JP3294025B2 - オーバートーン発振用圧電振動子 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、オーバートーン用共振
回路を必要とせずに所望のオーバートーン周波数での発
振を可能にするオーバートーン発振用圧電振動子に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来の技術を図１２、図１３とともに説
明する。図１２は従来の圧電基板の平面図であり、図１
３は図１２の底面図である。圧電基板１は厚みすべり振
動を行うＡＴカットの水晶板からなり、その圧電基板１
の表面中央部に主電極２および圧電基板１の裏面中央部
に電極５を設けることにより主振動エネルギ閉じ込め部
を設け、その周囲に上記主振動エネルギ閉じ込め部の遮
断周波数ｆｃよりも高い遮断周波数Ｆｃをもつ振動エネ
ルギ伝搬部（電極不在部）３を設け、さらにその外側に
上記遮断周波数Ｆｃよりも低い遮断周波数をもつ振動エ
ネルギ吸収部（周辺部電極）４を設け、上記遮断周波数
Ｆｃが、所望のオーバートーン振動の副振動周波数より
も低く、かつ、このオーバートーン振動の主振動周波数
ｆ0より高く設定されており、上記振動エネルギ吸収部
が所望のオーバートーン次数より低次の振動モード（基
本波振動モードを含む）のエネルギを吸収するととも
に、上記主振動よりも高い副振動を外部へ漏洩させるよ
う構成されていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】例えば、三次オーバー
トーン発振させた圧電振動子において、より高周波化を
行うために、主電極の直径を小さくしたり、圧電基板の
直径を小さくしていく等の設計手法があるが、主電極を
小さくしすぎると三次オーバートーンのＣＩ値も悪くな
る傾向にある。また主電極を大きくすると三次オーバー
トーンのＣＩ値は良好となるが基本波と三次オーバート
ーンのＣＩ比は２〜４倍になり、一般的に必要とされる
基本波を抑制するためのＣＩ比３倍に対して歩留まりが
５０％程度と悪い。そこで前記主電極を大きくした状態
で基本波を抑制する基本波と三次オーバートーンとのＣ
Ｉ比を稼ぐために電極不在部の幅寸法を小さくとる手法
がある。しかし三次オーバートーン主振動の近傍にスプ
リアスが発生し共振特性が悪くなる。このためより安定
したオーバートーン発振を困難なものとしていた。

【０００４】本発明の目的は、基本波抑制効果を向上さ
せ、より安定した三次オーバートーン発振が行える信頼
性の高い圧電振動子を提供する。ならびに、三次オーバ
ートーンのＣＩの値を悪化させることなく、より安定し
たオーバートーン発振が行える信頼性の高い圧電振動子
を提供する。

【０００５】

【課題を解決するための手段】そこで、本発明は、所望
次数にてオーバートーン発振するオーバートーン発振用
圧電振動子であって、圧電基板の片面には、前記所望次
数のオーバートーン振動の主振動を閉じ込める主振動エ
ネルギ閉じ込め部を構成する主電極と、当該主電極のほ
ぼ全周に同一幅寸法Ｇの前記振動エネルギ伝搬部を構成
する電極不在部を介して前記振動エネルギ吸収部を構成
する周辺電極が形成されており、前記圧電基板の他の片
面には少なくとも前記主電極と電極不在部、ならびに周
辺電極の対向面のほぼ全面に形成された裏面電極が形成
されているとともに、前記主電極のみを圧電基板の一端
部まで形成するリード電極と、前記周辺電極および全裏
面電極を圧電基板の反対側の端部まで形成するリード電
極を有してなり、前記電極不在部の少なくとも一箇所に
幅狭部分を形成してなる周辺補助電極を設けたことを特
徴とする。

【０００６】前記構成において、前記周辺補助電極は圧
電基板のＸ軸方向に設けられていることを特徴とする。

【０００７】前記構成において、周辺電極のうち少なく
とも前記周辺補助電極に隣接する箇所の電極厚みを前記
主電極の厚みより厚くしたことを特徴とする。

【０００８】また、所望次数にてオーバートーン発振す
るオーバートーン発振用圧電振動子であって、圧電基板
の片面には、前記所望次数のオーバートーン振動の主振
動を閉じ込める主振動エネルギ閉じ込め部を構成する主
電極と、当該主電極のほぼ全周に前記振動エネルギ伝搬
部を構成する電極不在部を介して前記振動エネルギ吸収
部を構成する周辺電極が形成されており、前記圧電基板
の他の片面には少なくとも前記主電極と電極不在部、な
らびに周辺電極の対向面のほぼ全面に形成された裏面電
極が形成されているとともに、前記主電極のみを圧電基
板の一端部まで形成するリード電極と、前記周辺電極お
よび裏面電極を圧電基板の反対側の端部まで形成するリ
ード電極を有してなり、前記主電極は圧電基板のＸ軸方
向に長く、Ｚ’軸方向に短い形状としたことを特徴とす
る。

【０００９】前記構成において、前記電極不在部の少な
くとも一箇所に幅狭部分を設け、かつ、前記幅狭部分は
圧電基板のＺ’軸方向に設けられていることを特徴とす
る。

【００１０】

【作用】特許請求項１により、基本波と三次オーバート
ーンとのＣＩ比を稼ぐとともに三次オーバートーンのＣ
Ｉ値を悪化させないようにするには、電極不在部の寸法
を小さくしていけばよいが、三次オーバートーン主振動
の近傍にスプリアスが発生し共振特性が悪くなる。そこ
で、周辺補助電極を形成して電極不在部の少なくとも一
箇所の幅寸法を小さくとることにより、スプリアスが発
生せず、かつ基本波を抑制する基本波と三次オーバート
ーンとのＣＩ比を稼ぐとともに三次オーバートーンのＣ
Ｉ値を悪化させない。

【００１１】特許請求項２により、周辺補助電極の形成
する軸方向を振動エネルギの分布方向であるＸ軸に指定
するため、より一層の基本波抑制効果が向上する。

【００１２】特許請求項３により、周辺補助電極に隣接
する箇所の電極厚みを主電極の厚みより厚くしたため、
基本波の振動エネルギを吸収し、より一層基本波抑制効
果が向上する。

【００１３】特許請求項４により、圧電基板の振動エネ
ルギの分布方向に沿った主電極形状となるため、基本波
より振動変位の小さい三次オーバートーンは、周辺電極
の影響を受けずにＣＩ値を良好に保ちつつ、かつ、三次
オーバートーンより振動変位の大きい基本波は、振動エ
ネルギの分布方向に直交する方向からの周辺電極の影響
により基本波を抑制することができる。以上のように、
三次オーバートーンは、ほとんど周辺電極の影響を受け
ないために、主振動の近傍にスプリアスが発生し共振特
性が悪くなることがない。

【００１４】特許請求項５により、その幅を狭くする軸
方向を振動エネルギの分布方向に直交するＺ’軸に指定
することにより、三次オーバートーンのＣＩ値を良好に
保ちつつ、より一層基本波を抑制することができる。

【００１５】前記作用の根拠となる実験データを以下に
示す。図１４は、図１，図３，図６，図１１に示すよう
な本発明による構成の圧電振動子において、また、図１
２に示すような従来の構成の圧電振動子において、基本
波と三次オーバートーンとのＣＩ値の比較統計データを
示すグラフである。以下詳細を説明する。前記５つの実
施例の共通事項として、周波数７２ＭＨｚの水晶振動子
における水晶板の直径を６．５ｍｍ、電極不在部の寸法
（Ｇ）を０．４ｍｍ、裏面電極の直径を６．０ｍｍと
し、いずれの電極厚みも０．１５μmで形成した。そし
て図１，図１２については軸指定をせず、主電極の直径
１．５ｍｍとし、図３，図６については幅狭部分をＸ軸
方向に指定し、主電極の直径を１．５ｍｍとした。そし
て、図１１については幅狭部分をＺ’軸方向に指定し、
主電極をＸ軸方向に１．７５ｍｍ、Ｚ’軸方向に１．２
５ｍｍの楕円形状とした。また、図１，図３，図６，図
１１における電極不在部の幅狭部の寸法（Ｇ’）は０．
２ｍｍとして周辺補助電極を設け、図３，図６は前記主
電極最端部から内部に０．４ｍｍ入り込ませて周辺補助
電極を設けた。また、図６については周辺電極の厚みの
みを０．３μmとした。このグラフから、従来の図１２
の構成にくらべ幅狭部を設けた図１による構成の方が基
本波抑制効果が向上し、さらに図１より幅狭部分をＸ軸
に指定した図３、図３より周辺電極厚みを主電極厚みよ
り厚くした図６と、より基本波抑制効果向上しているの
がわかる。また、図１１は、図３、図６にくらべて基本
波抑制効果は劣るが、三次オーバートーンＣＩ値が向上
しているのがわかる。

【００１６】尚、前記構成による基本波抑制効果では、
Ｇ寸法０．４ｍｍに対しＧ’寸法を０．２ｍｍとした
が、Ｇ寸法０．４ｍｍに対しＧ’寸法を０．１ｍｍ〜
０．３ｍｍの範囲で設定しても同様の効果があることが
わかった。尚、Ｇ’寸法（幅狭部）を小さくしすぎる
と、短絡の可能性があり、電極マスクが加工上の熱歪み
等による変形を起こすため電極マスク強度上の問題があ
る。

【００１７】

【実施例】次に、本発明の第１の実施例について、図
１、図２を参照にして説明する。図１は本発明の第１の
実施例を示す圧電基板の平面図であり、図２は図１の底
面図である。尚、他の実施例と同様の部分については同
番号を付した。圧電基板１１は、厚みすべり振動を行う
ＡＴカット水晶板からなり、６．５ｍｍφで形成されて
いる。その圧電基板１１の表面には、主電極２１ａ
（１．５ｍｍφ）が設けられ、幅寸法Ｇ（０．４ｍｍ）
の電極不在部３１を介して、さらにその周辺に周辺電極
４１ａ（幅寸法１．８５ｍｍ）が設けられている。そし
て、周辺電極４１ａには圧電基板１１の重心Ｏをとおり
垂直方向に互いに対向する方向に延びる周辺補助電極４
１１ａ，４１２ａを設け、電極不在部３１に幅寸法Ｇ’
（０．２ｍｍ）の幅狭部を形成した。また、圧電基板１
１の裏面には前記表面電極群に対応して、圧電基板１１
のほぼ全面に電極５１ａ（６．０ｍｍφ）が設けられて
いる。このような構造において、主電極２１ａとそれに
対応する裏面電極５１ａの一部分が主振動エネルギ閉じ
込め部を構成し、電極不在部３１とそれに対応する裏面
電極５１ａの一部分が振動エネルギ伝搬部を構成し、周
辺電極４１ａとそれに対応する裏面電極５１ａの一部分
が振動エネルギ吸収部を構成している。また、主電極２
１ａから圧電基板１１の一端部までリード電極２１ｂが
形成され、周辺電極４１ａおよび裏面電極５１ａは圧電
基板１１の反対側の端部までリード電極４１ｂ，５１ｂ
が形成されている。そして、これらの電極は真空蒸着
法、あるいはスパッタリング蒸着法等により、厚み０．
１５μmで形成される。尚、第１の実施例では、垂直方
向に向かって二箇所の周辺補助電極４１１ａ，４１２ａ
を設けたがいずれか一方のみを形成した構成であっても
よい。

【００１８】次に、本発明の第２の実施例について、図
３を参照にして説明する。図３は本発明の第２の実施例
を示す圧電基板の平面図である。尚、他の実施例と同様
の部分については同番号を付した。圧電基板１１は、厚
みすべり振動を行うＡＴカット水晶板からなり、６．５
ｍｍφで形成されている。その圧電基板１１の表面に
は、主電極２２ａ（２．０ｍｍφ）が設けられ、幅寸法
Ｇ（０．４ｍｍ）の電極不在部３２を介して、さらにそ
の周辺に周辺電極４２ａ（幅寸法１．６ｍｍ）が設けら
れている。そして、周辺電極４２ａには圧電基板１１の
重心Ｏをとおり圧電基板の結晶軸で振動エネルギの分布
方向であるＸ軸に沿って、主電極２２ａには重心Ｏへの
奥行０．４ｍｍの切り欠き部２２１ａ，２２２ａを設け
ると共に、周辺電極４２ａには電極周辺補助電極４２１
ａ，４２２ａを設けて電極不在部３２に幅寸法Ｇ’
（０．２ｍｍ）の幅狭部を形成した。また、圧電基板１
１の裏面には前記表面電極群に対応して、圧電基板１１
のほぼ全面に裏面電極（図２と同様のため図示せず）が
設けられている。このような構造において、主電極２２
ａとそれに対応する裏面電極の一部分が主振動エネルギ
閉じ込め部を構成し、電極不在部３２とそれに対応する
裏面電極の一部分が振動エネルギ伝搬部を構成し、周辺
電極４２ａとそれに対応する裏面電極の一部分が振動エ
ネルギ吸収部を構成している。また、主電極２１ａから
圧電基板１１の一端部までリード電極２２ｂが形成さ
れ、周辺電極４２ａは圧電基板１１の反対側の端部まで
リード電極４２ｂが形成されている。そして、これらの
電極は真空蒸着法、あるいはスパッタリング蒸着法等に
より、厚み０．１５μmで形成される。尚、第２の実施
例では、圧電基板Ｘ軸方向に沿って二箇所の周辺補助電
極４２１ａ，４２２ａ、ならびに主電極切り欠き部２２
１ａ，２２２ａを設けたが、いずれか一方のみを形成し
た構成であってもよい。

【００１９】次に第３，第４の実施例について説明す
る。図４は第３の実施例を示す圧電基板の平面図であ
る。長円状の主電極２３ａが設けられ、圧電基板の結晶
軸で振動エネルギの分布方向であるＸ軸に方向には幅寸
法Ｇ’の、Ｚ’方向には幅寸法Ｇの電極不在部３３を有
するように周辺電極４３ａを設けた構成である。また、
図５は第４の実施例を示す圧電基板の平面図であり、前
記第３の実施例を変形例である。圧電基板１１に長円状
の主電極２４ａに切り欠き部２４１ａ，２４２ａが設け
られ、圧電基板の結晶軸で振動エネルギの分布方向であ
るＸ軸方向には幅寸法Ｇ’の、Ｚ’方向には幅寸法Ｇの
電極不在部３４を有するように周辺電極４４ａと前記切
り欠き部２４１ａ，２４２ａに対応した形状の周辺補助
電極４４１ａ，４４２ａとを設けた構成である。

【００２０】次に、本発明の第５の実施例について、図
６、図７、図８を参照にして説明する。図６は本発明の
第５の実施例を示す圧電基板の平面図であり、図７は図
６のＡ−Ａ線に沿う断面図であり、図８は図６のＢ−Ｂ
線に沿う断面図である。圧電基板１１は、厚みすべり振
動を行うＡＴカット水晶板からなる。その圧電基板１１
の表面には、主電極２２ａが設けられ、幅寸法Ｇ（０．
４ｍｍ）の電極不在部３２を介して、さらにその周辺に
周辺電極４２ａが設けられている。そして、圧電基板１
１の重心Ｏから圧電基板の結晶軸で振動エネルギの分布
方向であるＸ軸に沿って、主電極２２ａには重心Ｏへの
奥行０．４ｍｍの切り欠き部２２１ａ，２２２ａを設け
ると共に、周辺電極４２ａには電極周辺補助電極４２１
ａ，４２２ａを設けて電極不在部３２に幅寸法Ｇ’
（０．２ｍｍ）の幅狭部を形成した。また、圧電基板１
１の裏面には前記表面電極群に対応して、圧電基板１１
のほぼ全面に裏面電極５１ａが設けられている。このよ
うな構造において、主電極２２ａとそれに対応する裏面
電極の一部分が主振動エネルギ閉じ込め部を構成し、電
極不在部３２とそれに対応する裏面電極の一部分が振動
エネルギ伝搬部を構成し、周辺電極４２ａとそれに対応
する裏面電極の一部分が振動エネルギ吸収部を構成して
いる。また、主電極２２ａから圧電基板１１の一端部ま
でリード電極２２ｂが形成され、周辺電極４２ａは圧電
基板１１の反対側の端部までリード電極４２ｂが形成さ
れている。そして、これらの電極は例えば真空蒸着法に
より、厚み０．１５μmで形成される。そして周辺電極
４２ａと周辺補助電極４２１ａ，４２２ａ、およびリー
ド電極４２ｂとについては、前記電極群が露出した蒸着
マスクでさらにもう一度、真空蒸着を施すことにより上
面電極４２ｃ，４２１ｃ，４２２ｃ、４２ｄが形成され
て電極の厚みは０．３μmとなる。このため振動エネル
ギを吸収する効果が向上する。尚、第５の実施例では、
そして周辺電極４２ａと周辺補助電極４２１ａ，４２２
ａ、およびリード電極４２ｂとについて電極厚みを厚く
したが、図９（第６の実施例）に示すように、周辺補助
電極４４１ｃ，４１２ｃと少なくとも振動変位方向の周
辺電極４１ａの一部である４１ｃからリード電極４１ｄ
にかけての厚みを厚くすることによっても同様の効果を
もたらすことができる。

【００２１】次に、第７の実施例について説明する。前
記第１〜第６の実施例では圧電基板の結晶軸で振動エネ
ルギの分布方向であるＸ軸は両端のリード電極と直交す
る方向であったが、第７の実施例では圧電基板の結晶軸
で振動エネルギの分布方向であるＸ軸は両端のリード電
極と平行する場合の実施例である。以下図と共に説明す
る。図１０は第７の実施例を示す圧電基板の平面図であ
り、圧電基板１１に主電極２５ａが設けられ、圧電基板
の結晶軸で振動エネルギの分布方向であるＸ軸に沿って
（両端のリード電極方向）、主電極２５ａには重心Ｏへ
の奥行０．４ｍｍの切り欠き部２５１ａを設けると共
に、周辺電極４５ａには電極周辺補助電極４５１ａを設
けて幅寸法Ｇ（０．４ｍｍ）の電極不在部３５に幅寸法
Ｇ’（０．２ｍｍ）の幅狭部を形成した構成である。そ
して、周辺補助電極４５１ａと少なくとも振動変位方向
の周辺電極４５ａの一部の４５ｃからリード電極４１ｄ
にかけてと前記４５ｃの他端側である４５ｄ，４５ｅの
厚みを厚く形成した。

【００２２】次に、第８の実施例について説明する。図
１１を参照にして説明する。図１１は本発明の第８の実
施例を示す圧電基板の平面図である。尚、他の実施例と
同様の部分については同番号を付した。圧電基板１１
は、厚みすべり振動を行うＡＴカット水晶板からなり、
６．５ｍｍφで形成されている。その圧電基板１１の表
面には、楕円形状の主電極２６ａ（Ｘ軸方向に１．７５
ｍｍ、Ｚ’軸方向に１．２５ｍｍ）が設けられ、圧電基
板の結晶軸で振動エネルギの分布方向であるＸ軸に方向
には幅寸法Ｇ（０．４ｍｍ）の、Ｚ’方向には幅寸法
Ｇ’（０．２ｍｍ）の電極不在部３６を有するように周
辺電極４６ａを形成した。また、圧電基板１１の裏面に
は前記表面電極群に対応して、圧電基板１１のほぼ全面
に電極（図示せず）が設けられている。このような構造
において、主電極２６ａとそれに対応する裏面電極の一
部分が主振動エネルギ閉じ込め部を構成し、電極不在部
３６とそれに対応する裏面電極の一部分が振動エネルギ
伝搬部を構成し、周辺電極４６ａとそれに対応する裏面
電極ａの一部分が振動エネルギ吸収部を構成している。
また、主電極２６ａから圧電基板１１の一端部までと、
周辺電極４６ａおよび裏面電極は圧電基板１１の反対側
の端部までリード電極がそれぞれ形成されている。そし
て、これらの電極は真空蒸着法、あるいはスパッタリン
グ蒸着法等により、厚み０．１５μmで形成される。
尚、第８の実施例では、圧電基板のＸ軸方向に長く、
Ｚ’軸方向に短い主電極形状として楕円形状を例にして
説明したが、図４、図５に示されるような形状、ならび
に菱形、長方形、六角形状であってもよい。

【００２２】

【発明の効果】特許請求項１により、基本波と三次オー
バートーンとのＣＩ比を稼ぐとともに三次オーバートー
ンのＣＩ値を悪化させず、主振動の近傍にスプリアスが
発生することもない安定したオーバートーン発振が行え
る信頼性の高い圧電振動子を提供することができる。

【００２３】特許請求項２により、一層の基本波抑制効
果が向上し、より安定したオーバートーン発振が行える
信頼性の高い圧電振動子を提供することができる。

【００２４】特許請求項３により、基本波の振動エネル
ギを吸収して、一層の基本波抑制効果が向上し、より安
定したオーバートーン発振が行える信頼性の高い圧電振
動子を提供することができる。

【００２５】特許請求項４により、三次オーバートーン
のＣＩ値を良好に保ちつつ、かつ、基本波抑制するた
め、電気的特性が良好で安定したオーバートーン発振が
行える信頼性の高い圧電振動子を提供することができ
る。

【００２６】特許請求項５により、三次オーバートーン
のＣＩ値を良好に保ちつつ、かつ、一層の基本波抑制す
るため、電気的特性が良好でより安定したオーバートー
ン発振が行える信頼性の高い圧電振動子を提供すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示す圧電基板の平面図
である。

【図２】図１の底面図である。

【図３】本発明の第２の実施例を示す圧電基板の平面図
である。

【図４】本発明の第３の実施例を示す圧電基板の平面図
である。

【図５】本発明の第４の実施例を示す圧電基板の平面図
である。

【図６】本発明の第５の実施例を示す圧電基板の平面図
である。

【図７】図６のＡ−Ａ線に沿う断面図である。

【図８】図６のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。

【図９】本発明の第６の実施例を示す圧電基板の平面図
である。

【図１０】本発明の第７の実施例を示す圧電基板の平面
図である。

【図１１】本発明の第８の実施例を示す圧電基板の平面
図である。

【図１２】従来の実施例を示す圧電基板の平面図であ
る。

【図１３】図１２の底面図である。

【図１４】基本波と三次オーバートーンとのＣＩ値の比
較統計データを示すグラフである。

【符号の説明】

１，１１・・・圧電基板 ２，２１ａ，２２ａ，２３ａ，２４ａ，２５ａ，２６ａ
・・・主電極 ３，３１，３２，３３，３４，３５，３６・・・電極不
在部 ４，４１ａ，４２ａ，４３ａ，４４ａ，４５ａ，４６ａ
・・・周辺電極 ５，５１ａ・・・裏面電極

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所望次数にてオーバートーン発振するオ
   ーバートーン発振用圧電振動子であって、 圧電基板の片面には、前記所望次数のオーバートーン振
   動の主振動を閉じ込める主振動エネルギ閉じ込め部を構
   成する主電極と、当該主電極のほぼ全周に同一幅寸法Ｇ
   の前記振動エネルギ伝搬部を構成する電極不在部を介し
   て前記振動エネルギ吸収部を構成する周辺電極が形成さ
   れており、 前記圧電基板の他の片面には少なくとも前記主電極と電
   極不在部、ならびに周辺電極の対向面のほぼ全面に形成
   された裏面電極が形成されているとともに、 前記主電極のみを圧電基板の一端部まで形成するリード
   電極と、前記周辺電極および全裏面電極を圧電基板の反
   対側の端部まで形成するリード電極を有してなり、 前記電極不在部の少なくとも一箇所に幅狭部分を形成し
   てなる周辺補助電極を設けたことを特徴とするオーバー
   トーン発振用圧電振動子。
2. 【請求項２】 前記周辺補助電極は圧電基板のＸ軸方向
   に設けられていることを特徴とする特許請求項１項記載
   のオーバートーン発振用圧電振動子。
3. 【請求項３】 周辺電極のうち少なくとも前記周辺補助
   電極に隣接する箇所の電極厚みを前記主電極の厚みより
   厚くしたことを特徴とする特許請求項１項記載、又は特
   許請求項第２項記載のオーバートーン発振用振動子。
4. 【請求項４】 所望次数にてオーバートーン発振するオ
   ーバートーン発振用圧電振動子であって、 圧電基板の片面には、前記所望次数のオーバートーン振
   動の主振動を閉じ込める主振動エネルギ閉じ込め部を構
   成する主電極と、当該主電極のほぼ全周に前記振動エネ
   ルギ伝搬部を構成する電極不在部を介して前記振動エネ
   ルギ吸収部を構成する周辺電極が形成されており、 前記圧電基板の他の片面には少なくとも前記主電極と電
   極不在部、ならびに周辺電極の対向面のほぼ全面に形成
   された裏面電極が形成されているとともに、 前記主電極のみを圧電基板の一端部まで形成するリード
   電極と、前記周辺電極および裏面電極を圧電基板の反対
   側の端部まで形成するリード電極を有してなり、 前記主
   電極は圧電基板のＸ軸方向に長く、Ｚ’軸方向に短い形
   状としたことを特徴とするオーバートーン発振用圧電振
   動子。
5. 【請求項５】 前記電極不在部の少なくとも一箇所に幅
   狭部分を設け、かつ、前記幅狭部分は圧電基板のＺ’軸
   方向に設けられていることを特徴とする特許請求項４項
   記載のオーバートーン発振用圧電振動子。