JP3322171B2 - 磁気研磨装置 - Google Patents

磁気研磨装置

Info

Publication number
JP3322171B2
JP3322171B2 JP16316497A JP16316497A JP3322171B2 JP 3322171 B2 JP3322171 B2 JP 3322171B2 JP 16316497 A JP16316497 A JP 16316497A JP 16316497 A JP16316497 A JP 16316497A JP 3322171 B2 JP3322171 B2 JP 3322171B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
iron core
polishing
abrasive
magnetic material
workpiece
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP16316497A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH1110518A (ja
Inventor
伸宏 吉岡
茂樹 番野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
Priority to JP16316497A priority Critical patent/JP3322171B2/ja
Publication of JPH1110518A publication Critical patent/JPH1110518A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3322171B2 publication Critical patent/JP3322171B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、長尺薄物材料の表
面研磨等に使用する磁気研磨装置に関し、より詳しく
は、電気カミソリ刃、リレー部品、マイクロスイッチ部
品、コネクタ部品等の製造に供するテープ状の金属薄板
のバリ取り、表面研磨等に関して好適に用いることがで
きる磁気研磨装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、図5に示すような磁気研磨装置が
特開平8−323613号公報に示されている。すなわ
ち、この磁気研磨装置は、その略平面状の端面を磁化し
て研磨面3a,3aとなした鉄芯3,3と、この鉄芯
3,3を研磨面3a,3aと直交する軸回りに回転させ
る鉄芯駆動装置4,4と、研磨面3a,3aにテープ状
の被加工材1を近接させて送る送り装置2と、この被加
工材1表面と研磨面3aとの間のギャップ28に、粉状
の磁性材5を供給する磁性材供給装置6と、ギャップ2
8に研磨剤7を供給する研磨剤供給装置8とから構成さ
れている。鉄芯3,3は、コイル22の側面に設けた貫
通孔に回動自在に貫通し、鉄芯3,3端部と鉄芯回転駆
動モータ26,26の回転軸とをベルト連結して回転で
きるようになっている。研磨面3a,3aと反対の鉄芯
3,3の端面はコの字状の磁気ヨーク23により磁気的
に連結されている。磁性材供給装置6としては、着磁機
6aを用いて被加工材1を磁化させて粉状の磁性材5を
吸着させた後、この被加工材1に吸着した磁性材5がよ
り磁力の強い鉄芯の研磨面3aに吸着されることで行わ
れる。研磨剤供給装置8,8は鉄芯3,3の研磨面3a
側とは反対の側に配置され、鉄芯3,3の回転軸に設け
たパイプ19,19を通して鉄芯3,3の間に研磨剤7
を供給している。
【0003】以上の構成の磁気研磨装置において、被加
工材1の研磨方法としては、鉄芯3,3表面に粉状の磁
性材5を吸着させて研磨ブラシを形成し、この研磨ブラ
シの隙間及び表面に研磨剤7を付着させた状態で、鉄芯
3,3を鉄芯駆動装置4,4によって回転させることに
より行っていた。磁性材5が被加工材1の表面の凹凸部
に自在に入り込んで研磨するため、細部まで研磨するこ
とができた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図5に示す従
来例では、以下に示すような問題があった。
【0005】つまり、磁気研磨装置を長時間にわたって
連続運転する場合、研磨面3aの摩擦熱やコイル22の
発熱により、鉄芯3の温度が約80度程度まで上昇し、
作業者が誤って鉄芯3に触れて火傷を負ったり、コイル
22の銅線の被覆部分が溶融して、短絡したりする危険
があった。
【0006】また、コイル22などの鉄芯支持台16と
鉄芯3との間の空隙71に磁性材5などが入り込み、ベ
アリングなどの回転補助部材24とコイル22の貫通空
間の内面又は鉄芯3側面との間に磁性材5がかみ込んで
鉄芯駆動装置4への負荷が大きくなって寿命が短くなる
ことがあった。
【0007】本発明は、上記事由に鑑みてなしたもの
で、その目的とするところは、鉄芯支持台16と鉄芯3
との間の空隙71に磁性材5などの異物の混入を防止す
るとともに、鉄芯3の発熱を抑制できる磁気研磨装置を
提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1記載の発明は、その略平面状の端面を磁化
