JP3300420B2 - 焼結封着材料用合金 - Google Patents
焼結封着材料用合金Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣリードフレーム
やガラス、セラミックス等との接合部材として用いる、
粉末冶金法にて製造されるＦｅ−Ｎｉ系及びＦｅ−Ｎｉ
−Ｃｏ系焼結封着材料に係り、特定量の炭素を含有させ
た合金粉末となし、成形後の真空雰囲気焼結時に含有さ
せた炭素をＣＯガスとして除去し、得られる焼結合金の
含有酸素、炭素量を低減した焼結封着材料用合金に関す
る。
やガラス、セラミックス等との接合部材として用いる、
粉末冶金法にて製造されるＦｅ−Ｎｉ系及びＦｅ−Ｎｉ
−Ｃｏ系焼結封着材料に係り、特定量の炭素を含有させ
た合金粉末となし、成形後の真空雰囲気焼結時に含有さ
せた炭素をＣＯガスとして除去し、得られる焼結合金の
含有酸素、炭素量を低減した焼結封着材料用合金に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、Ｆｅ−Ｎｉ系やＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ
系などの封着合金は、溶解、圧延、熱処理などの工程に
て製造されていたが、近年、従来の方法から、溶融合金
をアトマイズなど種々の方法により所定の粒度に粉砕し
て、粉体化した後、該粉体にバインダーを添加、混合し
て、成形、脱脂、焼結するいわゆる粉末冶金的手法によ
り、焼結体からなる封着材料を得る方法（特公昭６１−
４８５６３号公報）が試みられている。特に、成形時に
射出成形装置を用いると、三次元的に複雑な形状等、あ
らゆる形状の焼結封着材料がそのまま得られる利点があ
り有用である。
系などの封着合金は、溶解、圧延、熱処理などの工程に
て製造されていたが、近年、従来の方法から、溶融合金
をアトマイズなど種々の方法により所定の粒度に粉砕し
て、粉体化した後、該粉体にバインダーを添加、混合し
て、成形、脱脂、焼結するいわゆる粉末冶金的手法によ
り、焼結体からなる封着材料を得る方法（特公昭６１−
４８５６３号公報）が試みられている。特に、成形時に
射出成形装置を用いると、三次元的に複雑な形状等、あ
らゆる形状の焼結封着材料がそのまま得られる利点があ
り有用である。
【０００３】粉末冶金的手法にて封着材料を得ようとす
る場合、所要組成に配合した原料を溶解してインゴット
化したのち、ボールミルなどの粉砕手段により粉末化す
るか、あるいは溶融した合金をアトマイズ法により直接
粉末化するなどして得られた粉体を、圧縮成形や射出成
形にて所要の形状に成形後、焼結するが、該ボールミル
やアトマイズなどの粉砕工程により、合金の表面積が増
大しかつ活性な表面が露出するため、粉砕後の粉体表面
が酸化した状態となり、最終的に得られる焼結体中に多
量の酸素が残留してしまう問題がある。
る場合、所要組成に配合した原料を溶解してインゴット
化したのち、ボールミルなどの粉砕手段により粉末化す
るか、あるいは溶融した合金をアトマイズ法により直接
粉末化するなどして得られた粉体を、圧縮成形や射出成
形にて所要の形状に成形後、焼結するが、該ボールミル
やアトマイズなどの粉砕工程により、合金の表面積が増
大しかつ活性な表面が露出するため、粉砕後の粉体表面
が酸化した状態となり、最終的に得られる焼結体中に多
量の酸素が残留してしまう問題がある。
【０００４】焼結体中の酸素を低減させる方法として、
例えば、真空雰囲気中で焼結をすれば、粉体表面の酸素
は、元から粉体中に含有されていた微量な炭素と反応、
結合して、ＣＯガスとなって除去されるため、最終的に
得られる焼結体中の酸素は多少は減少させることはでき
る。
