JP3308784B2 - 酸素濃度計のセンサ特性調整回路 - Google Patents
酸素濃度計のセンサ特性調整回路Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、限界電流型酸素濃
度計の酸素濃度センサに関するもので、特にセンサ特性
に合わせた調整を実現する回路に関する。
度計の酸素濃度センサに関するもので、特にセンサ特性
に合わせた調整を実現する回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】限界電流型酸素濃度計というのは、限界
電流型の酸素濃度センサを用いた酸素濃度計のことで、
図５は直接挿入型の限界電流型酸素センサアッシー５の
斜視図を示している。この酸素センサアッシー５は、燃
焼ガスなどの測定すべき雰囲気中にステンパイプの中間
まで直接挿入して用いられる。燃焼ガスなどは２００〜
４００℃などの高温であるため、ステンレスや耐熱ゴム
などを用いて、高温に耐えられる構造になっている。同
図において、円筒状のステンパイプ５２の端部に酸素濃
度センサチップ６が収納されており、その全体をステン
キャップ５１が覆って酸素濃度センサチップ６を保護し
ている。酸素濃度センサチップ６からの出力信号は２本
の耐熱ケーブル５４を介して外部へ取り出される。耐熱
ケーブル５４の残りの２本を用いてジルコニア固体電解
質６３の裏からヒータ６５で所定温度に酸素濃度センサ
チップ６を加熱している。ステンパイプ５２と耐熱ケー
ブル５４との途中に耐熱ゴムキャップ５３が設けられて
いる。
電流型の酸素濃度センサを用いた酸素濃度計のことで、
図５は直接挿入型の限界電流型酸素センサアッシー５の
斜視図を示している。この酸素センサアッシー５は、燃
焼ガスなどの測定すべき雰囲気中にステンパイプの中間
まで直接挿入して用いられる。燃焼ガスなどは２００〜
４００℃などの高温であるため、ステンレスや耐熱ゴム
などを用いて、高温に耐えられる構造になっている。同
図において、円筒状のステンパイプ５２の端部に酸素濃
度センサチップ６が収納されており、その全体をステン
キャップ５１が覆って酸素濃度センサチップ６を保護し
ている。酸素濃度センサチップ６からの出力信号は２本
の耐熱ケーブル５４を介して外部へ取り出される。耐熱
ケーブル５４の残りの２本を用いてジルコニア固体電解
質６３の裏からヒータ６５で所定温度に酸素濃度センサ
チップ６を加熱している。ステンパイプ５２と耐熱ケー
ブル５４との途中に耐熱ゴムキャップ５３が設けられて
いる。
【０００３】限界電流型酸素センサアッシー５の酸素濃
度センサチップ６は、例えば図６に示すような四角形の
セラミック基板の上に積層された構成となっている。す
なわち、この酸素濃度センサチップ６は、多孔質セラミ
ック基板６１の上にカソード電極６２とジルコニア固体
電解質６３とさらにこの固体電解質の上にプレート電極
６４から成る積層構造を持っており、かつ多孔質セラミ
ック基板６１の裏に加熱用のヒータ６５が張りつけられ
ている。カソード電極６２、プレート電極６４、ヒータ
６５のそれぞれに接続端子６２Ａ、６４Ａ、６５Ａが取
り付けてある。この酸素濃度センサチップ６の１辺Ｂは
約３ｍｍ程度のサイズである。
度センサチップ６は、例えば図６に示すような四角形の
セラミック基板の上に積層された構成となっている。す
なわち、この酸素濃度センサチップ６は、多孔質セラミ
ック基板６１の上にカソード電極６２とジルコニア固体
電解質６３とさらにこの固体電解質の上にプレート電極
６４から成る積層構造を持っており、かつ多孔質セラミ
ック基板６１の裏に加熱用のヒータ６５が張りつけられ
ている。カソード電極６２、プレート電極６４、ヒータ
６５のそれぞれに接続端子６２Ａ、６４Ａ、６５Ａが取
り付けてある。この酸素濃度センサチップ６の１辺Ｂは
約３ｍｍ程度のサイズである。
【０００４】以上のような構造の酸素濃度センサチップ
６をジルコニア固体電解質６３の裏からヒータ６５で所