して研磨面3aとなした鉄芯3と、この鉄芯3を研磨面
3aと直交する軸回りに回転させる鉄芯駆動装置4と、
研磨面3aにテープ状の被加工材1を近接させて送る送
り装置2と、この被加工材1表面と研磨面3aとの間の
ギャップ28に、粉状の磁性材5を供給する磁性材供給
装置6と、ギャップ28に研磨剤7を供給する研磨剤供
給装置8とからなる磁気研磨装置において、鉄芯3を貫
通させる貫通空間70を有する鉄芯支持台16を設け、
この貫通空間70に回転補助部材24を介して回転自在
に鉄芯3を内嵌し、貫通空間70の両開口部と鉄芯3と
の間にシール部材74を配設するとともに、貫通空間7
0内面と鉄芯3側面との間の空隙71に潤滑液72を供
給する潤滑液供給装置73を設けてなることを特徴とし
て構成している。
【0009】このような磁気研磨装置では、磁性材供給
装置6により粉状の磁性材5が供給され、磁化された鉄
芯3の研磨面に適量吸着して磁性材ブラシを形成する。
この磁性材ブラシの表面及び磁性材5間の隙間に、研磨
剤供給装置8により研磨剤7が供給される。磁性材ブラ
シ及び研磨剤7は、回転する鉄芯3につられて回転し、
移動する被加工材1の表面を順に磨いていく。この磁性
材ブラシは被加工材1表面の凹凸に合わせて形を変え、
凹部に入り込むため、研磨剤7が被加工材1の凹部に自
在に入り込んで研磨することができる。
【0010】また、貫通空間70の両開口部に配したシ
ール部材74により、鉄芯支持台16の貫通空間70の
内面と、この貫通空間70に内嵌する鉄芯3の側面との
間の空隙71はシールされているため、磁性材5などの
異物が入り込むことを防止している。さらに、この空隙
71に潤滑液供給装置73により潤滑液72が供給され
るため、この空隙71内の回転補助部材24との潤滑が
できるとともに、この潤滑液72が鉄芯3を表面から冷
却するので、鉄芯3の発熱を抑制することができる。
【0011】また、請求項2記載の発明は、請求項1記
載の磁気研磨装置において、研磨剤供給路内に残存する
研磨剤7を除去する洗浄剤63を、研磨終了後に、前記
研磨剤供給路に供給する洗浄剤供給装置64を設けてな
ることを特徴として構成している。
【0012】このような磁気研磨装置では、被加工材ガ
イド9が送り込み側及び引き取り側で被加工材1と接触
する部分(以降、これを被加工材1の支点と呼ぶ)が、
鉄芯3の近傍にあるため、被加工材1の両支点間の距離
も短くなって被加工材1のふらつきが小さくなるととも
に、鉄芯3と被加工材1とのギャップ28を一定に維持
できる。また、鉄芯3を回転自在に支える鉄芯支持台1
6と重り11とが揺動板12の両端に配置され、支持台
13が揺動板12を回動自在に支持してシーソーのよう
にモーメントバランスをとっているため、簡単な揺動装
置15で揺動板12を楽に揺動させることができる。揺
動装置15は、鉄芯3の重量を支えているわけではない
ので、軽い力でモーメントバランスされた揺動板12を
揺動させることができる。さらに、磁気研磨装置の使用
後、洗浄剤供給装置64から研磨剤供給路を通じて鉄芯
3の研磨面3aに洗浄剤63が供給されるので、この洗
浄剤63により研磨剤供給路内に残存する研磨剤7、及
び鉄芯3の研磨面3aに付着した磁性材5及び研磨剤7
が洗い流される。面倒な清掃作業が不必要となり、研磨
面3a及び研磨剤供給路の清掃が自動的に、しかも確実
で容易に行うことができる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の磁気研磨装置の実
施の形態を図1乃至図4に基づいて説明する。
【0014】図1は、図2〜4に示す磁気研磨装置にお
いて、被加工材1を基準に片側のみを示した要部の縦断
面図である。図2は、一部を断面視した磁気研磨装置の
平面図である。図3は、一部を断面視した磁気研磨装置
の正面図である。図4は、一部を断面視した磁気研磨装
置の側面図である。図1〜図4において、この磁気研磨
装置は、テープ状の金属薄板である被加工材1に対する
磁気研磨によって、被加工材1の両面の研磨又はバリ取
りを行うためのものである。
【0015】複数の脚20によって支持されているベー
スプレート21上に、支持台13を介して回動自在に揺
動板12が配設され、揺動装置15によって揺動自在と
なっている。この揺動板12,12上の一端に鉄芯3,
3を支持している鉄芯支持台16,16と、他端に重り
11,11とが、支持台13,13に対して水平にモー
メントバランスのとれた位置に配設されている。鉄芯支
持台16は、鉄芯3が回転自在に貫通する貫通空間70
を有している。鉄芯3は円柱状に形成され、貫通空間7
0内面と鉄芯3側面との間に設けたベアリングなどの回
転補助部材24を介して、鉄芯駆動装置4により軸回り
の回転が自在となっており、平面状の研磨面3a,3a
同士を所定の間隔で対向させている。鉄芯3における研
磨面3aと反対側の端部は磁気ヨーク23端部を非接触
に貫通している。磁気ヨーク23は左右対称に形成さ
れ、鉄芯3端部より水平方向に平行な水平片23a,2
3aと、これら水平片23a,23a先端よりそれぞれ
垂下され、ベースプレート21に設けられたヨーク貫通
孔21bを貫通している垂下片23b,23bと、ベー
スプレート21の下方で両垂下片23b,23bを連結
している連結片23cとから構成されている。また、磁
