JP3325096B2 - 走査型光学顕微鏡 - Google Patents
走査型光学顕微鏡Info
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- JP3325096B2 JP3325096B2 JP26892893A JP26892893A JP3325096B2 JP 3325096 B2 JP3325096 B2 JP 3325096B2 JP 26892893 A JP26892893 A JP 26892893A JP 26892893 A JP26892893 A JP 26892893A JP 3325096 B2 JP3325096 B2 JP 3325096B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光源から発せられた光
で試料上を走査し、この試料からの透過光を検出し試料
像を得るようにした走査型光学顕微鏡に関する。
で試料上を走査し、この試料からの透過光を検出し試料
像を得るようにした走査型光学顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】光源からのレーザ光を対物レンズで微小
なスポットに絞って試料上を走査し、この試料からの透
過光や反射光を光検出器で電気信号に変換してＣＲＴ上
に試料像を可視表示するようにした走査型レーザ顕微鏡
は、フレアの少ないコントラストの良い像が得られるこ
とや、検出光学系を工夫することで共焦点，微分等の特
殊な検出が簡単に行える等の利点を有し、広く実用に供
されている。このような走査型レーザ顕微鏡としては、
例えば特開昭６１−２１９９１９号公報に開示されてお
り、以下に示す如く構成されている。
なスポットに絞って試料上を走査し、この試料からの透
過光や反射光を光検出器で電気信号に変換してＣＲＴ上
に試料像を可視表示するようにした走査型レーザ顕微鏡
は、フレアの少ないコントラストの良い像が得られるこ
とや、検出光学系を工夫することで共焦点，微分等の特
殊な検出が簡単に行える等の利点を有し、広く実用に供
されている。このような走査型レーザ顕微鏡としては、
例えば特開昭６１−２１９９１９号公報に開示されてお
り、以下に示す如く構成されている。
【０００３】図４は、従来の走査型レーザ顕微鏡の一例
を示す概略構成図である。図示の如く、光源１から発せ
られたレーザビーム２は、ビームスプリッタ３を通過し
て光偏向用の第一のガルバノメータミラー４に入射し、
ここで所要の偏向を受けた後瞳伝送レンズ５及び６を通
って第二のガルバノメータミラー７へ入射される。上記
ガルバノメータミラー４及び７は、各々対物レンズ１０
の瞳位置と共役な位置に配置されており、ガルバノメー
タミラー４は入射されたレーザビーム２をＸ軸方向に、
又、ガルバノメータミラー７はレーザビーム２をＹ軸方
向に夫々走査する。
を示す概略構成図である。図示の如く、光源１から発せ
られたレーザビーム２は、ビームスプリッタ３を通過し
て光偏向用の第一のガルバノメータミラー４に入射し、
ここで所要の偏向を受けた後瞳伝送レンズ５及び６を通
って第二のガルバノメータミラー７へ入射される。上記
ガルバノメータミラー４及び７は、各々対物レンズ１０
の瞳位置と共役な位置に配置されており、ガルバノメー
タミラー４は入射されたレーザビーム２をＸ軸方向に、
又、ガルバノメータミラー７はレーザビーム２をＹ軸方
向に夫々走査する。
【０００４】このようにして二次元走査されたレーザビ
ーム２は、瞳投影レンズ８及び結像レンズ９を通過して
対物レンズ１０へ入射し、ここで回折で制限される点状
光（レーザスポット）を生じて試料１１上をＸ−Ｙ走査
する。試料１１が透過物体であれば、この試料１１を透
過した透過ビームはコンデンサレンズ１２を介して当該
コンデンサレンズ１２の瞳位置に配置されている光検出
