JP3288818B2 - 描画装置駆動システム - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は描画装置駆動システムに
関し、特に、パターンデータファイルを取り込んでか
ら、描画装置の被描画対象に対する描画を駆動するまで
の一連の処理を行なうシステムに関する。

【０００２】

【従来の技術】集積回路メーカの中には、その製造のた
めに必要なフォトマスクの作成を自社では実行せずにフ
ォトマスクの作成を専用的に行なっている他社に依頼す
るメーカもある。このような集積回路メーカは、例え
ば、パターンデータファイルを磁気テープ等の記憶媒体
に記憶してフォトマスク作成メーカに提供すると共に、
フォトマスクサイズやそのフォトマスクに係る層名やフ
ォトマスクを構成する１又は２以上のパターンデータの
配置情報等を記載した仕様書を提供してフォトマスクの
作成を依頼する。

【０００３】このようにして作成が依頼されると、所定
の周辺装置を備えたパソコンやワークステーションでな
るパターンデータファイル入力装置によって、提供され
たパターンデータファイルを取込み、その後、所定の周
辺装置を備えたパソコンやワークステーションでなる描
画指示ファイル作成装置（いわゆるＣＡＤシステムや、
後述する描画装置の駆動制御装置が有するエディタ：パ
ターンデータファイル入力装置と同一のパソコン等で構
成されていても良い）を用いて、仕様書の記載に基づき
ながらパターンデータを配置していって描画指示ファイ
ルを作成し、この描画指示ファイルを、所定の周辺装置
を備えたパソコンやワークステーションでなる描画装置
の駆動制御装置に通信回線又は記録媒体を介して与え、
この駆動制御装置が描画指示ファイルの内容に従って描
画装置を駆動制御して、依頼されたフォトマスクを作成
させる。

【０００４】なお、パターンデータファイルとは、例え
ばレジスト面の部分区画又は全体区画の潜像パターンの
形状等を特定する情報であり、描画指示ファイルとは、
集積回路の各層に対応するものであり、どのパターンデ
ータを使用し、それらがフォトマスクブランク上のどの
場所にどのような条件で描画されるかを規定しているも
のである。

【０００５】ところで、フォトマスクの作成に用いられ
る電子ビーム描画装置は、複数のメーカが作成してお
り、各メーカの電子ビーム描画装置は、描画指示ファイ
ルのフォーマットが異なっており、また、描画指示ファ
イルの構成要素であるパターンデータファイルのフォー
マットも異なっている。図１１（ａ）及び（ｂ）は、異
なるフォーマットに従って記述された２種類のパターン
データファイルの一例であり、図１１（ｃ）及び（ｄ）
は、異なるフォーマットに従って記述された２種類の描
画指示ファイルの一例である。

【０００６】上述したフォトマスク作成メーカは、最近
の集積回路の高集積化にいちはやく対応した電子ビーム
描画装置を買い増したり、多様な依頼に応じられるよう
に複数種類の電子ビーム描画装置を用意したりしてい
る。すなわち、描画指示ファイルのフォーマット（パタ
ーンデータファイルのフォーマット）が異なる複数の電
子ビーム描画装置を有している。

【０００７】そのため、図１２に示すように、上述した
パターンデータファイル入力装置や描画指示ファイル作
成装置や描画装置の駆動制御装置は、従来、電子ビーム
描画装置の種類Ａ、Ｂ、Ｃ毎に別個に構成されていた。

【０００８】すなわち、種類Ａの電子ビーム描画装置５
Ａに対する描画装置駆動システム１Ａは、その種類Ａ対
応のパターンデータファイル入力装置２Ａ、描画指示フ
ァイル作成装置３Ａ及び描画装置の駆動制御装置４Ａで
構成されており、種類Ｂの電子ビーム描画装置５Ｂに対
する描画装置駆動システム１Ｂは、その種類Ｂ対応のパ
ターンデータファイル入力装置２Ｂ、描画指示ファイル
作成装置３Ｂ及び描画装置の駆動制御装置４Ｂで構成さ
れており、種類Ｃの電子ビーム描画装置５Ｃに対する描
画装置駆動システム１Ｃは、その種類Ｃ対応のパターン
データファイル入力装置２Ｃ、描画指示ファイル作成装
置３Ｃ及び描画装置の駆動制御装置４Ｃで構成されてお
り、電子ビーム描画装置の種類Ａ、Ｂ、Ｃ毎に閉じたシ
ステムとなっていた。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】フォトマスク作成メー
カにおいて、このような多種類の電子ビーム描画装置に
対応するために、各種類の電子ビーム描画装置毎に専用
の作業者を決めておくことが考えられる。しかし、依頼
状況によっては、忙しい作業者と暇の作業者とが生じて
好ましくない。そこで、一人の作業者が、全ての種類の
電子ビーム描画装置に対応できるようにすることが考え
られる。しかし、上述のように、各種類の電子ビーム描
画装置は、描画指示ファイルのフォーマットやパターン
データファイルのフォーマットが異なっており、しか
も、描画指示ファイルの作成手法（ルール等）も異なっ
ているので、作業者が獲得しなければならない知識が膨
大となり、実際的でない。

