JP2001257561A - ３次オーバートーン水晶振動子及びその製造方法 - Google Patents
３次オーバートーン水晶振動子及びその製造方法Info
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- JP2001257561A JP2001257561A JP2000069811A JP2000069811A JP2001257561A JP 2001257561 A JP2001257561 A JP 2001257561A JP 2000069811 A JP2000069811 A JP 2000069811A JP 2000069811 A JP2000069811 A JP 2000069811A JP 2001257561 A JP2001257561 A JP 2001257561A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ３次オーバートンで発生するスプリアスを
抑制する。 【解決手段】矩形状厚み滑り水晶片に励振電極を設け、
矩形状厚み滑り水晶片の長手方向の端部を気密端子にマ
ウントした半完成水晶振動子を蒸着により周波数調整す
る３次オーバートーン水晶振動子に於いて、励振電極は
矩形状厚み滑り振動片の長手方向に長い矩形状をなし、
該矩形状励振電極の長手方向端部に長手方向と直交する
帯状のスプリアス抑制物質を備えた３次オーバートーン
水晶振動子とする。
抑制する。 【解決手段】矩形状厚み滑り水晶片に励振電極を設け、
矩形状厚み滑り水晶片の長手方向の端部を気密端子にマ
ウントした半完成水晶振動子を蒸着により周波数調整す
る３次オーバートーン水晶振動子に於いて、励振電極は
矩形状厚み滑り振動片の長手方向に長い矩形状をなし、
該矩形状励振電極の長手方向端部に長手方向と直交する
帯状のスプリアス抑制物質を備えた３次オーバートーン
水晶振動子とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は３次オーバートーン
水晶振動子及びその製造方法に関するものである。
水晶振動子及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】厚み滑り水晶振動子の用途が多様化する
中で、高周波水晶振動子が要求されている。厚み滑り振
動子の周波数は水晶片の厚みで決まり、水晶片の厚みは
周波数に反比例するので厚み滑りの基本波で高周波を得
るには水晶片を薄くしなければならない。水晶片の加工
技術の問題があり薄くするのは限度があるため、厚み滑
り振動の高調波（３次、５次、７次オーバートン等）を
使用して高周波を得ている。
中で、高周波水晶振動子が要求されている。厚み滑り振
動子の周波数は水晶片の厚みで決まり、水晶片の厚みは
周波数に反比例するので厚み滑りの基本波で高周波を得
るには水晶片を薄くしなければならない。水晶片の加工
技術の問題があり薄くするのは限度があるため、厚み滑
り振動の高調波（３次、５次、７次オーバートン等）を
使用して高周波を得ている。
【０００３】一方では水晶振動子の小型化が要求され、
水晶片を矩形状にしてその長手方向一端部を気密端子に
マウントし、円筒型封止管で封止する所謂シリンダータ
イプの振動子が多用されている。
水晶片を矩形状にしてその長手方向一端部を気密端子に
マウントし、円筒型封止管で封止する所謂シリンダータ
イプの振動子が多用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】水晶片を小型化し、さ
らに矩形状にすると水晶片の形状に起因するスプリアス
（寄生振動）が発生し易くなる。スプリアスが発振し易
いレベルにあると、水晶振動子を発振回路に組込んだ時
に主振動ではなくスプリアスで発振することがあり、周
波数が大幅に狂ってしまう。
らに矩形状にすると水晶片の形状に起因するスプリアス
（寄生振動）が発生し易くなる。スプリアスが発振し易
いレベルにあると、水晶振動子を発振回路に組込んだ時
に主振動ではなくスプリアスで発振することがあり、周
波数が大幅に狂ってしまう。
【０００５】特に基本波が２０ＭＨｚ以上の水晶片を３
次オーバートーンで使用するとスプリアスで発振する水
晶振動子が発生し易かった。オーバートーンの発生を抑
える手段としては矩形状水晶片のディメンション、マウ
ント構造、励振電極等々の最適化、またその組合わせの
最適化等があるが、微妙な内容であり、量産の中ではば
らつき等によりスプリアスの発生をなくす事ができな
い。本発明の目的はスプリアスの発生を抑制する水晶振
動子を得ることにあり、またその製造方法を提供するこ
とにある。
次オーバートーンで使用するとスプリアスで発振する水
晶振動子が発生し易かった。オーバートーンの発生を抑
える手段としては矩形状水晶片のディメンション、マウ
ント構造、励振電極等々の最適化、またその組合わせの
最適化等があるが、微妙な内容であり、量産の中ではば
らつき等によりスプリアスの発生をなくす事ができな
い。本発明の目的はスプリアスの発生を抑制する水晶振
動子を得ることにあり、またその製造方法を提供するこ
とにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】矩形状厚み滑り水晶片に
励振電極を設け、矩形状厚み滑り水晶片の長手方向の端
部を気密端子にマウントした半完成水晶振動子を蒸着に
より周波数調整する３次オーバートーン水晶振動子に於
いて、励振電極は矩形状厚み滑り振動片の長手方向に長
い矩形状をなし、該矩形状励振電極の長手方向端部に長
手方向と直交する帯状のスプリアス抑制物質を備えた３
次オーバートーン水晶振動子とする。
励振電極を設け、矩形状厚み滑り水晶片の長手方向の端
部を気密端子にマウントした半完成水晶振動子を蒸着に
より周波数調整する３次オーバートーン水晶振動子に於
いて、励振電極は矩形状厚み滑り振動片の長手方向に長
い矩形状をなし、該矩形状励振電極の長手方向端部に長
手方向と直交する帯状のスプリアス抑制物質を備えた３
次オーバートーン水晶振動子とする。
【０００７】前記スプリアス抑制物質をマウント部とは
反対側端部にのみ形成した３次オーバートーン水晶振動
子とする。
反対側端部にのみ形成した３次オーバートーン水晶振動
子とする。
【０００８】水晶片の長手方向長さをＬ１、励振電極の
長手方向長さをＬ２、スプリアス電極の帯状幅をＬ３、
周波数調整銀薄膜の長手方向長さをＬ４とした時、Ｌ
１：Ｌ２：Ｌ３：Ｌ４＝１：０．５８〜０．７０：０．
４０〜０．５６：０．０５８〜０．０７０である３次オ
ーバートーン水晶振動子とする。
長手方向長さをＬ２、スプリアス電極の帯状幅をＬ３、
周波数調整銀薄膜の長手方向長さをＬ４とした時、Ｌ
１：Ｌ２：Ｌ３：Ｌ４＝１：０．５８〜０．７０：０．
４０〜０．５６：０．０５８〜０．０７０である３次オ
ーバートーン水晶振動子とする。
【０００９】矩形状厚み滑り水晶片に励振電極を設け、
矩形状厚み滑り水晶片の長手方向の端部を気密端子にマ
ウントした半完成水晶振動子を蒸着により周波数調整す
る３次オーバートーン水晶振動子の製造方法において、
周波数調整電極と同時にスプリアス抑制電極を形成する
３次オーバートーン水晶振動子の製造方法とする。
矩形状厚み滑り水晶片の長手方向の端部を気密端子にマ
ウントした半完成水晶振動子を蒸着により周波数調整す
る３次オーバートーン水晶振動子の製造方法において、
周波数調整電極と同時にスプリアス抑制電極を形成する
３次オーバートーン水晶振動子の製造方法とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１は水晶片に励振電極を形成し
た平面図である。矩形状をした薄板の水晶片１はＡＴカ
ットをした厚み滑り振動をするものであり、矩形状水晶
片に合わせた形状の励振電極２が両面に形成されてい
る。励振電極２の長手方向両端部から引出し電極２ａ、
２ｂが水晶片の長手方向端部まで形成されている。
た平面図である。矩形状をした薄板の水晶片１はＡＴカ
ットをした厚み滑り振動をするものであり、矩形状水晶
片に合わせた形状の励振電極２が両面に形成されてい
る。励振電極２の長手方向両端部から引出し電極２ａ、
２ｂが水晶片の長手方向端部まで形成されている。
【００１１】図２は本発明を実施した水晶片の一実施形
態で平面図である。励振電極の長手方向両端部に長手方
向と直交する帯状のスプリアス抑制物質を形成したもの
である。スプリアス抑制物質は振動減衰剤が望ましい
が、付加質量効果により振動周波数を変化できればよ
い。励振電極、引出し電極形成後にスクリーン印刷等に
より形成することができる。
態で平面図である。励振電極の長手方向両端部に長手方
向と直交する帯状のスプリアス抑制物質を形成したもの
である。スプリアス抑制物質は振動減衰剤が望ましい
が、付加質量効果により振動周波数を変化できればよ
い。励振電極、引出し電極形成後にスクリーン印刷等に
より形成することができる。
【００１２】図３は帯状抑制物質を形成（付加）する前
の波形図であり、図４は帯状抑制物質形成後の波形図で
ある。主振動は−６．４ｄＢ→−６．４ｄＢ、スプリア
ス１−１５．５ｄＢ→−２４．８ｄＢ、スプリアス２−
１１．８ｄＢ→−１５．１ｄＢであり、主振動は変わら
ずスプリアスの励振レベルを抑制できていることが分か
る。
の波形図であり、図４は帯状抑制物質形成後の波形図で
ある。主振動は−６．４ｄＢ→−６．４ｄＢ、スプリア
ス１−１５．５ｄＢ→−２４．８ｄＢ、スプリアス２−
１１．８ｄＢ→−１５．１ｄＢであり、主振動は変わら
ずスプリアスの励振レベルを抑制できていることが分か
る。
【００１３】図５は励振電極、引出し電極を形成した水
晶片を気密端子４にマウントした半完成状態の水晶振動
子の斜視図である。矩形状水晶片１の長手方向の一端部
を固定する構造である。水晶片の固体部は振動が抑制さ
れ、他端部は固定されないので振動は抑制されない。こ
の状態で水晶片の振動周波数を蒸着により調整される。
晶片を気密端子４にマウントした半完成状態の水晶振動
子の斜視図である。矩形状水晶片１の長手方向の一端部
を固定する構造である。水晶片の固体部は振動が抑制さ
れ、他端部は固定されないので振動は抑制されない。こ
の状態で水晶片の振動周波数を蒸着により調整される。
【００１４】図６は振動周波数調整後の半完成水晶振動
子の斜視図である。蒸着により銀等の膜５を形成し周波
数を低下させ所定周波数に調整している。
子の斜視図である。蒸着により銀等の膜５を形成し周波
数を低下させ所定周波数に調整している。
【００１５】図７は本発明の水晶振動子の実施形態を示
す斜視図である。矩形状厚み滑り水晶片１に励振電極
１、引出し電極２ａ、２ｂを形成し、気密端子４の水晶
片１をマウントし、銀薄膜５による周波数調整と同時
に、銀薄膜による帯状スプリアス抑制電極６を形成した
ものである。銀薄膜による帯状スプリアス抑制電極６
は、マウント部とは反対側端部のみに形成してある。水
晶片１の長手方向の長さはＬ１、励振電極２の長手方向
の長さはＬ２、帯状スプリアス抑制電極の幅はＬ３、周
波数調整銀薄膜の長手方向の長さはＬ４で表示してい
る。水晶片の短手方向の長さはＷ１、励振電極２の短手
方向の長さはＷ２、帯状スプリアス抑制電極６の長さは
Ｗ３、周波数調整銀薄膜の短手方向の長さはＷ４で表示
している。
す斜視図である。矩形状厚み滑り水晶片１に励振電極
１、引出し電極２ａ、２ｂを形成し、気密端子４の水晶
片１をマウントし、銀薄膜５による周波数調整と同時
に、銀薄膜による帯状スプリアス抑制電極６を形成した
ものである。銀薄膜による帯状スプリアス抑制電極６
は、マウント部とは反対側端部のみに形成してある。水
晶片１の長手方向の長さはＬ１、励振電極２の長手方向
の長さはＬ２、帯状スプリアス抑制電極の幅はＬ３、周
波数調整銀薄膜の長手方向の長さはＬ４で表示してい
る。水晶片の短手方向の長さはＷ１、励振電極２の短手
方向の長さはＷ２、帯状スプリアス抑制電極６の長さは
Ｗ３、周波数調整銀薄膜の短手方向の長さはＷ４で表示
している。
【００１６】本実施形態では、水晶振動子の周波数は３
次オーバートーンで６０ＭＨｚ以上である。Ｌ１：Ｌ
２：Ｌ３：Ｌ４＝１：０．５８〜０．７０：０．４０〜
０．５６：０．０５８〜０．０７０、Ｗ１：Ｗ２：Ｗ
３：Ｗ４＝１：０．７５〜０．９０：０．６８〜０．９
０：０．４８〜０．６３である。帯状スプリアス抑制電
極はマウント部とは反対側端部のみに形成してあるが、
マウント部側は気密端子に固定されているので、スプリ
アスの発生が抑制されるので、フリーになっている反対
側端部だけスプリアスの発生を抑制すれば良い。帯状ス
プリアス抑制電極の大きさ、膜厚、配置位置等は、矩形
状水晶片の形状やマウント構造等により変化するので、
スプリアスが小さくなるよう設定することが望ましい。
次オーバートーンで６０ＭＨｚ以上である。Ｌ１：Ｌ
２：Ｌ３：Ｌ４＝１：０．５８〜０．７０：０．４０〜
０．５６：０．０５８〜０．０７０、Ｗ１：Ｗ２：Ｗ
３：Ｗ４＝１：０．７５〜０．９０：０．６８〜０．９
０：０．４８〜０．６３である。帯状スプリアス抑制電
極はマウント部とは反対側端部のみに形成してあるが、
マウント部側は気密端子に固定されているので、スプリ
アスの発生が抑制されるので、フリーになっている反対
側端部だけスプリアスの発生を抑制すれば良い。帯状ス
プリアス抑制電極の大きさ、膜厚、配置位置等は、矩形
状水晶片の形状やマウント構造等により変化するので、
スプリアスが小さくなるよう設定することが望ましい。
【００１７】
【発明の効果】本発明によると、スプリアス抑制物質の
形成により抑制物質形成部での周波数を変化させること
で、スプリアスの発生、スプリアスの伝播を抑制でき
る。
形成により抑制物質形成部での周波数を変化させること
で、スプリアスの発生、スプリアスの伝播を抑制でき
る。
【００１８】矩形状厚み滑り水晶片の長手方向の端部を
気密端子にマウントした水晶振動子では、帯状スプリア
ス抑制電極はマウント部とは反対側端部のみに形成する
だけでスプリアスの発生を抑制する効果がある。
気密端子にマウントした水晶振動子では、帯状スプリア
ス抑制電極はマウント部とは反対側端部のみに形成する
だけでスプリアスの発生を抑制する効果がある。
【００１９】周波数調整時にスプリアス抑制電極を同時
に形成することで、スプリアス用抑制電極の形成に特別
の工程を必要とせず、またスプリアス抑制電極による周
波数変化量含みで調整できる利点がある。
に形成することで、スプリアス用抑制電極の形成に特別
の工程を必要とせず、またスプリアス抑制電極による周
波数変化量含みで調整できる利点がある。
【図１】水晶片に励振電極を形成した平面図
【図２】本発明を実施した水晶片の一実施形態で平面図
【図３】帯状抑制物質を形成（付加）する前の波形図
【図４】帯状抑制物質形成後の波形図
【図５】励振電極、引出し電極を形成した水晶片を気密
端子４にマウントした半完成状態の水晶振動子の斜視図
端子４にマウントした半完成状態の水晶振動子の斜視図
【図６】振動周波数調整後の半完成水晶振動子の斜視図
【図７】本発明の水晶振動子の実施形態を示す斜視図
１ 矩形状水晶片 ２ 励振電極 ２ａ 引出し電極 ２ｂ 引出し電極 ３ スプリアス抑制物質 ４ 気密端子 ５ 銀薄膜 ６ スプリアス抑制電極
Claims (4)
- 【請求項１】 矩形状厚み滑り水晶片に励振電極を設
け、矩形状厚み滑り水晶片の長手方向の端部を気密端子
にマウントした半完成水晶振動子を蒸着により周波数調
整する３次オーバートーン水晶振動子に於いて、励振電
極は矩形状厚み滑り振動片の長手方向に長い矩形状をな
し、該矩形状励振電極の長手方向端部に長手方向と直交
する帯状のスプリアス抑制物質を備えたことを特徴とす
る３次オーバートーン水晶振動子。 - 【請求項２】 前記スプリアス抑制物質をマウント部と
は反対側端部にのみ形成したことを特徴とする請求項１
記載の３次オーバートーン水晶振動子。 - 【請求項３】 水晶片の長手方向長さをＬ１、励振電極
の長手方向長さをＬ２、スプリアス電極の帯状幅をＬ
３、周波数調整銀薄膜の長手方向長さをＬ４とした時、
Ｌ１：Ｌ２：Ｌ３：Ｌ４＝１：０．５８〜０．７０：
０．４０〜０．５６：０．０５８〜０．０７０であるこ
とを特徴とする請求項１または２記載の３次オーバート
ーン水晶振動子。 - 【請求項４】 矩形状厚み滑り水晶片に励振電極を設
け、矩形状厚み滑り水晶片の長手方向の端部を気密端子
にマウントした半完成水晶振動子を蒸着により周波数調
整する３次オーバートーン水晶振動子の製造方法におい
て、周波数調整電極と同時にスプリアス抑制電極を形成
することを特徴とする３次オーバートーン水晶振動子の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000069811A JP2001257561A (ja) | 2000-03-14 | 2000-03-14 | ３次オーバートーン水晶振動子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000069811A JP2001257561A (ja) | 2000-03-14 | 2000-03-14 | ３次オーバートーン水晶振動子及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001257561A true JP2001257561A (ja) | 2001-09-21 |
Family
ID=18588632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000069811A Pending JP2001257561A (ja) | 2000-03-14 | 2000-03-14 | ３次オーバートーン水晶振動子及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001257561A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006042065A (ja) * | 2004-07-28 | 2006-02-09 | Kyocera Corp | 圧電共振素子及びそれを用いた圧電共振装置 |
| JP2006238115A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Daishinku Corp | 圧電振動子の周波数調整方法 |
| JP2008005333A (ja) * | 2006-06-23 | 2008-01-10 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイス |
| JP2009147765A (ja) * | 2007-12-17 | 2009-07-02 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法 |
-
2000
- 2000-03-14 JP JP2000069811A patent/JP2001257561A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006042065A (ja) * | 2004-07-28 | 2006-02-09 | Kyocera Corp | 圧電共振素子及びそれを用いた圧電共振装置 |
| JP4574268B2 (ja) * | 2004-07-28 | 2010-11-04 | 京セラ株式会社 | 圧電共振素子及びそれを用いた圧電共振装置 |
| JP2006238115A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Daishinku Corp | 圧電振動子の周波数調整方法 |
| JP4577041B2 (ja) * | 2005-02-25 | 2010-11-10 | 株式会社大真空 | 圧電振動子の周波数調整方法 |
| JP2008005333A (ja) * | 2006-06-23 | 2008-01-10 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイス |
| JP4665849B2 (ja) * | 2006-06-23 | 2011-04-06 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイスの製造方法 |
| JP2009147765A (ja) * | 2007-12-17 | 2009-07-02 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法 |
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