器１３及び１４によって検出される。これら光検出器１
３及び１４からの検出信号は図示しないＣＲＴ等の表示
手段に供されて可視像化される。又、試料１１が反射物
体であれば、この試料１１を反射した反射ビームは入射
時と全く同一の経路を逆に辿ってビームスプリッタ３へ
到達し、このビームスプリッタ３及び集光レンズ１５に
よって取り出された後、光検出器１６及び１７で検出さ
れる。この検出信号は、上記と同様にＣＲＴ等に供給さ
れて可視像化される。
ーム２は、瞳投影レンズ８及び結像レンズ９を通過して
対物レンズ１０へ入射し、ここで回折で制限される点状
光（レーザスポット）を生じて試料１１上をＸ−Ｙ走査
する。試料１１が透過物体であれば、この試料１１を透
過した透過ビームはコンデンサレンズ１２を介して当該
コンデンサレンズ１２の瞳位置に配置されている光検出
器１３及び１４によって検出される。これら光検出器１
３及び１４からの検出信号は図示しないＣＲＴ等の表示
手段に供されて可視像化される。又、試料１１が反射物
体であれば、この試料１１を反射した反射ビームは入射
時と全く同一の経路を逆に辿ってビームスプリッタ３へ
到達し、このビームスプリッタ３及び集光レンズ１５に
よって取り出された後、光検出器１６及び１７で検出さ
れる。この検出信号は、上記と同様にＣＲＴ等に供給さ
れて可視像化される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図５は、従来の走査型
光学顕微鏡（正立型）の外観図である。図示の如く、従
来装置では、光検出装置２２がコンデンサレンズ２５に
固定されて一体化した状態で用いられていた。しかし、
これでは、標本交換の際に、ステージ２４を下げようと
しても、光検出装置２２と鏡基２０の窓レンズ部２０ａ
とのクリアランスが小さいため、ステージ２４の移動は
狭い範囲に制限されてしまう。又、電装ケーブル２２ａ
がステージ２４の近傍に存在しているため、装置操作が
妨げられ、操作性が悪い等の問題があった。一方、倒立
型の顕微鏡においても、図６に示したように、光検出装
置２２と一体化されたコンデンサレンズ２５の移動が狭
い範囲に制限され、又、電装ケーブル２２ａがステージ
２４の近傍に存在しているため、装置の操作性に問題が
あった。
光学顕微鏡（正立型）の外観図である。図示の如く、従
来装置では、光検出装置２２がコンデンサレンズ２５に
固定されて一体化した状態で用いられていた。しかし、
これでは、標本交換の際に、ステージ２４を下げようと
しても、光検出装置２２と鏡基２０の窓レンズ部２０ａ
とのクリアランスが小さいため、ステージ２４の移動は
狭い範囲に制限されてしまう。又、電装ケーブル２２ａ
がステージ２４の近傍に存在しているため、装置操作が
妨げられ、操作性が悪い等の問題があった。一方、倒立
型の顕微鏡においても、図６に示したように、光検出装
置２２と一体化されたコンデンサレンズ２５の移動が狭
い範囲に制限され、又、電装ケーブル２２ａがステージ
２４の近傍に存在しているため、装置の操作性に問題が
あった。
【０００６】そこで、本発明は、上記のような従来技術
の有する問題点に鑑み、正立型，倒立型を問わず装置の
操作性を向上させ、使い易い走査型光学顕微鏡を提供す
ることを目的としている。
の有する問題点に鑑み、正立型，倒立型を問わず装置の
操作性を向上させ、使い易い走査型光学顕微鏡を提供す
ることを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の走査光学顕微鏡は、光源と、該光源から発
せられた光を試料上に集光するためのレンズ系と、該レ
ンズ系と前記光源との間の光路上に設けられ、前記光源
からの光を偏向させる光偏向器と、前記レンズ系で前記
試料上に集光され前記試料を透過した光を検出する光検
出器と、前記試料を透過照明するための透過照明用ラン
