JP3303506B2 - 光学式変位測定装置 - Google Patents
光学式変位測定装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、回折格子が形成された
回転、移動する物体に光を照射した際に発生する回折光
を干渉させ、その干渉光束が変調されることを利用し
て、回転速度、移動変位などの物理量を測定する光学式
変位測定装置に関するものである。
回転、移動する物体に光を照射した際に発生する回折光
を干渉させ、その干渉光束が変調されることを利用し
て、回転速度、移動変位などの物理量を測定する光学式
変位測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の光学式変位測定装置とし
ては、たとえば光学式リニアエンコーダ，光学式ロータ
リエンコーダ，レーザドップラー速度計，レーザ干渉計
などが利用されている。そして、これらの光学式変位測
定装置は、より広い分野に応用されるために、小型化
（ミリオーダのサイズ）、高精度、高分解能（０．１μ
ｍオーダ）、高安定性が必要になってきている。ミリオ
ーダのサイズになれば、測定される対象物体に直接貼り
付けて使用できるので、より小型な物体の物理量を測定
することができるようになる。
ては、たとえば光学式リニアエンコーダ，光学式ロータ
リエンコーダ，レーザドップラー速度計，レーザ干渉計
などが利用されている。そして、これらの光学式変位測
定装置は、より広い分野に応用されるために、小型化
（ミリオーダのサイズ）、高精度、高分解能（０．１μ
ｍオーダ）、高安定性が必要になってきている。ミリオ
ーダのサイズになれば、測定される対象物体に直接貼り
付けて使用できるので、より小型な物体の物理量を測定
することができるようになる。
【０００３】図２７は例えば特開平５−１５７５８３号
公報に示された従来の光学式ロータリーエンコーダを示
す斜視図であり、図１０において、１０１は半導体レー
ザなどの光源、１０２はレンズ、１０３はビームスプリ
ッタ、１０４はビームスプリッタ１０３を透過したビー
ムが直角に入射する位置の回転軌跡上に放射状に、かつ
一定間隔毎に回折格子１０５が形成された回転ディスク
板、１０６は回折格子１０５から反射し、かつビームス
プリッタ１０３から反射したビームを集光する集光レン
ズ、１０７は集光レンズ１０６からのビームを反射させ
て上記回転ディスク板１０４の回折格子１０５上に直角
に入射するビームスプリッタ、１０８は回折格子１０５
から反射しビームスプリッタ１０７を透過したビームを
反射させるミラー、１０９はミラー１０８の反射ビーム
を受光素子１１０へ導くビームスプリッタである。
公報に示された従来の光学式ロータリーエンコーダを示
す斜視図であり、図１０において、１０１は半導体レー
ザなどの光源、１０２はレンズ、１０３はビームスプリ
ッタ、１０４はビームスプリッタ１０３を透過したビー
ムが直角に入射する位置の回転軌跡上に放射状に、かつ
一定間隔毎に回折格子１０５が形成された回転ディスク
板、１０６は回折格子１０５から反射し、かつビームス
プリッタ１０３から反射したビームを集光する集光レン
ズ、１０７は集光レンズ１０６からのビームを反射させ
て上記回転ディスク板１０４の回折格子１０５上に直角
に入射するビームスプリッタ、１０８は回折格子１０５
から反射しビームスプリッタ１０７を透過したビームを
反射させるミラー、１０９はミラー１０８の反射ビーム
を受光素子１１０へ導くビームスプリッタである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例では、 ディスクの取付け偏心によって測定精度が悪化しやす
く、それを回避するための光学系を必要とし、構成が複
雑になりやすい。 光の位相変調手段としての回折格子が、回転ディスク
板上に放射状に形成されているため、回折格子に照射す
る位置が半径方向にずれると、回折格子ピッチが変化
し、干渉光学系の光路がズレて、安定化しにくい。 回転角とその方向を測定しようとしたとき、光学系が
複雑になり、小型化、安定化しにくい。 ２方向以上の変位量と変位方向を測定しようとしたと
き、１方向につき１つのエンコーダとそれを含めた機構
が必要になり、その機構が大型化をし、小型化が困難に
なる。などの問題点があった。
来例では、 ディスクの取付け偏心によって測定精度が悪化しやす
く、それを回避するための光学系を必要とし、構成が複
雑になりやすい。 光の位相変調手段としての回折格子が、回転ディスク
板上に放射状に形成されているため、回折格子に照射す
る位置が半径方向にずれると、回折格子ピッチが変化
し、干渉光学系の光路がズレて、安定化しにくい。 回転角とその方向を測定しようとしたとき、光学系が
複雑になり、小型化、安定化しにくい。 ２方向以上の変位量と変位方向を測定しようとしたと
き、１方向につき１つのエンコーダとそれを含めた機構
が必要になり、その機構が大型化をし、小型化が困難に
なる。などの問題点があった。
【０００５】本発明は上記のような問題点を解消した光
学式変位測定装置を得ることを目的とする。
学式変位測定装置を得ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係る光
学式変位測定装置は発光素子と受光素子および光束を該
受光素子に入射させ回折格子が設けられたヘッド部と、
光束を位相変調させる回折格子が設けられた回転部とを
有する光学式変位測定装置において、前記回転部に設け
られた回折格子は多重螺旋で形成され、その多重螺旋格
子に対応して複数に分割され、格子の配列方向に任意の
距離だけ分離された前記ヘッド部に設けられた回折格子
に対応する出力信号同士を用いて変位方向を決定し、回
転変位信号を出力する信号処理手段を具備したことによ
り、回転角と回転方向を測定可能にし、回転体の偏心に
よる影響を受けない簡単な光学系を構成することができ
る。
学式変位測定装置は発光素子と受光素子および光束を該
受光素子に入射させ回折格子が設けられたヘッド部と、
光束を位相変調させる回折格子が設けられた回転部とを
有する光学式変位測定装置において、前記回転部に設け
られた回折格子は多重螺旋で形成され、その多重螺旋格
子に対応して複数に分割され、格子の配列方向に任意の
距離だけ分離された前記ヘッド部に設けられた回折格子
に対応する出力信号同士を用いて変位方向を決定し、回
転変位信号を出力する信号処理手段を具備したことによ
り、回転角と回転方向を測定可能にし、回転体の偏心に
よる影響を受けない簡単な光学系を構成することができ
る。
【０００７】請求項２の発明に係る光学式変位測定装置
は発光素子から出射された光束を分割する第１の回折格
子、この分割された光束を合成する第３の回折格子、こ
の合成された干渉信号光束を受光する複数個の受光素子
が設けられたヘッド部と、光束を位相変調させる第２の
回折格子が設けられた回転部とを有する光学式変位測定
装置において、前記第２の回折格子は互いに配列方向が
異なる分離独立した複数の多重螺旋に形成され、その第
２の回折格子に対応して複数に分割され、格子の配列方
向に任意の距離だけ分離された前記第３の回折格子に対
応する出力信号同士を用いて変位方向を決定し、回転変
位信号を出力する信号処理手段を具備したことにより、
軸方向のズレの影響を軽減し、出力を安定化させること
ができる。
は発光素子から出射された光束を分割する第１の回折格
子、この分割された光束を合成する第３の回折格子、こ
の合成された干渉信号光束を受光する複数個の受光素子
が設けられたヘッド部と、光束を位相変調させる第２の
回折格子が設けられた回転部とを有する光学式変位測定
装置において、前記第２の回折格子は互いに配列方向が
異なる分離独立した複数の多重螺旋に形成され、その第
２の回折格子に対応して複数に分割され、格子の配列方
向に任意の距離だけ分離された前記第３の回折格子に対
応する出力信号同士を用いて変位方向を決定し、回転変
位信号を出力する信号処理手段を具備したことにより、
軸方向のズレの影響を軽減し、出力を安定化させること
ができる。
【０００８】請求項３の発明に係る光学式変位測定装置
は発光素子と受光素子および光束を該受光素子に入射さ
せ回折格子が設けられたヘッド部と、光束を位相変調さ
せる回折格子が設けられた回転部とを有する光学式変位
測定装置において、前記回転部に設けられた回折格子
は、互いに配列方向が異なる複数個の多重螺旋で形成さ