定温度の６００〜７００°Ｃに加熱しておき、このジル
コニア固体電解質６３に電流を流すと、雰囲気中に酸素
が存在するときカソード電極６２からプレート電極６４
へ酸素が移動する現象を呈する。これを酸素ポンプ作用
と呼んでいる。その際、カソード電極６２への酸素の流
入は多孔質セラミック基板６１の多孔の空き具合で制限
されるので、それ以上は電圧をかけても電流がそれ以上
流れなくなり、一定値に飽和状態になってしまう現象を
呈する。ところがさらに過電圧が加わると今度は還元が
始まるために、再び電流が急増しはじめる。この間の飽
和状態中の電流を特に限界電流と呼んでいる。この限界
電流は酸素濃度に比例するところから、一定の電圧を印
加することによって得られるセンサ出力電流値より図４
の点線Ａのように酸素濃度が検出できる。これが限界電
流型酸素濃度計の原理である。
６をジルコニア固体電解質６３の裏からヒータ６５で所
定温度の６００〜７００°Ｃに加熱しておき、このジル
コニア固体電解質６３に電流を流すと、雰囲気中に酸素
が存在するときカソード電極６２からプレート電極６４
へ酸素が移動する現象を呈する。これを酸素ポンプ作用
と呼んでいる。その際、カソード電極６２への酸素の流
入は多孔質セラミック基板６１の多孔の空き具合で制限
されるので、それ以上は電圧をかけても電流がそれ以上
流れなくなり、一定値に飽和状態になってしまう現象を
呈する。ところがさらに過電圧が加わると今度は還元が
始まるために、再び電流が急増しはじめる。この間の飽
和状態中の電流を特に限界電流と呼んでいる。この限界
電流は酸素濃度に比例するところから、一定の電圧を印
加することによって得られるセンサ出力電流値より図４
の点線Ａのように酸素濃度が検出できる。これが限界電
流型酸素濃度計の原理である。
【０００５】このように図４において、点線Ａはセンサ
出力電流が酸素濃度に比例する特性を示しているのであ
るが、ところが点線Ａの特性は理想特性であって、実際
には図の実線Ｂのような特性を呈するのである。すなわ
ち、酸素濃度が低くなるほど出力電流が理想特性Ａより
も上へプラスしてゆくという特性を示す。従来はこの特
性をＣＰＵで数値演算して調整していたが、ＣＰＵ自体
高価なものであり、ＣＰＵを搭載しない回路でこのよう
な補正をすることは不可能であった。
出力電流が酸素濃度に比例する特性を示しているのであ
るが、ところが点線Ａの特性は理想特性であって、実際
には図の実線Ｂのような特性を呈するのである。すなわ
ち、酸素濃度が低くなるほど出力電流が理想特性Ａより
も上へプラスしてゆくという特性を示す。従来はこの特
性をＣＰＵで数値演算して調整していたが、ＣＰＵ自体
高価なものであり、ＣＰＵを搭載しない回路でこのよう
な補正をすることは不可能であった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記欠点を解
消するもので、本発明によれば、従来のような高価なＣ
ＰＵを使わなくても、安価なセンサ特性調整回路でかか
る欠点を解決することにある。
消するもので、本発明によれば、従来のような高価なＣ
ＰＵを使わなくても、安価なセンサ特性調整回路でかか
る欠点を解決することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、酸素濃
度計のセンサ検出抵抗の出力信号を増幅器の入力信号と
して成る酸素濃度計のセンサ回路における該センサ検出
抵抗を可変とし、かつ前記増幅器の増幅率を可変とする
ことにより、低濃度域のセンサ特性と高濃度域のセンサ
特性とをリニアにしたものである。そして、その増幅器
をオペアンプで構成し、該オペアンプに別の可変抵抗を
介して負帰還をかけるように構成したすると一層よい特
性調整回路が得られる。さらに、負帰還制御された別の
オペアンプを用意し、その出力電圧をセンサ印加電圧と
するとともに、可変抵抗を介して先のオペアンプの入力
とするように構成することも可能である。
度計のセンサ検出抵抗の出力信号を増幅器の入力信号と