プハウスと、鏡基に固定するための鏡基固定部、前記透
過照明用ランプハウスを取り付けるためのランプハウス
取付部及び前記試料を透過した光を前記光検出器に導く
手段を備えたケースを有する光検出装置とを備えてお
り、該光検出装置を、前記ランプハウス取付部および前
記鏡基固定部によって、前記透過照明用ランプハウスと
前記鏡基との間に取り付けたことを特徴としている。ま
た、本発明の走査型光学顕微鏡の前記光検出装置は、前
記レンズ系で前記試料上に集光され前記試料を透過した
光を前記光検出器に導く光路と前記試料を透過照射する
前記透過照明用ランプハウスからの光路とを切り換える
切換え手段を備えていることが好ましい。また、本発明
の走査型光学顕微鏡の前記試料を透過した光を前記光検
出器に導く手段は、前記鏡基固定部からの入射光束の光
路の向きを前記光検出器の方向へと変える反射ミラーを
備えているのが好ましい。また、本発明の走査型光学顕
微鏡の前記切換え手段は、前記反射ミラーを備え、前記
鏡基固定部と前記ランプハウス取付部とを結ぶ光路に対
して該反射ミラーを挿脱させることにより、前記レンズ
系で前記試料上に集光され前記試料を透過した光を前記
光検出器に導く光路と、前記試料を透過照明する前記透
過照明用ランプハウスからの光路とが切り換わるように
構成されているのが好ましい。また、本発明の走査型光
学顕微鏡の前記光検出器は、前記光検出装置の前記ケー
スの内部に備えられているのが好ましい。さらに、本発
明の走査型光学顕微鏡は、前記試料を挟んで前記レンズ
系と対向配置され、前記レンズ系で前記試料を透過した
光が入射するコンデンサレンズを更に備え、前記光検出
装置は、前記コンデンサレンズの瞳位置を前記光検出器
に投影する瞳投影光学系を備えていることが好ましい。
め、本発明の走査光学顕微鏡は、光源と、該光源から発
せられた光を試料上に集光するためのレンズ系と、該レ
ンズ系と前記光源との間の光路上に設けられ、前記光源
からの光を偏向させる光偏向器と、前記レンズ系で前記
試料上に集光され前記試料を透過した光を検出する光検
出器と、前記試料を透過照明するための透過照明用ラン
プハウスと、鏡基に固定するための鏡基固定部、前記透
過照明用ランプハウスを取り付けるためのランプハウス
取付部及び前記試料を透過した光を前記光検出器に導く
手段を備えたケースを有する光検出装置とを備えてお
り、該光検出装置を、前記ランプハウス取付部および前
記鏡基固定部によって、前記透過照明用ランプハウスと
前記鏡基との間に取り付けたことを特徴としている。ま
た、本発明の走査型光学顕微鏡の前記光検出装置は、前
記レンズ系で前記試料上に集光され前記試料を透過した
光を前記光検出器に導く光路と前記試料を透過照射する
前記透過照明用ランプハウスからの光路とを切り換える
切換え手段を備えていることが好ましい。また、本発明
の走査型光学顕微鏡の前記試料を透過した光を前記光検
出器に導く手段は、前記鏡基固定部からの入射光束の光
路の向きを前記光検出器の方向へと変える反射ミラーを
備えているのが好ましい。また、本発明の走査型光学顕
微鏡の前記切換え手段は、前記反射ミラーを備え、前記
鏡基固定部と前記ランプハウス取付部とを結ぶ光路に対
して該反射ミラーを挿脱させることにより、前記レンズ
系で前記試料上に集光され前記試料を透過した光を前記
光検出器に導く光路と、前記試料を透過照明する前記透
過照明用ランプハウスからの光路とが切り換わるように
構成されているのが好ましい。また、本発明の走査型光
学顕微鏡の前記光検出器は、前記光検出装置の前記ケー
スの内部に備えられているのが好ましい。さらに、本発
明の走査型光学顕微鏡は、前記試料を挟んで前記レンズ
系と対向配置され、前記レンズ系で前記試料を透過した
光が入射するコンデンサレンズを更に備え、前記光検出
装置は、前記コンデンサレンズの瞳位置を前記光検出器
に投影する瞳投影光学系を備えていることが好ましい。