れ、その多重螺旋の回折格子に対応して複数に分割さ
れ、格子の配列方向に任意の距離だけ分離された前記ヘ
ッド部に設けられた回折格子を介して前記螺旋格子によ
って変調された信号光をそれぞれ入射する受光素子と、
その各受光素子の出力信号同士を用いて、複数種類の変
位信号を出力する信号処理手段を具備したことにより、
複数種類の変位信号を安定に出力することができる。
は発光素子と受光素子および光束を該受光素子に入射さ
せ回折格子が設けられたヘッド部と、光束を位相変調さ
せる回折格子が設けられた回転部とを有する光学式変位
測定装置において、前記回転部に設けられた回折格子
は、互いに配列方向が異なる複数個の多重螺旋で形成さ
れ、その多重螺旋の回折格子に対応して複数に分割さ
れ、格子の配列方向に任意の距離だけ分離された前記ヘ
ッド部に設けられた回折格子を介して前記螺旋格子によ
って変調された信号光をそれぞれ入射する受光素子と、
その各受光素子の出力信号同士を用いて、複数種類の変
位信号を出力する信号処理手段を具備したことにより、
複数種類の変位信号を安定に出力することができる。
【０００９】請求項４の発明に係る光学式変位測定装置
は発光素子から出射された光束を分割する第１の回折格
子と、この分割された光束を合成する第３の回折格子、
この合成された干渉信号光束を受光する複数個の受光素
子が設けられたヘッド部と、光束を位相変調させる第２
の回折格子が設けられた回転部とを有する光学式変位測
定装置において、前記第２の回折格子は互いに配列方向
が異なる複数の多重螺旋を交差させて形成し、この第２
の回折格子に対応して複数に分割され、格子の配列方向
に任意の距離だけ分離された前記第３の回折格子によっ
て変調された信号光をそれぞれ入射する受光素子と、そ
の各受光素子の出力信号同士を用いて、複数種類の変位
信号を出力する信号処理手段を具備したことにより、測
定精度を高く保ちながらミリサイズの小型化で、組み込
み時の誤差の影響を受けにくく、複数のモードの変位測
定ができる。
は発光素子から出射された光束を分割する第１の回折格
子と、この分割された光束を合成する第３の回折格子、
この合成された干渉信号光束を受光する複数個の受光素
子が設けられたヘッド部と、光束を位相変調させる第２
の回折格子が設けられた回転部とを有する光学式変位測
定装置において、前記第２の回折格子は互いに配列方向
が異なる複数の多重螺旋を交差させて形成し、この第２
の回折格子に対応して複数に分割され、格子の配列方向
に任意の距離だけ分離された前記第３の回折格子によっ
て変調された信号光をそれぞれ入射する受光素子と、そ
の各受光素子の出力信号同士を用いて、複数種類の変位
信号を出力する信号処理手段を具備したことにより、測
定精度を高く保ちながらミリサイズの小型化で、組み込
み時の誤差の影響を受けにくく、複数のモードの変位測
定ができる。
【００１０】
実施例１．図１は本発明による光学式変位測定装置の実
施例１を示す斜視図、図２がその光路を示した上面図、
図３はその側面図、図４はヘッド部の回折格子の配置を
示した図、図５，図６は回転部に設けられた回折格子を
構成する図、図７は出力信号の処理回路図である。
施例１を示す斜視図、図２がその光路を示した上面図、
図３はその側面図、図４はヘッド部の回折格子の配置を
示した図、図５，図６は回転部に設けられた回折格子を
構成する図、図７は出力信号の処理回路図である。
【００１１】図１乃至図７において、１は発光素子、２
はヘッド部、３ａ，３ｂは受光素子、Ｇ１は発光光束を
分割するための第１の回折格子、Ｇ２は分割された光束
を位相変調するため回転部としての円筒５の表面に多重
螺旋状に形成された第２の回折格子（以下、円筒多重螺
旋格子と称す）、Ｇ３ａ，Ｇ３ｂは回折格子の配列方向
に４分の１ピッチだけずらして配置され光束を合成する
ための回折格子、４はコリメータレンズである。
はヘッド部、３ａ，３ｂは受光素子、Ｇ１は発光光束を
分割するための第１の回折格子、Ｇ２は分割された光束
を位相変調するため回転部としての円筒５の表面に多重
螺旋状に形成された第２の回折格子（以下、円筒多重螺
旋格子と称す）、Ｇ３ａ，Ｇ３ｂは回折格子の配列方向
に４分の１ピッチだけずらして配置され光束を合成する
ための回折格子、４はコリメータレンズである。
【００１２】上記円筒多重螺旋格子Ｇ２の螺旋の詳しい
形状を以下に説明する。点Ｏを中心とし、点ｑを出発点
として半径ｒの円筒形の表面の螺旋曲線の位置ベクトル
ｒVは、ｉ，ｊ，ｋをそれぞれｘ，ｙ，ｚ軸方向の単位
ベクトルとし、θを出発点ｑからのｘ−ｙ平面内の角度
とし、ｆ（θ）を角度θの１次関数とすると、 ｒV ＝ｒＣｏｓ（θ）ｉ＋ｒＳｉｎ（θ）ｊ＋ｆ（θ）
ｋ となる。
形状を以下に説明する。点Ｏを中心とし、点ｑを出発点
として半径ｒの円筒形の表面の螺旋曲線の位置ベクトル
ｒVは、ｉ，ｊ，ｋをそれぞれｘ，ｙ，ｚ軸方向の単位
ベクトルとし、θを出発点ｑからのｘ−ｙ平面内の角度
とし、ｆ（θ）を角度θの１次関数とすると、 ｒV ＝ｒＣｏｓ（θ）ｉ＋ｒＳｉｎ（θ）ｊ＋ｆ（θ）
ｋ となる。
【００１３】上記方程式の軌跡は、円筒が一回転するご
とにｚ方向にｆ（θ）だけずれることになる（図６）。
この間にｎ本の螺旋格子が入るとすると、そのｍ番目の
螺旋曲線の位置ベクトルｒVmは、Ｐを螺旋格子間のピッ
チとし、ｚm をｒVmの始まりのｚ方向の位置とすると、 ｒVm＝ｒＣｏｓ（θ）ｉ＋ｒＳｉｎ（θ）ｊ＋（ｎＰ′
θ／（２π）＋ｚｍ）ｋ ただし、Ｐ′＝Ｐ／（１−（ｎＰ／（２πｒ））2 ）
1/2 ・・・・（ａ） となる。
とにｚ方向にｆ（θ）だけずれることになる（図６）。
この間にｎ本の螺旋格子が入るとすると、そのｍ番目の
螺旋曲線の位置ベクトルｒVmは、Ｐを螺旋格子間のピッ
チとし、ｚm をｒVmの始まりのｚ方向の位置とすると、 ｒVm＝ｒＣｏｓ（θ）ｉ＋ｒＳｉｎ（θ）ｊ＋（ｎＰ′
θ／（２π）＋ｚｍ）ｋ ただし、Ｐ′＝Ｐ／（１−（ｎＰ／（２πｒ））2 ）
1/2 ・・・・（ａ） となる。
【００１４】上記円筒多重螺旋格子Ｇ２が一回転するご
とに見かけ上、ｎ本の螺旋格子が格子配列方向に移動し
た様に見えることになる。この結果、円筒多重螺旋格子
Ｇ２で反射回折された±１次回折光の位相は、±２πｎ
だけズレる。すなわち、角度θだけ回転したときの位相
ズレは±ｎθである。
とに見かけ上、ｎ本の螺旋格子が格子配列方向に移動し
た様に見えることになる。この結果、円筒多重螺旋格子
Ｇ２で反射回折された±１次回折光の位相は、±２πｎ
だけズレる。すなわち、角度θだけ回転したときの位相
ズレは±ｎθである。
【００１５】以下、本実施例１の原理を説明する。図３
において、発光素子１から射出した発散光束は、コリメ
ータレンズ４で略平行光にされ、回折格子Ｇ１にて透過
回折されて、０次回折光Ｒ0，＋１次回折光Ｒ+1 ，−
１次回折光Ｒ-1 に３分割されて射出する。
において、発光素子１から射出した発散光束は、コリメ
ータレンズ４で略平行光にされ、回折格子Ｇ１にて透過
回折されて、０次回折光Ｒ0，＋１次回折光Ｒ+1 ，−
１次回折光Ｒ-1 に３分割されて射出する。
【００１６】回折格子Ｇ１を直進した光束Ｒ0 は、円筒
多重螺旋格子Ｇ２の点Ｐ１にて反射回折されて、＋１次
回折光Ｒ0+1 ，−１次回折光Ｒ0-1 に分割し位相変調さ
れ、＋１次回折光Ｒ0+1 の位相は＋ｎθだけずれて、−
１次回折光Ｒ0-1 の位相は−ｎθだけずれる。但し、こ
こでｎは円筒多重螺旋格子Ｇ２の多重にしている格子の
本数、θは円筒多重螺旋格子Ｇ２の回転角（ラジアン）
とする。
多重螺旋格子Ｇ２の点Ｐ１にて反射回折されて、＋１次
回折光Ｒ0+1 ，−１次回折光Ｒ0-1 に分割し位相変調さ
れ、＋１次回折光Ｒ0+1 の位相は＋ｎθだけずれて、−
１次回折光Ｒ0-1 の位相は−ｎθだけずれる。但し、こ
こでｎは円筒多重螺旋格子Ｇ２の多重にしている格子の
本数、θは円筒多重螺旋格子Ｇ２の回転角（ラジアン）
とする。
【００１７】＋１次回折光Ｒ0+1 は２分割された回折格
子Ｇ３ａ，Ｇ３ｂにて透過回折されて、０次回折光Ｒ
0+10 ，−１次回折光Ｒ0+1-1 およびその他の光束の分
割され、このうち−１次回折光Ｒ0+1-1 は回折格子面と
垂直に取り出され、Ｇ３ａを透過回折した波面の位相は
＋ｎθであり、Ｇ３ｂを透過回折した波面の位相は＋ｎ
θ＋π／２である。
子Ｇ３ａ，Ｇ３ｂにて透過回折されて、０次回折光Ｒ
0+10 ，−１次回折光Ｒ0+1-1 およびその他の光束の分