気ヨーク23の連結片23cはコイル22の内空間22
aを非接触に貫通している。この内空間22aは鉄芯3
の揺動により磁気ヨーク23が振動しても、連結片23
cが内空間22aの内側面に接触しないような大きさに
形成されている。また、コイル22は、磁気ヨーク23
及び鉄芯3による磁気的な閉回路を通して、研磨面3a
を磁化するためのもので、ベースプレート21の下面に
固定されている。
【0016】鉄芯駆動装置4は、鉄芯回転駆動モータ2
6と、鉄芯回転駆動モータ26と鉄芯3とを連結するベ
ルト27とから構成され、鉄芯回転駆動モータ26の回
転で鉄芯3は軸回りに回転を行う。鉄芯3,3が揺動す
るため、鉄芯3,3と連動するように、鉄芯駆動装置
4,4は揺動板12,12上に固定されている。また、
重り11は四角柱状に形成され、鉄芯3と鉄芯支持台1
6と鉄芯駆動装置4との合成重量と略同一な重量を持つ
比重の大きいものが好適に用いられ、この場合は鉄材が
用いられている。
【0017】また、貫通空間70内面と鉄芯3側面との
間の空隙71に潤滑液72を供給する潤滑液供給装置7
3を設けている。さらに、この潤滑液72が外部へもれ
ないように、シール部材74が貫通空間70の両開口部
と鉄芯3との間にそれぞれ配設されている。潤滑液供給
装置73は、潤滑液72を供給するポンプ73aと、潤
滑液72の供給口73bと、循環させた潤滑液72の吸
入口73cとを備えた温度調節可能なオイルクーラで構
成されている。鉄芯支持台16の外殻部の上下に潤滑液
供給孔16a、16bがそれぞれ設けられ、両潤滑液供
給孔16a、16bの開口部と、オイルクーラの供給口
73b及び吸入口73cとがそれぞれ潤滑液チューブ7
5で連結されている。
【0018】揺動装置15は、揺動板12の重り11側
の端部下面より垂下されたアーム30がベースプレート
21を非接触に貫通している。アーム30下端には水平
に軸が設けられ、この軸に回転自在な円柱状のカムフォ
ロワ31が設けられている。カムフォロワ31はその外
周面と、駆動モータ(図示せず)の軸に偏芯嵌合された
円柱状のカム32の外周面とが保持バネ33により圧接
している。保持バネ33は、ベースプレート21の下面
に固定された保持部材34とアーム30におけるカムフ
ォロワ31の近傍とを連結し、カムフォロワ31をカム
32に押し付けている。駆動モータは保持部材34に固
定されている
【0019】被加工材1は送り装置2によって、両鉄芯
3,3間の間隙に、鉄芯3,3の研磨面3a,3aと所
定のギャップ28,28を保持して通される。ここにお
ける送り装置2は、被加工材1の送り込み側にあって摩
擦クラッチにより送り出しに制動を加える制動装置2a
と、被加工材1の引き出し側にあってゴムローラ29に
より被加工材1を引っ張る引き取り装置2bとからな
り、被加工材1における鉄芯3,3の間を通過する部分
にテンションを加えておくものとなっている。ゴムロー
ラ29を用いるのは、滑り防止のためである。また、制
動装置2aにおける摩擦クラッチの制動力を可変とする
ことで、被加工材1に加えるテンションを可変としてい
る。
【0020】鉄芯3,3の研磨面側先端部には、鉄芯
3,3周囲を覆うように筒状の被加工材ガイド9,9が
設けられている。被加工材ガイド9は、ベアリングなど
の回転補助部材24を介して鉄芯3及び鉄芯支持台16
に回動自在に外嵌された被加工材ガイド支持台10に固
定されている。被加工材ガイド9は、その被加工材側端
面と研磨面3aとが平行になるように配置され、所定の
ギャップ28を形成している。被加工材ガイド9を固定
した後、送り装置2の位置決めを行い固定する。被加工
材1の送り込み側と引き取り側の鉄芯近傍で、被加工材
1は一対の被加工材ガイド9,9により両面から挟まれ
てその端面を摺動する。また、鉄芯支持台16に固定さ
れたガイド駆動モータ18aと、ガイド駆動モータ18
aと被加工材ガイド支持台10とを連結するガイドベル
ト18bとからなる被加工材ガイド駆動装置18を設け
ている。ガイド駆動モータ18aを回転させて被加工材
ガイド支持台10を回転させることによって、被加工材
ガイド支持台10に支持された被加工材ガイド9を回転
させる。この被加工材ガイド9の回転によって、被加工
材1との摺動による偏摩耗を防止し、被加工材ガイド9
の被加工材側端面を均一に摩耗させる。被加工材ガイド
9の摩耗量、つまりギャップ28の変化速度を遅くし
て、被加工材ガイド9の寿命を延ばしている。また、偏
摩耗による被加工材ガイド9の端面の段差を防ぎ、被加
工材1のふらつき又は引っ掛かりをなくすことによっ
て、被加工材1の破断や傷の発生を防止し、加工品質を
良好に保っている。また、被加工材ガイド支持台10と
鉄芯3との間の隙間に研磨面3aに付着している磁性材
5が噛み込まないように、この隙間の研磨面3a側にシ
ール部材74を配設している。また、被加工材ガイド9
の材料としては、アルミニウムなどの金属やセラミック
などが用いられている。なお、図中被加工材1は矢印X
の向きに送られ、鉄芯3は矢印Yの向きに揺動する。
【0021】磁気研磨のための磁性材5は磁性材供給装
置6によって供給される。この磁性材供給装置6として
は、一軸編心ネジ型で断面が円形のロータと断面が長方
形のステータを持ち、両者の空間に充填した物質を吸い
込み側から吐出側に移送する周知のモーノ型ポンプ53
