JP3322801B2 - レジスト飛散検査装置および方法 - Google Patents
レジスト飛散検査装置および方法Info
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- H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
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- G—PHYSICS
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/86—Investigating moving sheets
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＴＡＢテープや回
路基板上の付着してはならない部分に飛び散って付着し
ているレジストを検出するレジスト飛散検査装置および
方法に関する。
路基板上の付着してはならない部分に飛び散って付着し
ているレジストを検出するレジスト飛散検査装置および
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ＴＡＢテープや回路基板におい
ては、レジスト材をプリントして絶縁膜や保護膜を形成
している。このプリントは、シルク印刷等で行ってい
る。
ては、レジスト材をプリントして絶縁膜や保護膜を形成
している。このプリントは、シルク印刷等で行ってい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、シルク
印刷等でレジストのプリントを行う場合、付着してはな
らない部分にレジスト材が飛び散って付着してしまう場
合がある。このような部分に飛散したレジストは、電子
回路における通電不良の原因となるため、わずかでも検
出して、不良を未然に防止するように努める必要があ
る。
印刷等でレジストのプリントを行う場合、付着してはな
らない部分にレジスト材が飛び散って付着してしまう場
合がある。このような部分に飛散したレジストは、電子
回路における通電不良の原因となるため、わずかでも検
出して、不良を未然に防止するように努める必要があ
る。
【０００４】そこで、本発明の目的は、かかる付着して
はならない部分に飛散して付着しているレジストを容易
に検出することができる検査装置および方法を提供する
ことにある。
はならない部分に飛散して付着しているレジストを容易
に検出することができる検査装置および方法を提供する
ことにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明のレジスト飛散検査装置は、飛散レジストが付着
していてはならない非付着部分を含む被検査領域を白色
光で照明する照明手段と、前記被検査領域をカラーで撮
像し、その撮像データに基づいてレジストの色相および
彩度と同じ色相および彩度を有する領域を検出して表示
するレジスト検出手段とを具備することを特徴とする。
本発明のレジスト飛散検査装置は、飛散レジストが付着
していてはならない非付着部分を含む被検査領域を白色
光で照明する照明手段と、前記被検査領域をカラーで撮
像し、その撮像データに基づいてレジストの色相および
彩度と同じ色相および彩度を有する領域を検出して表示
するレジスト検出手段とを具備することを特徴とする。
【０００６】また、本発明のレジスト飛散検査方法は、
飛散レジストが付着していてはならない非付着部分を含
む被検査領域を白色光で照明してカラーで撮像し、その
撮像データに基づいてレジストの色相および彩度と同じ
色相および彩度を有する領域を検出して表示することを
特徴とする。
飛散レジストが付着していてはならない非付着部分を含
む被検査領域を白色光で照明してカラーで撮像し、その
撮像データに基づいてレジストの色相および彩度と同じ
色相および彩度を有する領域を検出して表示することを
特徴とする。
【０００７】また、本発明の他のレジスト飛散検査装置
は、飛散レジストが付着していてはならない非付着部分
に対して高反射率でありレジストに対して高吸収率であ
る第１の波長の光と、前記非付着部分に対して高反射率
でありレジストに対して高透過率である第２の波長の光
を含む光により、前記非付着部分を含む被検査領域を照
明する照明手段と、その照明光による前記被検査領域の
画像のうちから前記第２波長の光の色の画像を検出する
第２波長色検出手段とを具備することを特徴とする。
は、飛散レジストが付着していてはならない非付着部分
に対して高反射率でありレジストに対して高吸収率であ
る第１の波長の光と、前記非付着部分に対して高反射率
でありレジストに対して高透過率である第２の波長の光
を含む光により、前記非付着部分を含む被検査領域を照
明する照明手段と、その照明光による前記被検査領域の
画像のうちから前記第２波長の光の色の画像を検出する
第２波長色検出手段とを具備することを特徴とする。
【０００８】また、本発明の他のレジスト飛散検査方法
は、飛散レジストが付着していてはならない非付着部分
に対して高反射率でありレジストに対して高吸収率であ
る第１の波長の光と、前記非付着部分に対して高反射率
でありレジストに対して高透過率である第２の波長の光
を含む光により、前記非付着部分を含む被検査領域を照
明し、その照明光による前記被検査領域の画像のうちか
ら前記第２波長の光の色の画像を検出することを特徴と
する。
は、飛散レジストが付着していてはならない非付着部分
に対して高反射率でありレジストに対して高吸収率であ
る第１の波長の光と、前記非付着部分に対して高反射率
でありレジストに対して高透過率である第２の波長の光
を含む光により、前記非付着部分を含む被検査領域を照
明し、その照明光による前記被検査領域の画像のうちか
ら前記第２波長の光の色の画像を検出することを特徴と
する。
【０００９】また、本発明のさらに他のレジスト飛散検
査装置は、飛散レジストが付着してはならない非付着部
分に対して高反射率でありレジストに対して高吸収率で
ある波長の光により、前記非付着部分を含む被検査領域
を照明する照明手段と、その照明光による前記被検査領
域の画像のコントラストにより前記非付着部分に付着し
たレジストを検出する検出手段とを具備することを特徴
とする。
査装置は、飛散レジストが付着してはならない非付着部
分に対して高反射率でありレジストに対して高吸収率で
ある波長の光により、前記非付着部分を含む被検査領域
を照明する照明手段と、その照明光による前記被検査領
域の画像のコントラストにより前記非付着部分に付着し
たレジストを検出する検出手段とを具備することを特徴
とする。
【００１０】また、本発明のさらに他のレジスト飛散検
査方法は、飛散レジストが付着してはならない非付着部
分に対して高反射率でありレジストに対して高吸収率で
ある波長の光により、前記非付着部分を含む被検査領域
を照明し、その照明光による前記被検査領域の画像のコ
ントラストにより前記非付着部分に付着したレジストを
検出することを特徴とする。
査方法は、飛散レジストが付着してはならない非付着部
分に対して高反射率でありレジストに対して高吸収率で
ある波長の光により、前記非付着部分を含む被検査領域
を照明し、その照明光による前記被検査領域の画像のコ
ントラストにより前記非付着部分に付着したレジストを
検出することを特徴とする。
【００１１】また、本発明の別のレジスト飛散検査装置
は、飛散レジストが付着してはならない非付着部分に対
して高反射率でありレジストに対して高吸収率である第
１の波長の光、ならびに非付着部分に対して高反射率で
ありレジストに対して高透過率である第２の波長の光の
それぞれにより、前記非付着部分を含む被検査領域を照
明する照明手段と、前記第２波長の光で前記被検査領域
を照明することにより飛散レジストがない場合の前記非
付着部分の画像を抽出し、また、前記第１波長の照明光
による前記被検査領域の画像のうちから所定値以下の明
度を有する部分としてレジストが付着している部分の画
像を抽出し、そして前記非付着部分の画像とレジストが
付着している部分の画像との共通部分として前記非付着
部分に付着している飛散レジストの部分の画像を抽出す
る飛散レジスト検出手段とを具備することを特徴とす
る。
は、飛散レジストが付着してはならない非付着部分に対
して高反射率でありレジストに対して高吸収率である第
１の波長の光、ならびに非付着部分に対して高反射率で
ありレジストに対して高透過率である第２の波長の光の
それぞれにより、前記非付着部分を含む被検査領域を照
明する照明手段と、前記第２波長の光で前記被検査領域
を照明することにより飛散レジストがない場合の前記非
付着部分の画像を抽出し、また、前記第１波長の照明光
による前記被検査領域の画像のうちから所定値以下の明
度を有する部分としてレジストが付着している部分の画
像を抽出し、そして前記非付着部分の画像とレジストが
付着している部分の画像との共通部分として前記非付着
部分に付着している飛散レジストの部分の画像を抽出す
る飛散レジスト検出手段とを具備することを特徴とす
る。
【００１２】また、本発明の別のレジスト飛散検査方法
は、飛散レジストが付着してはならない非付着部分に対
して高反射率でありレジストに対して高吸収率である第
１の波長の照明光による前記非付着部分を含む被検査領
域の画像のうちから所定値以下の明度を有する部分とし
てレジストが付着している部分の画像を抽出し、また、
前記非付着部分に対して高反射率でありレジストに対し
て高透過率である第２の波長の照明光で前記被検査領域
を照明することにより飛散レジストがない場合の前記非
付着部分の画像を得、そして、前記レジストが付着して
いる部分の画像と非付着部分の画像との共通部分として
前記非付着部分に付着している飛散レジストの部分の画
像を抽出することを特徴とする。
は、飛散レジストが付着してはならない非付着部分に対
して高反射率でありレジストに対して高吸収率である第
１の波長の照明光による前記非付着部分を含む被検査領
域の画像のうちから所定値以下の明度を有する部分とし
てレジストが付着している部分の画像を抽出し、また、
前記非付着部分に対して高反射率でありレジストに対し
て高透過率である第２の波長の照明光で前記被検査領域
を照明することにより飛散レジストがない場合の前記非
付着部分の画像を得、そして、前記レジストが付着して
いる部分の画像と非付着部分の画像との共通部分として
前記非付着部分に付着している飛散レジストの部分の画
像を抽出することを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施形態に係
るレジスト飛散検査装置を模式的に示す図である。同図
に示すように、このレジスト飛散検査装置は、飛散レジ
ストが付着していてはならない非付着部分を有する電極
１を含む被検査領域を白色光で照明する照明手段２と、
前記被検査領域をカラーで撮像する撮像手段３と、その
撮像データに基づいてレジストの色相および彩度と同じ
色相および彩度を有する領域を検出してモニタ４上に表
示するレジスト検出手段５とを具備する。撮像手段３と
しては、ＲＧＢ（赤、緑、青）３板式のＣＣＤカメラで
あって、画素ずらしをしていないタイプのものが適当で
ある。
るレジスト飛散検査装置を模式的に示す図である。同図
に示すように、このレジスト飛散検査装置は、飛散レジ
ストが付着していてはならない非付着部分を有する電極
１を含む被検査領域を白色光で照明する照明手段２と、
前記被検査領域をカラーで撮像する撮像手段３と、その
撮像データに基づいてレジストの色相および彩度と同じ
色相および彩度を有する領域を検出してモニタ４上に表
示するレジスト検出手段５とを具備する。撮像手段３と
しては、ＲＧＢ（赤、緑、青）３板式のＣＣＤカメラで
あって、画素ずらしをしていないタイプのものが適当で
ある。
【００１４】レジスト検出手段５としては（株）エー・
ディー・エスの色抽出装置ＰＩＣＯＬＯＲ（商品名）を
利用したものを用いることができる。この色抽出装置
は、撮像手段からのビデオ信号ＲＧＢを、輝度信号Ｙと
２つの色差信号Ｒ−Ｙ、Ｂ−Ｙに変換し、そのうちの色
差信号Ｒ−ＹおよびＢ−Ｙを用いることにより、明度と
は独立した色相および彩度により色成分を表現し、色を
抽出するものである。これによれば、照明光の照度によ
って明度成分が変化しても色相および彩度は変化しない
ため、レジストと同じ色相および彩度を有する領域を安
定して検出することができる。
ディー・エスの色抽出装置ＰＩＣＯＬＯＲ（商品名）を
利用したものを用いることができる。この色抽出装置
は、撮像手段からのビデオ信号ＲＧＢを、輝度信号Ｙと
２つの色差信号Ｒ−Ｙ、Ｂ−Ｙに変換し、そのうちの色
差信号Ｒ−ＹおよびＢ−Ｙを用いることにより、明度と
は独立した色相および彩度により色成分を表現し、色を
抽出するものである。これによれば、照明光の照度によ
って明度成分が変化しても色相および彩度は変化しない
ため、レジストと同じ色相および彩度を有する領域を安
定して検出することができる。
【００１５】検査に際しては、あらかじめ、レジスト検
出手段５に対して、色抽出の対象となるレジストの色相
および彩度のティーチングを行う。すなわち、ＸＹステ
ージ６により、サンプルとなる基板７上の被検査領域を
撮像手段３の視野内に位置させ、照明手段２によりその
被検査領域を照明し、撮像手段３およびレジスト検出手
段５を介してモニタ４上に被検査領域の色相および彩度
による画像を表示する。そして、画像中のレジスト領域
内の任意領域をマウス等によって指示することにより、
レジスト８と同じ色相および彩度をレジスト検出手段５
に記憶させる。このとき、色差表色図およびそこにおけ
る前記指示した任意領域の色相および彩度の位置付けを
モニタ４上に表示し、これを参照して、任意の幅をもた
せて検出対象となる色相および彩度を設定することがで
きる。色差表色図は、色相および彩度をパラメータとし
てそれらを連続的に変化させてサンプル的に表示したも
のであり、その上をマウス等により指示することにより
容易に色相および彩度の検出範囲を特定することができ
る。
出手段５に対して、色抽出の対象となるレジストの色相
および彩度のティーチングを行う。すなわち、ＸＹステ
ージ６により、サンプルとなる基板７上の被検査領域を
撮像手段３の視野内に位置させ、照明手段２によりその
被検査領域を照明し、撮像手段３およびレジスト検出手
段５を介してモニタ４上に被検査領域の色相および彩度
による画像を表示する。そして、画像中のレジスト領域
内の任意領域をマウス等によって指示することにより、
レジスト８と同じ色相および彩度をレジスト検出手段５
に記憶させる。このとき、色差表色図およびそこにおけ
る前記指示した任意領域の色相および彩度の位置付けを
モニタ４上に表示し、これを参照して、任意の幅をもた
せて検出対象となる色相および彩度を設定することがで
きる。色差表色図は、色相および彩度をパラメータとし
てそれらを連続的に変化させてサンプル的に表示したも
のであり、その上をマウス等により指示することにより
容易に色相および彩度の検出範囲を特定することができ
る。
【００１６】ティーチングを行った後は、ＸＹステージ
６により実際の被検査領域を撮像手段３の視野内に位置
させると、その被検査領域が同様にしてモニタ４上に表
示されるが、そのとき、上述の検出範囲にある色相およ
び彩度の部分すなわちレジスト部分は、特定の色による
二値化像例えば白で表示する。これにより、電極１上の
非付着部分に飛散したレジストを容易に認識することが
できる。
６により実際の被検査領域を撮像手段３の視野内に位置
させると、その被検査領域が同様にしてモニタ４上に表
示されるが、そのとき、上述の検出範囲にある色相およ
び彩度の部分すなわちレジスト部分は、特定の色による
二値化像例えば白で表示する。これにより、電極１上の
非付着部分に飛散したレジストを容易に認識することが
できる。
【００１７】なお、レジスト検出手段５としては、上述
の他にも、倉敷紡績（株）の色画像抽出装置ＫＡ−１０
０（商品名）を用いたものを使用することもできる。
の他にも、倉敷紡績（株）の色画像抽出装置ＫＡ−１０
０（商品名）を用いたものを使用することもできる。
【００１８】レジストが着色されている場合は上述のよ
うにして検査することができるが、ポリイミド系樹脂等
のレジストの場合のように透明あるいは色が薄い場合も
あり、そのような場合は、レジスト材に顔料が入ってい
ないと、色の差としてレジストを認識することは難し
い。そこでこのような場合は、照明手段２として、電極
１に対して高反射率でありレジストに対して高吸収率で
ある第１の波長の光と、前記非付着部分に対して高反射
率でありレジストに対して高透過率である第２の波長の
光を含む光により、前記非付着部分を含む被検査領域を
照明する照明手段を用い、レジスト検出手段５によりそ
の照明光による前記被検査領域の画像のうちから前記第
２波長の光の色の画像を検出する。
うにして検査することができるが、ポリイミド系樹脂等
のレジストの場合のように透明あるいは色が薄い場合も
あり、そのような場合は、レジスト材に顔料が入ってい
ないと、色の差としてレジストを認識することは難し
い。そこでこのような場合は、照明手段２として、電極
１に対して高反射率でありレジストに対して高吸収率で
ある第１の波長の光と、前記非付着部分に対して高反射
率でありレジストに対して高透過率である第２の波長の
光を含む光により、前記非付着部分を含む被検査領域を
照明する照明手段を用い、レジスト検出手段５によりそ
の照明光による前記被検査領域の画像のうちから前記第
２波長の光の色の画像を検出する。
【００１９】透明あるいは色が薄いレジストの場合、レ
ジストに対する光の透過率は光の波長に対して例えば図
２に示すように変化する。すなわち、短波長側で透過率
が減少している。したがって、第１波長の光としては青
色光を用い、第２波長の光としては赤色光を用いること
ができる。この場合、青色光はレジスト８に吸収される
が、赤色光はレジスト８を透過し、電極１で反射され
る。したがって、撮像装置３およびレジスト検出手段５
を介して色抽出を行わずにモニタ４に表示される画像に
おいては、図３を参照すれば、レジストで被覆した電極
部分９および飛散レジストが付着した電極部分１０は赤
色で表示され、レジストが付着していない電極部分１１
は赤と青を混合した紫色で表示される。したがて、電極
部分９の色相および彩度の赤色を上述のようにしてティ
ーチングして、色を抽出した画像は、図４に示すような
画像となり、飛散レジストが付着した部分１０を明瞭に
示したものとなる。なお、図３および４は、ＴＡＢテー
プを例にして示したものであり、１２はデバイスホール
である。この場合、飛散レジストが付着していてはなら
ない非付着部分は、デバイスホール１２に突出したイン
ナーリード（電極）部分である。
ジストに対する光の透過率は光の波長に対して例えば図
２に示すように変化する。すなわち、短波長側で透過率
が減少している。したがって、第１波長の光としては青
色光を用い、第２波長の光としては赤色光を用いること
ができる。この場合、青色光はレジスト８に吸収される
が、赤色光はレジスト８を透過し、電極１で反射され
る。したがって、撮像装置３およびレジスト検出手段５
を介して色抽出を行わずにモニタ４に表示される画像に
おいては、図３を参照すれば、レジストで被覆した電極
部分９および飛散レジストが付着した電極部分１０は赤
色で表示され、レジストが付着していない電極部分１１
は赤と青を混合した紫色で表示される。したがて、電極
部分９の色相および彩度の赤色を上述のようにしてティ
ーチングして、色を抽出した画像は、図４に示すような
画像となり、飛散レジストが付着した部分１０を明瞭に
示したものとなる。なお、図３および４は、ＴＡＢテー
プを例にして示したものであり、１２はデバイスホール
である。この場合、飛散レジストが付着していてはなら
ない非付着部分は、デバイスホール１２に突出したイン
ナーリード（電極）部分である。
【００２０】なお、照明手段２として、非付着部分に対
して高反射率でありレジストに対して高吸収率である波
長の光例えば青色光のみによる照明によって画像を得、
その画像のコントラストにより前記非付着部分に付着し
たレジストを検出するようにしてもよい。この場合、被
検査領域を撮像して単に表示した画像においては、非付
着部分にレジストが付着した部分はレジストが付着して
いない非付着部分より暗く見えるため、これらの部分の
間には所定の明暗差すなわちコントラストが存在する。
例えば、図３中のデバイスホール１２に突出したインナ
ーリード部分のうち飛散レジストが付着した部分１０は
照明光が吸収されてしまうため暗く、飛散レジストが付
着していない部分１１のみ青く表示される。また、撮像
手段３として白黒カメラを用いてもよく、その場合は、
飛散レジストが付着した部分１０は付着していない電極
部分１１よりも暗くみえる。したがって、レジスト検出
手段５としては、撮像手段３に撮像される映像を単にモ
ニタ４上に表示するものであってもよいが、明度につい
て所定の閾値により二値化し、レジスト付着部分のみを
抽出して、図４のように表示するものを用いることがで
きる。これによれば、色抽出装置を用いる必要もなく、
より安価な構成により、検査を行うことができる。
して高反射率でありレジストに対して高吸収率である波
長の光例えば青色光のみによる照明によって画像を得、
その画像のコントラストにより前記非付着部分に付着し
たレジストを検出するようにしてもよい。この場合、被
検査領域を撮像して単に表示した画像においては、非付
着部分にレジストが付着した部分はレジストが付着して
いない非付着部分より暗く見えるため、これらの部分の
間には所定の明暗差すなわちコントラストが存在する。
例えば、図３中のデバイスホール１２に突出したインナ
ーリード部分のうち飛散レジストが付着した部分１０は
照明光が吸収されてしまうため暗く、飛散レジストが付
着していない部分１１のみ青く表示される。また、撮像
手段３として白黒カメラを用いてもよく、その場合は、
飛散レジストが付着した部分１０は付着していない電極
部分１１よりも暗くみえる。したがって、レジスト検出
手段５としては、撮像手段３に撮像される映像を単にモ
ニタ４上に表示するものであってもよいが、明度につい
て所定の閾値により二値化し、レジスト付着部分のみを
抽出して、図４のように表示するものを用いることがで
きる。これによれば、色抽出装置を用いる必要もなく、
より安価な構成により、検査を行うことができる。
【００２１】さらに、照明手段３として、前記第１の波
長の光および第２の波長の光のそれぞれにより被検査領
域を照明するものを用いるとともに、レジスト検出手段
５として、前記第２波長の光で前記被検査領域を照明す
ることにより飛散レジストがない場合の前記非付着部分
の画像を得、また、前記第１波長の照明光による前記被
検査領域の画像のうちから所定値以下の明度を有する部
分としてレジストが付着している部分の画像を抽出し、
そして前記非付着部分の画像とレジストが付着している
部分の画像との共通部分として前記非付着部分に付着し
ている飛散レジストの部分の画像を抽出するものを用い
てもよい。第１および第２の波長の光としては、上述の
ように、青色光および赤色光を用いることができる。
長の光および第２の波長の光のそれぞれにより被検査領
域を照明するものを用いるとともに、レジスト検出手段
５として、前記第２波長の光で前記被検査領域を照明す
ることにより飛散レジストがない場合の前記非付着部分
の画像を得、また、前記第１波長の照明光による前記被
検査領域の画像のうちから所定値以下の明度を有する部
分としてレジストが付着している部分の画像を抽出し、
そして前記非付着部分の画像とレジストが付着している
部分の画像との共通部分として前記非付着部分に付着し
ている飛散レジストの部分の画像を抽出するものを用い
てもよい。第１および第２の波長の光としては、上述の
ように、青色光および赤色光を用いることができる。
【００２２】この場合、赤色の照明光により得られる画
像は、図５に示すように、電極部分５１で明るく、他の
部分５２で暗いものとなる。したがって、この画像デー
タを明度について所定の閾値で二値化することにより、
図６に示すような電極部分５１のみの画像、すなわち飛
散レジストがない場合の非付着部分の画像を得ることが
できる。一方、青色の照明光により得られる画像は、上
述のように、レジストが存在する部分は暗く、デバイス
ホール１２に突出したインナーリード部分のうち飛散レ
ジストが付着した部分以外の部分のみ青く表示されたも
のであるため、明度について所定の閾値で二値化するこ
とにより、レジストが付着している部分のみの画像を得
ることができる。したがってこの画像データと図６に示
した画像のデータとの論理積をとることにより図７中の
ハッチング部分７１の画像すなわち非付着部分上のレジ
ストが存在する部分の画像を得ることができる。そして
この画像のうち、図８に示すように、領域８０内に存在
するもの、すなわち非付着部分に存在するもののみを抽
出して表示することにより、飛散レジスト８１のみが表
示された画像を得ることができる。なお、領域８０は、
この場合、デバイスホール１２部分に一致する。
像は、図５に示すように、電極部分５１で明るく、他の
部分５２で暗いものとなる。したがって、この画像デー
タを明度について所定の閾値で二値化することにより、
図６に示すような電極部分５１のみの画像、すなわち飛
散レジストがない場合の非付着部分の画像を得ることが
できる。一方、青色の照明光により得られる画像は、上
述のように、レジストが存在する部分は暗く、デバイス
ホール１２に突出したインナーリード部分のうち飛散レ
ジストが付着した部分以外の部分のみ青く表示されたも
のであるため、明度について所定の閾値で二値化するこ
とにより、レジストが付着している部分のみの画像を得
ることができる。したがってこの画像データと図６に示
した画像のデータとの論理積をとることにより図７中の
ハッチング部分７１の画像すなわち非付着部分上のレジ
ストが存在する部分の画像を得ることができる。そして
この画像のうち、図８に示すように、領域８０内に存在
するもの、すなわち非付着部分に存在するもののみを抽
出して表示することにより、飛散レジスト８１のみが表
示された画像を得ることができる。なお、領域８０は、
この場合、デバイスホール１２部分に一致する。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、レ
ジストの色相および彩度と同じ色相および彩度を有する
領域を色抽出装置で検出して表示するようにしたため、
飛散レジストを安定して検出することができる。
ジストの色相および彩度と同じ色相および彩度を有する
領域を色抽出装置で検出して表示するようにしたため、
飛散レジストを安定して検出することができる。
【００２４】また、飛散レジストが付着していてはなら
ない非付着部分に対して高反射率でありレジストに対し
て高吸収率である第１の波長の光と、前記非付着部分に
対して高反射率でありレジストに対して高透過率である
第２の波長の光とを含む光により照明して得られる被検
査領域の画像のうちから前記第２波長の光の色の画像を
検出するようにしたため、レジストが透明である場合
も、飛散レジストを検出することができる。
ない非付着部分に対して高反射率でありレジストに対し
て高吸収率である第１の波長の光と、前記非付着部分に
対して高反射率でありレジストに対して高透過率である
第２の波長の光とを含む光により照明して得られる被検
査領域の画像のうちから前記第２波長の光の色の画像を
検出するようにしたため、レジストが透明である場合
も、飛散レジストを検出することができる。
【００２５】また、飛散レジストが付着していてはなら
ない非付着部分に対して高反射率でありレジストに対し
て高吸収率である波長の光により被検査領域を照明して
得られる画像のコントラストにより非付着部分に付着し
たレジストを検出するようにしたため、簡単な構成によ
り、飛散レジストを検出することができる。
ない非付着部分に対して高反射率でありレジストに対し
て高吸収率である波長の光により被検査領域を照明して
得られる画像のコントラストにより非付着部分に付着し
たレジストを検出するようにしたため、簡単な構成によ
り、飛散レジストを検出することができる。
【００２６】また、前記第１波長の照明光による被検査
領域の画像のうちから所定値以下の明度を有する部分と
してレジストが付着している部分の画像を抽出し、そし
て前記第２波長の光で被検査領域を照明して得られる飛
散レジストがない場合の非付着部分の画像と前記レジス
トが付着している部分の画像との共通部分として非付着
部分に付着している飛散レジストの部分の画像を抽出す
るようにしたため、レジストが透明の場合であっても、
飛散レジストを確実に検出することができる。
領域の画像のうちから所定値以下の明度を有する部分と
してレジストが付着している部分の画像を抽出し、そし
て前記第２波長の光で被検査領域を照明して得られる飛
散レジストがない場合の非付着部分の画像と前記レジス
トが付着している部分の画像との共通部分として非付着
部分に付着している飛散レジストの部分の画像を抽出す
るようにしたため、レジストが透明の場合であっても、
飛散レジストを確実に検出することができる。
【図１】 本発明の一実施形態に係るレジスト飛散検査
装置を模式的に示す図である。
装置を模式的に示す図である。
【図２】 レジストの波長に対する透過率の変化を例示
するグラフである。
するグラフである。
【図３】 赤と青の光を含む照明光で照明した場合の被
検査領域の画像を示す図である。
検査領域の画像を示す図である。
【図４】 図３の画像に対して色抽出を行った画像を示
す図である。
す図である。
【図５】 赤色光で照明して得られる被検査領域の画像
を示す図である。
を示す図である。
【図６】 図５の画像を二値化処理した画像である。
【図７】 青色光で照明して得られる被検査領域の画像
を二値化して得られるレジスト部分の画像と図６の画像
との共通部分を抽出した画像を示す図である。
を二値化して得られるレジスト部分の画像と図６の画像
との共通部分を抽出した画像を示す図である。
【図８】 図７の画像のうち非付着部分に存在するもの
のみを抽出して表示した画像を示す図である。
のみを抽出して表示した画像を示す図である。
１：電極、２：照明手段、３：撮像手段、４、モニタ、
５：レジスト検出手段、６：ＸＹステージ、７：基板、
８：レジスト、９：レジストで被覆した電極部分、１
０：飛散レジストが付着した電極部分、１１：レジスト
が付着していない電極部分、１２：デバイスホール、５
１：電極部分、５２：他の部分、７１：非付着部分上の
レジストが存在する部分、８０：領域、８１：飛散レジ
スト。
５：レジスト検出手段、６：ＸＹステージ、７：基板、
８：レジスト、９：レジストで被覆した電極部分、１
０：飛散レジストが付着した電極部分、１１：レジスト
が付着していない電極部分、１２：デバイスホール、５
１：電極部分、５２：他の部分、７１：非付着部分上の
レジストが存在する部分、８０：領域、８１：飛散レジ
スト。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−214209（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−189544（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−239954（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−26844（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−169841（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−67844（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−171840（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−113639（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−331559（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G03F 7/38 G03F 7/26 G01N 21/88 H01L 21/027 H01L 21/66
Claims (8)
- 【請求項１】 飛散レジストが付着していてはならない
非付着部分を含む被検査領域を白色光で照明する照明手
段と、前記被検査領域をカラーで撮像し、その撮像デー
タに基づいてレジストの色相および彩度と同じ色相およ
び彩度を有する領域を検出して表示するレジスト検出手
段とを具備することを特徴とするレジスト飛散検査装
置。 - 【請求項２】 飛散レジストが付着していてはならない
非付着部分を含む被検査領域を白色光で照明してカラー
で撮像し、その撮像データに基づいてレジストの色相お
よび彩度と同じ色相および彩度を有する領域を検出して
表示することを特徴とするレジスト飛散検査方法。 - 【請求項３】 飛散レジストが付着していてはならない
非付着部分に対して高反射率でありレジストに対して高
吸収率である第１の波長の光と、前記非付着部分に対し
て高反射率でありレジストに対して高透過率である第２
の波長の光とを含む光により、前記非付着部分を含む被
検査領域を照明する照明手段と、その照明光による前記
被検査領域の画像のうちから前記第２波長の光の色の画
像を検出する第２波長色検出手段とを具備することを特
徴とするレジスト飛散検査装置。 - 【請求項４】 飛散レジストが付着していてはならない
非付着部分に対して高反射率でありレジストに対して高
吸収率である第１の波長の光と、前記非付着部分に対し
て高反射率でありレジストに対して高透過率である第２
の波長の光とを含む光により、前記非付着部分を含む被
検査領域を照明し、その照明光による前記被検査領域の
画像のうちから前記第２波長の光の色の画像を検出する
ことを特徴とするレジスト飛散検査方法。 - 【請求項５】 飛散レジストが付着していてはならない
非付着部分に対して高反射率でありレジストに対して高
吸収率である波長の光により、前記非付着部分を含む被
検査領域を照明する照明手段と、その照明光による前記
被検査領域の画像のコントラストにより前記非付着部分
に付着したレジストを検出する検出手段とを具備するこ
とを特徴とするレジスト飛散検査装置。 - 【請求項６】 飛散レジストが付着していてはならない
非付着部分に対して高反射率でありレジストに対して高
吸収率である波長の光により、前記非付着部分を含む被
検査領域を照明し、その照明光による前記被検査領域の
画像のコントラストにより前記非付着部分に付着したレ
ジストを検出することを特徴とするレジスト飛散検査方
法。 - 【請求項７】 飛散レジストが付着していてはならない
非付着部分に対して高反射率でありレジストに対して高
吸収率である第１の波長の光、ならびに非付着部分に対
して高反射率でありレジストに対して高透過率である第
２の波長の光のそれぞれにより、前記非付着部分を含む
被検査領域を照明する照明手段と、前記第１波長の照明
光による前記被検査領域の画像のうちから所定値以下の
明度を有する部分としてレジストが付着している部分の
画像を抽出し、そして前記第２波長の光で前記被検査領
域を照明して得られる飛散レジストがない場合の前記非
付着部分の画像と前記レジストが付着している部分の画
像との共通部分として前記非付着部分に付着している飛
散レジストの部分の画像を抽出する飛散レジスト検出手
段とを具備することを特徴とするレジスト飛散検査装
置。 - 【請求項８】 飛散レジストが付着してはならない非付
着部分に対して高反射率でありレジストに対して高吸収
率である第１の波長の照明光による前記非付着部分を含
む被検査領域の画像のうちから所定値以下の明度を有す
る部分としてレジストが付着している部分の画像を抽出
し、また、前記非付着部分に対して高反射率でありレジ
ストに対して高透過率である第２の波長の照明光で前記
被検査領域を照明することにより飛散レジストがない場
合の前記非付着部分の画像を得、そして、前記レジスト
が付着している部分の画像と非付着部分の画像との共通
部分として前記非付着部分に付着している飛散レジスト
の部分の画像を抽出することを特徴とするレジスト飛散
検査方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21812596A JP3322801B2 (ja) | 1996-08-01 | 1996-08-01 | レジスト飛散検査装置および方法 |
| US08/899,119 US5892241A (en) | 1996-08-01 | 1997-07-23 | Apparatus and method for the inspection of scattered resist |
| KR1019970036913A KR100274832B1 (ko) | 1996-08-01 | 1997-08-01 | 레지스트비산검사장치 및 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21812596A JP3322801B2 (ja) | 1996-08-01 | 1996-08-01 | レジスト飛散検査装置および方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1048837A JPH1048837A (ja) | 1998-02-20 |
| JP3322801B2 true JP3322801B2 (ja) | 2002-09-09 |
Family
ID=16715034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21812596A Expired - Lifetime JP3322801B2 (ja) | 1996-08-01 | 1996-08-01 | レジスト飛散検査装置および方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5892241A (ja) |
| JP (1) | JP3322801B2 (ja) |
| KR (1) | KR100274832B1 (ja) |
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| EP1398622A1 (fr) * | 2002-09-03 | 2004-03-17 | SCHLUMBERGER Systèmes | Méthode d'éclairage |
| US6912047B2 (en) * | 2002-12-13 | 2005-06-28 | The Boeing Company | Apparatus, method and system for inspecting a fastener |
| DE10307454B4 (de) * | 2003-02-21 | 2010-10-28 | Vistec Semiconductor Systems Gmbh | Verfahren zur optischen Inspektion eines Halbleitersubstrats |
| JP3960346B2 (ja) * | 2004-12-27 | 2007-08-15 | オムロン株式会社 | 画像処理方法、基板検査方法、基板検査装置、および基板検査用の検査データ作成方法 |
| JP5294445B2 (ja) * | 2007-10-23 | 2013-09-18 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 円盤状基板の検査装置及び検査方法 |
| JP4510066B2 (ja) | 2007-11-06 | 2010-07-21 | 日東電工株式会社 | 配線回路基板の製造方法および検査方法 |
| JP5302605B2 (ja) * | 2008-09-17 | 2013-10-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | カラーフィルタ現像装置及び現像方法並びにカラーフィルタ製造システム及び製造方法 |
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|---|---|---|---|---|
| JPH02231510A (ja) * | 1989-03-02 | 1990-09-13 | Omron Tateisi Electron Co | 基板検査装置 |
-
1996
- 1996-08-01 JP JP21812596A patent/JP3322801B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-07-23 US US08/899,119 patent/US5892241A/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-08-01 KR KR1019970036913A patent/KR100274832B1/ko not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1048837A (ja) | 1998-02-20 |
| KR100274832B1 (ko) | 2000-12-15 |
| US5892241A (en) | 1999-04-06 |
| KR19980018308A (ko) | 1998-06-05 |
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