割され、このうち−１次回折光Ｒ0+1-1 は回折格子面と
垂直に取り出され、Ｇ３ａを透過回折した波面の位相は
＋ｎθであり、Ｇ３ｂを透過回折した波面の位相は＋ｎ
θ＋π／２である。
【００１８】回折格子Ｇ１にて＋１次回折した光束Ｒ+1
は、円筒多重螺旋格子Ｇ２の点Ｐ２にて反射回折されて
−１次回折光Ｒ+1-1 ，０次回折光Ｒ+10 およびその他
の光束に分割され、それぞれ位相変調される。
は、円筒多重螺旋格子Ｇ２の点Ｐ２にて反射回折されて
−１次回折光Ｒ+1-1 ，０次回折光Ｒ+10 およびその他
の光束に分割され、それぞれ位相変調される。
【００１９】このうち−１次回折光Ｒ+1-1の位相は、−
ｎθだけずれて回折格子Ｇ３ａ，Ｇ３ｂに入射し、この
まま直進してＧ３ａを透過した０次回折光Ｒ+1-10 の波
面の位相は−ｎθであり、Ｇ３ｂを透過した０次回折光
Ｒ+1-10 の波面の位相も−ｎθである。
ｎθだけずれて回折格子Ｇ３ａ，Ｇ３ｂに入射し、この
まま直進してＧ３ａを透過した０次回折光Ｒ+1-10 の波
面の位相は−ｎθであり、Ｇ３ｂを透過した０次回折光
Ｒ+1-10 の波面の位相も−ｎθである。
【００２０】回折格子Ｇ３ａにて光路を重ね合わされた
光束Ｒ+1-10 と光束Ｒ0+1-1 は、干渉光となって受光素
子３ａに入射する。このときの干渉位相は、 ｛＋ｎθ｝−｛−ｎθ｝ ＝２ｎθ となり、円筒多重螺旋格子Ｇ２が１回転すると、２ｎ周
期の明暗信号Ａ１が発生する。
光束Ｒ+1-10 と光束Ｒ0+1-1 は、干渉光となって受光素
子３ａに入射する。このときの干渉位相は、 ｛＋ｎθ｝−｛−ｎθ｝ ＝２ｎθ となり、円筒多重螺旋格子Ｇ２が１回転すると、２ｎ周
期の明暗信号Ａ１が発生する。
【００２１】上記回折格子Ｇ３ｂにて光路を重ね合わさ
れた図示しない光束Ｒ-1+10 と光束Ｒ-1+1は、干渉光と
なって受光素子３ｂに入射する。このときの干渉位相
は、 ｛ｎθ＋π／２｝−｛−ｎθ｝ ＝２ｎθ＋π／２ となり、円筒多重螺旋格子Ｇ２が１回転すると２ｎ周期
の明暗信号Ｂ１が発生する。この２つの信号出力Ａ１，
Ｂ１に互いにπ／２だけ位相がずれた信号（２相信号）
となっており、図７に示す信号処理手段としての回転方
向判別手段兼用計数手段６に入力して計数することによ
り、円筒多重螺旋格子Ｇ２の回転方向が測定可能とな
る。
れた図示しない光束Ｒ-1+10 と光束Ｒ-1+1は、干渉光と
なって受光素子３ｂに入射する。このときの干渉位相
は、 ｛ｎθ＋π／２｝−｛−ｎθ｝ ＝２ｎθ＋π／２ となり、円筒多重螺旋格子Ｇ２が１回転すると２ｎ周期
の明暗信号Ｂ１が発生する。この２つの信号出力Ａ１，
Ｂ１に互いにπ／２だけ位相がずれた信号（２相信号）
となっており、図７に示す信号処理手段としての回転方
向判別手段兼用計数手段６に入力して計数することによ
り、円筒多重螺旋格子Ｇ２の回転方向が測定可能とな
る。
【００２２】上記実施例１は干渉光学系が非常にシンプ
ルな構成であり、ヘッド部が発光源、受光素子、レンズ
のみで出来ているため、部品点数が少なく、組立が簡単
となり、非常に小型化が可能である。また多重螺旋格子
は円筒表面に形成されていることにより、細型化、中空
化が可能である。この結果、非常に小型で取付け易い変
位測定装置を実現できる。
ルな構成であり、ヘッド部が発光源、受光素子、レンズ
のみで出来ているため、部品点数が少なく、組立が簡単
となり、非常に小型化が可能である。また多重螺旋格子
は円筒表面に形成されていることにより、細型化、中空
化が可能である。この結果、非常に小型で取付け易い変
位測定装置を実現できる。
【００２３】また、上記回転部は円筒状の表面に多重螺
旋格子を形成した構成であるため、この多重螺旋格子の
至る所で格子ピッチが一定で、回転部の偏心等の取付け
精度の影響を受けない。
旋格子を形成した構成であるため、この多重螺旋格子の
至る所で格子ピッチが一定で、回転部の偏心等の取付け
精度の影響を受けない。
【００２４】本実施例１は光束を分割する回折格子Ｇ
１、光束を位相変調する回折格子Ｇ２、光束を合成する
回折格子Ｇ３ａ，Ｇ３ｂによる３枚格子の光学系の構成
をとっているので、３枚の回折格子の内の１枚の回折格
子が格子の配列方向に１ピッチずれると、受光素子上で
２周期の明暗信号が生じる特性がある。この変位する多
重螺旋格子は本実施例の場合、円筒表面に螺旋上に形成
されているために、回転部がヘッド部と相対的に一回転
すると、ヘッド部の前面を見かけ上、ｎ本の格子が横切
ることになる。
１、光束を位相変調する回折格子Ｇ２、光束を合成する
回折格子Ｇ３ａ，Ｇ３ｂによる３枚格子の光学系の構成
をとっているので、３枚の回折格子の内の１枚の回折格
子が格子の配列方向に１ピッチずれると、受光素子上で
２周期の明暗信号が生じる特性がある。この変位する多
重螺旋格子は本実施例の場合、円筒表面に螺旋上に形成
されているために、回転部がヘッド部と相対的に一回転
すると、ヘッド部の前面を見かけ上、ｎ本の格子が横切
ることになる。
【００２５】さらにＭを整数とすると、回折格子Ｇ３
ａ，Ｇ３ｂが（Ｍ±１／４）Ｐだけ格子の配列方向にず
らして配置しているため、信号出力の位相がπ／２だけ
ずれた２相信号が得られ、円筒多重螺旋格子Ｇ２の回転
方向の測定が可能となる。
ａ，Ｇ３ｂが（Ｍ±１／４）Ｐだけ格子の配列方向にず
らして配置しているため、信号出力の位相がπ／２だけ
ずれた２相信号が得られ、円筒多重螺旋格子Ｇ２の回転
方向の測定が可能となる。
【００２６】実施例２．図８は本発明による光学式変位
測定装置の実施例を示す斜視図、図９はその光路を示し
た上面図、図１０はその側面図、図１１はヘッド部の回
折格子の配置を示した図、図１２は出力信号の処理回路
図である。前記図１から図７に示す実施例１と同一部分
には同一符号を付して重複説明を省略した図８から図１
２において、３ａ１，３ｂ１，３ａ２，３ｂ２は受光素
子、Ｇ３ａ１，Ｇ３ｂ１，Ｇ３ａ２，Ｇ３ｂ２は光束を
合成するための第３の回折格子Ｇ２ａ，Ｇ２ｂは第２の
回折格子であり、互いに配列方向が右回りと、左回りと
異なる複数の多重螺旋で分離独立して形成されている。
測定装置の実施例を示す斜視図、図９はその光路を示し
た上面図、図１０はその側面図、図１１はヘッド部の回
折格子の配置を示した図、図１２は出力信号の処理回路
図である。前記図１から図７に示す実施例１と同一部分
には同一符号を付して重複説明を省略した図８から図１
２において、３ａ１，３ｂ１，３ａ２，３ｂ２は受光素
子、Ｇ３ａ１，Ｇ３ｂ１，Ｇ３ａ２，Ｇ３ｂ２は光束を
合成するための第３の回折格子Ｇ２ａ，Ｇ２ｂは第２の
回折格子であり、互いに配列方向が右回りと、左回りと
異なる複数の多重螺旋で分離独立して形成されている。
【００２７】本実施例２で用いられる円筒多重螺旋格子
Ｇ２ａ，Ｇ２ｂの螺旋の詳しい形状を以下に記述する。
なお、Ｇ２ａとＧ２ｂは同一であるからＧ２ａについて
説明する。この円筒多重螺旋格子Ｇ２ａの基本的構成は
前記実施例１と同じであり、この円筒多重螺旋格子Ｇ２
ａが何らかの原因でｚ軸方向にΔｚだけズレたときの±
１次回折光の位相は以下の様になる。
Ｇ２ａ，Ｇ２ｂの螺旋の詳しい形状を以下に記述する。
なお、Ｇ２ａとＧ２ｂは同一であるからＧ２ａについて
説明する。この円筒多重螺旋格子Ｇ２ａの基本的構成は
前記実施例１と同じであり、この円筒多重螺旋格子Ｇ２
ａが何らかの原因でｚ軸方向にΔｚだけズレたときの±
１次回折光の位相は以下の様になる。
【００２８】円筒多重螺旋格子Ｇ２ａがΔｚだけズレる
と、Δｚ／Ｐ′本の格子が格子配列方向に移動したこと
になる。この円筒多重螺旋格子Ｇ２ａで反射回折された
±１次回折光の位相は（ａ）式のＰ′を用いると、 ±２πΔｚ／Ｐ′ となる。
と、Δｚ／Ｐ′本の格子が格子配列方向に移動したこと
になる。この円筒多重螺旋格子Ｇ２ａで反射回折された
±１次回折光の位相は（ａ）式のＰ′を用いると、 ±２πΔｚ／Ｐ′ となる。
【００２９】すなわち、円筒多重螺旋格子Ｇ２ａがθだ
け回転し、ｚ軸方向にΔｚだけのズレが生じたとき、円
筒多重螺旋格子Ｇ２ａで反射回折された±１次回折光の
位相は、 ±｛ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′｝ となる。
け回転し、ｚ軸方向にΔｚだけのズレが生じたとき、円
筒多重螺旋格子Ｇ２ａで反射回折された±１次回折光の