を使用し、モーノ型ポンプ53の駆動源として、回転数
を任意にかつ高精度に制御可能なステッピングモータ5
4を使用している。また、ステッピングモータ54の回
転軸とモーノ型ポンプ53の回転軸はカップリング継手
52で締結している。磁性材5はモーノ型ポンプ53に
よって、フレキシブルな磁性材チューブ56に内を移動
して磁性材継手17へ送られる。磁性材継手17は円筒
状に形成され、一端を磁性材チューブ56に、他端を鉄
芯3を貫通するアルミニウム製のパイプ19に連結され
ている。パイプ19は、鉄芯3の研磨面3aの中央か
ら、鉄芯3の反対側部にベアリングなどの回転補助部材
24を介して内嵌する連結体38の端面まで貫通する貫
通孔14内を非接触に貫通している。磁性材継手17へ
送られた磁性材5は磁性材供給路としてのパイプ19中
を移動してギャップ28へ供給される。この連結体38
は、回転しないようにL型板などの回り止めによってヨ
ークに固定されている。
【0022】磁気研磨のための研磨剤7はロータリ定量
ポンプなどの研磨剤供給装置8によって供給される。研
磨剤7は、研磨剤供給装置8よりフレキシブルに変形で
きる研磨剤チューブ69内を移動し、切替継手68に送
られる。切替継手68は中央側面に横孔68aを有する
パイプ状に形成され、一端を研磨剤チューブ69に接続
されている。切替継手68に送られた研磨剤は、この横
孔68aと、連結体38の上面より貫通孔14まで貫通
する連結孔38aとを連通する連結チューブ66内を移
動し、貫通孔14内面とのパイプ19外周面との空間を
研磨剤供給路として通過しギャップ28へ供給される。
ロータリ定量ポンプは被加工材1の送り速度や加工状態
に応じて、出力を制御している。なお、研磨剤として
は、Al23、SiC、ダイヤモンドなどの砥粒を水又
は防錆、洗浄作用を有するケミカルソリューションタイ
プの研削液を水で希釈したものに含ませたものが好適に
用いられる。
【0023】また、切替継手68の他端には、洗浄剤供
給装置64に接続されたフレキシブルに変形できる洗浄
剤チューブ65が連結されている。洗浄剤供給装置64
はロータリ定量ポンプで構成され、このロータリ定量ポ
ンプによって、洗浄剤63が洗浄剤チューブ65内を移
動し、切替継手68及び連結チューブ66を経由して、
鉄芯3の研磨剤供給路に送られた後ギャップ28へ供給
される。また、研磨剤チューブ69及び洗浄剤チューブ
65には、研磨剤7の供給と洗浄剤63の供給とを切り
替える切替手段67をそれぞれ設けている。この切替手
段67は電磁弁等で形成され、磁気研磨中は、研磨剤側
の電磁弁67aが開いて洗浄剤側の電磁弁67bが閉
じ、研磨剤供給路内には研磨剤7のみが送られる。ま
た、停止中は、逆に研磨剤側の電磁弁67aが閉じ洗浄
剤側の電磁弁67bが開かれ、研磨剤供給路内には洗浄
剤63のみが送られる。この切替手段67の作用によ
り、一つの研磨剤供給路を用いて研磨剤7と洗浄剤63
とを必要に応じて使い分けることができる。洗浄剤63
としては、研削加工等に用いられ、防錆、洗浄作用を有
するケミカルソリューションタイプの研削液等を水で希
釈したものが好適に用いられる。
【0024】また、鉄芯3の研磨面3aの直下に筒状の
ダクト41を設け、このダクト41の下方に研磨剤貯蔵
タンク46及び洗浄剤貯蔵タンク47を載置している。
ダクト41は上部が逆円錐筒状に、下部が円筒状に形成
され、上端縁41aが鉄芯の研磨面3aの直下のベース
プレート21に設けられた排出口21aを下側から覆う
ように、ベースプレート21下面に固定されている。ま
た、ダクト41内を通過する磁性材5を吸着する磁性材
吸着装置45と、研磨剤貯蔵タンク46と洗浄剤貯蔵タ
ンク47とに研磨剤7及び洗浄剤63をそれぞれ分離供
給する分離手段48とを備えており、鉄芯3の研磨面3
aより落下する磁性材5、研磨剤7及び洗浄剤63の混
合物から、それぞれを分離できるようになっている。
【0025】磁性材吸着装置45は、リング状のマグネ
ットセパレータから形成され、ダクト41下部の外周面
に外嵌されて固定されている。また、分離手段48は、
ダクト41下端の直下に、その側面の中央に開口部を有
する円筒状の切替パイプ59と、この切替パイプ59を
開口部を上に向けて揺動自在に固定している切替軸60
と、切替パイプ59の一端部と切替軸60下部との間に
切替パイプ59を傾けて保持するスプリング61と、切
替パイプ59端部を下方に押し下げる伸縮軸57aを備
えたシリンダ57とから構成されている。切替パイプ5
9両端の開口部はそれぞれ併設された研磨剤貯蔵タンク
46及び洗浄剤貯蔵タンク47の上方に配置されてい
る。切替軸60は研磨剤貯蔵タンク46及び洗浄剤貯蔵
タンク47の対向する側面に固定されている。また、シ
リンダ57は、切替パイプ59の一端部の上方に伸縮軸
57aを鉛直下方に向けて配され、固定板57bにより
ベースプレート21に固定されている。
【0026】また、研磨剤供給装置8が研磨剤貯蔵タン
ク46内に、洗浄剤供給装置64が洗浄剤貯蔵タンク4
7内に設けられている。また、それ応じて研磨剤チュー
ブ69及び洗浄剤チューブ65が長く形成されている。
研磨剤供給装置8及び洗浄剤供給装置64は、各貯蔵タ
ンク46,47内に貯蔵された研磨剤7又は洗浄剤63
を必要に応じて吸い上げ、研磨剤供給路を経由して研磨