例えば、真空雰囲気中で焼結をすれば、粉体表面の酸素
は、元から粉体中に含有されていた微量な炭素と反応、
結合して、ＣＯガスとなって除去されるため、最終的に
得られる焼結体中の酸素は多少は減少させることはでき
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、近年、封着合
金中に含有される炭素量は、ガラス封着時に発生する発
泡などの問題やその用途上の要求等により減少の傾向に
あり、例えば、ＡＳＴＭＦ１５Ａｌｌｏｙの規格値では
炭素含有量は０．０４ｗｔ％以下、ＡＳＴＭＦ３０Ａｌ
ｌｏｙの規格値では炭素含有量は０．０５ｗｔ％以下と
なっており、一般に使用されている封着合金では０．０
２ｗｔ％以下、ハーメチックシール用では０．０１ｗｔ
％以下、さらにエッチング加工用などの用途では０．０
０５ｗｔ％以下と、炭素量を極限まで減少させる傾向に
ある。
金中に含有される炭素量は、ガラス封着時に発生する発
泡などの問題やその用途上の要求等により減少の傾向に
あり、例えば、ＡＳＴＭＦ１５Ａｌｌｏｙの規格値では
炭素含有量は０．０４ｗｔ％以下、ＡＳＴＭＦ３０Ａｌ
ｌｏｙの規格値では炭素含有量は０．０５ｗｔ％以下と
なっており、一般に使用されている封着合金では０．０
２ｗｔ％以下、ハーメチックシール用では０．０１ｗｔ
％以下、さらにエッチング加工用などの用途では０．０
０５ｗｔ％以下と、炭素量を極限まで減少させる傾向に
ある。
【０００６】従って、前記のような低炭素化された合金
を、粉末冶金的手段によって焼結封着材料となしても、
元々合金中に含有される炭素量が少ないために、焼結の
際、粉体表面の酸素と、粉体中の炭素が十分反応せず、
ＣＯガスとなって除去されないので、大部分の酸素はそ
のまま合金中に残留してしまうことになる。その結果、
得られる焼結合金には多量の酸素が含有されたままにな
り、焼結体の内部ポアの増大化、肥大化、相対密度の低
下などの問題を生じていた。
を、粉末冶金的手段によって焼結封着材料となしても、
元々合金中に含有される炭素量が少ないために、焼結の
際、粉体表面の酸素と、粉体中の炭素が十分反応せず、
ＣＯガスとなって除去されないので、大部分の酸素はそ
のまま合金中に残留してしまうことになる。その結果、
得られる焼結合金には多量の酸素が含有されたままにな
り、焼結体の内部ポアの増大化、肥大化、相対密度の低
下などの問題を生じていた。
【０００７】この発明は、Ｆｅ−Ｎｉ系及びＦｅ−Ｎｉ
−Ｃｏ系封着材料を粉末冶金法にて製造するに際して、
封着材料としての本来の機能を損なうことなく、焼結体
中の酸素並びに炭素量を十分に低減でき、安定的にかつ
容易に得られるＦｅ−Ｎｉ系及びＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系焼
結封着材料用合金の提供を目的としている。
−Ｃｏ系封着材料を粉末冶金法にて製造するに際して、
封着材料としての本来の機能を損なうことなく、焼結体
中の酸素並びに炭素量を十分に低減でき、安定的にかつ
容易に得られるＦｅ−Ｎｉ系及びＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系焼
結封着材料用合金の提供を目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】発明者らは、粉末冶金的
手段により得られる焼結封着材料の含有酸素量を低減す
ることを目的に、その組成について種々検討した結果、
粉末化する前の合金組成に予め特定量のＣを含有させる
ことにより、真空雰囲気の焼結時に合金内の酸素を除去
して、酸素量及び炭素量を低減でき、内部ポアが小さ
く、相対密度も高い焼結封着材料が得られることを知見
し、この発明を完成した。
手段により得られる焼結封着材料の含有酸素量を低減す
ることを目的に、その組成について種々検討した結果、
粉末化する前の合金組成に予め特定量のＣを含有させる
ことにより、真空雰囲気の焼結時に合金内の酸素を除去
して、酸素量及び炭素量を低減でき、内部ポアが小さ
く、相対密度も高い焼結封着材料が得られることを知見
し、この発明を完成した。
【０００９】すなわち、この発明は、Ｃ ０．０２ｗｔ
％〜０．２ｗｔ％、Ｎｉ ３５．０ｗｔ％〜５５．０ｗ
ｔ％、残部Ｆｅ及び不可避的不純物からなるＦｅ−Ｎｉ
系焼結封着材料用合金である。
％〜０．２ｗｔ％、Ｎｉ ３５．０ｗｔ％〜５５．０ｗ
ｔ％、残部Ｆｅ及び不可避的不純物からなるＦｅ−Ｎｉ
系焼結封着材料用合金である。
【００１０】また、この発明は、Ｃ ０．０２ｗｔ％〜
０．２ｗｔ％、Ｎｉ ２７．０ｗｔ％〜３４．０ｗｔ
％、Ｃｏ １２．０ｗｔ％〜１９．０ｗｔ％、残部Ｆｅ
及び不可避的不純物からなるＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系焼結封
着材料用合金である。
０．２ｗｔ％、Ｎｉ ２７．０ｗｔ％〜３４．０ｗｔ
％、Ｃｏ １２．０ｗｔ％〜１９．０ｗｔ％、残部Ｆｅ
及び不可避的不純物からなるＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系焼結封
着材料用合金である。
【００１１】この発明の焼結封着材料用合金は、所要組
成に配合した原料を溶解する段階での溶融状態にあるも
のや、該溶融物を凝固させインゴット化したもの、ある
いは該インゴットを種々の粉砕手段で粉砕して粉体化し
たもの、さらに、溶融した合金をアトマイズ法により直
接粉末化したものなど、特定量のＣを含有したこの発明
の組成範囲にある焼結封着材料用の合金であれば、その
形状は問わない。
成に配合した原料を溶解する段階での溶融状態にあるも
のや、該溶融物を凝固させインゴット化したもの、ある
いは該インゴットを種々の粉砕手段で粉砕して粉体化し
たもの、さらに、溶融した合金をアトマイズ法により直
接粉末化したものなど、特定量のＣを含有したこの発明
の組成範囲にある焼結封着材料用の合金であれば、その
形状は問わない。
【００１２】この発明の焼結封着材料用合金を用いて、
焼結封着材料を得る製造方法としては、所要組成に配合
した原料を溶解してインゴット化したのち、スタンプミ
ルやボールミルなどの各種粉砕や粉砕手段により粉末化
するか、あるいは各種アトマイズ法、例えば水アトマイ
ズやガスアトマイズなどにより、溶融した合金を直接粉
末化するなどして粉体を作製する。
焼結封着材料を得る製造方法としては、所要組成に配合
した原料を溶解してインゴット化したのち、スタンプミ
ルやボールミルなどの各種粉砕や粉砕手段により粉末化
するか、あるいは各種アトマイズ法、例えば水アトマイ
ズやガスアトマイズなどにより、溶融した合金を直接粉
末化するなどして粉体を作製する。
【００１３】次に、圧縮成形や射出成形など種々の成形
装置にて、所要の形状に成形する。形成する前の粉体に
潤滑剤やバインダーなどを混合、混練しておくことは、
潤滑性や成形性向上のために好ましい。潤滑剤やバイン
ダーは成形装置や成形圧力、粉体の組成等に応じて適宜
選定することができる。
装置にて、所要の形状に成形する。形成する前の粉体に
潤滑剤やバインダーなどを混合、混練しておくことは、
潤滑性や成形性向上のために好ましい。潤滑剤やバイン
ダーは成形装置や成形圧力、粉体の組成等に応じて適宜
選定することができる。
【００１４】成形時に潤滑剤やバインダーを用いた場合
は、焼結前に脱脂（脱バインダー）を行なうことが望ま
しい。脱脂は焼結と同様で炉内で加熱することにより行
なうことができ、例えば、バインダーとしてアクリル系
バインダーを用いた場合には、約３００°Ｃで数時間加
熱することにより脱脂が完了する。脱脂温度や時間は用
いる潤滑剤やバインダーに応じた最適な条件で行なうこ
とが望ましい。また、脱脂後そのまま昇温すれば焼結も
でき、脱脂と焼結が同炉内で行なえる。焼結雰囲気は脱
脂、焼結を共に真空雰囲気で行なうことが最も好ましい
が、一旦真空にしたのち、不活性ガス等で流気すること
なども好ましい。Ｃと酸素の反応により生成されるＣＯ
ガスの脱ガスを促進するため、真空雰囲気は、１０-2Ｔ
ｏｒｒ以下が好ましい。焼結条件として、昇温速度は遅
すぎると生産性が低下するため好ましくなく、また速す
ぎるとＣと酸素が反応する前に焼結してしまうので好ま
しくないため、焼結時の昇温速度は２００〜４００℃／
ｈｒが好ましい。又、焼結温度は成形体を緻密化させる
ためには１２００℃以上が好ましく、約１３００℃が最
も好ましい。
は、焼結前に脱脂（脱バインダー）を行なうことが望ま
しい。脱脂は焼結と同様で炉内で加熱することにより行
なうことができ、例えば、バインダーとしてアクリル系
バインダーを用いた場合には、約３００°Ｃで数時間加
熱することにより脱脂が完了する。脱脂温度や時間は用
いる潤滑剤やバインダーに応じた最適な条件で行なうこ
とが望ましい。また、脱脂後そのまま昇温すれば焼結も
でき、脱脂と焼結が同炉内で行なえる。焼結雰囲気は脱
脂、焼結を共に真空雰囲気で行なうことが最も好ましい
が、一旦真空にしたのち、不活性ガス等で流気すること
なども好ましい。Ｃと酸素の反応により生成されるＣＯ
ガスの脱ガスを促進するため、真空雰囲気は、１０-2Ｔ
ｏｒｒ以下が好ましい。焼結条件として、昇温速度は遅
すぎると生産性が低下するため好ましくなく、また速す
ぎるとＣと酸素が反応する前に焼結してしまうので好ま
しくないため、焼結時の昇温速度は２００〜４００℃／
ｈｒが好ましい。又、焼結温度は成形体を緻密化させる
ためには１２００℃以上が好ましく、約１３００℃が最
も好ましい。
【００１５】組成の限定理由 この発明のＦｅ−Ｎｉ系合金において、Ｎｉは本系合金
の基本成分であり、最終的に得られる焼結封着材料にお
いて、Ｎｉが５５ｗｔ％を越えると熱膨張が大きくなり
すぎ、また３５ｗｔ％未満では合金内にα相が生成され
ることにより、熱膨張が大きくなりすぎるので好ましく
なく、この発明の対象とする封着合金対象からはずれて
しまうことになる。
の基本成分であり、最終的に得られる焼結封着材料にお
いて、Ｎｉが５５ｗｔ％を越えると熱膨張が大きくなり
すぎ、また３５ｗｔ％未満では合金内にα相が生成され
ることにより、熱膨張が大きくなりすぎるので好ましく
なく、この発明の対象とする封着合金対象からはずれて
しまうことになる。
【００１６】また、この発明のＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金
において、ＮｉはＦｅ−Ｎｉ系と同様に本系合金の基本
成分であり、最終的に得られる焼結封着材料において、
Ｎｉが３４ｗｔ％を越えると熱膨張が大きくなりすぎ、
また２７ｗｔ％未満では合金内にα相が生成されること
により、熱膨張が大きくなりすぎるので好ましくなく、
本発明の対象とする封着合金対象から外れてしまうこと
になる。
において、ＮｉはＦｅ−Ｎｉ系と同様に本系合金の基本
成分であり、最終的に得られる焼結封着材料において、
Ｎｉが３４ｗｔ％を越えると熱膨張が大きくなりすぎ、
また２７ｗｔ％未満では合金内にα相が生成されること
により、熱膨張が大きくなりすぎるので好ましくなく、
本発明の対象とする封着合金対象から外れてしまうこと
になる。
【００１７】また、ＣｏはＮｉと同様、本系合金の基本
成分であるが、最終的に得られる焼結封着材料におい
て、Ｃｏが１９ｗｔ％を越えると熱膨張が大きくなりす
ぎると共にコスト的にも好ましくなく、また１２ｗｔ％
未満では磁気変態点が低くなり過ぎて、温度が約４５０
°Ｃまでの熱膨張係数が大きくなるので好ましくない。
成分であるが、最終的に得られる焼結封着材料におい
て、Ｃｏが１９ｗｔ％を越えると熱膨張が大きくなりす
ぎると共にコスト的にも好ましくなく、また１２ｗｔ％
未満では磁気変態点が低くなり過ぎて、温度が約４５０
°Ｃまでの熱膨張係数が大きくなるので好ましくない。
【００１８】Ｃはこの発明によるＦｅ−Ｎｉ系合金及び
Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金の特徴であり、通常の工業的な
製造により得られる合金粉末の含有酸素量を考慮した結
果、Ｃ量が０．０２ｗｔ％〜０．２ｗｔ％の範囲におい
て最も脱酸素効果が得られることを確認した。すなわ
ち、Ｃ量が０．２ｗｔ％を越えると、合金粉体の含有酸
素量に対してＣ量が過剰となり、合金中に炭化物が形成
され好ましくなく、０．０２ｗｔ％未満ではＣ量が現状
の封着合金と同レベルになって、成形体中の酸素除去効
果が小さくなってしまうため好ましくない。粉体の酸素
量は、粉体の成分、製法、粒径などにより微妙に異なる
ので、Ｃ量は前記の範囲中において、粉体の酸素量に応
じて適宜選定することが望ましい。
Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金の特徴であり、通常の工業的な
製造により得られる合金粉末の含有酸素量を考慮した結
果、Ｃ量が０．０２ｗｔ％〜０．２ｗｔ％の範囲におい
て最も脱酸素効果が得られることを確認した。すなわ
ち、Ｃ量が０．２ｗｔ％を越えると、合金粉体の含有酸
素量に対してＣ量が過剰となり、合金中に炭化物が形成
され好ましくなく、０．０２ｗｔ％未満ではＣ量が現状
の封着合金と同レベルになって、成形体中の酸素除去効
果が小さくなってしまうため好ましくない。粉体の酸素
量は、粉体の成分、製法、粒径などにより微妙に異なる
ので、Ｃ量は前記の範囲中において、粉体の酸素量に応
じて適宜選定することが望ましい。
【００１９】Ｆｅは、Ｆｅ−Ｎｉ系及びＦｅ−Ｎｉ−Ｃ
ｏ系焼結封着材料合金の基本成分であり、上述の各組成
を含有した残余を占める。
ｏ系焼結封着材料合金の基本成分であり、上述の各組成
を含有した残余を占める。
【００２０】
【作用】この発明は、Ｆｅ−Ｎｉ系及びＦｅ−Ｎｉ−Ｃ
ｏ系の焼結封着材料において、粉体化する前の合金組成
に予め特定量のＣを含有させることにより、該合金を粉
末化して、バインダーを添加、混合した後、成形、脱
脂、焼結して焼結合金を得る際の焼結工程で、予め特定
量含有したＣが、成形体中の酸素と結合して、ＣＯガス
となって除去されるため、得られる焼結合金中の酸素を
大幅に低減するとともに、予め含有したＣまでも低減す
ることができ、低酸素、低炭素の焼結封着材料が得られ
る。
ｏ系の焼結封着材料において、粉体化する前の合金組成
に予め特定量のＣを含有させることにより、該合金を粉
末化して、バインダーを添加、混合した後、成形、脱
脂、焼結して焼結合金を得る際の焼結工程で、予め特定
量含有したＣが、成形体中の酸素と結合して、ＣＯガス
となって除去されるため、得られる焼結合金中の酸素を
大幅に低減するとともに、予め含有したＣまでも低減す
ることができ、低酸素、低炭素の焼結封着材料が得られ
る。
【００２１】
実施例１ Ｃ０．０５ｗｔ％、Ｎｉ４０．８ｗｔ％、残部Ｆｅから
なる組成を有するＦｅ−Ｎｉ系合金（試料Ｎｏ．１）及
びＣ０．１１ｗｔ％、Ｎｉ２９．６ｗｔ％、Ｃｏ１６．
５ｗｔ％、残部Ｆｅからなる組成を有するＦｅ−Ｎｉ−
Ｃｏ系合金（試料Ｎｏ．２）を作製し、さらに高圧水ア
トマイズ法により粉体化した後、該粉体にアクリル系バ
インダーを２ｗｔ％添加、混合した後、外形寸法１ｍｍ
×２０ｍｍ×３０ｍｍの板状にプレス成形した。前記プ
レス成形体を真空度１０-4Ｔｏｒｒの雰囲気中におい
て、図１に示すような加熱パターンにより、昇温加熱
し、脱脂、焼結した。各合金の粉体時の平均粒径と酸素
含有量、及び各合金の焼結体の酸素含有量、炭素含有量
及び相対密度を表１に示す。
なる組成を有するＦｅ−Ｎｉ系合金（試料Ｎｏ．１）及
びＣ０．１１ｗｔ％、Ｎｉ２９．６ｗｔ％、Ｃｏ１６．
５ｗｔ％、残部Ｆｅからなる組成を有するＦｅ−Ｎｉ−
Ｃｏ系合金（試料Ｎｏ．２）を作製し、さらに高圧水ア
トマイズ法により粉体化した後、該粉体にアクリル系バ
インダーを２ｗｔ％添加、混合した後、外形寸法１ｍｍ
×２０ｍｍ×３０ｍｍの板状にプレス成形した。前記プ
レス成形体を真空度１０-4Ｔｏｒｒの雰囲気中におい
て、図１に示すような加熱パターンにより、昇温加熱
し、脱脂、焼結した。各合金の粉体時の平均粒径と酸素
含有量、及び各合金の焼結体の酸素含有量、炭素含有量
及び相対密度を表１に示す。
【００２２】実施例２ Ｃ０．０２５ｗｔ％、Ｎｉ３６．３ｗｔ％、残部Ｆｅか
らなる組成を有するＦｅ−Ｎｉ系合金（試料Ｎｏ．３）
及びＣ０．０２８ｗｔ％、Ｎｉ３０．５ｗｔ％、Ｃｏ１
３．５ｗｔ％、残部Ｆｅからなる組成を有するＦｅ−Ｎ
ｉ−Ｃｏ系合金（試料Ｎｏ．４）を作製し、ガスアトマ
イズ法により粉体化して、該粉体にアクリル系バインダ
ーを２ｗｔ％添加、混合した後、外形寸法１ｍｍ×２０
ｍｍ×３０ｍｍの板状にプレス成形した。前記プレス成
形体を真空度１０-4Ｔｏｒｒの雰囲気中において、図１
に示すような加熱パターンにより、昇温加熱し、脱脂、
焼結した。各合金の粉体時の平均粒径と酸素含有量、及
び各合金の焼結体の酸素含有量、炭素含有量及び相対密
度を表１に示す。
らなる組成を有するＦｅ−Ｎｉ系合金（試料Ｎｏ．３）
及びＣ０．０２８ｗｔ％、Ｎｉ３０．５ｗｔ％、Ｃｏ１
３．５ｗｔ％、残部Ｆｅからなる組成を有するＦｅ−Ｎ
ｉ−Ｃｏ系合金（試料Ｎｏ．４）を作製し、ガスアトマ
イズ法により粉体化して、該粉体にアクリル系バインダ
ーを２ｗｔ％添加、混合した後、外形寸法１ｍｍ×２０
ｍｍ×３０ｍｍの板状にプレス成形した。前記プレス成
形体を真空度１０-4Ｔｏｒｒの雰囲気中において、図１
に示すような加熱パターンにより、昇温加熱し、脱脂、
焼結した。各合金の粉体時の平均粒径と酸素含有量、及
び各合金の焼結体の酸素含有量、炭素含有量及び相対密
度を表１に示す。
【００２３】比較例 表１の試料Ｎｏ．５〜８に示す組成の合金を作製し、実
施例１と同様の方法で焼結体を得た。比較例の各合金の
粉体時の平均粒径と酸素含有量、及び各合金の焼結体の
酸素含有量、炭素含有量及び相対密度を表１に示す。表
１に示す結果から明らかなように、この発明の合金は、
試料Ｎｏ．５〜８の比較例合金に比べ、得られる焼結体
の酸素含有量が低く、また相対密度が高いにもかかわら
ず、炭化物の析出も認められなかった。
施例１と同様の方法で焼結体を得た。比較例の各合金の
粉体時の平均粒径と酸素含有量、及び各合金の焼結体の
酸素含有量、炭素含有量及び相対密度を表１に示す。表
１に示す結果から明らかなように、この発明の合金は、
試料Ｎｏ．５〜８の比較例合金に比べ、得られる焼結体
の酸素含有量が低く、また相対密度が高いにもかかわら
ず、炭化物の析出も認められなかった。
【００２４】
【表１】
【００２５】
【発明の効果】この発明は、冶金的手段により得られる
焼結封着材料の粉末化する前の合金に予め特定量のＣを
含有させることにより、焼結時に合金内の酸素を除去し
て、酸素量及び炭素量を低減して、内部ポアが小さく、
相対密度も高い焼結封着材料が得られ、また、成形時に
射出成形装置を用いることにより、三次元的に複雑な形
状などあらゆる形状の焼結封着材料を得ることができ
る。
焼結封着材料の粉末化する前の合金に予め特定量のＣを
含有させることにより、焼結時に合金内の酸素を除去し
て、酸素量及び炭素量を低減して、内部ポアが小さく、
相対密度も高い焼結封着材料が得られ、また、成形時に
射出成形装置を用いることにより、三次元的に複雑な形
状などあらゆる形状の焼結封着材料を得ることができ
る。
【図１】この発明の実施例による脱脂、焼結工程のヒー
トパターンを示すグラフである。
トパターンを示すグラフである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｈ０５Ｋ 1/05 Ｈ０５Ｋ 1/05 Ｂ (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C22C 38/00 302 C22C 19/03 C22C 38/08 C22C 38/10 H01L 23/48 H05K 1/05
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｃ ０．０２ｗｔ％〜０．２ｗｔ％、Ｎ
ｉ ３５．０ｗｔ％〜５５．０ｗｔ％、残部Ｆｅ及び不
可避的不純物からなる焼結封着材料用合金。 - 【請求項２】 Ｃ ０．０２ｗｔ％〜０．２ｗｔ％、Ｎ
ｉ ２７．０ｗｔ％〜３４．０ｗｔ％、Ｃｏ １２．０
ｗｔ％〜１９．０ｗｔ％、残部Ｆｅ及び不可避的不純物
からなる焼結封着材料用合金。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23147792A JP3300420B2 (ja) | 1992-08-05 | 1992-08-05 | 焼結封着材料用合金 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP23147792A JP3300420B2 (ja) | 1992-08-05 | 1992-08-05 | 焼結封着材料用合金 |
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| Publication Number | Publication Date |
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| JPH0657385A JPH0657385A (ja) | 1994-03-01 |
| JP3300420B2 true JP3300420B2 (ja) | 2002-07-08 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23147792A Expired - Fee Related JP3300420B2 (ja) | 1992-08-05 | 1992-08-05 | 焼結封着材料用合金 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3300420B2 (ja) |
-
1992
- 1992-08-05 JP JP23147792A patent/JP3300420B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JPH0657385A (ja) | 1994-03-01 |
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