位相は、 ±｛ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′｝ となる。
【００３０】以下、本実施例２の原理を説明する。発光
素子１から射出した発散光束は、コリメータレンズ４で
略平行光にされ、回折格子Ｇ１上の点Ｏ１にて透過回折
されて、０次回折光Ｒ0 ，＋１次回折光Ｒ+1 ，−１次
回折光Ｒ-1に３分割されて射出する。
素子１から射出した発散光束は、コリメータレンズ４で
略平行光にされ、回折格子Ｇ１上の点Ｏ１にて透過回折
されて、０次回折光Ｒ0 ，＋１次回折光Ｒ+1 ，−１次
回折光Ｒ-1に３分割されて射出する。
【００３１】回折格子Ｇ１を直進した光束Ｒ0 は、円筒
多重螺旋格子Ｇ２ａ，Ｇ２ｂの境界点Ｐ１にて反射回折
され、＋１次回折光Ｒ0+1 ，−１次回折光Ｒ0-1 に分割
し位相変調され、＋１次回折光Ｒ0+1 の位相は＋ｎθ＋
２πΔｚ／Ｐ′だけずれて、−１次回折光Ｒ0-1 の位相
は−ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′だけずれる。但し、ここで、
ｎは円筒多重螺旋格子Ｇ２ａ，Ｇ２ｂの多重にしている
格子の本数、θは円筒多重螺旋格子Ｇ２の回転角（ラジ
アン）、Δｚは円筒多重螺旋格子Ｇ２ａ，Ｇ２ｂの回転
軸方向のズレ量（以下、ラストズレと称する）、Ｐは格
子のピッチ、Ｒは円筒多重螺旋格子Ｇ２ａ，Ｇ２ｂの半
径とする。
多重螺旋格子Ｇ２ａ，Ｇ２ｂの境界点Ｐ１にて反射回折
され、＋１次回折光Ｒ0+1 ，−１次回折光Ｒ0-1 に分割
し位相変調され、＋１次回折光Ｒ0+1 の位相は＋ｎθ＋
２πΔｚ／Ｐ′だけずれて、−１次回折光Ｒ0-1 の位相
は−ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′だけずれる。但し、ここで、
ｎは円筒多重螺旋格子Ｇ２ａ，Ｇ２ｂの多重にしている
格子の本数、θは円筒多重螺旋格子Ｇ２の回転角（ラジ
アン）、Δｚは円筒多重螺旋格子Ｇ２ａ，Ｇ２ｂの回転
軸方向のズレ量（以下、ラストズレと称する）、Ｐは格
子のピッチ、Ｒは円筒多重螺旋格子Ｇ２ａ，Ｇ２ｂの半
径とする。
【００３２】＋１次回折光Ｒ0+1 は回折格子Ｇ３ａ１，
Ｇ３ａ２にて透過回折されて、０次回折光Ｒ0+10 ，−
１次回折光Ｒ0+1-1 およびその他の光束の分割され、こ
のうち−１次回折光Ｒ0+1-1 は回折格子面と垂直に取り
出され、回折格子Ｇ３ａ１，Ｇ３ａ２が格子の配列方向
にＰ（Ｍ＋１／４）もしくはＰ（Ｍ＋３／４）だけずら
して配置されていれば（Ｍは整数）、回折格子Ｇ３ａ１
を透過回折された波面の位相は＋ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′
であり、回折格子Ｇ３ａ２を透過回折された波面の位相
は＋ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′＋π／２である。
Ｇ３ａ２にて透過回折されて、０次回折光Ｒ0+10 ，−
１次回折光Ｒ0+1-1 およびその他の光束の分割され、こ
のうち−１次回折光Ｒ0+1-1 は回折格子面と垂直に取り
出され、回折格子Ｇ３ａ１，Ｇ３ａ２が格子の配列方向
にＰ（Ｍ＋１／４）もしくはＰ（Ｍ＋３／４）だけずら
して配置されていれば（Ｍは整数）、回折格子Ｇ３ａ１
を透過回折された波面の位相は＋ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′
であり、回折格子Ｇ３ａ２を透過回折された波面の位相
は＋ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′＋π／２である。
【００３３】−１次回折光Ｒ0-1 は回折格子Ｇ３ｂ１，
Ｇ３ｂ２で透過回折されて、０次回折光Ｒ0-10 ，＋１
次回折光Ｒ0-1+1 およびその他の光束の分割され、この
うち＋１次回折光Ｒ0-1+1 は回折格子面と垂直に取り出
され、回折格子Ｇ３ｂ１，Ｇ３ｂ２が格子の配列方向に
Ｐ（Ｍ＋１／４）もしくはＰ（Ｍ＋３／４）だけずらし
て配置されて入れば（Ｍは整数）、回折格子Ｇ３ｂ１を
透過回折された波面の位相は−ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′で
あり、回折格子Ｇ３ｂ２を透過回折された波面の位相は
−ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′＋π／２である。
Ｇ３ｂ２で透過回折されて、０次回折光Ｒ0-10 ，＋１
次回折光Ｒ0-1+1 およびその他の光束の分割され、この
うち＋１次回折光Ｒ0-1+1 は回折格子面と垂直に取り出
され、回折格子Ｇ３ｂ１，Ｇ３ｂ２が格子の配列方向に
Ｐ（Ｍ＋１／４）もしくはＰ（Ｍ＋３／４）だけずらし
て配置されて入れば（Ｍは整数）、回折格子Ｇ３ｂ１を
透過回折された波面の位相は−ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′で
あり、回折格子Ｇ３ｂ２を透過回折された波面の位相は
−ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′＋π／２である。
【００３４】回折格子Ｇ１で＋１次回折した光束Ｒ
+1は、円筒多重螺旋格子Ｇ２ａの点Ｐ２で反射回折され
て−１次回折光Ｒ+1-1 ，０次回折光Ｒ+10 およびその
他の光束に分割され、それぞれ位相変調される。このう
ち−１次回折光Ｒ+1-1の位相は−ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′
だけずれて回折格子Ｇ３ａ１，Ｇ３ａ２に入射し、回折
格子Ｇ３ａ１，Ｇ３ａ２を直進した０次回折光Ｒ+1-10
の波面の位相はｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′である。
+1は、円筒多重螺旋格子Ｇ２ａの点Ｐ２で反射回折され
て−１次回折光Ｒ+1-1 ，０次回折光Ｒ+10 およびその
他の光束に分割され、それぞれ位相変調される。このう
ち−１次回折光Ｒ+1-1の位相は−ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′
だけずれて回折格子Ｇ３ａ１，Ｇ３ａ２に入射し、回折
格子Ｇ３ａ１，Ｇ３ａ２を直進した０次回折光Ｒ+1-10
の波面の位相はｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′である。
【００３５】回折格子Ｇ１で−１次回折した光束Ｒ
-1は、円筒多重螺旋格子Ｇ２ａの点Ｐ３で反射回折され
て、＋１次回折光Ｒ-1+1 ，０次回折光Ｒ-10 およびそ
の他の光束に分割され、それぞれ位相変調される。この
うち＋１次回折光Ｒ-1+1の位相は＋ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ
だけずれて回折格子Ｇ３ｂ１，Ｇ３ｂ２に入射し、Ｇ３
ｂ１，Ｇ３ｂ２を直進した０次回折光Ｒ+1-10 の波面の
位相は、＋ｎθ−２πΔｚ／Ｐ′である。
-1は、円筒多重螺旋格子Ｇ２ａの点Ｐ３で反射回折され
て、＋１次回折光Ｒ-1+1 ，０次回折光Ｒ-10 およびそ
の他の光束に分割され、それぞれ位相変調される。この
うち＋１次回折光Ｒ-1+1の位相は＋ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ
だけずれて回折格子Ｇ３ｂ１，Ｇ３ｂ２に入射し、Ｇ３
ｂ１，Ｇ３ｂ２を直進した０次回折光Ｒ+1-10 の波面の
位相は、＋ｎθ−２πΔｚ／Ｐ′である。
【００３６】回折格子Ｇ３ａ１で光路を重ね合わされた
光束Ｒ+1-10 と光束Ｒ0+1-1 は、干渉光となって受光素
子３ａ１に入射する。このときの干渉位相は、 ｛＋ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′｝−｛−ｎθ−２πΔｚ／Ｐ′｝ ＝２ｎθ＋４πΔｚ／Ｐ′ となる。
光束Ｒ+1-10 と光束Ｒ0+1-1 は、干渉光となって受光素
子３ａ１に入射する。このときの干渉位相は、 ｛＋ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′｝−｛−ｎθ−２πΔｚ／Ｐ′｝ ＝２ｎθ＋４πΔｚ／Ｐ′ となる。
【００３７】また回折格子Ｇ３ａ２で光路を重ね合わさ
れた光束Ｒ+1-10 と光束Ｒ0+1-1 は、干渉光となって受
