線を照射するＸ線照射装置（５２）、
（Ｂ06）前記Ｘ線が照射された試料から放出される二次
放出線を検出する二次放出線検出器（５３）。

【０００９】（第２発明の作用）前述の特徴を備えた本
出願の第２発明のＸ線分析装置では、密封試料室形成用
第１部材（４）に対して離れた開放位置と密着した密着
位置との間で可動の密封試料室形成用第２部材（１３）
は、開放位置において、前記試料保持部材（１０）に対
する試料の装着または保持された試料の交換等の作業を
行うことができる。また、前記密封試料室形成用第２部
材（１３）は、前記密着位置において密封試料室形成用
第１部材（４）に外周部が密着して前記密封試料室形成
用第１部材（４）との間に密封試料室（Ａ）を形成す
る。この密着位置において、Ｘ線照射装置（５２）は、
前記試料保持部材（１０）に保持された試料にＸ線を照
射する。二次放出線検出器（５３）は、前記Ｘ線が照射
された試料から放出される二次放出線を検出する。前記
密封試料室形成用第１部材（４）および密封試料室形成
用第２部材（１３）の他方に脱着可能な容積調節用詰物
（７１）は、前記密封試料室（Ａ）の容積を調節する。
すなわち、容積調節用詰物（７１）を前記密封試料室形
成用第１部材（４）および密封試料室形成用第２部材
（１３）の前記他方に装着することにより、前記密封試
料室（Ａ）の容積を減少させることができる。密封試料
室（Ａ）の容積が小さい場合、密封試料室（Ａ）内を真
空にする時間、または、密封試料室（Ａ）内に空気以外
の気体を充填する際の時間等を短縮することができ、ま
た、充填気体の量を節約することができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】

（第１発明の実施の形態１）第１発明の密封試料室形成
装置の実施の形態１は、前記第１発明において下記要件
を備えたことを特徴とする、（Ａ05）前記密封試料室
（Ａ）内の気体を排出する排出装置（Ｈ）。

【００１１】（第１発明の実施の形態１の作用）前述の
構成を備えた第１発明の実施の形態１の密封試料室形成
装置では、排出装置（Ｈ）は前記密封試料室（Ａ）内の
気体を排出する。このとき、前記密封試料室（Ａ）の容
積は前記容積調節用詰物（７１）により減少させておけ
ば、前記排出装置（Ｈ）による密封試料室（Ａ）内の気
体の排出に要する時間を短縮することができる。

【００１２】（第１発明の実施の形態２）第１発明の密
封試料室形成装置の実施の形態２は、前記第１発明の実
施の形態１において下記要件を備えたことを特徴とす
る、（Ａ06）前記密封試料室（Ａ）内に充填用気体を供
給する充填用気体供給装置（Ｊ）。

【００１３】（第１発明の実施の形態２の作用）前述の
構成を備えた第１発明の実施の形態２の密封試料室形成
装置では、充填用気体供給装置（Ｊ）は前記密封試料室
（Ａ）内に充填用気体を供給する。このとき、前記密封
試料室（Ａ）の容積は前記容積調節用詰物（７１）によ
り減少させておけば、前記充填用気体供給装置（Ｊ）に
よる充填要気体の供給に要する時間を短縮することがで
きる。また、充填する気体の量を減少させることができ
るため、コストを減少させることができる。

【００１４】（第２発明の実施の形態１）第２発明のＸ
線分析装置の実施の形態１は、前記第２発明において下
記要件を備えたことを特徴とする、（Ｂ07）前記密封試
料室（Ａ）内の気体を排出する排出装置（Ｈ）。

【００１５】（第２発明の実施の形態１の作用）前述の
構成を備えた第２発明の実施の形態２のＸ線分析装置で
は、排出装置（Ｈ）は前記密封試料室（Ａ）内の気体を
排出する。このとき、前記密封試料室（Ａ）の容積は前
記容積調節用詰物（７１）により減少させておけば、前
記排出装置（Ｈ）による密封試料室（Ａ）内の気体の排
出に要する時間を短縮することができる。

