JP3764800B2 - 加熱制御回路 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、酸素センサやNOxセンサ等の加熱型センサ用ヒータに用いられる加熱制御回路に関する。
【0002】
【従来の技術】
酸素センサやNOxセンサ等のセンシング部をヒータで加熱する型の加熱型センサにおいては、加熱用ヒータ自身の温度変動或は環境の温度変化によるヒータの温度変化によってもセンサの特性が変わってしまう。例えば、白金薄膜ヒータは、抵抗値が温度に対応して図1のT(温度)−R(抵抗)特性図のように変化している。
【0003】
加熱型センサの温度を高温値に保持させる従来のヒータ温度制御方法として、例えば特開昭60−114758号公報が提案されている。この方法は、センサの近傍に熱電対、サーミスタなど等の測温体を配置して環境温度を測定し、この結果を基にセンサ加熱用ヒータへの供給電圧を制御してセンサ温度を所定値に保持している。この場合、周囲温度を測定するのみの測温体を必要とし、更にセンサ自身の仕組みも複雑になり、コストアップに繋がる。
【0004】
図2及び図3は、本発明者によって平成8年10月22日に出願された特願平8−298267号に記載された加熱型センサ用ヒータ及びその加熱制御回路である。図2において、絶縁板2には、感知領域と位置合わせされた白金薄膜の主ヒータ30が固定され、この主ヒータ30の内側に白金薄膜の補助ヒータ32が配置されている。
【0005】
図3において、トランジスタ20は、コレクタが正電源電圧+Vcラインに接続され、エミッタがブリッジ回路18及び主ヒータ30を経て接地される。このブリッジ回路18は、第1抵抗12が接続点13で補助ヒータ32と直列接続され、第2抵抗14が接続点17を経て第3抵抗16及び可変抵抗34と直列接続される。
【0006】
これらの接続点13及び17は、演算増幅器24の各入力端に接続される。増幅器24は、出力端が保護抵抗22を経てトランジスタ20のベースに接続される。トランジスタ20のコレクタ・エミッタ間には、起動時に初期電圧をブリッジ回路18に供給する抵抗36が接続される。
【0007】
図3において、増幅器24は、接続点13及び17の電位e1及びe2が等しくなるように、トランジスタ20を制御して、補助ヒータ32の温度を所定値に保持する。
【0008】
例えば、補助ヒータ32が所定温度より低い時には、e1<e2で増幅器24の出力が上昇して、主ヒータ30及び補助ヒータ32がより加熱される。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
図2において、主ヒータ及び補助ヒータが配置された絶縁板の電気的絶縁性が劣化すると、主ヒータ及び補助ヒータ間に生ずる電位差によって漏洩電流が流れる。従って、従来の加熱制御回路は構成が簡単ではあるが、この漏洩電流によってe1の電位が上昇してしまい、補助ヒータ32の温度は所定値より低下してしまう問題がある。
【0010】
本発明は前述の問題に鑑み、絶縁基板の電気的絶縁性が劣化しても漏洩電流が発生しない、主ヒータが設定値温度を保持できる信頼性の高い加熱型センサ用ヒータを実現することができる加熱制御回路を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明による加熱制御回路は、第1及び第2発熱部を含む主ヒータと、この主ヒータに並列接続されると共に補助ヒータを含むブリッジ回路と、このブリッジ回路の出力に基いて同ブリッジ回路及び前記主ヒータへの供給電圧を制御する増幅器とを備える。
【0012】
前記ブリッジ回路は、残りの三辺に第1抵抗、第2抵抗及び第3抵抗を含み、前記増幅器は、前記第1抵抗及び前記補助ヒータの第1接続点に反転入力端が接続され、前記第2抵抗及び第3抵抗の第2接続点に非反転入力端が接続され、出力端が例えば電圧フォロアを経由して前記主ヒータ及び前記ブリッジ回路に接続され、前記ブリッジ回路が起動抵抗によって初期的に給電される。
【0013】
【実施例】
以下に、本発明の実施例を図面を参照して説明する。図4は、本発明による加熱型センサ用ヒータの一実施例を示す平面図である。図4において、図1に示す部品と類似するものには同じ符号を付してある。熱伝導性ジルコニア基板2の表側には高温に加熱されるガス感知部(図示略)が形成され、両端に2つの電極(図示略)が形成されている。
【0014】
この基板2の裏面には、感知領域と位置合わせされた白金薄膜の主ヒータ30が配置されている。この主ヒータ30は、負荷端S及び接地端GNDが同一側又は角に形成されるように、中間点31まで対に敷設される第1発熱部30a及び第2発熱部30bを含む。この場合、第1発熱部30a及び第2発熱部30bは、単位面積当たりの抵抗値の抵抗分布が同一で、同じ長さであるので、抵抗値が同一であると仮定している。この第1発熱部30aの内側には、白金薄膜の補助ヒータ32が配置される。
【0015】
従って、ジルコニア基板2上の第2発熱部30b及び補助ヒータ32の間には、第1発熱部30aが隣接配置されている。補助ヒータ32の各部の電位が第1発熱部30aの隣接する部位の電位と等しくなるようにすれば、漏洩電流の影響が補助ヒータ32に及ばなくなる。従って、第1抵抗12の抵抗値は、所定設定温度での補助ヒータ32の抵抗値と略同じになるように設定される。
【0016】
図5は、本発明による加熱型センサ用ヒータの加熱制御回路の一実施例を示している。図5において、図3に示す部品と類似するものには同じ符号を付してあり、エミッタフォロア接続のトランジスタ20は、コレクタが正電源電圧+Vcラインに接続され、エミッタが並列接続のブリッジ回路18及び第1発熱部30a及び第2発熱部30bからなる主ヒータ30を経て接地される。第1発熱部30a及び第2発熱部30bは、同じ材質及び同じ長さになるように絶縁基板2に敷設される。
【0017】
ブリッジ回路18の内部抵抗は、主ヒータ30の抵抗より相当高いので、大半の電流が主ヒータ30に供給される。このブリッジ回路18は、直列接続の第1抵抗12及び可変抵抗34が接続点13で補助ヒータ32と直列接続され、第2抵抗14が接続点17を経て第3抵抗16と直列接続される。第2抵抗14及び第3抵抗16は、抵抗値の比率が第2発熱部30b及び第1発熱部30aのそれと等しくなるように設定されている。また、可変抵抗34は、所定の設定温度を決定するために調整される。
【0018】
これらの接続点13及び17は、演算増幅器24の反転及び非反転入力端に各々接続される。この増幅器24は、出力端が保護抵抗22を経てトランジスタ20のベースに接続される。また、トランジスタ20のコレクタ・エミッタ間には、起動時に初期電圧をブリッジ回路18に供給するプルアップ抵抗36が接続される。
【0019】
本発明による加熱制御回路の基本動作は次の通りである。電源投入時には、ブリッジ回路18に不平衡出力電圧が発生しないので、例えば1ボルトの起動用の電圧が抵抗36を経由してブリッジ回路18に供給される。この起動抵抗36は、定常時に第1発熱部30a及び第2発熱部30bからなる主ヒータ30への電流が主にエミッタフォロア20から供給されるので、かなり高い抵抗値が用いられ、その消費電力が殆ど無視できる。
【0020】
また、主ヒータ30及び補助ヒータ32の抵抗値は各々未通電時に低く、通電すると徐々に高くなって例えば400度Cに目標抵抗値に到達する。従って、増幅器24及びエミッタフォロア20は、補助ヒータ32の抵抗値の上昇に起因するブリッジ回路18の不平衡出力電圧によって、供給電圧を上昇させ、平衡供給電圧に到達させる。即ち、増幅器24は、接続点13及び17の電位e4及びe5が等しくなるように、第1トランジスタ20を制御して、補助ヒータ32の温度を所定値に維持する。
【0021】
従って、補助ヒータ32の温度が所定温度より低い時には、e4<e5で増幅器24の出力が上昇する。従って、トランジスタ20を経由して主ヒータ30及び補助ヒータ32への供給電圧が上昇される。補助ヒータ32の温度が所定温度より高い時には、e4>e5で増幅器24の出力は下降する。従って、主ヒータ30及び補助ヒータ32への供給電圧が減少する。勿論大半の電流は主ヒータ30を流れて、主ヒータ30が主に発熱している。
【0022】
可変抵抗34は補助ヒータ32の温度を所望値に調整するポテンショメータ又は可変抵抗器である。仮に、ジルコニア基板の絶縁性が劣化して、第1発熱部30aの電位分布は、補助ヒータの電位分布と同一であるので、漏洩電流が生ぜず、補助ヒータ32に影響しない。即ち、ヒータ温度は変動しない。また、抵抗36はトランジスタ20がオフした際e4、e5が共にゼロ電位にならないようにするためのプルアップ抵抗である。
【0023】
図5の回路において、主及び補助ヒータの目標温度は、(第1抵抗12+可変抵抗34)対補助ヒータの抵抗値比率が第2抵抗14対第3抵抗16の抵抗値比率と等しくなるように設定され、第2抵抗14対第3抵抗16の抵抗値比率が第2発熱部30b対第1発熱部30aのそれと等しくなるように設定されている。従って、ヒータ基板の絶縁性劣化に伴う漏洩電流が発生しない。
【0024】
従って、補助ヒータ32が例えば400度Cになった時には、目標供給電圧が第1発熱部30a及び第2発熱部30bからなる主ヒータ30にも供給され、同時に主ヒータ30も400度Cになっている。主ヒータ30の温度変化は、補助ヒータ32にも伝わり、この温度変化を元に戻すように供給電圧を増減させて、目標の温度に戻させる。また目標の温度は、例えばガス感知部との間に介挿される基板又は膜の熱抵抗による損失を考慮して410度Cに加熱制御されてもよい。
【0025】
この絶縁板は、感知部の支持板として用いられる窒化アルミニウム、シリコンカーバイド等の熱伝導率が金属に近いセラミック基板、二酸化シリコン層、或は断熱支持体にプリント配線された略長方形又は楕円の断面形状を有する線形又は蛇行ヒータ上に形成される蒸着膜或は塗布膜である。勿論トランジスタは、バイポーラ型の他にMOSFETが用いられてもよい。
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の加熱制御回路は、ジルコニア等のヒータ基板の電気的絶縁性が劣化しても、漏洩電流が発生せず、従来のようにヒータ温度が変動することのない加熱型センサ用ヒータを実現することができる。
【0027】
また、従来のブリッジ型加熱制御回路に比べて、第2抵抗及び第3抵抗の値を高く設定でき、その比を約1:1にできるため、第1発熱部30a及び第2発熱部30bからなる主ヒータの温度変化による出力電圧の変化を大きくできて、より正確な温度制御が可能となる。また、加熱制御回路内の温度上昇も抑えられ、更に所定温度への収束時間が短縮される。勿論、この比率は、発熱部の抵抗値の比率に対応して変えることができる。
【0028】
また、感知部及びヒータ間の基板又は膜の熱伝導率が金属に近く一定である。このため、周囲温度の変化によるガス感知部又はヒータの温度変化が補償され、ガス感知部の感度特性が安定する。補助ヒータは主に温度の感知作用を受け持つ。主ヒータは、ブリッジ回路が平衡するように感知部を加熱する。第1発熱部の電位分布が補助ヒータのそれと略同一になるので、第1発熱部から漏洩電流が発生せず、正確、且つ迅速な温度制御が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 白金薄膜ヒータの温度(T)−抵抗(R)特性図である。
【図2】 従来の加熱型センサ用ヒータの平面図である。
【図3】 従来のブリッジ型加熱制御回路図である。
【図4】 本発明による加熱型センサ用ヒータの平面図である。
【図5】 本発明による加熱制御回路の実施例を示す回路図である。
【符号の説明】
2 絶縁板
18 ブリッジ回路
20 電圧フォロア
24 増幅器
30 主ヒータ
30a 第1発熱部
30b 第2発熱部
32 補助ヒータ
Claims (4)
- 第1及び第2発熱部を含む主ヒータと、
この主ヒータに並列接続されると共に補助ヒータを含むブリッジ回路と、
このブリッジ回路の出力に基いて同ブリッジ回路及び前記主ヒータへの供給電圧を制御する増幅器とを備えた加熱制御回路。 - 前記ブリッジ回路は、残りの三辺に第1抵抗、第2抵抗及び第3抵抗を含み、前記増幅器は、前記第1抵抗及び前記補助ヒータの第1接続点に反転入力端が接続され、前記第2抵抗及び第3抵抗の第2接続点に非反転入力端が接続され、出力端が前記主ヒータ及び前記ブリッジ回路に接続されることを特徴とする請求項1に記載の加熱制御回路。
- 前記第2抵抗及び第3抵抗は、抵抗値の比率が前記第2及び第1発熱部のそれと等しくなるように設定される請求項2に記載の加熱制御回路。
- 前記ブリッジ回路は、起動抵抗によって初期給電される請求項1に記載の加熱制御回路。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15000797A JP3764800B2 (ja) | 1997-05-23 | 1997-05-23 | 加熱制御回路 |
| US09/081,959 US6270638B1 (en) | 1997-05-23 | 1998-05-19 | Pyro-sensor and pyro-control circuit |
| EP98304058A EP0880024A1 (en) | 1997-05-23 | 1998-05-21 | Pyro-sensor and pyro-control circuit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15000797A JP3764800B2 (ja) | 1997-05-23 | 1997-05-23 | 加熱制御回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10325823A JPH10325823A (ja) | 1998-12-08 |
| JP3764800B2 true JP3764800B2 (ja) | 2006-04-12 |
Family
ID=15487444
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15000797A Expired - Fee Related JP3764800B2 (ja) | 1997-05-23 | 1997-05-23 | 加熱制御回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3764800B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1790979A1 (en) * | 2005-11-24 | 2007-05-30 | Consultatie Implementatie Technisch Beheer B.V. | Electronic chemical trace detector |
| JP4621186B2 (ja) * | 2006-09-22 | 2011-01-26 | 日本特殊陶業株式会社 | センサ用ヒータおよびセンサ |
-
1997
- 1997-05-23 JP JP15000797A patent/JP3764800B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10325823A (ja) | 1998-12-08 |
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