【００１０】そこで、アイデアとしては、全種類の電子
ビーム描画装置対応の単一システムを構築することが挙
げられる。特に、種類によって相違が大きい描画指示フ
ァイルの作成を、できるだけ種類に関係なく共通化する
ことが考えられる。

【００１１】しかし、従来、このような多種類の電子ビ
ーム描画装置に対応できる単一システムは提供されてい
ない。作業者ができるだけ種類を意識せずに描画指示フ
ァイルを作成できるように、各種類のパターンデータフ
ァイルの一部情報又は全情報をある特定種類のパターン
データファイルに変換して同一手法で描画指示ファイル
を作成し、作成した描画指示ファイルを各種類の電子ビ
ーム描画装置に対応するように変換し直すことで、全種
類の電子ビーム描画装置に対応することも考えられる
が、この方法では、データ変換のための処理部（プログ
ラム等）が複雑となってしまう。

【００１２】本発明は、以上の点を考慮してなされたも
のであり、できるだけ共通の作成方法によって簡単な処
理部構成でオペレータに負担を掛けずに各種類の描画指
示ファイルを作成できる描画装置駆動システムを提供し
ようとしたものである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、被描画対象に
描画する全体パターンの要素パターンの情報でなるパタ
ーンデータファイルを取込む１個以上のパターンデータ
ファイル入力装置と、各パターンデータファイルの描画
時における適用の仕方を規定した描画指示ファイルを作
成する１個以上の描画指示ファイル作成装置と、描画指
示ファイル及びパターンデータファイルに基づいて描画
装置を駆動制御する各描画装置に対応して設けられた駆
動制御装置とでなり、異なる種類の複数の描画装置を駆
動可能な描画装置駆動システムに関する。

【００１４】そして、各パターンデータファイル入力装
置が、(1) 描画装置の種類によって異なるフォーマット
を有するパターンデータファイルを取込む、各種類の描
画装置用の入力手段と、(2) これら各入力手段によって
取込まれたパターンデータファイルに含まれている情報
の内、描画指示ファイルを作成するのに必要の情報を取
出し、描画装置の種類に関係しない共通フォーマットに
従うようにした描画指示ファイル作成用データファイル
を作成する描画指示ファイル作成用データファイル作成
手段とを有すること、及び、各描画指示ファイル作成装
置が、(1) 描画指示ファイル作成用データファイルに基
づいて、パターンデータファイルの配置処理を含む処理
を行なって、統一描画指示ファイルを作成する統一描画
指示ファイル作成手段と、(2) 作成された統一描画指示
ファイルから、描画装置の種類に応じたフォーマットに
従う種類対応描画指示ファイルを得る各種類の描画装置
用の描画指示ファイル作成手段とを有することを特徴と
する。

【００１５】

【作用】本発明においては、複数種類の描画装置に簡単
な構成で対応できるように、パターンデータファイル入
力装置や描画指示ファイル作成装置を、各種類の描画装
置対応ではなく、どの種類の描画装置にも対応できるよ
うに構成した。

【００１６】この場合において、パターンデータファイ
ル入力装置や描画指示ファイル作成装置の内部構成が、
各種類の描画装置対応の構成が単にパラレルに設けられ
ているのであれば、各種類の描画装置対応にパターンデ
ータファイル入力装置や描画指示ファイル作成装置を設
けたのとほとんど差異はなく、また、オペレータの操作
面の改善もない。

【００１７】そこで、本発明においては、各パターンデ
ータファイル入力装置に、描画装置の種類によって異な
るフォーマットを有するパターンデータファイルを取込
む、各種類の描画装置用の入力手段に加えて、これら各
入力手段によって取込まれたパターンデータファイルに
含まれている情報の内、描画指示ファイルを作成するの
に必要の情報を取出し、描画装置の種類に関係しない共
通フォーマットに従うようにした描画指示ファイル作成
用データファイルを作成する描画指示ファイル作成用デ
ータファイル作成手段を設け、また、各描画指示ファイ
ル作成装置に、描画指示ファイル作成用データファイル
に基づいて、パターンデータファイルの配置処理を含む
処理を行なって、統一描画指示ファイルを作成する統一
描画指示ファイル作成手段と、(2) 作成された統一描画
指示ファイルから、描画装置の種類に応じたフォーマッ
トに従う種類対応描画指示ファイルを得る各種類の描画
装置用の描画指示ファイル作成手段とを設けた。

【００１８】すなわち、各描画指示ファイル作成装置に
おける統一描画指示ファイル作成手段は、各パターンデ
ータファイル入力装置における描画指示ファイル作成用
データファイル作成手段が作成した、描画装置の種類に
関係しない共通フォーマットに従う描画指示ファイル作
成用データファイルを利用して、描画装置種類に関係し
ない共通的な処理（主としてパターンデータファイルの
配置処理）によって、描画装置種類に関係しない統一フ
ォーマットの描画指示ファイルを作成し、各種類の描画
装置用の描画指示ファイル作成手段が、この統一描画指
示ファイルから、描画装置の種類に応じたフォーマット
に従う描画指示ファイルを得ることで、描画指示ファイ
ルの作成処理の共通化を計り、システム構成の簡単化と
オペレータの負担の軽減を実現するようにした。

【００１９】

【実施例】（Ａ）実施例の全体構成及び動作 以下、本発明による描画装置駆動システムの一実施例を
図面を参照しながら詳述する。

【００２０】ここで、図１は、この実施例の全体構成を
機能的に示したものである。この実施例の描画装置駆動
システム１は、３種類について１個ずつの電子ビーム描
画装置Ａ、Ｂ、Ｃを駆動制御対象としており、図１に示
すように、パターンデータファイル入力装置１０、描画
指示ファイル作成装置２０、各種類の描画装置Ａ、Ｂ、
Ｃ用駆動制御装置３０Ａ、３０Ｂ、３０ＣがＬＡＮ４０
を介して接続されて構成されている。

【００２１】パターンデータファイル入力装置１０は、
キーボードやディスプレイや磁気テープ読取装置やハー
ドディスク等の周辺装置を備えたパソコンやワークステ
ーション等でなる。パターンデータファイル入力装置１
０は、機能的には（主としてソフトウェア面から機能を
分けている）、各種類の電子ビーム描画装置Ａ、Ｂ、Ｃ
に係るパターンデータファイルをそれぞれ取り込むＡ装
置用入力部１１Ａ、Ｂ装置用入力部１１Ｂ、Ｃ装置用入
力部１１Ｃと、後述するヘッダファイルを生成するヘッ
ダファイル生成部１２と、生成されたヘッダファイルを
描画指示ファイル作成装置２０に転送させるヘッダファ
イル転送部１３から構成されている（ヘッダファイルや
パターンデータファイルの記憶部も存在する）。

【００２２】描画指示ファイル作成装置２０は、キーボ
ードやマウスやディスプレイやハードディスク等の周辺
装置を備えたパソコンやワークステーション等でなる。
描画指示ファイル作成装置２０は、機能的には（主とし
てソフトウェア面から機能を分けている）、ヘッダファ
イルに基づいて統一フォーマットの描画指示ファイルを
作成する統一描画指示ファイル作成部２１と、この統一
描画指示ファイルから、対象となっている種類の電子ビ
ーム描画装置Ａ、Ｂ、Ｃの描画指示ファイルを得るＡ装
置用描画指示ファイル作成部２２Ａ、Ｂ装置用描画指示
ファイル作成部２２Ｂ、Ｃ装置用描画指示ファイル作成
部２２Ｃと、作成した描画指示ファイルをパターンデー
タファイル入力装置１０に転送させる描画指示ファイル
転送部２３からなっている（各種ファイルの記憶部も存
在する）。

【００２３】各描画装置の駆動制御装置３０Ａ、３０
Ｂ、３０Ｃはそれぞれ、キーボードやディスプレイやハ
ードディスク等の周辺装置を備えたパソコンやワークス
テーション等でなる。各駆動制御装置３０Ａ、３０Ｂ、
３０Ｃはそれぞれ、機能的には（主としてソフトウェア
面から機能を分けている）、パターンデータファイル入
力装置１０から描画に係る描画指示ファイル及びパター
ンデータファイルを転送させて受取るファイル受取部３
１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃと、受領したファイル内容に従っ
て描画装置Ａ、Ｂ、Ｃに描画を実行させる描画部３２
Ａ、３２Ｂ、３２Ｃとから構成されている。

【００２４】次に、上述した機能的構成を有する描画装
置駆動システム１の概略動作を、図１に加えて図２をも
用いて説明する。

【００２５】例えば、ファイルの取込みが指示されたＡ
装置用入力部１１Ａは、磁気テープ等の記録媒体に記憶
されているＡ装置用パターンデータファイルを、パター
ンデータファイル入力装置１０内に取込む（ステップ１
００）。各入力部１１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃにリンクされ
ているヘッダファイル生成部１２は、取込まれた各パタ
ーンデータファイルにおけるヘッダ情報の内、描画指示
ファイルの作成に必要な情報（例えばパターンデータフ
ァイルを仮想的フォトマスクブランクに配置するのに必
要な情報等）を取出し、装置種類に関係しない統一フォ
ーマットに従うヘッダファイルを生成する（ステップ１
０１）。このようなヘッダファイルが、ヘッダファイル
転送部１３によって描画指示ファイル作成装置２０に転
送される（ステップ１０２）。

【００２６】描画指示ファイル作成装置２０において、
統一描画指示ファイル作成部２１は、装置種類に関係な
く、オペレータの指示内容に従い、転送されて内部に記
憶されている統一フォーマットのヘッダファイルの情報
に基づいて、仮想的フォトマスクブランクに対する１又
は２以上のパターンデータファイルの配置を決定したり
して統一描画指示ファイルを作成する（ステップ１０
３）。このようにして統一描画指示ファイルが作成され
ると、今対象となっている描画装置Ａの種類に係るＡ装
置用描画指示ファイル２２Ａは、その統一描画指示ファ
イルを、描画装置Ａ用のフォーマットに従うように変換
して最終的な描画指示ファイルを作成する（ステップ１
０４）。このようにして作成された描画指示ファイル
は、描画指示ファイル転送部２３によって、パターンデ
ータファイル入力装置１０に転送される（ステップ１０
５）。

【００２７】オペレータは、例えばＡ装置用駆動制御装
置３０Ａに被描画対象の特定情報を入力し、このとき、
Ａ装置用駆動制御装置３０Ａのファイル受取部３１Ａ
は、その被描画対象に係る描画指示ファイルと、その描
画指示ファイルに関連するパターンデータファイルをパ
ターンデータファイル入力装置１０から転送させる（ス
テップ１０６）。描画部３２Ａは、受領した描画指示フ
ァイルのパターンデータファイルの配置情報に、パター
ンデータファイルのパターンデータ部を嵌め込んで、走
査しながら電子ビームを照射する位置を決定して描画装
置Ａを駆動し、描画装置Ａに被描画対象に対する描画を
実行させる（ステップ１０７）。

【００２８】以上のように、ヘッダファイル生成部１２
や統一描画指示ファイル作成部２１等の装置種類に関係
なく動作する機能部を利用しながら、一連の描画動作を
実行している。

【００２９】（Ｂ）パターンデータファイル入力装置１
０の詳細 次に、パターンデータファイル入力装置１０の詳細を図
面を参照しながら詳述する。

【００３０】図３は、パターンデータファイル入力装置
１０のハードウェア構成を簡単に示したものである。パ
ターンデータファイル入力装置１０は、中央処理ユニッ
ト（ＣＰＵ：ここではプログラムメモリを含むものとす
る）５０と、ワーキングメモリ５１と、パターンデータ
ファイル入力用デバイス（磁気テープ読取装置）５２
と、ユーザインタフェース用デバイス（キーボード及び
ディスプレイ等）５３と、ハードディスク装置５４と、
通信制御回路５５とから構成されている。

【００３１】ＣＰＵ５０には、Ａ装置用入力プログラム
５０ａ、Ｂ装置用入力プログラム５０ｂ、Ｃ装置用入力
プログラム５０ｃ、ヘッダファイル生成用プログラム５
０ｄ及びヘッダファイル転送用プログラム５０ｅが搭載
されている。また、ハードディスク装置５４は、パター
ンデータファイル、ヘッダファイル、描画指示ファイル
に対する格納エリア５４ａ、５４ｂ、５４ｃを有してい
る。

【００３２】図４は、パターンデータファイルの説明図
である。図４（ａ）は、パターンデータファイルをイメ
ージ的に表したものであり、図４（ｂ）は、パターンデ
ータファイルのデータ構造を示したものである。

【００３３】パターンデータファイルは、図４（ａ）に
示すように、特定の大きさを有する矩形領域Ｒ０におい
て、描画装置（Ａ、Ｂ又はＣ）による電子ビームが照射
される領域Ｒ１と、照射されない領域Ｒ２とを、最小位
置精度（アドレスサイズ：通常、照射電子ビームのスポ
ット径に相当）等の情報と共に明らかにするものであ
る。領域Ｒ０の大きさは、縦横の長さ（ウィンドウサイ
ズ：描画領域限界）Ｘ、Ｙで規定される。そして、パタ
ーンデータファイルは、図４（ｂ）に示すように、ヘッ
ダ部ＨＥＡとデータ部ＤＡＴからなり、データ部ＤＡＴ
には、電子ビームが照射される領域Ｒ１（又は照射され
ない領域Ｒ２）についての位置データが挿入され、ヘッ
ダ部ＨＥＡにはこの位置データ以外のデータ、例えば、
パターンデータファイル名やアドレスサイズやウィンド
ウサイズ等が挿入されている。

【００３４】装置種類Ａ、Ｂ、Ｃによってパターンデー
タファイルのフォーマットは異なるが、いずれのパター
ンデータファイルも、ヘッダ部ＨＥＡ及びデータ部ＤＡ
Ｔからなり、上述したような各種情報がヘッダ部ＨＥＡ
及びデータ部ＤＡＴに振り分けられて挿入されている。

【００３５】図５は、パターンデータファイル入力装置
１０によって生成されるヘッダファイルを示すものであ
る。各ヘッダファイルは、装置種類に関係しない統一フ
ォーマットでなり、構成する情報としては、少なくとも
パターンデータファイル名、アドレスサイズ及びウィン
ドウサイズである。これらデータは、被描画対象である
フォトマスクブランク上にパターンデータファイルを配
置させる処理に必要な最小限のデータである。描画指示
ファイルの作成には、配置処理時に必要なデータ以外も
必要であり、パターンデータファイルに上述したデータ
以外の描画指示ファイルの作成に必要なデータがあれ
ば、これらデータもヘッダファイルに含めるようにして
も良い。

【００３６】以上のように、統一フォーマットに従うよ
うな変換は、ヘッダ部内の所定情報に対してのみ行な
い、ヘッダ部はデータ部の１％程度の容量であるので、
パターンデータファイル全体を統一フォーマットに従う
ように変換する場合に比較して変換は容易である。

【００３７】フォトマスク作成依頼者からは、上述のよ
うなデータ構造を有するパターンデータファイル５６が
記録媒体（例えば磁気テープ）に記録されて支給され
る。

【００３８】図６は、パターンデータファイル入力装置
１０の処理手順を示すものである（オペレータの操作を
含む）。

【００３９】オペレータは、支給された記録媒体をパタ
ーンデータファイル入力用デバイス（磁気テープ読取装
置）５２に装填した後、その装置種類を特定してユーザ
インタフェース用デバイス（キーボード）５３を用いて
読み込みを指示する（ステップ１１０）。このとき、Ｃ
ＰＵ５０は、指示された装置用の入力プログラム（５０
ａ、５０ｂ又は５０ｃを実行し、パターンデータファイ
ル入力用デバイス（磁気テープ読取装置）５２に読取り
動作させ、読み取られたパターンデータファイルをハー
ドディスク装置５４のパターンデータファイル格納エリ
ア５４ａに格納させる（ステップ１１１）。

【００４０】オペレータは、ユーザインタフェース用デ
バイス（キーボード）５３を用いてヘッダファイルの生
成を指示する（ステップ１１２）。このとき、ＣＰＵ５
０は、ヘッダファイル生成用プログラム５０ｄを実行
し、パターンデータファイルからヘッダファイルに含め
るデータ（パターンデータファイル名、アドレスサイ
ズ、ウィンドウサイズ等）を抽出し、それらデータを統
一フォーマットに従うように変換してヘッダファイルを
生成してハードディスク装置５４のヘッダファイル格納
エリア５４ｂに格納させる（ステップ１１３、１１
４）。なお、ヘッダファイル生成用プログラム５０ｄ
は、所定データを抽出、変換する各装置種類に対応した
部分と、ヘッダファイルのフォーマットに従うようにデ
ータを配置して格納させる各装置種類に共通な部分とで
なる。

【００４１】このようにして指示された各パターンデー
タファイルに対するヘッダファイルが生成され、ハード
ディスク装置５４に記憶されると、ＣＰＵ５０は、自動
的に又はオペレータからの指示に基づいて、ヘッダファ
イル転送用プログラム５０ｅを開始し、ハードディスク
装置５４内のヘッダファイル格納エリア５４ｂに記録さ
れた各ヘッダファイルを、通信制御回路５５の制御下で
描画指示ファイル作成装置２０に転送させる（ステップ
１１５）。

【００４２】なお、ヘッダファイルに層名やチップ名等
の描画指示ファイルの作成に必要な情報をオペレータが
ユーザインタフェース用デバイス（キーボード）５３を
用いて付加するようにしても良い。

【００４３】（Ｃ）描画指示ファイル作成装置２０の詳
細 次に、パターンデータファイル入力装置１０からヘッダ
ファイルが与えられ、パターンデータファイル入力装置
１０に作成した描画指示ファイルを送信する描画指示フ
ァイル作成装置２０の詳細を図面を参照しながら詳述す
る。

【００４４】図７は、描画指示ファイル作成装置２０の
ハードウェア構成を簡単に示したものである。描画指示
ファイル作成装置２０は、中央処理ユニット（ＣＰＵ：
ここではプログラムメモリを含むものとする）６０と、
ワーキングメモリ６１と、ユーザインタフェース用デバ
イス（マウス、キーボード及びディスプレイ等）６２
と、ハードディスク装置６３と、通信制御回路６４とか
ら構成されている。

【００４５】ＣＰＵ６０には、統一描画指示ファイル作
成プログラム（例えばＣＡＤプログラムの一種）６０
ａ、Ａ装置用ファイル変換プログラム６０ｂ、Ｂ装置用
ファイル変換プログラム６０ｃ、Ｃ装置用ファイル変換
プログラム６０ｄ及びファイル転送用プログラム６０ｅ
が搭載されている。また、ハードディスク装置６３は、
ヘッダファイル及び描画指示ファイルに対する格納エリ
ア６３ａ及び６３ｂを有している。

【００４６】図８は、描画指示ファイル作成装置２０の
処理手順を示すものである（オペレータの操作を含
む）。また、図９は、パターンデータファイルの配置処
理時のディスプレイ画面の表示例を示すものであり、図
１０は、描画指示ファイルの説明図である。

【００４７】以下、図８を中心に参照し、必要に応じて
図９及び図１０を参照して、描画指示ファイル作成装置
２０における処理を説明する。

【００４８】パターンデータファイル入力装置１０から
ＬＡＮ４０に出力されたヘッダファイルの到来を、通信
制御回路６４からの通知によって認識したＣＰＵ６０
は、到来したヘッダファイルを順次ハードディスク装置
６３のヘッダファイル格納エリア６３ａに格納する（ス
テップ１２０）。

【００４９】このようにして配置しようとするパターン
データファイルに係るヘッダファイルがハードディスク
装置６３に格納されている状態で、オペレータは例えば
キーボードによってパターンデータファイルの配置処理
の起動を指示し、このとき、ＣＰＵ６０は統一描画指示
ファイル作成プログラム６０ａを開始する（ステップ１
２１）。そして、例えば、最初に、被描画対象のフォト
マスクブランクの大きさを規定するマスクサイズや、被
描画対象のフォトマスクブランクがどの半導体製品のど
の層に係るかを規定する層名等の書誌的事項の入力（装
置種類の入力がこの際に行なわれて良い）をディスプレ
イによってオペレータに促し、これに応じてキーボード
を用いて入力されたこれら情報を取込み、取込んだ情報
の一部又は全てをディスプレイに確定表示させる（ステ
ップ１２２）。このようにして取込まれたマスクサイズ
や層名は、ワーキングメモリ６１に格納される。

【００５０】なお、このような書誌的事項や後述するパ
ターンデータファイルの配置位置等の情報については、
フォトマスク作成依頼者から例えば電子化されていない
紙による仕様書によって与えられている。

【００５１】ＣＰＵ６０は、ディスプレイ画面上にマス
クサイズに応じた、しかも座標系を明確にした擬似的な
フォトマスクブランク表面をウィンドウ表示すると共に
（ステップ１２３）、配置に係るパターンデータファイ
ル名及び配置位置を指示することをオペレータに促し、
これに応じて、オペレータがキーボードやマウスによっ
て指示したパターンデータファイル名及び配置位置を取
込み、取込んだ情報及びヘッダファイルの情報に応じ
て、擬似的なフォトマスクブランク表面のウィンドウ表
示内容を更新すると共に、描画指示ファイルに含める情
報を確定してワーキングメモリ６１に格納する（１２
４、１２５）。このような配置入力処理は、配置入力の
終了が指示されるまで繰り返される（ステップ１２
６）。

【００５２】配置入力処理の一例をより具体的に説明す
る。パターンデータファイル名が与えられると、ＣＰＵ
６０は、ハードディスク装置６３からそのファイル名を
有するヘッダファイルを取出し、ウィンドウサイズを認
識し、そのウィンドウサイズを有する矩形領域をその中
心やいずれかの隅部等の所定点がそのときのカーソルに
一致するように擬似的なフォトマスクブランク表面上に
表示すると共に所定点座標値も表示し、マウスによって
カーソルが移動された場合にはこれらを更新表示する。
そして、マウスがクリックされたときに、その矩形領域
及び所定点座標値の表示を固定すると共に、そのパター
ンデータファイルの配置が確定されたとして、パターン
データファイル名、ヘッダファイルに含まれているアド
レスサイズ、及び、所定点座標値（配置座標）を１組の
情報としてワーキングメモリ６１に整理格納する。この
ような各組の情報は、マスクサイズや層名等の書誌的情
報に関連して整理格納される。

【００５３】配置入力が終了したときに得られた情報
は、装置種類に関係しない統一フォーマットの描画指示
ファイルとみることができる。

【００５４】なお、ヘッダファイルに層名等の情報が含
まれている場合には、指示されたパターンデータファイ
ル名を有するファイルが配置対象であるか否かを層名等
によって確認するようにしても良い。

【００５５】図９は、パターンデータファイル名がＡＡ
ＡＡＡＡＡ．ＡＡ及びＢＢＢＢＢＢＢ．ＢＢである２個
のパターンデータファイルの配置が確定した場合の表示
画面例を示すものである。図９に示すように、擬似的な
フォトマスクブランクＰＨＯ上にこれらパターンデータ
ファイルのウィンドウの大きさが重畳表示される。

【００５６】配置入力の終了が指示されると、ＣＰＵ６
０は、装置種類を取込み（又は書誌的事項の入力の際に
既に入力されている場合には装置種類を認識し）、その
装置種類用のファイル変換プログラム６０ｂ、６０ｃ又
は６０ｄを開始し、ワーキングメモリ６１に格納されて
いるマスクサイズや層名等の書誌的情報、並びに、この
情報に関連して格納されているパターンデータファイル
名、アドレスサイズ及び所定点座標値（配置座標）を、
その装置種類用の描画指示ファイルのフォーマットに従
うように変換して最終的な描画指示ファイルを作成して
ハードディスク装置６３に格納させる（ステップ１２
７）。

【００５７】このようにして、装置種類によってフォー
マットは異なるが、図１０に示すように、フォトマスク
サイズ、層名等の書誌的情報に加えて、パターンデータ
ファイル名、アドレスサイズ及び配置座標を含む、従来
システムで作成したと同様な描画指示ファイルが得られ
る。

【００５８】以上のようにしてある装置種類用の描画指
示ファイルが作成され、ハードディスク装置６３に記憶
されると、ＣＰＵ６０は、自動的に又はオペレータの指
示に基づいて、ファイル転送用プログラム６０ｅを開始
し、ハードディスク装置６３に記録された描画指示ファ
イルを、通信制御回路６４の制御下でパターンデータフ
ァイル入力装置２０に転送させる（ステップ１２８）。

【００５９】なお、描画装置Ａ、Ｂ、Ｃ及びその駆動制
御装置３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃの構成及び動作は、従来
と同様であるので、その詳細説明は省略する。

【００６０】（Ｄ）実施例の効果 以上のように、上記実施例によれば、パターンデータフ
ァイルを配置処理するのに最低限必要な情報等の描画指
示ファイルの作成に必要な情報を含むしかも装置種類に
関係ない統一フォーマットに従うヘッダファイルを生成
すると共に、そのヘッダファイルの情報を利用して統一
描画指示ファイルの作成（主としてパターンデータファ
イルの配置処理）を行なうようにしたので、従来、装置
種類によって大きく異なっていた描画指示ファイルの作
成操作を装置種類に無関係にでき、オペレータが複数種
類の装置のフォーマット等を全て知得する必要がなく、
オペレータの負担を軽減できると共に、熟練度が低いオ
ペレータも容易にパターンデータファイルの配置作業を
実行できるようになる。

【００６１】また、上記実施例によれば、描画指示ファ
イルの作成処理において、パターンデータファイル自体
から必要情報を得るのではなく、ヘッダファイルから必
要情報を得れば良いので、描画指示ファイルの作成処理
のために必要な描画指示ファイル作成装置２０における
記憶容量を従来より格段的に少なくできる（例えば１／
１００程度）。その結果、システム全体から見たディス
ク装置に係る費用や占有空間を従来より削減することが
できる。

【００６２】さらに、上記実施例によれば、ヘッダファ
イルの作成や、このヘッダファイルを利用した統一描画
指示ファイルの作成を行なうようにしたので、装置種類
に共通なプログラムが多く、各装置種類に対する処理プ
ログラムを単に集合させた場合に比較してソフトウェア
構成も簡単なものとできる。

【００６３】（Ｅ）他の実施例 なお、上記実施例においては、パターンデータファイル
入力装置及び描画指示ファイル作成装置がそれぞれ１個
のものを示したが、２個以上設けられていても良い。

【００６４】また、上記実施例においては、パターンデ
ータファイル入力装置及び描画指示ファイル作成装置が
別個の情報処理装置（例えばパソコン）で構成されてい
るものを示したが、同一の情報処理装置をパターンデー
タファイル入力装置及び描画指示ファイル作成装置とし
て使い分けるようにしても良い。

【００６５】さらに、上記実施例においては、パターン
データファイル入力装置、描画指示ファイル作成装置及
び駆動制御装置がＬＡＮによって接続されたものを示し
たが、フロッピーディスク等の記録媒体によって各装置
間で情報を授受するようにしても良い。

【００６６】さらにまた、上記実施例においては、描画
装置が電子ビーム描画装置であるものを示したが、光学
式描画装置であっても良い。また、被描画対象もフォト
マスクブランクに限定されるものではなく、ウェハであ
っても良い（この場合は直接描画が採用される）。描画
も走査描画に限定されるものではなく、光学式描画装置
等では照射一括描画であっても良い。

【００６７】上記実施例においては、各種類の描画装置
がそれぞれ１個のものを示したが、同一種類の描画装置
も２個以上備えていても良い。

【００６８】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、複数種
類の描画装置に共通してパターンデータファイル入力装
置及び描画指示ファイル作成装置を設けると共に、パタ
ーンデータファイル入力装置がパターンデータファイル
を取込んだ際に、取込まれたパターンデータファイルに
含まれている情報の内、描画指示ファイルを作成するの
に必要な情報を取出して描画指示ファイル作成用データ
ファイルを作成し、このデータファイルに基づいて、描
画装置の種類に関係しない統一描画指示ファイルを作成
し、この統一描画指示ファイルを各装置種類用の描画指
示ファイルに変換作成するようにしたので、できるだけ
共通の作成方法によってしかも簡単な処理部構成で各種
類の描画指示ファイルを作成できる描画装置駆動システ
ムを実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例の描画装置駆動システムの全体構成を示
すブロック図である。

【図２】実施例の概略全体処理を示すフローチャートで
ある。

【図３】実施例のパターンデータファイル入力装置の構
成を示すブロック図である。

【図４】パターンデータファイルの説明図である。

【図５】ヘッダファイルの説明図である。

【図６】実施例のパターンデータファイル入力装置の処
理を示すフローチャートである。

【図７】実施例の描画指示ファイル作成装置の構成を示
すブロック図である。

【図８】実施例の描画指示ファイル作成装置の処理を示
すフローチャートである。

【図９】パターンデータファイルの配置処理時のディス
プレイ画面の表示例を示す説明図である。

【図１０】描画指示ファイルの説明図である。

【図１１】パターンデータファイル等のフォーマットの
多様性を示す説明図である。

【図１２】従来構成を示すブロック図である。

【符号の説明】

１ 描画装置駆動システム、 Ａ、Ｂ、Ｃ 各種類の描画装置、 １０ パターンデータファイル入力
装置、 １１Ａ、１１Ｂ、１１Ｃ 各種類の描画装置用入力部
（入力手段）、 １２ ヘッダファイル生成部（描画
指示ファイル作成用データファイル作成手段）、 ２０ 描画指示ファイル作成装置、 ２１ 統一描画指示ファイル作成部
（作成手段）、 ２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ 各種類の描画装置用描画指示
ファイル作成部（作成手段）、 ３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ 駆動制御装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 野口 岳史 東京都新宿区中落合２丁目７番５号 ホ ーヤ株式会社内 (72)発明者 村田 晋一 東京都新宿区中落合２丁目７番５号 ホ ーヤ株式会社内 (72)発明者 山本 敏 東京都新宿区中落合２丁目７番５号 ホ ーヤ株式会社内 (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/027

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被描画対象に描画する全体パターン又は
   その要素パターンの情報でなるパターンデータファイル
   を取込む１個以上のパターンデータファイル入力装置
   と、各パターンデータファイルの描画時における適用の
   仕方を規定した描画指示ファイルを作成する１個以上の
   描画指示ファイル作成装置と、描画指示ファイル及びパ
   ターンデータファイルに基づいて描画装置を駆動制御す
   る各描画装置に対応して設けられた駆動制御装置とでな
   り、異なる種類の複数の描画装置を駆動可能な描画装置
   駆動システムであって、 上記各パターンデータファイル入力装置が、 描画装置の種類によって異なるフォーマットを有するパ
   ターンデータファイルを取込む、各種類の描画装置用の
   入力手段と、 これら各入力手段によって取込まれたパターンデータフ
   ァイルに含まれている情報の内、描画指示ファイルを作
   成するのに必要の情報を取出し、描画装置の種類に関係
   しない共通フォーマットに従うようにした描画指示ファ
   イル作成用データファイルを作成する描画指示ファイル
   作成用データファイル作成手段とを有し、 上記各描画指示ファイル作成装置が、 上記描画指示ファイル作成用データファイルに基づい
   て、上記パターンデータファイルの配置処理を含む処理
   を行なって、統一描画指示ファイルを作成する統一描画
   指示ファイル作成手段と、 作成された統一描画指示ファイルから、描画装置の種類
   に応じたフォーマットに従う種類対応描画指示ファイル
   を得る各種類の描画装置用の描画指示ファイル作成手段
   とを有することを特徴とした描画装置駆動システム。