【００１６】（第２発明の実施の形態２）第２発明のＸ
線分析装置の実施の形態２は、前記第２発明の実施の形
態１において下記要件を備えたことを特徴とする、（Ｂ
08）前記密封試料室（Ａ）内にヘリウムを供給するヘリ
ウム供給装置（Ｊ）。

【００１７】（第２発明の実施の形態１の作用）前述の
構成を備えた第２発明の実施の形態２のＸ線分析装置で
は、ヘリウム供給装置（Ｊ）は前記密封試料室（Ａ）内
にヘリウムを供給する。このとき、前記密封試料室
（Ａ）の容積は前記容積調節用詰物（７１）により減少
させておけば、前記ヘリウム供給装置（Ｊ）によるヘリ
ウムの供給に要する時間を短縮することができる。ま
た、供給するヘリウムの量を減少させることができるた
め、コストを減少させることができる。

【００１８】

【実施例】次に図面を参照しながら、本発明の実施例を
説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるもので
はない。なお、以後の説明の理解を容易にするために、
図面において互いに直交する座標軸Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を
定義し、矢印Ｘ方向を前方、矢印Ｙ方向を左方、 矢印
Ｚ方向を上方とする。この場合、Ｘ方向と逆向き（−Ｘ
方向）は後方、Ｙ方向と逆向き（−Ｙ方向）は右方、Ｚ
方向と逆向き（−Ｚ方向）は下方となる。また、Ｘ方向
及び−Ｘ方向を含めて前後方向又はＸ軸方向といい、Ｙ
方向及び−Ｙ方向を含めて左右方向又はＹ軸方向とい
い、Ｚ方向及び−Ｚ方向を含めて上下方向又はＺ軸方向
ということにする。さらに図中、「○」の中に「・」が
記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味
し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表か
ら裏に向かう矢印を意味するものとする。

【００１９】（実施例）図１は、本発明の実施例の密封
試料室形成装置を備えたＸ線分析装置の縦断面図であ
る。図２は、前記図１を矢印IIから見た図である。図３
は前記図１のIII−III線断面図である。図４は、前記図
１をIＶ−IＶ線から見た角柱ブロックの平面図である。
図５は、前記図４をＶ−Ｖ線から見た角柱ブロックの断
面図である。図６は、本発明の実施例の密封試料室形成
装置に容積調節用詰物を装着した図で、前記図３のＶI
−ＶI線断面図である。図７は、本発明の実施例の容積
調節用詰物の説明図で、前記図６の要部拡大図である。

【００２０】図１，２において、箱状の基盤部材１の上
面には、複数の支柱２，２および３，３の下端が固定支
持されている。前記支柱２，２，３，３の上端には、密
封試料室形成用第１部材としてのテーブル支持基板４が
水平に支持されている。テーブル支持基板４にはＸ線照
射孔６が形成されている。また、テーブル支持基板４に
は前記Ｘ線照射孔６の外側にＯリング溝７が形成されて
いる。前記Ｏリング溝７にはＯリング８が収容されてい
る。

【００２１】図１，３において、前記Ｏリング溝７の内
側には円形のプレート９が固定されている。プレート９
には、テーブル装着孔９aが形成されている。テーブル
装着孔９a内側には試料保持部材としての回転可能な試
料テーブル１０が配置されている。なお、図１，図３，
図５に１０aで示す要素は試料テーブル１０を持ち上げ
たりする際に使用するノブである。前記試料テーブル１
０はテーブル回転軸１１（図３参照）と一体的に回転す
るように構成されている。テーブル回転軸１１は前記プ
レート９およびテーブル支持基板４を貫通して下方に延
びており、図示しない回転駆動装置によって回転制御さ
れるように構成されている。したがって、前記試料テー
ブル１０は、テーブル回転軸１１と共に回転し、試料テ
ーブル１０上に載置された複数の試料を順次前記Ｘ線照
射孔６上の試料観察位置に移動させるように構成されて
いる。図１において、前記テーブル支持基板４下面には
テーブル支持基板４およびプレート９を貫通する管に接
続する充填用気体供給コネクタ１２が配置されている。
充填用気体供給コネクタ１２は、充填用気体供給装置Ｊ
に接続されている。充填用気体供給装置Ｊは、密封試料
室Ａ内に充填用気体を供給する装置である。本実施例で
は、充填用気体としてヘリウムを採用している。なお、
この充填用気体供給装置Ｊは従来公知のものを採用する
ことが可能である。

【００２２】次に図１〜４により前記試料テーブル１０
を覆う本発明の密封試料室形成用第２部材としての蓋１
３およびその開閉機構について説明する。図１，３，４
において、密封試料室形成用第２部材としての蓋１３は
鉄板製で、円筒状の側壁１４およびその上端を閉塞する
頂壁１５を有している。前記側壁１４の下端にはフラン
ジ１６が設けられており、このフランジ１６下面は蓋１
３が密着位置（図１の実線位置）に有るときには前記Ｏ
リング８に当接するように構成されている。前記頂壁１
５の下面にはナット１７が固着されている。図３におい
て、前記蓋１３の側壁１４の左前側部には被押圧部材１
８が外側方に突出して固定されている。被押圧部材１８
は、テーブル支持基板４に設けられた図示しない押圧部
材により蓋１３が前記密着位置（図１の実線位置）に有
るときには下方に押圧された状態で固定されるようにな
っている。図２，３において、前記蓋１３の前後方向
（Ｘ軸方向）の側部にはそれぞれ、前記フランジ１６上
面にカバー連結部１９が設けられている。図２におい
て、前記カバー連結部１９は、蓋１３の上面および側面
を被覆する被覆カバー２０（図２参照）を固定するため
に使用される。

【００２３】図１，３において、蓋１３の右側部（−Ｙ
側部）には揺動アーム２１が固着されている。揺動アー
ム２１は前側プレート２２、後側プレート２３およびそ
れの両プレートの上端を連結する上部プレート２４を有
している。図３に示すように、前側プレート２２の前側
面には前側軸連結部材２６が固着されており、後側プレ
ート２３の後側面には後側軸連結部材２７が固着されて
いる。前記前側軸連結部材２６および後側軸連結部材２
７にはカバー回転軸２８が固着されている。

【００２４】図１，３に示すように、テーブル支持基板
４には、ブラケット２９を介して軸受３０が支持されて
いる。そして、この軸受３０によって前記カバー回転軸
２８が回転可能に支持されている。図１，３に示すよう
に、前記前側プレート２２および後側プレート２３と基
盤部材１とはそれぞれ、ガススプリング３１，３２（図
３，図６参照）により連結されている。これらのガスス
プリング３１，３２により、蓋１３は前記密着位置（図
１の実線で示す位置）と開放位置（図１の２点鎖線で示
す位置）との間でスムーズに移動できるとともに、開放
位置に保持されるように構成されている。

【００２５】図１において、前記テーブル支持基板４の
下面には、前記Ｘ線照射孔６に対向する位置に、断面略
三角形のブロック４１が固定されている。図５から分か
るように、ブロック４１の上面には円筒状突出部４２が
設けられ、この円筒状突出部４２は前記Ｘ線照射孔６に
嵌合している。図３，４に示すように、ブロック４１の
左後側部分（Ｙ側且つ−Ｘ側部分）は切除されている
が、この切除部分４３（図４参照）は、前記テーブル回
転軸１１の配置スペースを形成するために設けられてい
る。

【００２６】図５において、ブロック４１の上面には前
記円筒状突出部４２の内側にスリバチ状凹部４４が形成
されている。スリバチ状凹部４４内にはスリバチ型の絞
り取付部材４５が配置されている。絞り取付部材４５の
上端には、前記円筒状突出部４２と同径のフランジ４６
が形成されており、このフランジ４６はネジ４７，４７
により前記円筒状突出部４２に固定されている。そし
て、この絞り取付部材４５のフランジ４６は前記ブロッ
ク４１の円筒状突出部４２と共に前記Ｘ線照射孔６に嵌
合している。また、図５から分かるように、スリバチ状
凹部４４と絞り取付部材４５との間にはフィルタＦを収
容するためのフィルタ装着用空間Ｓが形成されるように
なっている。図４に示すように前記絞り取付部材４５に
はフィルタ装着用空間Ｓの絞り取付部材４５上部を連通
する連通孔４８，４８，４８，４９，４９が形成されて
いる。

【００２７】前記フィルタ装着用空間Ｓは排気用連通孔
５０a（図４参照）を介して排気用コネクタ５０に接続
されている。排気用コネクタ５０は、排出装置Ｈに接続
されている。そして、前記排出装置Ｈにより前記フィル
タ装着用空間Ｓの空気を排気することにより、その空間
に連通する図１に示す密封試料室（蓋１３により密封さ
れた空間）Ａの気体を排気できるように構成されてい
る。したがって、排出装置Ｈにより前記密封試料室Ａ内
を真空にすることができる。なお、符号５１（図４参
照）で示す部材は圧力調整弁であり、蓋１３を閉塞した
際等に真空試料室Ａ内の圧力が上昇するのを防止するた
めに設けられている。

【００２８】図１，５において、ブロック４１の左下側
面にはＸ線照射装置としてのＸ線管５２が固定され、右
側面には二次放出線検出器５３が固定されている。Ｘ線
管５２は、前記試料テーブル１０を覆う蓋１３により形
成される密封試料室Ａ（図１参照）内の試料に照射する
Ｘ線を発生する。また、前記二次放出線検出器５３は、
前記試料テーブル１０上に支持された試料にＸ線ビーム
が照射されたときに前記試料から放出される２次放出線
を検出する。前記試料テーブル１０を覆う前記蓋１３に
より形成される密封試料室Ａ内を排気する排出装置Ｈ、
前記Ｘ線管５２、二次放出線検出器５３等は従来公知の
ものを採用することができる。

【００２９】また図５において、前記ブロック４１には
Ｘ線管５２から出射したＸ線を前記密封試料室Ａに導く
ためのＸ線照射路５７が形成されている。ブロック４１
には、前面から後方（−Ｘ方向）に延びるシャッタ収容
孔５８が前記Ｘ線照射路５７に交差するように形成され
ている。シャッタ収容孔５８内の前記Ｘ線照射路５７と
交差する位置には円柱状のシャッタ６１が回転可能に収
容されている。シャッタ６１のＸ線照射路５７と交差す
る部分にはＸ線通過孔６２が形成されている。シャッタ
６１は、Ｘ線通過孔６２の軸方向が前記Ｘ線照射路５７
の軸方向に一致する連通位置と、この連通位置から９０
°回転した遮断位置との間で回転するように構成されて
いる。前記符号Ｊ，Ｈおよび１〜３２で示される要素か
ら本発明の密封試料室形成装置（Ｊ＋Ｈ＋１〜３２）が
構成されている。また、前記密封試料室形成装置Ａおよ
び符号３２〜６２で示される要素から本発明のＸ線分析
装置（Ａ＋３２〜６２）が構成されている。

【００３０】次に、図６，７において、本発明の容積調
節用詰物７１について説明する。図６，７において、本
発明の容積調節用詰物７１は下部の円柱部分７２と上部
の円筒部分７３を有している。円柱部分７２には、ボル
ト孔７４が形成されている。ボルト孔７４にはボルト７
６が貫通しており、その上端部は前記ナット１７と螺合
するようになっている。ボルト７６のボルト孔７４上側
部にはボルト７６の脱落防止用のＥリング７７が填め込
まれている。そして、前記ナット１７にボルト７６を螺
合させることにより容積調節用詰物７１が前記蓋１３に
装着されるようになっている。前記円筒部分７３上端面
にはＯリング溝７８が形成され、その内側にはＯリング
７９が収容されている。Ｏリング７９は容積調節用詰物
７１が蓋１３に固定されたとき蓋１３の頂壁１５下面に
当接してその部分をシールする。

【００３１】前記円柱部分７２下面には、容積調節用詰
物７１が蓋１３に装着されたまま前記密着位置に移動し
た際にテーブル１０上の試料，ノブ１０a等の収容スペ
ースを確保するための溝８１および孔８２が形成されて
いる。前記円柱部分７２右側部には円柱部分７２を上下
に連通する充填用気体連通管８３が設けられている。充
填用気体連通管８３下端部は、前記密着位置において前
記充填用気体供給コネクタ１２と接続されるようになっ
ている。充填用気体連通管８３上端部は充填用気体連通
管８４上部に接続されている。充填用気体連通管８４
は、前記円柱部分７２に形成された気体流通孔８６に連
通している。円柱部分７２には、前記気体流通孔８６と
交差する横穴８７が形成されている。横穴８７は前記溝
８１、孔８２に連通している。そして、前記気体流通孔
８６はブロック４１内部の前記フィルタ装着用空間Ｓに
接続されている。

【００３２】（実施例の作用）次に前述の構成を備えた
本発明の実施例の作用を説明する。図１において、蓋１
３は前記密着位置（図１の実線で示す位置）において前
記テーブル支持基板４との間に密封試料室Ａを形成す
る。このとき、密封試料室Ａは密封状態に保たれる。こ
の密着位置において、排出装置Ｈを作動させて密封試料
室Ａ内を真空にし、前記Ｘ線分析装置により試料を観察
することができる。このように、密封試料室Ａ内を真空
に保持する場合は、排出装置Ｈのみを作動させる。その
後、前記蓋１３を開放位置（図１の２点鎖線で示す位
置）に移動させることにより、前記試料テーブル１０上
に保持された試料の交換を行うことができる。このと
き、前記密封試料室Ａを大型化することにより試料テー
ブル１０上に多数の試料を保持することができ、試料を
交換する回数を減少させることができる。

【００３３】次に、図６，７において、蓋１３に容積調
節用詰物７１を装着した場合について説明する。図６，
７において、ボルト７６上端部をナット１７に螺合させ
て容積調節用詰物７１を蓋１３内側に装着する。蓋１３
を密着位置（図６に実線で示す位置）に移動させる。こ
のとき、密封試料室Ａの容積は前記容積調節用詰物７１
の容積分だけ減少する。この状態で、密封試料室Ａ内を
真空にする場合、前記排出装置Ｈを作動させる。このと
き、密封試料室Ａの容積は減少しているため、密封試料
室Ａ内の大気を短時間で排出することができる。

【００３４】また、密封試料室Ａ内にＨe（ヘリウム）
等の充填用気体を充填させると共に密封試料室内部にあ
った大気を外部へ排出する充填用気体置換法を行う場
合、前記排出装置Ｈにより密封試料室Ａ内の排気を行う
と共に充填用気体供給装置Ｊを作動させる。充填用気体
は充填用気体供給コネクタ１２から前記充填用気体連通
管８３，８４に順次供給される。充填用気体連通管８４
に供給された充填用気体は、一部が気体流通孔８６から
横穴８７に供給される。横穴８７に供給された充填用気
体は、前記溝８１、孔８２に供給される。また、気体流
通孔８６に供給された充填用気体は、気体流通孔８６下
端部から前記ブロック４１内部のフィルタ装着用空間Ｓ
内に供給される。充填用気体の供給と同時に、前記ブロ
ック４１の排気用コネクタ５０からは前記排出装置Ｈに
より大気の排出が行われる。このとき、密封試料室Ａの
容積は減少しているため、密封試料室Ａ内の気体置換を
短時間で行うことができる。また、充填用気体の量を減
少させられるため、充填用気体のコストを減少させるこ
とができる。

【００３５】（変更例）以上、本発明の実施例を詳述し
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更
実施例を下記に例示する。

【００３６】（Ｈ01）本実施例では、密封試料室形成装
置を備えたＸ線分析装置について説明したが、密封試料
室形成装置は他の分析装置と組み合わせることが可能で
ある。 （Ｈ02）本実施例では、充填用の気体としてヘリウムを
採用したが他の気体を採用することが可能である。 （Ｈ03）本実施例では、蓋１３は密封試料室形成用第２
部材として構成されて密封試料室形成用第１部材として
のテーブル支持基板４に対して可動に構成されていた
が、蓋１３を固定し、テーブル支持基板４を回動可能に
構成することが可能である。その場合、蓋１３は密封試
料室形成用第１部材として構成され、テーブル支持基板
４が前記密封試料室形成用第１部材に対して可動の密封
試料室形成用第２部材として構成されることになる。 （Ｈ04）前記実施例において容積調節用詰物７１は、密
封試料室形成用第１部材または密封試料室形成用第２部
材のどちらに装着してもよい。 （Ｈ05）本発明の容積調節用詰物は、密封試料室の容積
を減少できる形状であれば種々の構成のものを使用する
ことが可能である。

【００３７】

【発明の効果】前述の本発明の密封試料室形成装置およ
びＸ線分析装置は、下記の効果を奏することができる。 （Ｅ01）密封試料室の容積を小さくすることができるた
め、密封試料室内部の気体の置換に要する時間を短縮さ
せることができる。 （Ｅ02）密封試料室の容積を小さくすることができるた
め、充填する気体の量を少なくすることができ、充填用
気体のコストを低下させることができる。 （Ｅ03）密封試料室を真空にするために大気を排出する
時間を短縮させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は、本発明の実施例の密封試料室形成装
置を備えたＸ線分析装置の縦断面図である。

【図２】 図２は、前記図１を矢印IIから見た図であ
る。

【図３】 図３は、前記図１のIII−III線断面図であ
る。

【図４】 図４は、前記図１をIＶ−IＶ線から見た角柱
ブロックの平面図である。

【図５】 図５は、前記図４をＶ−Ｖ線から見た角柱ブ
ロックの断面図である。

【図６】 図６は、本発明の実施例の密封試料室形成装
置に容積調節用詰物を装着した図で、前記図３のＶI−
ＶI線断面図である。

【図７】 図７は、本発明の実施例の容積調節用詰物の
説明図で、前記図６の要部拡大図である。

【符号の説明】

Ａ…密封試料室、Ｈ…排出装置、Ｊ…充填用気体供給装
置（ヘリウム供給装置）、４…密封試料室形成用第１部
材、１０…試料保持部材、１３…密封試料室形成用第２
部材、５２…Ｘ線照射装置、５３…二次放出線検出器、
７１…容積調節用詰物、（Ａ＋３２〜６２）…Ｘ線分析
装置、（Ｊ＋Ｈ＋１〜３２）…密封試料室形成装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−87710（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−366758（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−123715（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−271454（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01N 23/00 - 23/227 H01J 37/18

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 下記の要件を備えたことを特徴とする密
   封試料室形成装置、（Ａ01）密封試料室形成用第１部
   材、（Ａ02）前記密封試料室形成用第１部材に外周部が
   密着して前記密封試料室形成用第１部材との間に密封試
   料室を形成する密着位置と前記密封試料室形成用第１部
   材から離れた開放位置との間で可動の密封試料室形成用
   第２部材、（Ａ03）前記密封試料室形成用第１部材およ
   び密封試料室形成用第２部材の一方に支持された試料保
   持部材、（Ａ04）前記密封試料室形成用第１部材および
   密封試料室形成用第２部材の他方に脱着可能で且つ前記
   密封試料室の容積を調節する容積調節用詰物。
2. 【請求項２】 下記の要件を備えたことを特徴とするＸ
   線分析装置、（Ｂ01）密封試料室形成用第１部材、（Ｂ
   02）前記密封試料室形成用第１部材に外周部が密着して
   前記密封試料室形成用第１部材との間に密封試料室を形
   成する密着位置と前記密封試料室形成用第１部材から離
   れた開放位置との間で可動の密封試料室形成用第２部
   材、（Ｂ03）前記密封試料室形成用第１部材および密封
   試料室形成用第２部材の一方に支持された試料保持部
   材、（Ｂ04）前記密封試料室形成用第１部材および密封
   試料室形成用第２部材の他方に脱着可能で且つ前記密封
   試料室の容積を調節する容積調節用詰物、（Ｂ05）前記
   試料保持部材に保持された試料にＸ線を照射するＸ線照
   射装置、（Ｂ06）前記Ｘ線が照射された試料から放出さ
   れる二次放出線を検出する二次放出線検出器。