面3aに供給している。
【0027】しかして、この磁気研磨装置は、鉄芯回転
駆動モータ26,26によって、鉄芯3,3は軸回りの
回転を行うとともに、コイル22への直流電流の通電に
より、両鉄芯3,3の対向面は互いに異極となるよう
に、つまり互いに引き合うように励磁される。一方、磁
性材供給装置6,6によって、磁性材供給路としての鉄
芯3,3内部のパイプ19,19中を通ってギャップ2
8,28に持ち込まれた磁性材5は、研磨面3a,3a
に吸着され、送り装置2によって鉄芯3,3間の間隙を
通る被加工材1の表面に回転しながら圧接する磁性材ブ
ラシを構成する。そして、研磨剤供給装置8,8によっ
て研磨剤供給路としての貫通孔14内面とのパイプ19
外周面との空間を通って粉状の磁性材5の隙間に入った
研磨剤7が、被加工材1の表裏両面を研磨し、被加工材
1のバリ等を除去する。粉状の磁性材5による磁性材ブ
ラシは被加工材1の表面の凹凸に合わせて形を変えなが
ら動くために、被加工材1の表面研磨やバリ取りを確実
にかつ均一に行うことができる。
【0028】研磨中は、オイルクーラにより冷却された
潤滑液72が供給口73b、潤滑液チューブ75、上側
の潤滑液供給孔16aを通じて貫通空間70内面と鉄芯
3外側面との間の空隙71に供給される。潤滑液72に
より、この空隙71内のベアリングと鉄芯支持台16及
び鉄芯3とが潤滑するので、鉄芯3がスムーズに回転で
きるとともに、鉄芯3の回転によるベアリング、鉄芯3
又は鉄芯支持台16の摩耗を小さくできるので、装置の
寿命が向上している。また、潤滑液72は鉄芯3を表面
から冷却するので、回転による鉄芯3の発熱を抑制する
ことができる。また、貫通空間70の両開口部に配した
シール部材74により、この空隙71はシールされてい
るため、潤滑液72が外部へもれることを防止するとと
もに、磁性材5などの異物が空隙71に入り込むことを
防止している。空隙71内の潤滑液72は下側の潤滑液
供給孔16bから、潤滑液チューブ75、吸入口73c
を通じてオイルクーラに返却される。このようにして、
潤滑液72が循環されて使用されるため、効率的に潤滑
液72が使用できるとともに、オイルクーラにより常時
冷却された潤滑液72を送り込むことができる。
【0029】また、カム32が駆動モータの回転によ
り、偏芯回転するため、このカム32と側周面同士を保
持バネ33により圧接されたカムフォロワ31、及びカ
ムフォロワ31を下端に有するアーム30を上下に振動
させるとともに、アーム30の上端に固定された揺動板
12が、アーム30の振動に伴い揺動する。したがっ
て、揺動板12両端にそれぞれ配設された鉄芯3及び重
り11が揺動し、被加工材1の表面を略鉛直方向の互い
に異なる向きに移動する。揺動する鉄芯3により、研磨
面3aの磁性材ブラシが被加工材1を研磨する方向が変
化するので、効率的に被加工材1のバリを研磨すること
ができる。また、シーソー構造により鉄芯3を揺動する
ため、揺動装置15の駆動モータへの負荷が軽減でき、
低制動トルクの駆動モータで十分対応できる。
【0030】また、磁気研磨中は、研磨面3aより落下
する磁性材5と研磨剤7との混合物のうち、まず磁性材
5がマグネットセパレータによりダクト41内周面に吸
着される。次にシリンダ57により伸縮軸57aが伸び
て、切替パイプ59は、スプリング61に抗して研磨剤
貯蔵タンク46側を下にして傾く。研磨剤7は、中央の
開口部より切替パイプ59に入り、研磨剤貯蔵タンク4
6内に供給される。また、停止中は、鉄芯の研磨面3a
より落下する磁性材5と洗浄剤63との混合物のうち、
まず磁性材5がマグネットセパレータによりダクト41
内面に吸着される。次にシリンダ57により伸縮軸57
aが縮み、切替パイプ59は、スプリング61によって
洗浄剤貯蔵タンク47側にを下にして傾く。洗浄剤63
は、中央の開口部より切替パイプ59に入り、洗浄剤貯
蔵タンク47内に供給される。
【0031】また、研磨剤貯蔵タンク46内に貯められ
た使用後の研磨剤7が、研磨剤貯蔵タンク46内に設け
られた研磨剤供給装置8により吸い上げられて再利用さ
れる。また、洗浄剤貯蔵タンク47内に貯められた使用
後の洗浄剤63も、洗浄剤供給装置64により吸い上げ
られて再利用される。使用後の研磨剤7及び洗浄剤63
が自動的に再利用できるので、経済的であるとともに、
使用後の研磨剤7及び洗浄剤63を処分する手間が省け
る。
【0032】磁気研磨の終了後は、洗浄剤供給装置64
によって研磨剤供給路中を通って鉄芯3端面に供給され
た洗浄剤63が、研磨剤供給路中に残存する研磨剤7、
及び研磨面3aに付着する磁性材5及び研磨剤7を洗い
流すことができる。
【0033】研磨量は鉄芯3の回転数、コイル22への
供給電流、被加工材1の送り速度及びテンション、鉄芯
3と被加工材1とのギャップ28、磁性材5及び研磨剤
7の供給量等の制御により、微妙に調整することができ
る。この加工条件は被加工材1又は求める面粗さ等の要
求品質に応じて適当に決定され、以下の条件を目安とす
ることができる。
【0034】磁性材粒子径:0.05〜0.5mm、研磨
剤粒度:♯1000〜♯10000、鉄芯−被加工材間
距離:1〜4mm、鉄芯回転数:500〜2000rpm、
磁束密度:0.5〜1.7T、送り速度:50〜500
mm/min、被加工材テンション:1〜10kgf/cm、磁性