して成る酸素濃度計のセンサ回路における該センサ検出
抵抗を可変とし、かつ前記増幅器の増幅率を可変とする
ことにより、低濃度域のセンサ特性と高濃度域のセンサ
特性とをリニアにしたものである。そして、その増幅器
をオペアンプで構成し、該オペアンプに別の可変抵抗を
介して負帰還をかけるように構成したすると一層よい特
性調整回路が得られる。さらに、負帰還制御された別の
オペアンプを用意し、その出力電圧をセンサ印加電圧と
するとともに、可変抵抗を介して先のオペアンプの入力
とするように構成することも可能である。
【０００８】以上のようにすることにより、センサの特
性をそのまま取り出すと、図４の点線Ａのように濃度の
低い領域では上に上がってしまうが、これを可変抵抗を
入れた検出回路によって若干下げるようにしたので、よ
り理想値に近づけることができる。これに対して後段の
２段目のオペアンプのゲインは高くして、逆に、濃度の
高い領域で上方に合わせてやるようにした。このように
することによって、合成特性は点線Ｃのように濃度の高
い領域でＢ特性を濃度の低い領域でＡ特性を有する特性
になる。ただ、うまく調整できるところに合わせ込みを
すればよい。このようにすることによって、ＣＰＵを使
わなくても、安価なセンサ特性調整回路が構成できる。
性をそのまま取り出すと、図４の点線Ａのように濃度の
低い領域では上に上がってしまうが、これを可変抵抗を
入れた検出回路によって若干下げるようにしたので、よ
り理想値に近づけることができる。これに対して後段の
２段目のオペアンプのゲインは高くして、逆に、濃度の
高い領域で上方に合わせてやるようにした。このように
することによって、合成特性は点線Ｃのように濃度の高
い領域でＢ特性を濃度の低い領域でＡ特性を有する特性
になる。ただ、うまく調整できるところに合わせ込みを
すればよい。このようにすることによって、ＣＰＵを使
わなくても、安価なセンサ特性調整回路が構成できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るセンサ特性調
整回路を図１を用いて説明する。図１には、本発明の第
１実施例である酸素濃度センサ特性調整回路１が示され
ている。同図には、酸素濃度センサチップ６のプレート
電極６４には電源ＶＰから調整抵抗ＶＲ２を介して適切
な電圧が印加されている。この場合の適切な電圧とは、
酸素濃度が低い領域においても酸素濃度が高い領域にお
いても共に限界電流が得られる値のものを指し、実施例
では０．８Ｖ程度としている。調整抵抗ＶＲ２は調整点
１の低濃度時に理想点に調整するためのものである。オ
ペアンプＯＰ２は高濃度領域である調整点２付近でのゲ
インを上げるための作用をさせるもので、調整抵抗ＶＲ
２の出力を反転入力端子に加えるとともに、オペアンプ
のゲイン調整用の調整抵抗ＶＲ３を介して負帰還をかけ
ている。
整回路を図１を用いて説明する。図１には、本発明の第
１実施例である酸素濃度センサ特性調整回路１が示され
ている。同図には、酸素濃度センサチップ６のプレート
電極６４には電源ＶＰから調整抵抗ＶＲ２を介して適切
な電圧が印加されている。この場合の適切な電圧とは、
酸素濃度が低い領域においても酸素濃度が高い領域にお
いても共に限界電流が得られる値のものを指し、実施例
では０．８Ｖ程度としている。調整抵抗ＶＲ２は調整点
１の低濃度時に理想点に調整するためのものである。オ
ペアンプＯＰ２は高濃度領域である調整点２付近でのゲ
インを上げるための作用をさせるもので、調整抵抗ＶＲ
２の出力を反転入力端子に加えるとともに、オペアンプ
のゲイン調整用の調整抵抗ＶＲ３を介して負帰還をかけ
ている。
【００１０】以上の回路において、測定すべき雰囲気中
に酸素センサを挿入すると、センサ印加電圧Ｖ０は限界
電流が得られる程度の値であるため、酸素濃度センサに
は濃度に応じたセンサ出力電流Ｉが流れることなり、こ
のセンサ出力電流Ｉによって抵抗ＶＲ２の両端にセンサ
出力電圧Ｖ２が発生する。そこで、まず、調整点１の低
濃度の時にセンサ出力電圧Ｖ１が理想特性上のＡになる