【０００８】
【作用】従って、本発明によれば、正立型，倒立型を問
わず装置の操作性が向上した使い易い走査型光学顕微鏡
が得られる。
わず装置の操作性が向上した使い易い走査型光学顕微鏡
が得られる。
【０００９】
【実施例】以下、図１乃至２に基づき本発明の第一実施
例を説明する。図１は、本実施例の走査型光学顕微鏡
（正立型）の外観図である。図のように、光検出装置３
０は鏡基２０と透過照明用ランプハウス２３との間に配
置されている。又、鏡基２０，透過照明用ランプハウス
２３及びその他の顕微鏡構成部材は図５に示した従来装
置のものと同様である。光検出装置３０は、透過照明用
光学系とコンデンサレンズの瞳位置を正確に光検出器に
投影する瞳投影光学系と、この両者を選択的に切換えて
使用できるようにする切換え装置とを備え、以下に示す
如く構成されている。
例を説明する。図１は、本実施例の走査型光学顕微鏡
（正立型）の外観図である。図のように、光検出装置３
０は鏡基２０と透過照明用ランプハウス２３との間に配
置されている。又、鏡基２０，透過照明用ランプハウス
２３及びその他の顕微鏡構成部材は図５に示した従来装
置のものと同様である。光検出装置３０は、透過照明用
光学系とコンデンサレンズの瞳位置を正確に光検出器に
投影する瞳投影光学系と、この両者を選択的に切換えて
使用できるようにする切換え装置とを備え、以下に示す
如く構成されている。
【００１０】図２は、光検出装置３０の構成図であり、
（ａ）は上面から見た装置内部の構成図，（ｂ）は同図
（ａ）のＸ−Ｘ線断面図である。図中、３１は透過照明
用光学系、３２はコンデンサレンズの瞳位置を正確に光
検出器（以下に示す受光素子３５ａ，３５ｂ）に投影す
る瞳投影光学系、３３は光路４７からの入射光束の光路
を変えて瞳投影光学系３２へ導くための反射ミラーであ
る。透過照明光学系３１，瞳撮影光学系３２及び反射ミ
ラー３３は夫々移動部材４２に配置され、移動部材４２
はリニアガイド４０により固定され、直線移動可能に構
成されている。又、移動部材４２は、レバー３８のスラ
イド操作によって、クリック機構３９の停止位置で、透
過照明用光学系３１と瞳投影光学系３２とを選択的に切
換えて使用できるようになっている。瞳投影光学系３２
は、分割ミラー３４の稜線に正確に瞳を投影できるよう
に構成され、分割ミラー３４によってその光束を受光素
子３５ａ，３５ｂに導けるようになっており、又、受光
素子３５ａ，３５ｂの受光面積に適合した投影倍率に設
計され、透過照明用光学系３１とは異なった投影倍率を
有している。受光素子３５ａ，３５ｂは光分割ミラー３
４が固定されている部材４３に取付けられている。又、
部材４３はリング状部材４１に固定されており、リング
状部材４１はケース４４と接触面内で多少の調整材を有
しながらケース４４に固定できるように構成されてい
る。４５は、ＮＤフィルタ，偏向板等のスライダー４６
を挿入するスライダー挿入部である。
（ａ）は上面から見た装置内部の構成図，（ｂ）は同図
（ａ）のＸ−Ｘ線断面図である。図中、３１は透過照明
用光学系、３２はコンデンサレンズの瞳位置を正確に光
検出器（以下に示す受光素子３５ａ，３５ｂ）に投影す
る瞳投影光学系、３３は光路４７からの入射光束の光路
を変えて瞳投影光学系３２へ導くための反射ミラーであ
る。透過照明光学系３１，瞳撮影光学系３２及び反射ミ
ラー３３は夫々移動部材４２に配置され、移動部材４２
はリニアガイド４０により固定され、直線移動可能に構
成されている。又、移動部材４２は、レバー３８のスラ
イド操作によって、クリック機構３９の停止位置で、透
過照明用光学系３１と瞳投影光学系３２とを選択的に切
換えて使用できるようになっている。瞳投影光学系３２
は、分割ミラー３４の稜線に正確に瞳を投影できるよう
に構成され、分割ミラー３４によってその光束を受光素
子３５ａ，３５ｂに導けるようになっており、又、受光