材供給量:0.5〜5g/min、研磨剤供給量:50〜5
00cc/min
【0035】研磨された後の被加工材1は、脱磁機39
によって脱磁された後、洗浄液40aを吐出する洗浄ノ
ズル40bと回転ブラシ40cとを備えた洗浄機40で
洗浄されることで、付着していた磁性材5又は研磨剤7
等が落とされ、外部へと送り出される。
【0036】なお、上述の磁気研磨装置では、鉄芯3、
磁性材供給装置6等を被加工材1に対して略対称に配設
して、被加工材1の両面を同時に研磨しているが、被加
工材1の片面の研磨だけを行う場合は、これらの装置を
被加工材1の研磨面側だけに配設すればよい。
【0037】
【発明の効果】請求項1記載の発明では、磁性材供給装
置により粉状の磁性材が供給され、磁化された鉄芯の研
磨面に適量吸着して磁性材ブラシを形成する。この磁性
材ブラシの表面及び磁性材間の隙間に、研磨剤供給装置
により研磨剤が供給される。磁性材ブラシ及び研磨剤
は、回転する鉄芯につられて回転し、移動する被加工材
の表面を順に磨いていく。この磁性材ブラシは被加工材
表面の凹凸に合わせて形を変え、凹部に入り込むため、
研磨剤が被加工材の凹部に自在に入り込んで研磨するこ
とができる。したがって、被加工材表面のバリなどを効
果的に除去でき、表面研磨品質の向上した被加工材を得
ることができる。
【0038】また、貫通空間の両開口部に配したシール
部材により、鉄芯支持台の貫通空間の内面と、この貫通
空間に内嵌する鉄芯の側面との間の空隙はシールされて
いるため、磁性材などの異物が入り込むことを防止して
いる。さらに、この空隙に潤滑液供給装置により潤滑液
が供給されるため、この空隙内の回転補助部材との潤滑
ができるとともに、この潤滑液が鉄芯を表面から冷却す
るので、鉄芯の発熱を抑制することができる。したがっ
て、作業者が誤って鉄芯に触れて火傷することがなくな
り、作業安全性が向上している。また、コイルの寿命が
向上している。また、鉄芯の回転がスムーズになってモ
ータへの付加が減少し、ランニングコストが低減できる
とともに、装置自体の寿命が向上している。
【0039】また、請求項2記載の発明では、磁気研磨
装置の使用後、洗浄剤供給装置から研磨剤供給路を通じ
て鉄芯の研磨面に洗浄剤が供給されるので、この洗浄剤
により研磨剤供給路内に残存する研磨剤、及び鉄芯の研
磨面に付着した磁性材及び研磨剤が洗い流される。面倒
な清掃作業が不必要となり、鉄芯研磨面及び研磨剤供給
路の清掃が自動的に、しかも確実で容易に行うことがで
きる。したがって、省作業性であるとともに、研磨品質
や装置自体の寿命が向上している。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の磁気研磨装置の実施の形態において、
被加工材を基準に片側のみを示した要部の縦断面図であ
る。
【図2】本発明の磁気研磨装置の実施の形態を示す、一
部を断面視した全体の平面図である。
【図3】本発明の磁気研磨装置の実施の形態を示す、一
部を断面視した全体の正面図である。
【図4】本発明の磁気研磨装置の実施の形態を示す、一
部を断面視した全体の側面図である。
【図5】従来の磁気研磨装置を示す、一部を断面視した
全体の平面図である。
【符号の説明】
X 被加工材の送り方向 Y 鉄芯の揺動方向 1 被加工材 2 送り装置 2a 制動装置 2b 引き取り装置 3 鉄芯 3a 研磨面 4 鉄芯駆動装置 5 磁性材 6 磁性材供給装置 6a 着磁機 6b 磁性材容器 7 研磨剤 8 研磨剤供給装置 9 被加工材ガイド 10 被加工材ガイド支持台 11 重り 12 揺動板 13 支持台 14 貫通孔 15 揺動装置 16 鉄芯支持台 16a 上側の潤滑液供給口 16b 下側の潤滑液供給口 17 磁性材継手 18 被加工材ガイド駆動装置 18a ガイド駆動モータ 18b ガイドベルト 19 パイプ 20 脚 21 ベースプレート 21a 排出口 21b ヨーク貫通孔 22 コイル 22a 内空間 23 磁気ヨーク 23a 水平片 23b 垂下片 23c 連結片 24 回転補助部材 26 鉄芯回転駆動モータ 27 ベルト 28 ギャップ 29 ゴムローラ 30 アーム 31 カムフォロワ 32 カム 33 保持バネ 34 保持部材 38 連結体 38a 連通孔 39 脱磁機 40 洗浄機 40a 洗浄液 40b 洗浄ノズル 40c 回転ブラシ 41 ダクト 41a 上端縁 45 磁性材吸着装置 46 研磨剤貯蔵タンク 47 洗浄剤貯蔵タンク 48 分離手段 52 カップリング継手 53 モーノ型ポンプ 54 ステッピングモータ 56 磁性材チューブ 57 シリンダ 57a 伸縮軸 57b 固定板 59 切替パイプ 60 切替軸 61 スプリング 63 洗浄剤 64 洗浄剤供給装置 65 洗浄剤チューブ 66 連結チューブ 67 切替手段 67a 研磨剤側の電磁弁 67b 洗浄剤側の電磁弁 68 切替継手 68a 横孔 69 研磨剤チューブ 70 貫通空間 71 空隙 72 潤滑液 73 潤滑液供給装置 73a 潤滑液ポンプ 73b 供給口 73c 吸入口 74 シール部材 75 潤滑液チューブ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B24B 31/112 B24B 37/00 B23Q 11/12

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 その略平面状の端面を磁化して研磨面と
    なした鉄芯と、この鉄芯を前記研磨面と直交する軸回り
    に回転させる鉄芯駆動装置と、前記研磨面にテープ状の
    被加工材を近接させて送る送り装置と、この被加工材表
    面と前記研磨面との間のギャップに、粉状の磁性材を供
    給する磁性材供給装置と、前記ギャップに研磨剤を供給
    する研磨剤供給装置とからなる磁気研磨装置において、
    回転鉄芯内部に回転軸を中心軸とする貫通孔を設け、こ
    の貫通孔内にパイプを内設し、このパイプ内の空間と、
    このパイプ外周面と貫通孔内面との間の空間とのうち、
    一方を前記ギャップに磁性材を供給する磁性材供給路と
    なし、他方を前記ギャップに研磨剤を供給する研磨剤供
    給路となし、この回転鉄芯を貫通させる貫通空間を有す
    る鉄芯支持台を設け、この貫通空間の内面との間に設け
    回転補助部材を介して回転自在に鉄芯を内嵌し、前記
    貫通空間の両開口部と鉄芯との間にシール部材を配設す
    るとともに、前記回転補助部材と鉄芯側面との間の空隙
    に潤滑液を供給する潤滑液供給装置を設けてなることを
    特徴とする磁気研磨装置。
  2. 【請求項2】 研磨剤供給路内に残存する研磨剤を除去
    する洗浄剤を、研磨終了後に、前記研磨剤供給路に供給
    する洗浄剤供給装置を設けてなることを特徴とする請求
    項1記載の磁気研磨装置。
JP16316497A 1997-06-20 1997-06-20 磁気研磨装置 Expired - Fee Related JP3322171B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16316497A JP3322171B2 (ja) 1997-06-20 1997-06-20 磁気研磨装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16316497A JP3322171B2 (ja) 1997-06-20 1997-06-20 磁気研磨装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH1110518A JPH1110518A (ja) 1999-01-19
JP3322171B2 true JP3322171B2 (ja) 2002-09-09

Family

ID=15768458

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16316497A Expired - Fee Related JP3322171B2 (ja) 1997-06-20 1997-06-20 磁気研磨装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3322171B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN118238051B (zh) * 2024-05-28 2024-07-30 全南英创电子有限公司 一种磁头壳体内壁抛光装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH1110518A (ja) 1999-01-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7258600B1 (en) Vacuum-assisted pad conditioning system
US8393935B2 (en) Polishing apparatus
JP2009028892A (ja) 研磨装置および研磨方法
JP2006237333A (ja) 半導体ウエーハの研削方法および研削装置
JP2008006540A (ja) 研磨加工方法
JP3322171B2 (ja) 磁気研磨装置
US7938716B2 (en) Apparatus and method for spiral polishing with electromagnetic abrasive
US6960114B2 (en) Pad conditioner of CMP equipment
WO2006030854A1 (ja) 複雑形状体の研磨方法および研磨装置
JP3271551B2 (ja) 磁気研磨装置
JP2009141122A (ja) ウェーハ加工装置
JPS63221962A (ja) パイプの研磨装置
KR20230115239A (ko) 척 테이블 및 연삭 장치
JPH05329766A (ja) 容器内面を磁気研磨する方法及び装置
JP2018149519A (ja) 磁気分離処理装置
JP4185986B2 (ja) 磁気バリ取り方法
JPS63221965A (ja) 管材の研磨方法および装置
JP3296247B2 (ja) 磁気研磨装置
JPS5935990B2 (ja) 放電被覆加工装置
JP5129902B2 (ja) 基板戴置装置用の基板戴置板の表面研磨方法及び装置
KR100539458B1 (ko) 오염물 흡입기를 갖는 화학 기계적 폴리싱 장치 및 이를이용한 방법
JP2023181801A (ja) 減速装置
JP3324435B2 (ja) 磁気研磨装置
JPH09183037A (ja) 浮上油分離装置
JPH10100140A (ja) ワイヤ式切断加工装置

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20020528

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090628

Year of fee payment: 7

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090628

Year of fee payment: 7

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100628

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100628

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110628

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120628

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120628

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130628

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130628

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140628

Year of fee payment: 12

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees