JP3318938B2 - 気相エッチング方法および装置 - Google Patents

気相エッチング方法および装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、弗化水素ガスによる気
相エッチング方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、弗化水素ガスによる二酸化珪素膜
の気相エッチング技術が注目されている。弗化水素酸水
溶液に浸漬させて二酸化珪素膜のエッチングをする技術
よりも、パーティクル付着量が少なく、純水リンスによ
る自然酸化膜の再成長を抑制可能であり、ゲート酸化膜
形成や金属配線形成の前処理として有望視されている。
【0003】従来の弗化水素ガスによる二酸化珪素膜の
気相エッチング装置は、図8(a),(b)に示すよう
に構成されている。図8(a)は無水弗化水素ガスを使
用して気相エッチングを行なう気相エッチング装置の例
であり、無水弗化水素ガス1とキャリアガス2、例えば
窒素ガスをエッチングチャンバー3内に導入して直接半
導体基板6上に吹き付けることにより半導体基板6上の
二酸化珪素膜をエッチングする。半導体基板6面内のエ
ッチングを均一化するために、半導体基板6を保持する
台7を回転させている。
【0004】図8(b)は、弗化水素酸水溶液を使用し
て気相エッチングを行なう気相エッチング装置の例であ
り、弗化水素酸水溶液15を直接エッチングチャンバー
3内に導入し、その液面上に半導体基板6を曝すことに
より半導体基板6上の二酸化珪素膜をエッチングする。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の気相エッチング装置では、半導体基板上に形成
された様々な二酸化珪素膜の均一エッチングが困難であ
る。図8(a)に示した無水弗化水素ガスによる気相エ
ッチング装置を用いた場合には、エッチングチャンバー
3へのガス導入部が小さく、ガス1がチャンバー3内に
均一に分布しにくいため、半導体基板6面内に均一にガ
ス1が供給されず、エッチングの面内不均一性が生じて
しまう。
【0006】半導体基板6の保持台7を回転させること
によって、エッチングチャンバー3の形状を原因とした
不均一性はある程度改善されるが、同心円状のエッチン
グむらは改善されない。
【0007】これは、弗化水素ガスによる二酸化珪素膜
のエッチングがエッチングガスの流速に関係しており、
半導体基板とそれに接触するガスの相対的な速度が速い
ほど半導体基板表面の水分脱離が起こり、二酸化珪素膜
が反応しにくくなることが原因である。
【0008】従って、半導体基板を回転させることによ
って生じる半導体基板の中心と外側におけるガスとの相
対的な速度の差は、基板面上の同心円方向での均一性を
著しく劣化させてしまう。
【0009】例えば6インチウェハの場合、単純に計算
すると、半導体基板中心から3cm離れた所は6cm離
れた所より相対的な速度が約2倍小さく、例えば、弗化
水素の濃度が約0.5%(無水弗化水素ガス流量10l
/min、希釈窒素ガス流量50cc/min)の時
は、図3(a)に示すようにエッチング量の差は約1.
3倍になる。
【0010】また、ガスによるエッチングは、弗化水素
ガスや希釈窒素ガスの流量を精密に制御することによっ
て弗化水素の濃度を任意に変えて、様々なエッチング対
象(様々な二酸化珪素膜)と様々な状態の半導体基板の
処理が可能であるが、各流量を変えるとエッチングチャ
ンバー内のガスの流れや流速が変化して、目的とする二
酸化珪素膜のエッチングの不均一性は、同心円方向の分
布ではあるが、半導体基板の内外の差が変化する。
【0011】例えば、弗化水素濃度が約0.5%(無水
弗化水素ガス流量5l/min、希釈窒化ガス流量25
cc/min)の時は、逆に半導体基板中心にガスが供
給されにくい影響の方が強くなるために、図3(b)に
示すように、半導体基板中心から3cm離れた所は5c
m離れた所の0.8倍になる。
【0012】一方、図8(b)に示した弗化水素酸水溶
液による気相エッチング装置を用いた場合には、半導体
基板表面に均一に弗化水素酸蒸気が供給されるためエッ
チングの均一性は良好であるが、エッチングチャンバー
の温度や圧力を制御していないために、弗化水素酸蒸気
の濃度が一定にならず、エッチング速度が半導体基板間
で異なってしまう。
【0013】また、エッチング対象の二酸化珪素膜の種
類や半導体基板表面状態によって供給する弗化水素酸の
濃度を変更しなければならないが、弗化水素酸水溶液を
その都度交換しなければならず、溶液交換の時間の増大
及び交換に伴なう弗化水素酸濃度のばらつきの問題が生
じる。
【0014】二酸化珪素膜のエッチングの半導体基板面
内の不均一性は、後工程において形成される膜の平坦性
を劣化させ、その上部に形成される配線の断線等を引き
起こし、最終的なデバイスの信頼性の劣化、製品の歩留
まり低下の原因となる。
【0015】本発明の目的は、上記欠点を除去し、弗化
水素ガスによる高均一な二酸化珪素膜の再現性の良いエ
ッチング方法および装置を提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る気相エッチング方法は、加熱源を半導
体基板上の中心位置上部に配置し、加熱源の強度を可変
に制御可能な、弗化水素ガスによる二酸化珪素膜の気相
エッチングを行なう気相エッチング装置において、半導
体基板の中心を、エッチング速度がピークとなる温度よ
り高い温度に加熱することにより、半導体基板周辺部が
ピーク温度となり半導体基板周辺部におけるエッチング
速度を速めるように補正し、半導体基板中心部を、エッ
チング速度がピーク値となる温度に加熱することによ
り、半導体基板の中心部におけるエッチング速度を速め
るように補正し、 弗化水素ガス流量の各種設定値に対し
て半導体基板全体が均一なエッチング速度となるように
補正制御するものである。
【0017】
【0018】また本発明に係る気相エッチング装置は、
半導体基板を加熱するための加熱源を有し、前記半導体
基板と前記加熱源を分離する透明石英ガラスと、前記透
明石英ガラスと前記半導体基板の間に位置する穴のあい
た透明石英ガラスと、前記穴のあいた透明石英ガラスと
前記透明石英ガラスにより形成される流路とを有する気
相エッチング装置において、前記流路に窒素ガスを流す
ことにより、エッチングガスが両石英ガラスに接触しな
いようにしたものである。また前記半導体基板と前記半
導体基板の加熱源を分離する窒化珪素膜で被覆された透
明石英ガラスを有するものである。
【0019】
【作用】本発明の方法および装置は、従来においてガス
流量や半導体基板の回転速度の改善のみで解決できない
基板面内のエッチングの不均一性を簡単な加熱によって
改善することにある。
【0020】半導体基板を加熱し、半導体基板面内の温
度分布に傾斜をつける方法の一つとして、ランプによる
照射加熱があるが、照射光を透過可能な材料が必要であ
る。通常では、透明石英ガラスが使用されているが、弗
化水素ガスによる気相エッチングにおいては、弗化水素
ガスによる腐食が懸念される。
【0021】本発明では、弗化水素ガスが透明石英ガラ
スに接触するのを防止、あるいは弗化水素ガスによるエ
ッチングを防止する窒化珪素膜を被覆して透明石英ガラ
スを保護して、透明石英ガラスの腐食を防止できる。
【0022】
【実施例】次に、本発明の実施例に係る弗化水素ガスに
よる二酸化珪素膜のエッチング方法および装置を説明
し、本発明の特徴及び効果を更に明らかにする。
【0023】(実施例1)図1は、本発明の実施例1を
示す図で、無水弗化水素ガスを直接半導体基板表面に吹
き付け、半導体基板の加熱方法にランプを使用する二酸
化珪素エッチング装置の断面構造図である。
【0024】図において、無水弗化水素ガス1は、ガス
吹き出し口からエッチングチャンバー3内に導入され
る。チャンバー3の上部は、透明石英ガラス製の窓4で
構成され、上部の反射板10をもつランプ5(例えばX
eランプ)により半導体基板6を加熱する。
【0025】また、半導体基板6と透明石英ガラス窓4
との間に、多数穴のあいた透明石英ガラス板8を備え、
両透明石英ガラス4,8の間に窒素ガス2を流し、全体
のガスはチャンバー3の下部ガス出口9から排気するこ
とにより、弗化水素ガス1が両透明石英ガラス4,8に
接触し、腐食させるのを防止する。半導体基板6は保持
台7の上で回転する。
【0026】図2は、温度とエッチング速度の関係を示
したもので、900℃でドライ酸素雰囲気で形成した二
酸化珪素膜のエッチング例である。30℃を最大とし
て、それより低温あるいは高温ではエッチング速度は減
少する。
【0027】この特性を持つ二酸化珪素膜のエッチング
を加熱無しに行なった場合、例えば図8(a)に示す従
来方法の場合、キャリア窒素ガスと無水弗化水素ガスの
流量が多い場合には、前述のとおり、ガスとの相対的な
速度の差の影響により、図3(a)のように基板の外側
の方がエッチング速度が遅く、中心が速くなる。
【0028】逆に、流量が少ないときには、半導体基板
中心にガスが供給されにくい影響の方が大きいため、図
3(b)のように半導体基板の外側のエッチング速度が
速く、中心付近が小さくなる。
【0029】このような不均一性の改善には、本発明の
方法および装置により、例えば上記のランプとしてXe
ランプ球を半導体基板上の中心に設置し、Xeランプ照
射の強度を変えることで行なうことができる。図4
(a)は、半導体基板の中心を40℃に加熱した場合の
基板面内の温度分布であるが、基板外側はランプ光源か
ら遠くなるために基板温度が30℃までしか上がらな
い。図2より40℃の時は30℃の時に比べてエッチン
グ速度が遅いことがわかる。
【0030】そこで、従来方法において図3(a)のガ
ス供給量の時に、すなわち半導体基板外側のエッチング
速度が遅い時、このような設定での半導体基板加熱方法
を適用することによって、図3(c)のように半導体基
板面内のエッチング速度を均一にすることができる。
【0031】また、従来方法において図3(b)のガス
供給量の時には、すなわち半導体基板外側のエッチング
速度が速い場合には、図4(b)のように半導体基板中
心を30℃、基板外側を23℃に加熱する(具体的に
は、前述の条件よりもランプ照射の強度を弱くする)こ
とによって、同様に図3(c)のような均一エッチング
が可能になる。
【0032】もちろん、様々な製法で形成された二酸化
珪素膜に対して同様な原理によって均一エッチングが可
能である。また、複雑な半導体基板面内のエッチング分
布特性を持つエッチング条件での改良は、図5のような
同心円状に配置した各々独立に制御可能な赤外ランプ1
1(例えば、タングステン・ハロゲンランプ)によって
可能である。
【0033】(実施例2)図6は、本発明の実施例2を
示す図で、ランプによる半導体基板加熱装置において、
窒化珪素膜12を被覆させた透明石英ガラス4を窓に使
用して、弗化水素ガスによる透明石英ガラス4の腐食を
防止した例である。腐食がないため、実施例1に存在す
る穴のあいた透明石英ガラスの板を使用することなく、
簡単な構成で実現することができる。
【0034】(実施例3)図7(a),(b)は、本発
明の実施例3を示す図で、ランプ照射による半導体基板
加熱の代わりに基板保持台をホットプレートを使用して
加熱する二酸化珪素気相エッチング装置の断面構造図と
ホットプレート部の拡大図である。
【0035】図において、基板保持台7上に同心円状に
各々独立に制御可能な抵抗加熱源14を備えたホットプ
レート13を配し、エッチングの対象の二酸化珪素膜の
種類や使用する弗化水素ガス流量によって、加熱の条件
を変えて、ランプ加熱と同様の基板面内のエッチングの
均一性を図ることができる。
【0036】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、弗化水素
ガスを用いた二酸化珪素膜の気相エッチング半導体製造
装置として、任意に半導体基板を加熱可能な加熱源を有
している。
【0037】また加熱実現のために、透明石英ガラス腐
食防止のための、穴のあいた透明石英ガラスあるいは窒
化珪素膜を堆積させた透明石英ガラス板を備えている。
その結果、半導体基板面内のエッチングを分布無く均一
に行なうことができるほか、様々な種類あるいは状態の
二酸化珪素膜の均一エッチングに簡単に対応できる。
【0038】これによって、エッチング後形成する膜の
均一性が良好になり、配線の断線などが減少し、デバイ
スの信頼性向上や製品の歩留まり改善に効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る気相エッチング方法を実施するた
めの装置の実施例1を示す断面構造図である。
【図2】本発明の効果を表すための半導体基板温度とエ
ッチング速度の関係を示した図である。
【図3】本発明の効果を表すため、本発明の方法および
装置を使用した時と、従来技術の方法および装置を用い
た時の、半導体基板上に一様に形成された二酸化珪素膜
のエッチング速度の面内均一性を示した図である。
【図4】本発明の方法の例で、加熱による半導体基板面
内の温度分布を示した図である。
【図5】本発明に使用する加熱源の例を示す平面図であ
る。
【図6】本発明の気相エッチング方法を説明するための
装置の実施例2を示す断面構造図である。
【図7】本発明の気相エッチング方法を説明するための
装置の実施例3を示す断面構造図である。
【図8】従来技術の気相エッチング装置を示す断面構造
図である。
【符号の説明】
1 弗化水素ガス 2 窒素ガス 3 エッチングチャンバー 4 透明石英ガラス窓 5 ランプ 6 半導体基板 7 保持台 8 透明石英ガラス板 9 ガス出口 10 反射板 11 赤外線ランプ 12 窒化珪素膜 13 ホットプレート 14 抵抗加熱源 15 弗化水素酸水溶液
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 21/306

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 加熱源を半導体基板上の中心位置上部に
    配置し、加熱源の強度を可変に制御可能な、弗化水素ガ
    スによる二酸化珪素膜の気相エッチングを行なう気相エ
    ッチング装置において、 半導体基板の中心を、エッチング速度がピークとなる温
    度より高い温度に加熱することにより、温度に起因する
    エッチング速度が半導体基板周辺部でピーク値になると
    きは、半導体基板に供給する弗化水素ガスの流量を所定
    量より多く供給するように制御し、 半導体基板中心部を、エッチング速度がピーク値となる
    温度に加熱することにより、温度に起因するエッチング
    速度が半導体基板中心部でピーク値になるときは、半導
    体基板に供給する弗化水素ガスの流量を所定量より少な
    く供給するように制御し、 半導体基板全体が均一なエッチング速度となるように補
    正制御することを特徴とする気相エッチング方法。
  2. 【請求項2】 半導体基板を加熱するための加熱源を有
    し、前記半導体基板と前記加熱源を分離する透明石英ガ
    ラスと、前記透明石英ガラスと前記半導体基板の間に位
    置する穴のあいた透明石英ガラスと、前記穴のあいた透
    明石英ガラスと前記透明石英ガラスにより形成される流
    路とを有する気相エッチング装置において、 前記流路に窒素ガスを流すことにより、エッチングガス
    が両石英ガラスに接触しないようにしたことを特徴とす
    る気相エッチング装置。
  3. 【請求項3】 前記半導体基板と前記半導体基板の加熱
    源を分離する窒化珪素膜で被覆された透明石英ガラスを
    有することを特徴とする請求項2に記載の気相エッチン
    グ装置。
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