素子３５ａ，３５ｂの受光面積に適合した投影倍率に設
計され、透過照明用光学系３１とは異なった投影倍率を
有している。受光素子３５ａ，３５ｂは光分割ミラー３
４が固定されている部材４３に取付けられている。又、
部材４３はリング状部材４１に固定されており、リング
状部材４１はケース４４と接触面内で多少の調整材を有
しながらケース４４に固定できるように構成されてい
る。４５は、ＮＤフィルタ，偏向板等のスライダー４６
を挿入するスライダー挿入部である。
【００１１】このように構成された光検出装置３０は、
図１に示したように、丸アリ３７で鏡基２０に固定さ
れ、又、ランプハウス取付部３６にランプハウス２３が
取付けられている。
図１に示したように、丸アリ３７で鏡基２０に固定さ
れ、又、ランプハウス取付部３６にランプハウス２３が
取付けられている。
【００１２】本実施例の装置は上記のように構成されて
いるので、反射ミラー３３の僅かな角度のズレや瞳投影
光学系３２の中心のズレ等で、光スポットが光分割ミラ
ー３４の本来の設計位置に存在しない場合でも、リング
状部材４１を調整することにより、正確に光分割ミラー
３４の稜線を光スポット中央に固定できる。又、受光素
子３５ａ，３５ｂは、夫々光分割ミラー３４が固定され
ている部材４３に固定されているので、リング状部材４
１を振っても光分割ミラー３４と受光素子３５ａ，３５
ｂとの相対的な位置関係は変化しないため、光スポット
が受光素子３５ａ，３５ｂからずれることはない。従っ
て、最良の透過光検出（和及び差分像）ができる。又、
スライダー挿入部４５を設けたので、スライダー４６に
偏向板を入れると透過偏向画像が得られる。更に、光検
出装置３０とステージ２４とが分割されて構成されてい
るので、ステージ２４の移動範囲を広くとることがで
き、又、電装ケーブル３０ａが装置後方に設けられてい
るため、装置の操作が妨げられることはない。又、鏡基
２０と透過照明用ランプハウス２３との間に光検出装置
３０を設けることにより、透過照明用ランプハウス２３
の熱が鏡基２０に伝達しにくくなり、熱による像ボケの
影響を軽減できる。
いるので、反射ミラー３３の僅かな角度のズレや瞳投影
光学系３２の中心のズレ等で、光スポットが光分割ミラ
ー３４の本来の設計位置に存在しない場合でも、リング
状部材４１を調整することにより、正確に光分割ミラー
３４の稜線を光スポット中央に固定できる。又、受光素
子３５ａ，３５ｂは、夫々光分割ミラー３４が固定され
ている部材４３に固定されているので、リング状部材４
１を振っても光分割ミラー３４と受光素子３５ａ，３５
ｂとの相対的な位置関係は変化しないため、光スポット
が受光素子３５ａ，３５ｂからずれることはない。従っ
て、最良の透過光検出（和及び差分像）ができる。又、
スライダー挿入部４５を設けたので、スライダー４６に
偏向板を入れると透過偏向画像が得られる。更に、光検
出装置３０とステージ２４とが分割されて構成されてい
るので、ステージ２４の移動範囲を広くとることがで
き、又、電装ケーブル３０ａが装置後方に設けられてい
るため、装置の操作が妨げられることはない。又、鏡基
２０と透過照明用ランプハウス２３との間に光検出装置
３０を設けることにより、透過照明用ランプハウス２３
の熱が鏡基２０に伝達しにくくなり、熱による像ボケの
影響を軽減できる。
【００１３】図３は、本発明による第二実施例の走査型
光学顕微鏡の外観図である。図示したように、光検出装
置３０が鏡基２０と透過照明用ランプハウス２３との間
に設けられ、倒立型の顕微鏡が構成されている。尚、光
検出装置３０は、第一実施例において示した装置と同様
に構成されており、又、鏡基２０，透過照明用ランプ２
３及びその他の顕微鏡構成部材は従来装置のものと同様
である。
光学顕微鏡の外観図である。図示したように、光検出装
置３０が鏡基２０と透過照明用ランプハウス２３との間
に設けられ、倒立型の顕微鏡が構成されている。尚、光
検出装置３０は、第一実施例において示した装置と同様
に構成されており、又、鏡基２０，透過照明用ランプ２
３及びその他の顕微鏡構成部材は従来装置のものと同様
である。
【００１４】本実施例の倒立型顕微鏡は、上記のように
光検出装置３０とコンデンサレンズ２５とが分割されて
構成されているので、コンデンサレンズ２５の移動スト
ロークを広くとることができ、又、電装ケーブル３０ａ
は装置後方に設けられているので、電装ケーブル３０ａ
が装置の操作を妨げることがなく、装置操作性が向上す
る。
光検出装置３０とコンデンサレンズ２５とが分割されて
構成されているので、コンデンサレンズ２５の移動スト
ロークを広くとることができ、又、電装ケーブル３０ａ
は装置後方に設けられているので、電装ケーブル３０ａ
が装置の操作を妨げることがなく、装置操作性が向上す
る。
【００１５】
【発明の効果】上述のように、本発明による走査型光学
顕微鏡は、正立型の装置においてはステージの移動範囲
を広くとることができ、一方、倒立型の装置においては
コンデンサレンズの移動ストロークを広く設定でき、
又、夫々の装置の電装ケーブルは当該装置の後方に設け
られているので、装置の操作が妨げられず、装置の操作
性を向上させることができるという利点を有している。
顕微鏡は、正立型の装置においてはステージの移動範囲
を広くとることができ、一方、倒立型の装置においては
コンデンサレンズの移動ストロークを広く設定でき、
又、夫々の装置の電装ケーブルは当該装置の後方に設け
られているので、装置の操作が妨げられず、装置の操作
性を向上させることができるという利点を有している。
【図１】本発明による第一実施例の走査型光学顕微鏡
（正立型）の外観図である。
（正立型）の外観図である。
【図２】図１に示した装置に搭載されている光検出装置
の構成図であり、（ａ）は上面から見た装置内部の構成
図，（ｂ）は同図（ａ）のＸ−Ｘ線断面図である。
の構成図であり、（ａ）は上面から見た装置内部の構成
図，（ｂ）は同図（ａ）のＸ−Ｘ線断面図である。
【図３】本発明による第二実施例の走査型光学顕微鏡
（倒立型）の外観図である。
（倒立型）の外観図である。
【図４】従来の走査型レーザ顕微鏡の一例を示す概略構
成図である。
成図である。
【図５】従来の走査型光学顕微鏡（正立型）の外観図で
ある。
ある。
【図６】従来の走査型光学顕微鏡（倒立型）の外観図で
ある。
ある。
１ 光源 ２ レーザービーム ３ ビームスプリッタ ４，７ ガルバノメータミラー ５，６ 瞳伝送レンズ ８ 瞳投影レンズ ９ 結像レンズ １０ 対物レンズ １１ 試料 １２ コンデンサレンズ １３，１４，１６，１７ 光検出器 １５ 集光レンズ ２０ 鏡基 ２０ａ 窓レンズ部 ２１ 光偏向器 ２２ 光検出器 ２２ａ 電装コード ２３ 透過照明用ランプハウス ２４ ステージ ２５ コンデンサレンズ ３０ 光検出装置 ３１ 透過照明用光学系 ３２ 瞳投影光学系 ３３ 反射ミラー ３４ 分割ミラー ３５ａ，３５ｂ 受光素子 ３６ ランプハウス取付部 ３７ 丸アリ ３８ レバー ３９ クリック機構 ４０ リニアガイド ４１ リング部材 ４２ 移動部材 ４３ 部材 ４４ ケース ４５ スライダー挿入部 ４６ スライダー ４７ 光路
Claims (6)
- 【請求項１】 光源と、 該光源から発せられた光を試料上に集光するためのレン
ズ系と、 該レンズ系と前記光源との間の光路上に設けられ、前記
光源からの光を偏向させる光偏向器と、 前記レンズ系 で前記試料上に集光され前記試料を透過し
た光を検出する光検出器と、 前記試料を透過照明するための透過照明用ランプハウス
と、 鏡基に固定するための鏡基固定部、前記透過照明用ラン
プハウスを取り付けるためのランプハウス取付部及び前
記試料を透過した光を前記光検出器に導く手段を備えた
ケースを有する光検出装置とを備えており、 該光検出装置を、前記ランプハウス取付部および前記鏡
基固定部によって、 前記透過照明用ランプハウスと前記
鏡基との間に取り付けたことを特徴とする走査型光学顕
微鏡。 - 【請求項２】 前記光検出装置は、前記レンズ系で前記
試料上に集光され前記試料を透過した光を前記光検出器
に導く光路と前記試料を透過照射する前記透過照明用ラ
ンプハウスからの光路とを切り換える切換え手段を備え
ていることを特徴とする請求項１に記載の走査型光学顕
微鏡。 - 【請求項３】 前記試料を透過した光を前記光検出器に
導く手段は、前記鏡基固定部からの入射光束の光路の向
きを前記光検出器の方向へと変える反射ミラーを備えて
いることを特徴とする請求項２に記載の走査型光学顕微
鏡。 - 【請求項４】 前記切換え手段は、前記反射ミラーを備
え、前記鏡基固定部と前記ランプハウス取付部とを結ぶ
光路に対して該反射ミラーを挿脱させることにより、前
記レンズ系で前記試料上に集光され前記試料を透過した
光を前記光検出器に導く光路と、前記試料を透過照明す
る前記透過照明用ランプハウスからの光路とが切り換わ
るように構成されていることを特徴とする請求項３に記
載の走査型光学顕微鏡。 - 【請求項５】 前記光検出器は、前記光検出装置の前記
ケースの内部に備えられていることを特徴とする請求項
１に記載の走査型光学顕微鏡。 - 【請求項６】 前記試料を挟んで前記レンズ系と対向配
置され、前記レンズ系で前記試料を透過した光が入射す
るコンデンサレンズを更に備え、 前記光検出装置は、前記コンデンサレンズの瞳位置を前
記光検出器に投影する瞳投影光学系を備えていることを
特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の走査型光学
顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26892893A JP3325096B2 (ja) | 1993-10-27 | 1993-10-27 | 走査型光学顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26892893A JP3325096B2 (ja) | 1993-10-27 | 1993-10-27 | 走査型光学顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07120680A JPH07120680A (ja) | 1995-05-12 |
| JP3325096B2 true JP3325096B2 (ja) | 2002-09-17 |
Family
ID=17465232
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26892893A Expired - Lifetime JP3325096B2 (ja) | 1993-10-27 | 1993-10-27 | 走査型光学顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3325096B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5307353B2 (ja) | 2007-04-26 | 2013-10-02 | オリンパス株式会社 | 多光子励起レーザ走査型顕微鏡および多光子励起蛍光画像取得方法 |
-
1993
- 1993-10-27 JP JP26892893A patent/JP3325096B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07120680A (ja) | 1995-05-12 |
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