ように調整抵抗ＶＲ２を調整する。
に酸素センサを挿入すると、センサ印加電圧Ｖ０は限界
電流が得られる程度の値であるため、酸素濃度センサに
は濃度に応じたセンサ出力電流Ｉが流れることなり、こ
のセンサ出力電流Ｉによって抵抗ＶＲ２の両端にセンサ
出力電圧Ｖ２が発生する。そこで、まず、調整点１の低
濃度の時にセンサ出力電圧Ｖ１が理想特性上のＡになる
ように調整抵抗ＶＲ２を調整する。
【００１１】次に、調整点２での高濃度の時にセンサ出
力電圧Ｖ１がセンサ特性上のＢになるように調整抵抗Ｖ
Ｒ３を調整する。このように調整抵抗ＶＲ３を調整する
と、オペアンプＯＰ２のゲインが上がるがそれに伴って
先に調整済みのＡも同時に上方向に変化するので、再び
調整抵抗ＶＲ２を調整して調整点１の低濃度の時にセン
サ出力電圧Ｖ１が理想特性上のＡになるようにする。こ
の調整により再度オペアンプＯＰ２の出力電圧が低下す
るので調整抵抗ＶＲ３を調整する。
力電圧Ｖ１がセンサ特性上のＢになるように調整抵抗Ｖ
Ｒ３を調整する。このように調整抵抗ＶＲ３を調整する
と、オペアンプＯＰ２のゲインが上がるがそれに伴って
先に調整済みのＡも同時に上方向に変化するので、再び
調整抵抗ＶＲ２を調整して調整点１の低濃度の時にセン
サ出力電圧Ｖ１が理想特性上のＡになるようにする。こ
の調整により再度オペアンプＯＰ２の出力電圧が低下す
るので調整抵抗ＶＲ３を調整する。
【００１２】以下このような調整を交互に繰り返す。こ
のように調整を交互に繰り返すことによって、次第に収
斂し最終的に理想特性に合わせ込むことが可能となる。
このようにして、本発明によれば、可変抵抗を入れたセ
ンサ検出回路によって理想値にまで下げるようにし、逆
に、濃度の高い領域で上方に合わせてやるようにするこ
とによって、合成特性を点線Ｃのように濃度の高い領域
でＢ特性を濃度の低い領域でＡ特性を有する特性にする
ことができる。このようにすることによって、ＣＰＵを
使わなくても、安価なセンサ特性調整回路が構成でき
る。なお、酸素濃度センサ特性および回路定数のバラツ
キが理想特性の許容差以内であれば、各調整抵抗を固定
抵抗に変更することは可能である。
のように調整を交互に繰り返すことによって、次第に収
斂し最終的に理想特性に合わせ込むことが可能となる。
このようにして、本発明によれば、可変抵抗を入れたセ
ンサ検出回路によって理想値にまで下げるようにし、逆
に、濃度の高い領域で上方に合わせてやるようにするこ
とによって、合成特性を点線Ｃのように濃度の高い領域
でＢ特性を濃度の低い領域でＡ特性を有する特性にする
ことができる。このようにすることによって、ＣＰＵを
使わなくても、安価なセンサ特性調整回路が構成でき
る。なお、酸素濃度センサ特性および回路定数のバラツ
キが理想特性の許容差以内であれば、各調整抵抗を固定
抵抗に変更することは可能である。
【００１３】図２には、本発明の第２実施例であるセン
サ特性調整回路２が示されている。図２が図１と異なる
点は、酸素濃度センサに印加する電源部分をオペアンプ
ＯＰ１と調整抵抗ＶＲ１で構成し、酸素濃度センサに印
加する適正な電圧をより安定的に調整できるようにして
いる点である。図２において、酸素濃度センサに印加す
る電圧を適正な値に調整する前記調整抵抗ＶＲ１と、図
１と同じく調整点１の濃度時に理想点に調整する調整抵
抗ＶＲ２と、調整点２の値をアンプのゲイン調整を行う
調整抵抗ＶＲ３を用いている。酸素濃度センサには濃度
に応じたセンサ出力電流Ｉが流れ、このセンサ出力電流
Ｉによって合成抵抗（Ｒ１＋ＶＲ２）の両端にセンサ出
力電圧Ｖ１が発生する。調整点１の低濃度の時に理想特
性上のＡにＶＲ２を調整し、調整点２での高濃度の時に
特性ＢにＶＲ３を調整する。ＶＲ３を調整すると、若干
Ａも同時に変化するが、この調整を交互に繰り返すこと
によって、次第に収斂し最終的に理想特性に合わせ込む
ことが可能となる。なお、図１で説明したのと同様に、
酸素濃度センサ特性および回路定数のバラツキが理想特
性の許容差以内であれば、各調整抵抗を固定抵抗に変更
することは可能である。
サ特性調整回路２が示されている。図２が図１と異なる
点は、酸素濃度センサに印加する電源部分をオペアンプ
ＯＰ１と調整抵抗ＶＲ１で構成し、酸素濃度センサに印
加する適正な電圧をより安定的に調整できるようにして
いる点である。図２において、酸素濃度センサに印加す
る電圧を適正な値に調整する前記調整抵抗ＶＲ１と、図
１と同じく調整点１の濃度時に理想点に調整する調整抵
抗ＶＲ２と、調整点２の値をアンプのゲイン調整を行う
調整抵抗ＶＲ３を用いている。酸素濃度センサには濃度
に応じたセンサ出力電流Ｉが流れ、このセンサ出力電流
Ｉによって合成抵抗（Ｒ１＋ＶＲ２）の両端にセンサ出
力電圧Ｖ１が発生する。調整点１の低濃度の時に理想特
性上のＡにＶＲ２を調整し、調整点２での高濃度の時に
特性ＢにＶＲ３を調整する。ＶＲ３を調整すると、若干
Ａも同時に変化するが、この調整を交互に繰り返すこと
によって、次第に収斂し最終的に理想特性に合わせ込む
ことが可能となる。なお、図１で説明したのと同様に、
酸素濃度センサ特性および回路定数のバラツキが理想特
性の許容差以内であれば、各調整抵抗を固定抵抗に変更
することは可能である。
【００１４】
【発明の効果】以上、第１及び第２実施例について詳細
に説明したように、本発明によれば、可変抵抗を入れた
センサ検出回路によって理想値にまで下げるようにし、
逆に、濃度の高い領域で上方に合わせてやるようにする
ことによって、合成特性を点線Ｃのように濃度の高い領
域でＢ特性を濃度の低い領域でＡ特性を有する特性にす
ることができる。このようにすることによって、ＣＰＵ
を使わなくても、安価なセンサ特性調整回路が構成でき
る。
に説明したように、本発明によれば、可変抵抗を入れた
センサ検出回路によって理想値にまで下げるようにし、
逆に、濃度の高い領域で上方に合わせてやるようにする
ことによって、合成特性を点線Ｃのように濃度の高い領
域でＢ特性を濃度の低い領域でＡ特性を有する特性にす
ることができる。このようにすることによって、ＣＰＵ
を使わなくても、安価なセンサ特性調整回路が構成でき
る。
【図１】本発明の第１実施例の濃度センサ特性調整回路
【図２】本発明の第２実施例の濃度センサ特性調整回路
【図３】本発明によるセンサ特性調整回路の出力電流−
濃度特性図、
濃度特性図、
【図４】酸素濃度センサの出力電流−濃度特性図、
【図５】直接挿入型の限界電流型酸素濃度計の分解斜視
図、
図、
【図６】酸素濃度センサの分解斜視図、
１ ： 本発明第１実施例の酸素濃度センサ特性調
整回路 ２ ： 本発明第２実施例の酸素濃度センサ特性調
整回路 ＶＲ１ ： センサ電圧調整抵抗 ＶＲ２ ： 低濃度補正抵抗 ＶＲ３ ： ゲイン調整抵抗 ＯＰ１ ： オペアンプ ＯＰ２ ： オペアンプ Ｒ１ ： センサ負荷抵抗 Ｉ ： センサ出力電流 Ｖ０ ： センサ印加電圧 Ｖ１ ： センサ出力電圧＝Ｉ×（Ｒ１＋Ｒ２） Ｖ２ ： ＶＲ２による調整電圧 Ｖ３ ： 濃度出力電圧 ５ ： 限界電流型酸素センサアッシー ５１ ： ステンキャップ ５２ ： 円筒状のステンパイプ ５３ 耐熱ゴムキャップ ５４ ： 耐熱ケーブル ５５ ： ヒータ ６ ： 酸素濃度センサチップ ６１ ： 多孔質セラミック基板 ６２ ： カソード電極 ６３ ： ジルコニア固体電解質 ６４ ： プレート電極 ６５ ： ヒータ ６２Ａ ： 接続端子 ６４Ａ ： 接続端子 ６５Ａ ： 接続端子
整回路 ２ ： 本発明第２実施例の酸素濃度センサ特性調
整回路 ＶＲ１ ： センサ電圧調整抵抗 ＶＲ２ ： 低濃度補正抵抗 ＶＲ３ ： ゲイン調整抵抗 ＯＰ１ ： オペアンプ ＯＰ２ ： オペアンプ Ｒ１ ： センサ負荷抵抗 Ｉ ： センサ出力電流 Ｖ０ ： センサ印加電圧 Ｖ１ ： センサ出力電圧＝Ｉ×（Ｒ１＋Ｒ２） Ｖ２ ： ＶＲ２による調整電圧 Ｖ３ ： 濃度出力電圧 ５ ： 限界電流型酸素センサアッシー ５１ ： ステンキャップ ５２ ： 円筒状のステンパイプ ５３ 耐熱ゴムキャップ ５４ ： 耐熱ケーブル ５５ ： ヒータ ６ ： 酸素濃度センサチップ ６１ ： 多孔質セラミック基板 ６２ ： カソード電極 ６３ ： ジルコニア固体電解質 ６４ ： プレート電極 ６５ ： ヒータ ６２Ａ ： 接続端子 ６４Ａ ： 接続端子 ６５Ａ ： 接続端子
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 27/41 G01N 27/409 G01N 27/12
Claims (3)
- 【請求項１】限界電流式酸素濃度計のセンサ検出抵抗の
出力信号を増幅器の入力信号として成る酸素濃度計のセ
ンサ回路における、該センサ検出抵抗を可変としかつ前
記増幅器の増幅率を可変とすることにより、低濃度域の
センサ特性と高濃度域のセンサ特性とをリニアにできる
ようにした限界電流式酸素濃度計のセンサ特性調整回
路。 - 【請求項２】請求項１記載の酸素濃度計のセンサ特性調
整回路において、前記増幅器をオペアンプで構成し、該
オペアンプに別の可変抵抗を介して負帰還をかけるよう
に構成したセンサ特性調整回路。 - 【請求項３】請求項２記載の酸素濃度計のセンサ特性調
整回路において、負帰還制御された別のオペアンプの出
力電圧をセンサ印加電圧とするとともに可変抵抗を介し
て請求項２記載のオペアンプの入力とするように構成し
たセンサ特性調整回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29989895A JP3308784B2 (ja) | 1995-11-17 | 1995-11-17 | 酸素濃度計のセンサ特性調整回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29989895A JP3308784B2 (ja) | 1995-11-17 | 1995-11-17 | 酸素濃度計のセンサ特性調整回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09145671A JPH09145671A (ja) | 1997-06-06 |
| JP3308784B2 true JP3308784B2 (ja) | 2002-07-29 |
Family
ID=17878274
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29989895A Expired - Fee Related JP3308784B2 (ja) | 1995-11-17 | 1995-11-17 | 酸素濃度計のセンサ特性調整回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3308784B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7802463B2 (en) | 2007-10-11 | 2010-09-28 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Sensor control device and air fuel ratio detecting apparatus |
| JP5091055B2 (ja) * | 2008-08-27 | 2012-12-05 | 日本特殊陶業株式会社 | ガス濃度検出装置、ガス濃度検出システム |
| JP5467775B2 (ja) * | 2009-01-29 | 2014-04-09 | 矢崎総業株式会社 | ガスセンサの性能評価方法 |
-
1995
- 1995-11-17 JP JP29989895A patent/JP3308784B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09145671A (ja) | 1997-06-06 |
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