光素子３ａ２に入射する。このときの干渉位相は、 ｛＋ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′＋π／２｝−｛−ｎθ−２πΔｚ／Ｐ′｝ ＝２ｎθ＋４πΔｚ／Ｐ′＋π／２ となり、回折格子Ｇ３ａ１で光路を合わされた光束とπ
／２だけ位相のずれた干渉位相が得られる。
れた光束Ｒ+1-10 と光束Ｒ0+1-1 は、干渉光となって受
光素子３ａ２に入射する。このときの干渉位相は、 ｛＋ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′＋π／２｝−｛−ｎθ−２πΔｚ／Ｐ′｝ ＝２ｎθ＋４πΔｚ／Ｐ′＋π／２ となり、回折格子Ｇ３ａ１で光路を合わされた光束とπ
／２だけ位相のずれた干渉位相が得られる。
【００３８】すなわち、円筒多重螺旋格子Ｇ２ａ，Ｇ２
ｂが１回転し、その間にスラストズレがΔｚだけ生じる
と、位相がπ／２だけずれた２相の明暗信号から回転方
向が判別可能な２ｎ＋２Δｚ／Ｐ′周期の明暗信号Ａ
１，Ａ２が受光素子３ａ１，３ａ２から発生する。
ｂが１回転し、その間にスラストズレがΔｚだけ生じる
と、位相がπ／２だけずれた２相の明暗信号から回転方
向が判別可能な２ｎ＋２Δｚ／Ｐ′周期の明暗信号Ａ
１，Ａ２が受光素子３ａ１，３ａ２から発生する。
【００３９】回折格子Ｇ３ｂ１で光路を重ね合わされた
光束Ｒ0-1+1 は、干渉光となって受光素子３ｂ１に入射
する。このときの干渉位相は、 ｛ｎθ−２πΔｚ／Ｐ′｝−｛−ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′｝ ＝２ｎθ−４πΔｚ／Ｐ′ となる。
光束Ｒ0-1+1 は、干渉光となって受光素子３ｂ１に入射
する。このときの干渉位相は、 ｛ｎθ−２πΔｚ／Ｐ′｝−｛−ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′｝ ＝２ｎθ−４πΔｚ／Ｐ′ となる。
【００４０】また、回折格子Ｇ３ｂ２で光路を重ね合わ
された光束Ｒ-1+10 と光束Ｒ0-1+1は、干渉光となって
受光素子３ｂ２に入射する。このときの干渉位相は、 ｛ｎθ−２πΔｚ／Ｐ′＋π／２｝−｛−ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′｝ ＝２ｎθ−４πΔｚ／Ｐ′＋π／２ となり、回折格子Ｇ３ｂ１で光路を合わされた光束とπ
／２だけ位相のずれた干渉位相が得られる。
された光束Ｒ-1+10 と光束Ｒ0-1+1は、干渉光となって
受光素子３ｂ２に入射する。このときの干渉位相は、 ｛ｎθ−２πΔｚ／Ｐ′＋π／２｝−｛−ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′｝ ＝２ｎθ−４πΔｚ／Ｐ′＋π／２ となり、回折格子Ｇ３ｂ１で光路を合わされた光束とπ
／２だけ位相のずれた干渉位相が得られる。
【００４１】したがって、円筒多重螺旋格子Ｇ２ａ，Ｇ
２ｂが１回転し、その間にスラストズレがΔｚだけ生じ
ると、位相がπ／２だけずれた２相の明暗信号から回転
方向が判別可能な２ｎ−２Δｚ／Ｐ′周期の明暗信号Ｂ
１，Ｂ２が受光素子３ｂ１，３ｂ２から発生する。
２ｂが１回転し、その間にスラストズレがΔｚだけ生じ
ると、位相がπ／２だけずれた２相の明暗信号から回転
方向が判別可能な２ｎ−２Δｚ／Ｐ′周期の明暗信号Ｂ
１，Ｂ２が受光素子３ｂ１，３ｂ２から発生する。
【００４２】上記の明暗信号Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２を
回転方向判別手段兼用計数手段６Ａ，６Ｂに入力し、デ
ィジタル出力に変換すると、円筒多重螺旋格子Ｇ２が１
回転し、スラストズレがΔｚとなるごとに上記出力信号
Ａ１，Ａ２によって、±（２ｎ＋２Δｚ／Ｐ′）パルス
の出力Ａ０が得られ、上記の出力信号Ｂ１，Ｂ２によっ
て、±（２ｎ−２Δｚ／Ｐ′）パルスの出力Ｂ０が得ら
れ、回転の方向により正負の符号がつく。上記の２つの
出力Ａ０，Ｂ０を上記手段６Ａ，６Ｂとで信号処理手段
１１を構成する算術手段７を入力し、その和を取ると （Ａ０）＋（Ｂ０）＝±４ｎ となり、スラストズレによらず、円筒多重螺旋格子Ｇ２
が１回転すると、４ｎパルスの信号が得られ、符号の正
負で回転の方向が識別できる。
回転方向判別手段兼用計数手段６Ａ，６Ｂに入力し、デ
ィジタル出力に変換すると、円筒多重螺旋格子Ｇ２が１
回転し、スラストズレがΔｚとなるごとに上記出力信号
Ａ１，Ａ２によって、±（２ｎ＋２Δｚ／Ｐ′）パルス
の出力Ａ０が得られ、上記の出力信号Ｂ１，Ｂ２によっ
て、±（２ｎ−２Δｚ／Ｐ′）パルスの出力Ｂ０が得ら
れ、回転の方向により正負の符号がつく。上記の２つの
出力Ａ０，Ｂ０を上記手段６Ａ，６Ｂとで信号処理手段
１１を構成する算術手段７を入力し、その和を取ると （Ａ０）＋（Ｂ０）＝±４ｎ となり、スラストズレによらず、円筒多重螺旋格子Ｇ２
が１回転すると、４ｎパルスの信号が得られ、符号の正
負で回転の方向が識別できる。
【００４３】本実施例２は上記のように、円筒多重螺旋
格子Ｇ２ａ，Ｇ２ｂが互いに配列方向が異なる右回り
と、左回りの多重螺旋を上下に２分割して配置したもの
であるために、円筒多重螺旋格子Ｇ２ａ，Ｇ２ｂが回転
すると互いに逆方向に動くように見える。このため、右
回りと、左回りの回折格子Ｇ２ａ，Ｇ２ｂに対応して配
置された受光素子３ａ１，３ａ２，３ｂ１，３ｂ２の出
力の和を出力信号として用いることにより、円筒多重螺
旋格子Ｇ２のスラストズレの影響がなくなる。
格子Ｇ２ａ，Ｇ２ｂが互いに配列方向が異なる右回り
と、左回りの多重螺旋を上下に２分割して配置したもの
であるために、円筒多重螺旋格子Ｇ２ａ，Ｇ２ｂが回転
すると互いに逆方向に動くように見える。このため、右
回りと、左回りの回折格子Ｇ２ａ，Ｇ２ｂに対応して配
置された受光素子３ａ１，３ａ２，３ｂ１，３ｂ２の出
力の和を出力信号として用いることにより、円筒多重螺
旋格子Ｇ２のスラストズレの影響がなくなる。
【００４４】実施例３．図１３は本発明による光学式変
位測定装置の実施例３を示す斜視図、図１４はその光路
を示した上面図、図１５はその側面図、図１６はヘッド
部の格子配置を示した図、図１７は出力信号の処理回路
図である。前記図８から図１２に示す実施例２と同一部
分には同一符号を付して重複説明を省略した図１３から
図１７において、３Ａａ１，３Ａｂ１，３Ａａ２，３Ａ
ｂ２，３Ｂａ１，３Ｂｂ１，３Ｂａ２，３Ｂｂ２は受光
素子、Ｇ３Ａａ１，Ｇ３Ａｂ１，Ｇ３Ａａ２，Ｇ３Ａｂ
２，Ｇ３Ｂａ１，Ｇ３Ｂｂ１，Ｇ３Ｂａ２，Ｇ３Ｂｂ２
は光束を合成するための第３の回折格子である。
位測定装置の実施例３を示す斜視図、図１４はその光路
を示した上面図、図１５はその側面図、図１６はヘッド
部の格子配置を示した図、図１７は出力信号の処理回路
図である。前記図８から図１２に示す実施例２と同一部
分には同一符号を付して重複説明を省略した図１３から
図１７において、３Ａａ１，３Ａｂ１，３Ａａ２，３Ａ
ｂ２，３Ｂａ１，３Ｂｂ１，３Ｂａ２，３Ｂｂ２は受光
素子、Ｇ３Ａａ１，Ｇ３Ａｂ１，Ｇ３Ａａ２，Ｇ３Ａｂ
２，Ｇ３Ｂａ１，Ｇ３Ｂｂ１，Ｇ３Ｂａ２，Ｇ３Ｂｂ２
は光束を合成するための第３の回折格子である。
【００４５】光学系の基本的構成は、前記実施例２と同
じで、回折格子Ｇ１で分割された光束を合成する回折格
子Ｇ３Ａａ〜Ｇ３Ａｂ２，Ｇ３Ｂａ１〜Ｇ３Ｂｂ２が格
子の配列方向に互いに任意の距離だけ離して配置されて
いる。さらにその分割された各回折格子に対応して受光
素子３Ａａ１〜３Ｂｂ２が配置されている。これによ
り、受光素子３Ａａ１〜３Ａｂ２，３Ｂａ１〜３Ｂｂ２
の２組の各相から各々π／２だけずれた２組の４相出力
を得ることができる。
じで、回折格子Ｇ１で分割された光束を合成する回折格
子Ｇ３Ａａ〜Ｇ３Ａｂ２，Ｇ３Ｂａ１〜Ｇ３Ｂｂ２が格
子の配列方向に互いに任意の距離だけ離して配置されて
いる。さらにその分割された各回折格子に対応して受光
素子３Ａａ１〜３Ｂｂ２が配置されている。これによ
り、受光素子３Ａａ１〜３Ａｂ２，３Ｂａ１〜３Ｂｂ２
の２組の各相から各々π／２だけずれた２組の４相出力
を得ることができる。
【００４６】図１６の様にヘッド部２に回折格子が配置
してある場合、図１に示すように一対の受光素子３Ａａ
１・３Ａａ２，３Ａｂ１・３Ａｂ２，３Ｂｂ１・３Ｂｂ
２，３Ｂａ１・３Ｂａ２の出力信号Ａ１，Ａ２，Ｂ１，
Ｂ２を回転方向判別手段兼用計数手段６Ａ，６Ｂで演算
処理し、両手段６Ａ，６Ｂからの周力Ａ０，Ｂ０を算術
手段７に入力することで、円筒多重螺旋格子Ｇ２ａ，Ｇ
２ｂが一回転すると、スラストズレによらず、高分解能
で、４ｎパルスの信号が得られ、回転方向判別手段にお
いて回転の方向が識別できる。
してある場合、図１に示すように一対の受光素子３Ａａ
１・３Ａａ２，３Ａｂ１・３Ａｂ２，３Ｂｂ１・３Ｂｂ
２，３Ｂａ１・３Ｂａ２の出力信号Ａ１，Ａ２，Ｂ１，
Ｂ２を回転方向判別手段兼用計数手段６Ａ，６Ｂで演算
処理し、両手段６Ａ，６Ｂからの周力Ａ０，Ｂ０を算術
手段７に入力することで、円筒多重螺旋格子Ｇ２ａ，Ｇ
２ｂが一回転すると、スラストズレによらず、高分解能
で、４ｎパルスの信号が得られ、回転方向判別手段にお
いて回転の方向が識別できる。
【００４７】本実施例３は円筒多重螺旋格子Ｇ２ａ、Ｇ
２ｂに対応してヘッド部２に設けられた第３の回折格子
Ｇ３Ａａ１〜Ｇ３Ｂｂ１が図１６の様に分割、配置さ
れ、さらに各受光素子３Ａａ１〜３Ｂｂ２からの出力を
図１７に示す各手段６Ａ，６Ｂ，７において演算処理す
ることで、信号光以外の外部光等による受光素子出力の
オフセットズレ等の影響を減少させ、高分割が可能な安
定した出力得ることが可能となる。
２ｂに対応してヘッド部２に設けられた第３の回折格子
Ｇ３Ａａ１〜Ｇ３Ｂｂ１が図１６の様に分割、配置さ
れ、さらに各受光素子３Ａａ１〜３Ｂｂ２からの出力を
図１７に示す各手段６Ａ，６Ｂ，７において演算処理す
ることで、信号光以外の外部光等による受光素子出力の
オフセットズレ等の影響を減少させ、高分割が可能な安
定した出力得ることが可能となる。
【００４８】実施例４．図１８は本発明による光学式変
位測定装置の実施例４を示す斜視図、図９はその光路を
示した上面図、図２０はその側面図、図２１はヘッド部
２の格子配置を示した図、図２２は出力信号の処理回路
図である。前記図８から図１２に示す実施例２と同一部
分には同一符号を付して重複説明を省略した図１８から
図２２において、３Ａａ〜３Ｂｂは受光素子、Ｇ２は分
割された光束を位相変調するため円筒形の表面に交差さ
せて形成された互いに配列方向が異なる複数の多重螺旋
の回折格子（以下、円筒多重螺旋格子と称す）、Ｇ３Ａ
ａ〜Ｇ３Ｂｂは光束を合成するための回折格子である。
位測定装置の実施例４を示す斜視図、図９はその光路を
示した上面図、図２０はその側面図、図２１はヘッド部
２の格子配置を示した図、図２２は出力信号の処理回路
図である。前記図８から図１２に示す実施例２と同一部
分には同一符号を付して重複説明を省略した図１８から
図２２において、３Ａａ〜３Ｂｂは受光素子、Ｇ２は分
割された光束を位相変調するため円筒形の表面に交差さ
せて形成された互いに配列方向が異なる複数の多重螺旋
の回折格子（以下、円筒多重螺旋格子と称す）、Ｇ３Ａ
ａ〜Ｇ３Ｂｂは光束を合成するための回折格子である。
【００４９】本実施例４で用いられる円筒多重螺旋格子
Ｇ２の基本的構成は前記実施例２と同じであり、円筒多
重螺旋格子Ｇ２が１回転し、回転軸方向にΔｚズレるご
とに、前記実施例２で説明した位相がπ／２だけずれた
２相の２ｎ＋２Δｚ／Ｐ′周期の明暗信号Ａ１，Ａ２が
発生する。
Ｇ２の基本的構成は前記実施例２と同じであり、円筒多
重螺旋格子Ｇ２が１回転し、回転軸方向にΔｚズレるご
とに、前記実施例２で説明した位相がπ／２だけずれた
２相の２ｎ＋２Δｚ／Ｐ′周期の明暗信号Ａ１，Ａ２が
発生する。
【００５０】この２つの明暗信号Ａ１，Ａ２を変位方向
判別手段とカウンター等の計数手段６Ａに入力すると、
出力信号は円筒多重螺旋格子Ｇ２ａ，Ｇ２ｂが１回転
し、回転軸方向にΔｚズレるごとに２ｎ＋２Δｚ／Ｐ′
パルスの変位方向が判別された出力Ａ０が得られる。
判別手段とカウンター等の計数手段６Ａに入力すると、
出力信号は円筒多重螺旋格子Ｇ２ａ，Ｇ２ｂが１回転
し、回転軸方向にΔｚズレるごとに２ｎ＋２Δｚ／Ｐ′
パルスの変位方向が判別された出力Ａ０が得られる。
【００５１】回折格子Ｇ３Ｂａにて光路を重ね合わされ
た光束Ｒ-1+10 と光束Ｒ0-1+1 は、干渉光となって光電
素子３Ｂａに入射する。このときの干渉位相は、 ｛ｎθ−２πΔｚ／Ｐ′｝−｛−ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′｝ ＝２ｎθ−４πΔｚ／Ｐ′ となる。
た光束Ｒ-1+10 と光束Ｒ0-1+1 は、干渉光となって光電
素子３Ｂａに入射する。このときの干渉位相は、 ｛ｎθ−２πΔｚ／Ｐ′｝−｛−ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′｝ ＝２ｎθ−４πΔｚ／Ｐ′ となる。
【００５２】また回折格子Ｇ３Ｂｂにて光路を重ね合わ
された光束Ｒ+1-10 と光束Ｒ0+1-1は、干渉光となって
受光素子３Ｂｂに入射する。このときの干渉位相は、 ｛ｎθ−２πΔｚ／Ｐ′｝−｛−ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′＋π／２｝ ＝２ｎθ−４πΔｚ／Ｐ′＋π／２ となり、回折格子Ｇ３Ｂａにて光路を合わされた光束と
π／２だけ位相のずれた干渉位相が得られる。すなわ
ち、円筒多重螺旋格子Ｇ２ａ，Ｇ２ｂが１回転し、回転
軸方向にΔｚズレるごとに、位相がπ／２だけずれた２
相の２ｎ−２Δｚ／Ｐ′周期の明暗信号Ｂ１，Ｂ２が発
生する。
された光束Ｒ+1-10 と光束Ｒ0+1-1は、干渉光となって
受光素子３Ｂｂに入射する。このときの干渉位相は、 ｛ｎθ−２πΔｚ／Ｐ′｝−｛−ｎθ＋２πΔｚ／Ｐ′＋π／２｝ ＝２ｎθ−４πΔｚ／Ｐ′＋π／２ となり、回折格子Ｇ３Ｂａにて光路を合わされた光束と
π／２だけ位相のずれた干渉位相が得られる。すなわ
ち、円筒多重螺旋格子Ｇ２ａ，Ｇ２ｂが１回転し、回転
軸方向にΔｚズレるごとに、位相がπ／２だけずれた２
相の２ｎ−２Δｚ／Ｐ′周期の明暗信号Ｂ１，Ｂ２が発
生する。
【００５３】この２つの明暗信号Ｂ１，Ｂ２を変位方向
判別手段とカウンター等の計数手段６Ｂに入力すると、
出力信号は円筒多重螺旋格子Ｇ２が１回転し、回転軸方
向にΔｚズレるとごに２ｎ−２Δｚ／Ｐ′パルスの変位
方向が判別された出力Ｂ０が得られる。この出力Ａ０と
出力Ｂ０の出力の和を取ると（Ａ０）−（Ｂ０）＝４ｎ
となり、回転軸方向のズレによらず、円筒多重螺旋格子
Ｇ２ａ，Ｇ２ｂが１回転すると、回転方向の判別された
４ｎパルスの信号が得られる。また、上記２つの出力の
偏差（２つの出力をＡ０，Ｂ０とすると、偏差Ｓは、Ｓ
＝（Ａ０−Ｂ０）／２）をとると、 Ｓ＝２Δｚ／Ｐ′ となり、ズレ方向の判別されたスラストズレΔｚだけに
対する出力２Δｚ／Ｐ′パルスをえることができる。即
ち、円筒の回転変位量と回転変位方向と、直線変位量と
直線変位方向が同時に、測定されたことになる。
判別手段とカウンター等の計数手段６Ｂに入力すると、
出力信号は円筒多重螺旋格子Ｇ２が１回転し、回転軸方
向にΔｚズレるとごに２ｎ−２Δｚ／Ｐ′パルスの変位
方向が判別された出力Ｂ０が得られる。この出力Ａ０と
出力Ｂ０の出力の和を取ると（Ａ０）−（Ｂ０）＝４ｎ
となり、回転軸方向のズレによらず、円筒多重螺旋格子
Ｇ２ａ，Ｇ２ｂが１回転すると、回転方向の判別された
４ｎパルスの信号が得られる。また、上記２つの出力の
偏差（２つの出力をＡ０，Ｂ０とすると、偏差Ｓは、Ｓ
＝（Ａ０−Ｂ０）／２）をとると、 Ｓ＝２Δｚ／Ｐ′ となり、ズレ方向の判別されたスラストズレΔｚだけに
対する出力２Δｚ／Ｐ′パルスをえることができる。即
ち、円筒の回転変位量と回転変位方向と、直線変位量と
直線変位方向が同時に、測定されたことになる。
【００５４】本実施例４は干渉光学系が非常にシンプル
な構成であり、角度と距離変位が同時に測定できる変位
測定装置を非常に小型で実現できる。また、本実施例の
場合、円筒の表面に多重螺旋の回折格子を形成している
ので、円筒５がヘッド部２と相対に一回転すると、ヘッ
ド部２の前面を見かけ上、ｎ本の格子が横切ることにな
る。このヘッド部２に設けられた回折格子が２分割さ
れ、互いにＰ／４ずれて配置されているため、この２相
信号を利用することで変位の方向が識別可能となる。そ
して、受光素子の出力の和と差を取っていることによ
り、多重螺旋の回折格子Ｇ２ａ，Ｇ２ｂの回転軸方向の
ズレによる影響のない回転方向と回転量に対する出力
と、回転による影響のないスラストズレ量とスラストズ
レ方向に対する出力を分離して得ることができる。実施
例５．図２３は本発明による光学式変位測定装置の実施
例５を示す斜視図、図２４はその光路を示した上面図、
図２５はその側面図、図２６はヘッド部の格子配置を示
した図である。前記図１８から図２２に示す実施例４と
同一部分には同一符号を付して重複説明を省略した図２
３から図２６において、３Ａａ１，３Ａａ２，３Ａｂ
１，３Ａｂ２，３Ｂｂ１，３Ｂｂ２，３Ｂａ１，３Ｂａ
２は受光素子、Ｇ３Ａａ１，Ｇ３Ｂａ２，Ｇ３Ａｂ１，
Ｇ３Ａｂ２，Ｇ３Ｂｂ１，Ｇ３Ｂｂ２，Ｇ３Ｂａ１，Ｇ
３Ｂａ２は光束を合成するための回折格子である。
な構成であり、角度と距離変位が同時に測定できる変位
測定装置を非常に小型で実現できる。また、本実施例の
場合、円筒の表面に多重螺旋の回折格子を形成している
ので、円筒５がヘッド部２と相対に一回転すると、ヘッ
ド部２の前面を見かけ上、ｎ本の格子が横切ることにな
る。このヘッド部２に設けられた回折格子が２分割さ
れ、互いにＰ／４ずれて配置されているため、この２相
信号を利用することで変位の方向が識別可能となる。そ
して、受光素子の出力の和と差を取っていることによ
り、多重螺旋の回折格子Ｇ２ａ，Ｇ２ｂの回転軸方向の
ズレによる影響のない回転方向と回転量に対する出力
と、回転による影響のないスラストズレ量とスラストズ
レ方向に対する出力を分離して得ることができる。実施
例５．図２３は本発明による光学式変位測定装置の実施
例５を示す斜視図、図２４はその光路を示した上面図、
図２５はその側面図、図２６はヘッド部の格子配置を示
した図である。前記図１８から図２２に示す実施例４と
同一部分には同一符号を付して重複説明を省略した図２
３から図２６において、３Ａａ１，３Ａａ２，３Ａｂ
１，３Ａｂ２，３Ｂｂ１，３Ｂｂ２，３Ｂａ１，３Ｂａ
２は受光素子、Ｇ３Ａａ１，Ｇ３Ｂａ２，Ｇ３Ａｂ１，
Ｇ３Ａｂ２，Ｇ３Ｂｂ１，Ｇ３Ｂｂ２，Ｇ３Ｂａ１，Ｇ
３Ｂａ２は光束を合成するための回折格子である。
【００５５】光学系の基本的構成は、前記実施例４と同
じで、回折格子Ｇ１で分割された光束を合成する回折格
子Ｇ３Ａａ１〜Ｇ３Ａｂ２，Ｇ３Ｂａ１〜Ｇ３Ｂｂ２が
格子の配列方向に互いに任意の距離だけ離して配置され
ている。さらにその分割された格子に対応して受光素子
３Ａａ１〜３Ｂｂ２が配置されている。これにより３Ａ
ａ１〜３Ａｂ２，３Ｂａ１〜３Ｂｂ２の２組の各相は各
々π／２だけずれた２組の４相出力を得ることができ
る。
じで、回折格子Ｇ１で分割された光束を合成する回折格
子Ｇ３Ａａ１〜Ｇ３Ａｂ２，Ｇ３Ｂａ１〜Ｇ３Ｂｂ２が
格子の配列方向に互いに任意の距離だけ離して配置され
ている。さらにその分割された格子に対応して受光素子
３Ａａ１〜３Ｂｂ２が配置されている。これにより３Ａ
ａ１〜３Ａｂ２，３Ｂａ１〜３Ｂｂ２の２組の各相は各
々π／２だけずれた２組の４相出力を得ることができ
る。
【００５６】図２６の様にヘッド部の格子が配置してあ
る場合、前記図１７に示す実施例３の出力処理回路と同
一構成の出力処理回路で出力信号を処理することで、円
筒多重螺旋格子Ｇ２が１回転し、回転軸方向にΔｚだけ
ズレると、回転量の出力としえ４ｎパルスの信号が得ら
れ、回転軸方向のズレ量として２Δｚ／Ｐ′パルスの信
号が得られ、信号光以外の外部光の影響によらない、高
分割可能な安定した出力を得ることができ、回転方向と
ズレ方向が識別できる。
る場合、前記図１７に示す実施例３の出力処理回路と同
一構成の出力処理回路で出力信号を処理することで、円
筒多重螺旋格子Ｇ２が１回転し、回転軸方向にΔｚだけ
ズレると、回転量の出力としえ４ｎパルスの信号が得ら
れ、回転軸方向のズレ量として２Δｚ／Ｐ′パルスの信
号が得られ、信号光以外の外部光の影響によらない、高
分割可能な安定した出力を得ることができ、回転方向と
ズレ方向が識別できる。
【００５７】
【発明の効果】請求項１の発明によれば、多重螺旋の回
折格子を回転体に設け、この回転体に対応するヘッド部
に該回折格子で位相変調された光束を合成する回折格子
を、複数に分割し、格子の配列方向に任意の距離だけ分
離して設けたので、回転角と回転方向が測定可能であ
り、部品点数が少なく組立が簡単となり、非常に小型化
が可能である。
折格子を回転体に設け、この回転体に対応するヘッド部
に該回折格子で位相変調された光束を合成する回折格子
を、複数に分割し、格子の配列方向に任意の距離だけ分
離して設けたので、回転角と回転方向が測定可能であ
り、部品点数が少なく組立が簡単となり、非常に小型化
が可能である。
【００５８】請求項２の発明によれば、互いに配列方向
が異なる分離独立した複数の多重螺旋の回折格子を回転
体に設け、この回転体に対応するヘッド部に該回折格子
で位相変調された光束を合成する回折格子を、複数に分
割し、格子の配列方向に任意の距離だけ分離して設けた
ので、回転体の軸方向のブレの影響を軽減し、出力を安
定化させることができる。
が異なる分離独立した複数の多重螺旋の回折格子を回転
体に設け、この回転体に対応するヘッド部に該回折格子
で位相変調された光束を合成する回折格子を、複数に分
割し、格子の配列方向に任意の距離だけ分離して設けた
ので、回転体の軸方向のブレの影響を軽減し、出力を安
定化させることができる。
【００５９】請求項３の発明によれば、回折格子からの
光束を複数の受光素子に入射させ、この各受光素子から
の出力を演算処理するように構成したので、複数種類の
変位信号を安定に出力することができる。
光束を複数の受光素子に入射させ、この各受光素子から
の出力を演算処理するように構成したので、複数種類の
変位信号を安定に出力することができる。
【００６０】請求項４の発明によれば、互いに配列方向
が異なる複数の多重螺旋の回折格子を交差させて回転体
に設けたので、上記の各効果を有するとともに装置全体
の小型化にきわめて有効である。
が異なる複数の多重螺旋の回折格子を交差させて回転体
に設けたので、上記の各効果を有するとともに装置全体
の小型化にきわめて有効である。
【図１】 本発明の実施例１を示す光学式変位測定装置
の要部斜視図。
の要部斜視図。
【図２】 実施例１の光路が書かれた上面図。
【図３】 図２の側面図。
【図４】 実施例１のヘッド部の回折格子の配置図。
【図５】 実施例１の回転部に設けられた円筒多重螺旋
格子の構成図。
格子の構成図。
【図６】 円筒多重螺旋格子の螺旋形状図。
【図７】 実施例１の信号処理回路図。
【図８】 本発明の実施例２を示す光学式変位測定装置
の要部斜視図。
の要部斜視図。
【図９】 実施例２の光路が書かれた上面図。
【図１０】 図９の側面図。
【図１１】 実施例２のヘッド部の回折格子の配置図。
【図１２】 実施例２の信号処理回路図。
【図１３】 本発明の実施例３を示す光学式変位測定装
置の要部斜視図。
置の要部斜視図。
【図１４】 実施例３の光路が書かれた上面図。
【図１５】 図１４の側面図。
【図１６】 実施例３のヘッド部の回折格子の配置図。
【図１７】 実施例３の信号処理回路図。
【図１８】 本発明の実施例４を示す光学式変位測定装
置の要部斜視図。
置の要部斜視図。
【図１９】 実施例４の光路が書かれた上面図。
【図２０】 図１９の側面図。
【図２１】 実施例４のヘッド部の回折格子の配置図。
【図２２】 実施例４の信号処理回路図。
【図２３】 本発明の実施例５を示す光学式変位測定装
置の要部斜視図。
置の要部斜視図。
【図２４】 実施例５の光路が書かれた上面図。
【図２５】 図２４の側面図。
【図２６】 実施例５のヘッド部の回折格子の配置図。
【図２７】 従来の光学式変位測定装置を示す斜視図。
【符号の説明】 １ 発光素子 ５ 円筒（回転部） ３Ａａ〜３Ｂｂ，３Ａａ１〜３Ｂｂ２ 受光素子 Ｇ１ 光束を分割するための回折格子（第１の回折格
子） Ｇ２ 分割された光束を位相変調させる円筒多重他薦格
子（第２の回折格子） Ｇ３ａ，Ｇ３ｂ，Ｇ３Ａａ〜Ｇ３Ｂｂ，Ｇ３Ａａ１〜Ｇ
３Ｂｂ２ 光束を合成するための回折格子（第３の回折
格子） １１ 信号処理手段
子） Ｇ２ 分割された光束を位相変調させる円筒多重他薦格
子（第２の回折格子） Ｇ３ａ，Ｇ３ｂ，Ｇ３Ａａ〜Ｇ３Ｂｂ，Ｇ３Ａａ１〜Ｇ
３Ｂｂ２ 光束を合成するための回折格子（第３の回折
格子） １１ 信号処理手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 久本 憲司 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キ ヤノン株式会社内 (56)参考文献 特開 平２−285214（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−115017（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−72020（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 11/26 G01B 11/00 G01D 5/38
Claims (6)
- 【請求項１】 発光素子と受光素子および光束を該受光
素子に入射させるための回折格子が設けられたヘッド部
と、光束を位相変調させる回折格子が設けられた回転部
とを有する光学式変位測定装置において、前記回転部に
設けられた回折格子は多重螺旋で形成され、その多重螺
旋格子に対応してヘッド部に設けられた格子が複数に分
割され、格子の配列方向に任意の距離だけ分離され、そ
の分離された回折格子に対応する出力信号同士を用いて
変位方向を決定し、回転変位信号を出力する信号処理手
段を具備したことを特徴とする光学式変位測定装置。 - 【請求項２】 発光素子から出射された光束を分割する
第１の回折格子、この分割された光束を合成する第３の
回折格子、この合成された干渉信号光束を受光する複数
個の受光素子が設けられたヘッド部と、光束を位相変調
させる第２の回折格子が設けられた回転部とを有する光
学式変位測定装置において、前記第２の回折格子は互い
に配列方向が異なる分離独立した複数の多重螺旋状に形
成され、その第２の回折格子に対応して複数に分割さ
れ、格子の配列方向に任意の距離だけ分離された前記第
３の回折格子に対応する出力信号同士を用いて変位方向
を決定し、回転変位信号を出力する信号処理手段を具備
したことを特徴とする光学式変位測定装置。 - 【請求項３】 発光素子と受光素子および光束を該受光
素子に入射させ回折格子が設けられたヘッド部と、光束
を位相変調させる回折格子が設けられた回転部とを有す
る光学式変位測定装置において、前記回転部に設けられ
た回折格子は、互いに配列方向が異なる複数個の多重螺
旋で形成され、その多重螺旋の回折格子に対応して複数
に分割され、格子の配列方向に任意の距離だけ分離され
た前記ヘッド部に設けられた回折格子を介して前記螺旋
格子によって変調された信号光をそれぞれ入射する受光
素子と、その各受光素子の出力信号同士を用いて、複数
種類の変位信号を出力する信号処理手段を具備したこと
を特徴とする光学式変位測定装置。 - 【請求項４】 発光素子から出射された光束を分割する
第１の回折格子、この分割された光束を合成する第３の
回折格子、この合成された干渉信号光束を受光する複数
個の受光素子が設けられたヘッド部と、光束を位相変調
させる第２の回折格子が設けられた回転部とを有する光
学式変位測定装置において、前記第２の回折格子は互い
に配列方向が異なる複数の多重螺旋を交差させて形成
し、この第２の回折格子に対応して複数に分割され、格
子の配列方向に任意の距離だけ分離された前記第３の回
折格子によって変調された信号光をそれぞれ入射する受
光素子と、その各受光素子の出力信号同士を用いて、複
数種類の変位信号を出力する信号処理手段を具備したこ
とを特徴とする光学式変位測定装置。 - 【請求項５】 前記ヘッド部に設けられた第１，第３の
回折格子は、前記回転部に形成された第２の回折格子の
配列方向と平行になるように配置されたことを特徴とす
る請求項１乃至４いずれかに記載の光学式変位測定装
置。 - 【請求項６】 前記受光素子からの出力信号の周期数を
カウントする計数手段と、それらのカウント値の和、差
等の演算処理により得られた結果を、複数種類の変位信
号として出力する加減算手段を有することを特徴とする
請求項３または４記載の光学式変位測定装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03194094A JP3303506B2 (ja) | 1994-02-03 | 1994-02-03 | 光学式変位測定装置 |
| EP94108863A EP0628791B1 (en) | 1993-06-10 | 1994-06-09 | Rotation detecting apparatus and scale for the same |
| US08/258,443 US5537210A (en) | 1993-06-10 | 1994-06-09 | Rotation detecting apparatus and scale having a multi helix diffraction grating for the same |
| DE69420464T DE69420464T2 (de) | 1993-06-10 | 1994-06-09 | Rotationserfassungsvorrichtung und zugehörige Skala |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03194094A JP3303506B2 (ja) | 1994-02-03 | 1994-02-03 | 光学式変位測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07218237A JPH07218237A (ja) | 1995-08-18 |
| JP3303506B2 true JP3303506B2 (ja) | 2002-07-22 |
Family
ID=12344974
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03194094A Expired - Fee Related JP3303506B2 (ja) | 1993-06-10 | 1994-02-03 | 光学式変位測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3303506B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9879764B2 (en) | 2011-09-22 | 2018-01-30 | Borgwarner Inc. | Chain drive tensioner spring force control mechanism |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5170046B2 (ja) * | 2009-09-18 | 2013-03-27 | 株式会社安川電機 | ロータリエンコーダ、ロータリモータ、ロータリモータシステム、ディスク及びロータリエンコーダの製造方法 |
| JP5170045B2 (ja) * | 2009-09-18 | 2013-03-27 | 株式会社安川電機 | リニアエンコーダ、リニアモータ、リニアモータシステム、メインスケール及びリニアエンコーダの製造方法 |
| JP5126290B2 (ja) | 2010-06-07 | 2013-01-23 | 株式会社安川電機 | エンコーダ、サーボモータ、サーボユニット及びエンコーダの製造方法 |
| DE102011050030B4 (de) * | 2011-05-02 | 2013-03-28 | Scanlab Ag | Positionsdetektor und Lichtablenkvorrichtung mit Positionsdetektor |
-
1994
- 1994-02-03 JP JP03194094A patent/JP3303506B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9879764B2 (en) | 2011-09-22 | 2018-01-30 | Borgwarner Inc. | Chain drive tensioner spring force control mechanism |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07218237A (ja) | 1995-08-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |