JP3326871B2 - カップ回転式スピンコータ及びカップ回転式塗膜形成方法 - Google Patents
カップ回転式スピンコータ及びカップ回転式塗膜形成方法Info
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- JP3326871B2 JP3326871B2 JP14684293A JP14684293A JP3326871B2 JP 3326871 B2 JP3326871 B2 JP 3326871B2 JP 14684293 A JP14684293 A JP 14684293A JP 14684293 A JP14684293 A JP 14684293A JP 3326871 B2 JP3326871 B2 JP 3326871B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば、ＩＣ基板と
なるウエハー等にレジスト膜を形成する場合に使用され
るカップ回転式スピンコータ及びカップ回転式塗膜形成
方法、特に、塗膜形成中に発生するミストを効率的に排
除し、品質の良い塗膜を形成することができるカップ回
転式スピンコータ及びカップ回転式塗膜形成方法に関す
る。
なるウエハー等にレジスト膜を形成する場合に使用され
るカップ回転式スピンコータ及びカップ回転式塗膜形成
方法、特に、塗膜形成中に発生するミストを効率的に排
除し、品質の良い塗膜を形成することができるカップ回
転式スピンコータ及びカップ回転式塗膜形成方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】スピンコータというのは、水平に保持し
た基板の中央部に塗布液を滴下し、この基板を高速回転
させることにより、その回転に伴う遠心力によって基板
の外周側に塗布液を拡張離散させて、均一な塗膜を形成
するものであり、カップ固定式スピンコータとカップ回
転式スピンコータとに分類される。
た基板の中央部に塗布液を滴下し、この基板を高速回転
させることにより、その回転に伴う遠心力によって基板
の外周側に塗布液を拡張離散させて、均一な塗膜を形成
するものであり、カップ固定式スピンコータとカップ回
転式スピンコータとに分類される。
【０００３】図４に示すように、前記カップ固定式スピ
ンコータ５０は、上部が開放され、固定設置される塗布
カップ５１と、この塗布カップ５１内にある基板保持台
５３をＤＣモータ５４によって回転駆動させるスピンナ
５２とから構成されており、前記塗布カップ５１の底部
には、塗布カップ５１内の空気を排気するための排気ホ
ース５５が接続されている。
ンコータ５０は、上部が開放され、固定設置される塗布
カップ５１と、この塗布カップ５１内にある基板保持台
５３をＤＣモータ５４によって回転駆動させるスピンナ
５２とから構成されており、前記塗布カップ５１の底部
には、塗布カップ５１内の空気を排気するための排気ホ
ース５５が接続されている。
【０００４】従って、ウエハー等の基板５６を、前記基
板保持台５３にセットし、フォトレジスト等の塗布液を
滴下した後にスピンナ５２によってこれを高速回転させ
ると、上述したように、基板５６上に塗膜が形成される
が、前記基板５６の回転に伴い、塗布カップ５１内に発
生する乱気流によって溶剤の気化が不均一になり、この
ため、形成される塗膜の膜圧が均一にならないといった
欠点がある。
板保持台５３にセットし、フォトレジスト等の塗布液を
滴下した後にスピンナ５２によってこれを高速回転させ
ると、上述したように、基板５６上に塗膜が形成される
が、前記基板５６の回転に伴い、塗布カップ５１内に発
生する乱気流によって溶剤の気化が不均一になり、この
ため、形成される塗膜の膜圧が均一にならないといった
欠点がある。
【０００５】これを解消したのが、図５に示すカップ回
転式スピンコータである。このカップ回転式スピンコー
タ６０は、スピンナ６２の基板保持台６３が内カップ本
体６１ａと開閉自在の蓋６１ｂとから成る内カップ６１
内に収容されており、基板６６を前記基板保持台６３に
保持した後、内カップ６１の蓋６１ｂを閉じてスピンナ
６２によって基板６６を回転させると、内カップ６１も
基板６６と同期回転するようになっている。
転式スピンコータである。このカップ回転式スピンコー
タ６０は、スピンナ６２の基板保持台６３が内カップ本
体６１ａと開閉自在の蓋６１ｂとから成る内カップ６１
内に収容されており、基板６６を前記基板保持台６３に
保持した後、内カップ６１の蓋６１ｂを閉じてスピンナ
６２によって基板６６を回転させると、内カップ６１も
基板６６と同期回転するようになっている。
【０００６】従って、上記カップ固定式スピンコータと
異なり、基板６６を回転させてもその周囲に乱気流が発
生することがなく、均一な塗膜形成が可能になるのであ
る。
異なり、基板６６を回転させてもその周囲に乱気流が発
生することがなく、均一な塗膜形成が可能になるのであ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したカ
ップ回転式スピンコータでは、図５に示すように、基板
６６の回転に伴う遠心力によって基板６６の周辺部に飛
散した余剰塗布液が、内カップ本体６１ａに設けられた
排出ノズル６４を介してその周囲を囲っている排気カッ
プ６５から排出されるようになっている。
ップ回転式スピンコータでは、図５に示すように、基板
６６の回転に伴う遠心力によって基板６６の周辺部に飛
散した余剰塗布液が、内カップ本体６１ａに設けられた
排出ノズル６４を介してその周囲を囲っている排気カッ
プ６５から排出されるようになっている。
【０００８】しかし、このような構成では、飛散した余
剰塗布液を完全に除去することができず、その一部がミ
ストとして前記内カップ６１の上方に浮遊する。そし
て、塗膜形成後に内カップ６１の蓋６１ｂを開けて基板
６６を取り出す際に、若干負圧になった内カップ本体６
１ａ内に浮遊ミストが吸引され、基板６６の塗膜形成面
に付着して製品の品質低下を招く要因となる。
剰塗布液を完全に除去することができず、その一部がミ
ストとして前記内カップ６１の上方に浮遊する。そし
て、塗膜形成後に内カップ６１の蓋６１ｂを開けて基板
６６を取り出す際に、若干負圧になった内カップ本体６
１ａ内に浮遊ミストが吸引され、基板６６の塗膜形成面
に付着して製品の品質低下を招く要因となる。
【０００９】また、余剰塗布液の飛散防止のため、前記
内カップ６１の周囲を固定設置される外カップ等で囲う
ことも行われているが、その場合には、前記浮遊ミスト
が全て外カップ内に滞留することになるため、内カップ
６１周辺の浮遊ミスト濃度が高くなり、製品の歩留りが
悪くなる。
内カップ６１の周囲を固定設置される外カップ等で囲う
ことも行われているが、その場合には、前記浮遊ミスト
が全て外カップ内に滞留することになるため、内カップ
６１周辺の浮遊ミスト濃度が高くなり、製品の歩留りが
悪くなる。
【００１０】そこで、この発明の課題は、上記カップ回
転式スピンコータ及びカップ回転式塗膜形成方法を改良
することにより、回転する内カップ上方に存在する浮遊
ミストを効率的に除去し、製品の歩留りを向上させるこ
とにある。
転式スピンコータ及びカップ回転式塗膜形成方法を改良
することにより、回転する内カップ上方に存在する浮遊
ミストを効率的に除去し、製品の歩留りを向上させるこ
とにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、この発明は、内部に被塗膜形成板を収容し、開閉自
在の蓋を有する内カップと、この内カップを水平に保持
して回転させる内カップ駆動部と、前記内カップを収容
し、開閉自在の蓋を有する外カップとを備えたカップ回
転式スピンコータにおいて、前記外カップに、少なくと
も前記内カップの回転中、その外カップ内にダウンフロ
ーを形成する給排気機構を設けたのである。また、前記
外カップに、塗膜形成後の内カップの蓋の開動作と同時
に、その内カップ内に所定時間給気する給気機構を設け
て、内カップを開けたときに外カップ内の気体が内カッ
プ内に侵入することを有効に防止したものである。
め、この発明は、内部に被塗膜形成板を収容し、開閉自
在の蓋を有する内カップと、この内カップを水平に保持
して回転させる内カップ駆動部と、前記内カップを収容
し、開閉自在の蓋を有する外カップとを備えたカップ回
転式スピンコータにおいて、前記外カップに、少なくと
も前記内カップの回転中、その外カップ内にダウンフロ
ーを形成する給排気機構を設けたのである。また、前記
外カップに、塗膜形成後の内カップの蓋の開動作と同時
に、その内カップ内に所定時間給気する給気機構を設け
て、内カップを開けたときに外カップ内の気体が内カッ
プ内に侵入することを有効に防止したものである。
【００１２】ここで、前記給排気機構によって、基板へ
の塗布液の滴下前から内カップ駆動部の回転停止までの
間、窒素ガスによるダウンフローを形成するようにする
と、ミスト爆発を防止できる。
の塗布液の滴下前から内カップ駆動部の回転停止までの
間、窒素ガスによるダウンフローを形成するようにする
と、ミスト爆発を防止できる。
【００１３】また、この発明は、開閉自在の外カップ内
に設けられた回転可能かつ開閉自在の内カップ内に被塗
膜形成板を水平に保持する被塗膜形成板供給工程と、前
記被塗膜形成板に塗布液を滴下した後、前記内カップを
閉じる塗布液滴下工程と、前記被塗膜形成板を前記内カ
ップと共に回転させて被塗膜形成板上に塗膜を形成する
塗膜形成工程と、前記被塗膜形成板の回転を停止した後
に、前記内カップを開いて塗膜形成板を取り出す塗膜形
成板取出工程と、少なくとも前記内カップの回転中、前
記外カップ内にダウンフローを形成する給排気工程とを
有し、前記内カップを開いて塗膜形成板を取り出す際、
その内カップが開くと同時に内カップ内に給気して、内
カップへの浮遊ミストの浸入を防止するカップ回転式塗
膜形成方法を提供するものである。
に設けられた回転可能かつ開閉自在の内カップ内に被塗
膜形成板を水平に保持する被塗膜形成板供給工程と、前
記被塗膜形成板に塗布液を滴下した後、前記内カップを
閉じる塗布液滴下工程と、前記被塗膜形成板を前記内カ
ップと共に回転させて被塗膜形成板上に塗膜を形成する
塗膜形成工程と、前記被塗膜形成板の回転を停止した後
に、前記内カップを開いて塗膜形成板を取り出す塗膜形
成板取出工程と、少なくとも前記内カップの回転中、前
記外カップ内にダウンフローを形成する給排気工程とを
有し、前記内カップを開いて塗膜形成板を取り出す際、
その内カップが開くと同時に内カップ内に給気して、内
カップへの浮遊ミストの浸入を防止するカップ回転式塗
膜形成方法を提供するものである。
【００１４】また、この発明は、開閉自在の外カップ内
に設けられた回転可能かつ開閉自在の内カップ内に被塗
膜形成板を水平に保持する被塗膜形成板供給工程と、前
記被塗膜形成板に塗布液を滴下した後、前記内カップを
閉じる塗布液滴下工程と、前記被塗膜形成板を前記内カ
ップと共に回転させて被塗膜形成板に塗膜を形成する塗
膜形成工程と、前記被塗膜形成板の回転を停止した後
に、前記カップを開いて塗膜形成板を取り出す塗膜形成
板取出工程とを有するカップ回転式塗膜形成方法におい
て、塗布液の滴下前から、内カップの回転を停止するま
での間、外カップ内にダウンフローを形成する給排気工
程を付加し、この給排気工程では窒素ガスを使用すると
共に、前記内カップを開いて塗膜形成板を取り出す際、
その内カップが開くと同時に内カップ内に給気するカッ
プ回転式塗膜形成方法を提供するものである。
に設けられた回転可能かつ開閉自在の内カップ内に被塗
膜形成板を水平に保持する被塗膜形成板供給工程と、前
記被塗膜形成板に塗布液を滴下した後、前記内カップを
閉じる塗布液滴下工程と、前記被塗膜形成板を前記内カ
ップと共に回転させて被塗膜形成板に塗膜を形成する塗
膜形成工程と、前記被塗膜形成板の回転を停止した後
に、前記カップを開いて塗膜形成板を取り出す塗膜形成
板取出工程とを有するカップ回転式塗膜形成方法におい
て、塗布液の滴下前から、内カップの回転を停止するま
での間、外カップ内にダウンフローを形成する給排気工
程を付加し、この給排気工程では窒素ガスを使用すると
共に、前記内カップを開いて塗膜形成板を取り出す際、
その内カップが開くと同時に内カップ内に給気するカッ
プ回転式塗膜形成方法を提供するものである。
【００１５】
【作用】請求項１に記載されたカップ回転式スピンコー
タ及び請求項３及び４に記載されたカップ回転式塗膜形
成方法では、外カップ内に、ダウンフローが形成される
ので、基板の回転によって外カップ内に排出された余剰
塗布液から発生する浮遊ミストが内カップの上方に舞い
上がりにくく、又、一旦舞い上がった浮遊ミストもすぐ
に外カップの下部に搬送される。しかも、内カップの開
動作と同時に、内カップ内に給気され、内カップ内が正
圧となって、外カップ内の気体が内カップ内に吸引され
ることがない。
タ及び請求項３及び４に記載されたカップ回転式塗膜形
成方法では、外カップ内に、ダウンフローが形成される
ので、基板の回転によって外カップ内に排出された余剰
塗布液から発生する浮遊ミストが内カップの上方に舞い
上がりにくく、又、一旦舞い上がった浮遊ミストもすぐ
に外カップの下部に搬送される。しかも、内カップの開
動作と同時に、内カップ内に給気され、内カップ内が正
圧となって、外カップ内の気体が内カップ内に吸引され
ることがない。
【００１６】請求項２に記載されたカップ回転式スピン
コータ及び請求項４に記載されたカップ回転式塗膜形成
方法では、窒素ガスを給排気するので外カップ内の酸素
濃度が低下する。
コータ及び請求項４に記載されたカップ回転式塗膜形成
方法では、窒素ガスを給排気するので外カップ内の酸素
濃度が低下する。
【００１７】
【００１８】
【実施例】以下、実施例について図面を参照して説明す
る。図１に示すように、このカップ回転式スピンコータ
は、内カップ駆動部１１、内カップ１５、外カップ１９
から成るスピンコータ本体１０と強制給排気機構３０と
強制給気機構４０とから構成されている。
る。図１に示すように、このカップ回転式スピンコータ
は、内カップ駆動部１１、内カップ１５、外カップ１９
から成るスピンコータ本体１０と強制給排気機構３０と
強制給気機構４０とから構成されている。
【００１９】前記内カップ駆動部１１は、塗膜を形成す
る基板を水平に保持した状態で内カップ１５高速回転さ
せるものであり、ＤＣサーボモータ１２，回転軸１３，
軸受１４から成る。前記ＤＣサーボモータ１２は、軸受
１４に回転可能に支持された回転軸１３を介して前記内
カップ１５に接続されており、内カップ１５を高精度で
高速回転させることができる。
る基板を水平に保持した状態で内カップ１５高速回転さ
せるものであり、ＤＣサーボモータ１２，回転軸１３，
軸受１４から成る。前記ＤＣサーボモータ１２は、軸受
１４に回転可能に支持された回転軸１３を介して前記内
カップ１５に接続されており、内カップ１５を高精度で
高速回転させることができる。
【００２０】前記内カップ１５は、基板保持台１６と一
体で回転するものであり、この基板保持台１６，内カッ
プ本体１７及び開閉自在の蓋１８から構成されている。
体で回転するものであり、この基板保持台１６，内カッ
プ本体１７及び開閉自在の蓋１８から構成されている。
【００２１】前記内カップ本体１７は、有底の短円筒状
の容器であり、底部が前記回転軸１３に固定されてい
る。また、この内カップ本体１７の下端外周部には外部
と連通する小孔１７ａが数箇所形成されている。
の容器であり、底部が前記回転軸１３に固定されてい
る。また、この内カップ本体１７の下端外周部には外部
と連通する小孔１７ａが数箇所形成されている。
【００２２】前記蓋１８は、中心部に開閉用の駆動軸１
８ａが支持されており、この駆動軸１８ａの上下運動に
よって蓋１８が開閉される。
８ａが支持されており、この駆動軸１８ａの上下運動に
よって蓋１８が開閉される。
【００２３】前記外カップ１９は、前記内カップ１５を
収容する外カップ本体２０及び開閉自在の蓋２１と、こ
の蓋２１の駆動手段２２とから構成されており、この外
カップ１９には、前記強制給排気機構３０及び強制給気
機構４０が接続されている。
収容する外カップ本体２０及び開閉自在の蓋２１と、こ
の蓋２１の駆動手段２２とから構成されており、この外
カップ１９には、前記強制給排気機構３０及び強制給気
機構４０が接続されている。
【００２４】前記外カップ本体２０は、前記内カップ１
５よりひと回り大きい有底の短円筒状の容器であり、底
部の中心を前記内カップ駆動部１１の回転軸１３が貫通
しているが両者は固定されていない。従って、前記内カ
ップ１５及び基板保持台１６は、外カップ本体２０内で
自由に回転できるようになっている。また、外カップ本
体２０の底部は、周縁部が中心部より低くなっている。
５よりひと回り大きい有底の短円筒状の容器であり、底
部の中心を前記内カップ駆動部１１の回転軸１３が貫通
しているが両者は固定されていない。従って、前記内カ
ップ１５及び基板保持台１６は、外カップ本体２０内で
自由に回転できるようになっている。また、外カップ本
体２０の底部は、周縁部が中心部より低くなっている。
【００２５】前記蓋２１は、その下面が多数のパンチン
グ穴から成る吹出口になっており、その上部には前記給
排気機構３０の給気側が接続される給気チャンバー２１
ａが設けられている。
グ穴から成る吹出口になっており、その上部には前記給
排気機構３０の給気側が接続される給気チャンバー２１
ａが設けられている。
【００２６】前記駆動手段２２は昇降シリンダであっ
て、この昇降シリンダのピストンロッドに前記蓋２１が
接続されており、ピストンロッドの出退に伴い蓋２１が
昇降して外カップ本体２０が開閉されるようになってい
る。
て、この昇降シリンダのピストンロッドに前記蓋２１が
接続されており、ピストンロッドの出退に伴い蓋２１が
昇降して外カップ本体２０が開閉されるようになってい
る。
【００２７】また、前記蓋２１は上面中央部に前記内カ
ップ１５の蓋１８の駆動軸１８ａが摺動可能に貫通して
おり、蓋２１と蓋１８とは、それぞれ別個に駆動される
ようになっている。
ップ１５の蓋１８の駆動軸１８ａが摺動可能に貫通して
おり、蓋２１と蓋１８とは、それぞれ別個に駆動される
ようになっている。
【００２８】蓋２１を閉じた状態では、蓋２１と外カッ
プ本体２０とが非接触状態になっており、ラビリンスシ
ールによって封止性能を維持している。このように、蓋
２１と外カップ本体２０とを非接触としたのは、両者が
接触することによる塵芥の発生を防止するためである。
プ本体２０とが非接触状態になっており、ラビリンスシ
ールによって封止性能を維持している。このように、蓋
２１と外カップ本体２０とを非接触としたのは、両者が
接触することによる塵芥の発生を防止するためである。
【００２９】さらに、この外カップ１９には、図２に示
すように、塗布液の滴下ノズル２３が設けられている。
この滴下ノズル２３は、常時外カップ本体２０と内カッ
プ本体１７との間に退避しているが、内カップ１５の蓋
１８が開いている状態で、同図に鎖線で示すように、そ
の先端部が内カップ１５内の回転中心まで回動し、塗布
液を基板上に滴下できるようになっている。
すように、塗布液の滴下ノズル２３が設けられている。
この滴下ノズル２３は、常時外カップ本体２０と内カッ
プ本体１７との間に退避しているが、内カップ１５の蓋
１８が開いている状態で、同図に鎖線で示すように、そ
の先端部が内カップ１５内の回転中心まで回動し、塗布
液を基板上に滴下できるようになっている。
【００３０】前記強制給排気機構３０は、給気ファン３
１ａ、給気ダクト３２ａ、開閉バルブ３３ａ、流量計３
４ａ、フィルタ３５ａから成る給気手段３０ａと、排気
ファン３１ｂ、排気ダクト３２ｂ、流量調整ダンパ３３
ｂ，３４ｂから成る排気手段３０ｂとから構成されてお
り、前記外カップ１９内にダウンフローを形成するもの
である。
１ａ、給気ダクト３２ａ、開閉バルブ３３ａ、流量計３
４ａ、フィルタ３５ａから成る給気手段３０ａと、排気
ファン３１ｂ、排気ダクト３２ｂ、流量調整ダンパ３３
ｂ，３４ｂから成る排気手段３０ｂとから構成されてお
り、前記外カップ１９内にダウンフローを形成するもの
である。
【００３１】前記給気手段３０ａは、図１に示すよう
に、給気ダクト３２ａの端末が前記蓋２１に設けられた
給気チャンバ２１ａに接続されており、一定流量の空気
又は窒素ガス等の気体を外カップ１９の上部に供給でき
るようになっている。
に、給気ダクト３２ａの端末が前記蓋２１に設けられた
給気チャンバ２１ａに接続されており、一定流量の空気
又は窒素ガス等の気体を外カップ１９の上部に供給でき
るようになっている。
【００３２】一方、前記排気手段３０ｂは、同図に示す
ように、排気ダクト３２ｂが、前記外カップ本体２０の
底部周縁の低くなった部分に接続されており、前記流量
調整ダンパ３３ｂ，３４ｂを調整することにより、外カ
ップ１９内の給排気バランスを調整するようになってい
る。
ように、排気ダクト３２ｂが、前記外カップ本体２０の
底部周縁の低くなった部分に接続されており、前記流量
調整ダンパ３３ｂ，３４ｂを調整することにより、外カ
ップ１９内の給排気バランスを調整するようになってい
る。
【００３３】具体的な給排気バランスは、供給される気
体が空気であるか、窒素ガスであるかによって異なる。
一般に窒素ガスを供給するのは、ミスト爆発の危険性が
ある場合であり、その場合は外カップ１９内の窒素ガス
が、蓋２１と外カップ本体２０間のラビリンスシール部
分を介して外部へ漏洩するのを防止すべく、給気量より
排気量を多くするのが通常である。しかし、あまり排気
量が多くなると、逆に外部の空気が上記ラビリンスシー
ル部分を介して外カップ１９内に流入し、外カップ１９
内の酸素濃度が高くなるので、外カップ１９内の酸素濃
度が爆発下限界以下になるように排気量を調整する必要
がある。
体が空気であるか、窒素ガスであるかによって異なる。
一般に窒素ガスを供給するのは、ミスト爆発の危険性が
ある場合であり、その場合は外カップ１９内の窒素ガス
が、蓋２１と外カップ本体２０間のラビリンスシール部
分を介して外部へ漏洩するのを防止すべく、給気量より
排気量を多くするのが通常である。しかし、あまり排気
量が多くなると、逆に外部の空気が上記ラビリンスシー
ル部分を介して外カップ１９内に流入し、外カップ１９
内の酸素濃度が高くなるので、外カップ１９内の酸素濃
度が爆発下限界以下になるように排気量を調整する必要
がある。
【００３４】なお、空気を供給する場合は、窒素ガスを
供給する場合のような問題が生じないので、排気量が給
気量より若干多くなる程度に荒調整をしておけば十分で
ある。
供給する場合のような問題が生じないので、排気量が給
気量より若干多くなる程度に荒調整をしておけば十分で
ある。
【００３５】前記強制給気機構４０は、図１に示すよう
に、給気ファン４１、給気ダクト４２、開閉バルブ４
３、流量計４４及びフィルタ４５から構成されており、
前記給気ダクト４２の端末が前記外カップ１９の蓋２１
を貫通して内カップ本体１７の上端部近傍まで導かれて
いる。
に、給気ファン４１、給気ダクト４２、開閉バルブ４
３、流量計４４及びフィルタ４５から構成されており、
前記給気ダクト４２の端末が前記外カップ１９の蓋２１
を貫通して内カップ本体１７の上端部近傍まで導かれて
いる。
【００３６】この強制給気機構４０は、塗膜形成後に蓋
１８を開けて基板を取り出す際、内カップ本体１７内に
強制的に給気し、内カップ本体１７内を正圧に保つこと
により、外カップ１９内の気体の内カップ本体１７内へ
の流入を防止せんとするものである。従って、給気量は
前記内カップ本体１７の容積分の気体を２〜３秒で供給
できる程度に設定しておくことが好ましい。
１８を開けて基板を取り出す際、内カップ本体１７内に
強制的に給気し、内カップ本体１７内を正圧に保つこと
により、外カップ１９内の気体の内カップ本体１７内へ
の流入を防止せんとするものである。従って、給気量は
前記内カップ本体１７の容積分の気体を２〜３秒で供給
できる程度に設定しておくことが好ましい。
【００３７】また、前記強制給排気機構３０及び強制給
気機構４０による強制給排気及び強制給気のタイミング
は、制御手段３６から開閉バルブ３３ａ、４３への開閉
信号及び吸気ファン３１ａ，４１、排気ファン３１ｂへ
の起動・停止信号により、制御される。
気機構４０による強制給排気及び強制給気のタイミング
は、制御手段３６から開閉バルブ３３ａ、４３への開閉
信号及び吸気ファン３１ａ，４１、排気ファン３１ｂへ
の起動・停止信号により、制御される。
【００３８】以上のように構成されたカップ回転式スピ
ンコータの動作を図３に示すフローチャートに基づいて
説明する。
ンコータの動作を図３に示すフローチャートに基づいて
説明する。
【００３９】まず、内カップ１５の蓋１８と外カップ１
９の蓋２１が開いた状態で、基板保持台１６に基板が供
給され、保持される（ステップＳ１）。なお、基板の保
持は、周知の方法により基板を基板保持台１６に吸着さ
せることにより行う。
９の蓋２１が開いた状態で、基板保持台１６に基板が供
給され、保持される（ステップＳ１）。なお、基板の保
持は、周知の方法により基板を基板保持台１６に吸着さ
せることにより行う。
【００４０】次のステップＳ２で外カップ１９の蓋２１
を閉じ、Ｎ2 シールを行うか否かを判断する（ステップ
Ｓ３）。ここで、Ｎ2 シールを行う場合は、ステップＳ
４に移行して前記強制給排気機構３０が窒素ガスによる
強制給排気を開始し、予め外カップ１９内を窒素ガスで
置換した状態で基板上に塗布液を滴下する（ステップＳ
５）。そして、内カップ１５の蓋１８を閉じ（ステップ
Ｓ６）、ステップＳ１０に移行する。
を閉じ、Ｎ2 シールを行うか否かを判断する（ステップ
Ｓ３）。ここで、Ｎ2 シールを行う場合は、ステップＳ
４に移行して前記強制給排気機構３０が窒素ガスによる
強制給排気を開始し、予め外カップ１９内を窒素ガスで
置換した状態で基板上に塗布液を滴下する（ステップＳ
５）。そして、内カップ１５の蓋１８を閉じ（ステップ
Ｓ６）、ステップＳ１０に移行する。
【００４１】一方、Ｎ2 シールを行わない場合は、ステ
ップＳ７に移行し、まず、基板上に塗布液を滴下した
後、内カップ１５の蓋１８を閉じる（ステップＳ８）。
そして、空気による強制給排気を開始し（ステップＳ
９）、ステップＳ１０に移行する。
ップＳ７に移行し、まず、基板上に塗布液を滴下した
後、内カップ１５の蓋１８を閉じる（ステップＳ８）。
そして、空気による強制給排気を開始し（ステップＳ
９）、ステップＳ１０に移行する。
【００４２】ステップＳ１０では、内カップ１５が高速
回転し、基板上に塗膜が形成される。このとき、基板の
回転に伴う遠心力によって、塗布液の一部が基板の外側
へ飛散するが、これは内カップ本体１７の下端外周部に
形成された小孔１７ａから外カップ１９内に排出され
る。排出された塗布液はミストとなって浮遊するが、外
カップ１９内を強制給排気していることから、ダウンフ
ローが形成され、そのダウンフローによってミストが内
カップ１５の上方へ浮遊することなく、排気ダスト３２
ｂを介して窒素ガス又は空気と共に排気される。従っ
て、回転中の内カップ１５周辺には、ほとんどミストが
滞留することなく、清浄状態が維持される。
回転し、基板上に塗膜が形成される。このとき、基板の
回転に伴う遠心力によって、塗布液の一部が基板の外側
へ飛散するが、これは内カップ本体１７の下端外周部に
形成された小孔１７ａから外カップ１９内に排出され
る。排出された塗布液はミストとなって浮遊するが、外
カップ１９内を強制給排気していることから、ダウンフ
ローが形成され、そのダウンフローによってミストが内
カップ１５の上方へ浮遊することなく、排気ダスト３２
ｂを介して窒素ガス又は空気と共に排気される。従っ
て、回転中の内カップ１５周辺には、ほとんどミストが
滞留することなく、清浄状態が維持される。
【００４３】そして、一定時間経過すると、内カップ１
５の回転を停止した後、（ステップＳ１１）、窒素ガス
又は空気による強制給排気も停止する（ステップＳ１
２）。次のステップＳ１３では内カップ１５の蓋１８を
開けるが、ここで、内カップ本体１７に強制給気機構４
０による強制給気を行うか否かを判断する。
５の回転を停止した後、（ステップＳ１１）、窒素ガス
又は空気による強制給排気も停止する（ステップＳ１
２）。次のステップＳ１３では内カップ１５の蓋１８を
開けるが、ここで、内カップ本体１７に強制給気機構４
０による強制給気を行うか否かを判断する。
【００４４】強制給気を行う場合には、蓋１８が開くと
同時に給気ダクト４２を介し窒素ガス又は空気を給気し
た後（ステップＳ１５），外カップ１９の蓋２１を開け
（ステップＳ１６）、基板を取り出す（ステップＳ１
７）。一方、強制給気を行わない場合は、直ちに外カッ
プ１９の蓋１８を開けて（ステップＳ１６），基板を取
り出す（ステップＳ１７）。
同時に給気ダクト４２を介し窒素ガス又は空気を給気し
た後（ステップＳ１５），外カップ１９の蓋２１を開け
（ステップＳ１６）、基板を取り出す（ステップＳ１
７）。一方、強制給気を行わない場合は、直ちに外カッ
プ１９の蓋１８を開けて（ステップＳ１６），基板を取
り出す（ステップＳ１７）。
【００４５】以上のように、このカップ回転式スピンコ
ータは、空気のみならず窒素ガスによる強制給排気も可
能であるが、特にこれに限定されるものではなく、ミス
ト爆発の危険性がない場合は空気による強制給排気がで
きれば十分である。また内カップ１５内への強制排気に
ついては、品質の良い製品が確実に製造できるという点
で強制排気を行う。
ータは、空気のみならず窒素ガスによる強制給排気も可
能であるが、特にこれに限定されるものではなく、ミス
ト爆発の危険性がない場合は空気による強制給排気がで
きれば十分である。また内カップ１５内への強制排気に
ついては、品質の良い製品が確実に製造できるという点
で強制排気を行う。
【００４６】
【発明の効果】以上のように、この発明は、塗膜形成時
に基板を収容し、基板と共に回転する内カップの周囲に
ダウンフローを形成し、前記内カップから排出される余
剰塗布液に起因した浮遊ミストを、そのダウンフローに
よって外部に排出する構成を採用したため、内カップの
上方に浮遊ミストがほとんど存在せず、塗膜形成後に内
カップの蓋を開けて基板を取り出す際、浮遊ミストが基
板に付着して製品の品質低下を招くことを有効に防止で
きる。
に基板を収容し、基板と共に回転する内カップの周囲に
ダウンフローを形成し、前記内カップから排出される余
剰塗布液に起因した浮遊ミストを、そのダウンフローに
よって外部に排出する構成を採用したため、内カップの
上方に浮遊ミストがほとんど存在せず、塗膜形成後に内
カップの蓋を開けて基板を取り出す際、浮遊ミストが基
板に付着して製品の品質低下を招くことを有効に防止で
きる。
【００４７】特に、内カップの蓋を開けると同時にその
内カップ内に強制給気しているので、回転停止直後に内
カップ内に生じる若干の負圧状態を解消し、周囲からの
気体の流入を防止することができるので、さらに製品の
品質向上を図ることができる。
内カップ内に強制給気しているので、回転停止直後に内
カップ内に生じる若干の負圧状態を解消し、周囲からの
気体の流入を防止することができるので、さらに製品の
品質向上を図ることができる。
【００４８】また、基板上への塗布液滴下時点から内カ
ップの回転停止までの間、外カップ内に窒素ガスによる
ダウンフローを形成しておくと、爆発危険性のある塗布
液を使用する場合でも、ミスト爆発を有効に防止するこ
とができる。
ップの回転停止までの間、外カップ内に窒素ガスによる
ダウンフローを形成しておくと、爆発危険性のある塗布
液を使用する場合でも、ミスト爆発を有効に防止するこ
とができる。
【図１】この発明に係るカップ回転式スピンコータの一
実施例を示す概略図である。
実施例を示す概略図である。
【図２】同上の部分詳細図である。
【図３】同上の動作を示すフローチャートである。
【図４】従来例を示す概略図である。
【図５】他の従来例を示す概略図である。
１１ 内カップ駆動部 １５ 内カップ １７ 内カップ本体 １７ａ 小孔 １８ 蓋 １９ 外カップ ２０ 外カップ本体 ２１ 蓋 ２１ａ 給気チャンバ ３０ 強制給排気機構 ３０ａ 給気手段 ３０ｂ 排気手段 ４０ 強制給気機構
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−146736（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B05C 11/08 B05D 1/40 G03F 7/16
Claims (4)
- 【請求項１】 内部に被塗膜形成板を収容し、開閉自在
の蓋を有する内カップと、この内カップを水平に保持し
て回転させる内カップ駆動部と、前記内カップを収容
し、開閉自在の蓋を有する外カップとを備えたカップ回
転式スピンコータにおいて、 前記外カップに、少なくとも前記内カップの回転中、そ
の外カップ内にダウンフローを形成する給排気機構を設
けると共に、 前記外カップに、塗膜形成後の内カップの蓋の開動作と
同時に、その内カップ内に所定時間給気する給気機構を
設けた ことを特徴とするカップ回転式スピンコータ。 - 【請求項２】 前記給排気機構によって、基板への塗布
液の滴下前から内カップ駆動部の回転停止までの間、窒
素ガスによるダウンフローを形成するようにした請求項
１記載のカップ回転式スピンコータ。 - 【請求項３】 開閉自在の外カップ内に設けられた回転
可能かつ開閉自在の内カップ内に被塗膜形成板を水平に
保持する被塗膜形成板供給工程と、 前記被塗膜形成板に塗布液を滴下した後、前記内カップ
を閉じる塗布液滴下工程と、 前記被塗膜形成板を前記内カップと共に回転させて被塗
膜形成板上に塗膜を形成する塗膜形成工程と、 前記被塗膜形成板の回転を停止した後に、前記内カップ
を開いて塗膜形成板を取り出す塗膜形成板取出工程と、 少なくとも前記内カップの回転中、前記外カップ内にダ
ウンフローを形成する給排気工程とを有し、 前記内カップを開いて塗膜形成板を取り出す際、その内
カップが開くと同時に内カップ内に給気するようにした
カップ回転式塗膜形成方法。 - 【請求項４】 開閉自在の外カップ内に設けられた回転
可能かつ開閉自在の内カップ内に被塗膜形成板を水平に
保持する被塗膜形成板供給工程と、前記被塗膜形成板に
塗布液を滴下した後、前記内カップを閉じる塗布液滴下
工程と、前記被塗膜形成板を前記内カップと共に回転さ
せて被塗膜形成板に塗膜を形成する塗 膜形成工程と、前
記被塗膜形成板の回転を停止した後に、前記カップを開
いて塗膜形成板を取り出す塗膜形成板取出工程とを有す
るカップ回転式塗膜形成方法において、 塗布液の滴下前から、内カップの回転を停止するまでの
間、外カップ内にダウンフローを形成する給排気工程を
付加し、この給排気工程では窒素ガスを使用すると共
に、 前記内カップを開いて塗膜形成板を取り出す際、その内
カップが開くと同時に内カップ内に給気するようにした
カップ回転式塗膜形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14684293A JP3326871B2 (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | カップ回転式スピンコータ及びカップ回転式塗膜形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14684293A JP3326871B2 (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | カップ回転式スピンコータ及びカップ回転式塗膜形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06328034A JPH06328034A (ja) | 1994-11-29 |
| JP3326871B2 true JP3326871B2 (ja) | 2002-09-24 |
Family
ID=15416770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14684293A Expired - Fee Related JP3326871B2 (ja) | 1993-05-25 | 1993-05-25 | カップ回転式スピンコータ及びカップ回転式塗膜形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3326871B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100327045B1 (ko) * | 1999-12-31 | 2002-03-06 | 황인길 | 코팅장비의 내부 오염 방지 장치 |
| JP2021152762A (ja) * | 2020-03-24 | 2021-09-30 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 学習済みモデル生成方法、学習済みモデル、異常要因推定装置、基板処理装置、異常要因推定方法、学習方法、学習装置、及び、学習データ作成方法 |
-
1993
- 1993-05-25 JP JP14684293A patent/JP3326871B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06328034A (ja) | 1994-11-29 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |