JP3287768B2 - マガジン用エレベータ装置の上下動作データ設定方法 - Google Patents
マガジン用エレベータ装置の上下動作データ設定方法Info
- Publication number
- JP3287768B2 JP3287768B2 JP15184996A JP15184996A JP3287768B2 JP 3287768 B2 JP3287768 B2 JP 3287768B2 JP 15184996 A JP15184996 A JP 15184996A JP 15184996 A JP15184996 A JP 15184996A JP 3287768 B2 JP3287768 B2 JP 3287768B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magazine
- frame
- transport path
- storing
- data memory
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000010485 coping Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67769—Storage means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置の
組立装置におけるリードフレーム、ウェーハ、半導体基
板等の薄板を収納した、また収納するためのマガジンを
用い、このマガジンのリードフレームが収納されるフレ
ーム収納部を搬送路レベルに位置させるように、エレベ
ータ装置によってマガジンを上下動作させるためのデー
タ設定方法に関する。
組立装置におけるリードフレーム、ウェーハ、半導体基
板等の薄板を収納した、また収納するためのマガジンを
用い、このマガジンのリードフレームが収納されるフレ
ーム収納部を搬送路レベルに位置させるように、エレベ
ータ装置によってマガジンを上下動作させるためのデー
タ設定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体製造装置の組立装置、特
にワイヤボンディング装置、ダイボンディング装置等の
ボンディング装置においては、図４に示すように、フレ
ームフィーダのフレーム搬送路１の両側にローダ側マガ
ジン２Ａ及びアンローダ側マガジン２Ｂが配置されてお
り、マガジン２（２Ａ、２Ｂ）はそれぞれローダ側エレ
ベータ装置３Ａ及びアンローダ側エレベータ装置３Ｂの
マガジンホルダ４に位置決め載置される。フレーム搬送
路１の側方には、ワイヤボンディング装置又はダイボン
ディング装置等のボンディング装置５が配設されてい
る。そこで、ローダ側マガジン２Ａ内のリードフレーム
６は、フレームプッシャ７によりフレーム搬送路１に押
し出される。フレーム搬送路１に押し出されたリードフ
レーム６は、図示しないフレームフィーダで作業位置
（ボンディング位置）１ａに送られ、ボンディング装置
５でボンディング作業が行われる。ボンディング作業完
了後、リードフレーム６は再びフレームフィーダによっ
て送られ、アンローダ側マガジン２Ｂに収納される。
にワイヤボンディング装置、ダイボンディング装置等の
ボンディング装置においては、図４に示すように、フレ
ームフィーダのフレーム搬送路１の両側にローダ側マガ
ジン２Ａ及びアンローダ側マガジン２Ｂが配置されてお
り、マガジン２（２Ａ、２Ｂ）はそれぞれローダ側エレ
ベータ装置３Ａ及びアンローダ側エレベータ装置３Ｂの
マガジンホルダ４に位置決め載置される。フレーム搬送
路１の側方には、ワイヤボンディング装置又はダイボン
ディング装置等のボンディング装置５が配設されてい
る。そこで、ローダ側マガジン２Ａ内のリードフレーム
６は、フレームプッシャ７によりフレーム搬送路１に押
し出される。フレーム搬送路１に押し出されたリードフ
レーム６は、図示しないフレームフィーダで作業位置
（ボンディング位置）１ａに送られ、ボンディング装置
５でボンディング作業が行われる。ボンディング作業完
了後、リードフレーム６は再びフレームフィーダによっ
て送られ、アンローダ側マガジン２Ｂに収納される。
【０００３】マガジン２（２Ａ、２Ｂ）には、図５に示
すように、一定間隔を保って積層する形でリードフレー
ム６が収納される。そこで、ローダ側マガジン２Ａより
リードフレーム６がフレーム搬送路１に供給、またフレ
ーム搬送路１よりアンローダ側マガジン２Ｂにリードフ
レーム６が収納される毎に、前記それぞれのマガジン２
（２Ａ、２Ｂ）を一定ピッチ下降させ、マガジン２（２
Ａ、２Ｂ）の次のリードフレーム６を収納した又は収納
するフレーム収納部をフレーム搬送路１に位置させる必
要がある。
すように、一定間隔を保って積層する形でリードフレー
ム６が収納される。そこで、ローダ側マガジン２Ａより
リードフレーム６がフレーム搬送路１に供給、またフレ
ーム搬送路１よりアンローダ側マガジン２Ｂにリードフ
レーム６が収納される毎に、前記それぞれのマガジン２
（２Ａ、２Ｂ）を一定ピッチ下降させ、マガジン２（２
Ａ、２Ｂ）の次のリードフレーム６を収納した又は収納
するフレーム収納部をフレーム搬送路１に位置させる必
要がある。
【０００４】またエレベータ装置３（３Ａ、３Ｂ）のマ
ガジンホルダ４に２個以上のマガジン２（２Ａ、２Ｂ）
を積み重ねる方式においては、フレーム搬送路１の搬送
路レベルでローダ側マガジン２Ａの最上段のフレーム収
納部２ｇからリードフレーム６を送出後又はアンローダ
側マガジン２Ｂの最上段のフレーム収納部２ｇにリード
フレーム６を収納後に、該マガジン２（２Ａ、２Ｂ）の
直上のマガジン２（２Ａ、２Ｂ）の最下段のフレーム収
納部２ａをフレーム搬送路１の搬送路レベルに位置させ
るようにマガジン２（２Ａ、２Ｂ）を下降させる必要が
ある。
ガジンホルダ４に２個以上のマガジン２（２Ａ、２Ｂ）
を積み重ねる方式においては、フレーム搬送路１の搬送
路レベルでローダ側マガジン２Ａの最上段のフレーム収
納部２ｇからリードフレーム６を送出後又はアンローダ
側マガジン２Ｂの最上段のフレーム収納部２ｇにリード
フレーム６を収納後に、該マガジン２（２Ａ、２Ｂ）の
直上のマガジン２（２Ａ、２Ｂ）の最下段のフレーム収
納部２ａをフレーム搬送路１の搬送路レベルに位置させ
るようにマガジン２（２Ａ、２Ｂ）を下降させる必要が
ある。
【０００５】このようなマガジン移動装置として、例え
ば特公平１−３２１２７号公報があげられる。この方法
は、マガジン２を位置決め載置するエレベータ装置３
（３Ａ、３Ｂ）のマガジンホルダ４にフレーム収納部位
置検出板を固定している。フレーム収納部位置検出板
は、マガジン２のフレーム収納部ピッチと同じピッチで
フレーム収納部と同数形成されたスリットと、積み重ね
られたマガジン２（２Ａ、２Ｂ）の最上段のフレーム収
納部から該マガジン２の直上のマガジン２の最下段のフ
レーム収納部までの寸法と等しい寸法で前記スリットの
上方に形成されたスリットとを有する。そして、マガジ
ン２の最下段のフレーム収納部がフレーム搬送路１の搬
送路レベルに位置する時に、フレーム収納部位置検出板
の最下位置のスリットに対応するように、位置検出用ホ
トセンサを装置の固定部に固定している。
ば特公平１−３２１２７号公報があげられる。この方法
は、マガジン２を位置決め載置するエレベータ装置３
（３Ａ、３Ｂ）のマガジンホルダ４にフレーム収納部位
置検出板を固定している。フレーム収納部位置検出板
は、マガジン２のフレーム収納部ピッチと同じピッチで
フレーム収納部と同数形成されたスリットと、積み重ね
られたマガジン２（２Ａ、２Ｂ）の最上段のフレーム収
納部から該マガジン２の直上のマガジン２の最下段のフ
レーム収納部までの寸法と等しい寸法で前記スリットの
上方に形成されたスリットとを有する。そして、マガジ
ン２の最下段のフレーム収納部がフレーム搬送路１の搬
送路レベルに位置する時に、フレーム収納部位置検出板
の最下位置のスリットに対応するように、位置検出用ホ
トセンサを装置の固定部に固定している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、マガ
ジン２の種類に応じてフレーム収納部位置検出板を用意
する必要がある。また品種変更に伴うマガジン２の変更
の際には、フレーム収納部位置検出板と位置検出用ホト
センサとの相対位置関係を調整する必要がある。
ジン２の種類に応じてフレーム収納部位置検出板を用意
する必要がある。また品種変更に伴うマガジン２の変更
の際には、フレーム収納部位置検出板と位置検出用ホト
センサとの相対位置関係を調整する必要がある。
【０００７】本発明の第１の課題は、フレーム収納部位
置検出板及び位置検出用ホトセンサを必要としないでマ
ガジンの上下動作の制御が可能なマガジン用エレベータ
装置の上下動作データ設定方法を提供することにある。
置検出板及び位置検出用ホトセンサを必要としないでマ
ガジンの上下動作の制御が可能なマガジン用エレベータ
装置の上下動作データ設定方法を提供することにある。
【０００８】また前記公告公報にも示すように、エレベ
ータ装置３は、垂直に配設された雄ねじをモータで駆動
し、前記雄ねじに螺合して該雄ねじの回転によって上下
動する雌ねじに前記マガジンホルダ４が固定されてい
る。このマガジンホルダ４の駆動部品には、加工誤差及
び組み付け誤差がある。このため、各エレベータ装置３
毎に装置固有のマガジンホルダ４の上下動の位置ずれ誤
差を有する。
ータ装置３は、垂直に配設された雄ねじをモータで駆動
し、前記雄ねじに螺合して該雄ねじの回転によって上下
動する雌ねじに前記マガジンホルダ４が固定されてい
る。このマガジンホルダ４の駆動部品には、加工誤差及
び組み付け誤差がある。このため、各エレベータ装置３
毎に装置固有のマガジンホルダ４の上下動の位置ずれ誤
差を有する。
【０００９】本発明の第２の課題は、各エレベータ装置
毎の装置固有のマガジンホルダの位置ずれ誤差も含めた
データ設定が可能なマガジン用エレベータ装置の上下動
作データ設定方法を提供することにある。
毎の装置固有のマガジンホルダの位置ずれ誤差も含めた
データ設定が可能なマガジン用エレベータ装置の上下動
作データ設定方法を提供することにある。
【００１０】本発明の第３の課題は、マガジンの品種交
換を容易にかつ短時間で正確に対応することができるマ
ガジン用エレベータ装置の上下動作データ設定方法を提
供することにある。
換を容易にかつ短時間で正確に対応することができるマ
ガジン用エレベータ装置の上下動作データ設定方法を提
供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の第１の手段は、エレベータ装置のマガジンホ
ルダにマガジンを載置する工程と、リードフレーム等を
収納するために前記マガジンに設けられたフレーム収納
部の段数をデータメモリに記憶させる工程と、前記マガ
ジンの最下段のフレーム収納部を搬送路レベルに合わせ
てその位置をデータメモリに記憶させる工程と、前記マ
ガジンの最上段のフレーム収納部を搬送路レベルに合わ
せてその位置をデータメモリに記憶させる工程とを行う
ことを特徴とする。
の本発明の第１の手段は、エレベータ装置のマガジンホ
ルダにマガジンを載置する工程と、リードフレーム等を
収納するために前記マガジンに設けられたフレーム収納
部の段数をデータメモリに記憶させる工程と、前記マガ
ジンの最下段のフレーム収納部を搬送路レベルに合わせ
てその位置をデータメモリに記憶させる工程と、前記マ
ガジンの最上段のフレーム収納部を搬送路レベルに合わ
せてその位置をデータメモリに記憶させる工程とを行う
ことを特徴とする。
【００１２】上記課題を解決するための本発明の第２の
手段は、エレベータ装置のマガジンホルダにマガジンを
載置する工程と、リードフレーム等を収納するために前
記マガジンに設けられたフレーム収納部の段数をデータ
メモリに記憶させる工程と、前記マガジンの最下段のフ
レーム収納部を搬送路レベルに合わせてその位置をデー
タメモリに記憶させる工程と、前記マガジンの最上段の
フレーム収納部を搬送路レベルに合わせてその位置をデ
ータメモリに記憶させる工程と、前記マガジン上に更に
マガジンを積み重ねた後に、この積み重ねたマガジンの
最下段のフレーム収納部を搬送路レベルに合わせてその
位置をデータメモリに記憶させる工程とを行うことを特
徴とする。
手段は、エレベータ装置のマガジンホルダにマガジンを
載置する工程と、リードフレーム等を収納するために前
記マガジンに設けられたフレーム収納部の段数をデータ
メモリに記憶させる工程と、前記マガジンの最下段のフ
レーム収納部を搬送路レベルに合わせてその位置をデー
タメモリに記憶させる工程と、前記マガジンの最上段の
フレーム収納部を搬送路レベルに合わせてその位置をデ
ータメモリに記憶させる工程と、前記マガジン上に更に
マガジンを積み重ねた後に、この積み重ねたマガジンの
最下段のフレーム収納部を搬送路レベルに合わせてその
位置をデータメモリに記憶させる工程とを行うことを特
徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図４及び
図５を参照しながら図１乃至図３により説明する。本実
施の形態は、前記した公告公報（特公平１−３２１２７
号公報）に示す装置を用いた場合を示す。なお、本実施
の形態においては、前記公告公報に示すマガジン案内溝
位置検出板（フレーム収納部位置検出板）及び該フレー
ム収納部位置検出板に対応して設けられた位置検出用ホ
トセンサを有しない。また図５に示すマガジン２に変更
する場合について説明する。
図５を参照しながら図１乃至図３により説明する。本実
施の形態は、前記した公告公報（特公平１−３２１２７
号公報）に示す装置を用いた場合を示す。なお、本実施
の形態においては、前記公告公報に示すマガジン案内溝
位置検出板（フレーム収納部位置検出板）及び該フレー
ム収納部位置検出板に対応して設けられた位置検出用ホ
トセンサを有しない。また図５に示すマガジン２に変更
する場合について説明する。
【００１４】図２に示すディジタルスイッチ及びテンキ
ー等よりなる手動入力手段１０により、テレビモニタ１
１の画面に表示されているマガジン交換モードのローダ
側を選択する。これにより、主制御部１２を通して制御
メモリ１３に記憶されているデータ入力条件がテレビモ
ニタ１１に表示される。そこで、マガジン２のフレーム
収納部２ａ、２ｂ・・・２ｇの段数ｎを手動入力手段１
０により入力する。即ち、図５のマガジン２の場合は、
段数ｎが７であるので、７を入力する。この段数ｎのデ
ータは、主制御部１２を通してデータメモリ１４に記憶
される。
ー等よりなる手動入力手段１０により、テレビモニタ１
１の画面に表示されているマガジン交換モードのローダ
側を選択する。これにより、主制御部１２を通して制御
メモリ１３に記憶されているデータ入力条件がテレビモ
ニタ１１に表示される。そこで、マガジン２のフレーム
収納部２ａ、２ｂ・・・２ｇの段数ｎを手動入力手段１
０により入力する。即ち、図５のマガジン２の場合は、
段数ｎが７であるので、７を入力する。この段数ｎのデ
ータは、主制御部１２を通してデータメモリ１４に記憶
される。
【００１５】次にテレビモニタ１１に表示されているマ
ガジン交換スタートを手動入力手段１０により選択する
と、主制御部１２より制御メモリ１３に記憶されている
原点サーチモードが呼び出され、主制御部１２はモータ
制御部１５を介してローダ側エレベータ装置３Ａのモー
タ１６が駆動され、マガジンホルダ４は原点位置に移動
する。本実施の形態の場合は、マガジンホルダ４の原点
位置は、マガジンホルダ４が最下降位置、即ち前記公告
公報に示す下限リミットスイッチがオンした位置とな
る。従って、モータ１６が回転してマガジンホルダ４が
下降し、前記下限リミットスイッチがオンとなると、該
下限リミットスイッチのオン信号時のモータ１６の回転
位置、即ちマガジンホルダ４の位置が原点位置１７とし
てデータメモリ１４に記憶される。この状態におけるマ
ガジンホルダ４の位置を図１（ａ）に実線で示す。
ガジン交換スタートを手動入力手段１０により選択する
と、主制御部１２より制御メモリ１３に記憶されている
原点サーチモードが呼び出され、主制御部１２はモータ
制御部１５を介してローダ側エレベータ装置３Ａのモー
タ１６が駆動され、マガジンホルダ４は原点位置に移動
する。本実施の形態の場合は、マガジンホルダ４の原点
位置は、マガジンホルダ４が最下降位置、即ち前記公告
公報に示す下限リミットスイッチがオンした位置とな
る。従って、モータ１６が回転してマガジンホルダ４が
下降し、前記下限リミットスイッチがオンとなると、該
下限リミットスイッチのオン信号時のモータ１６の回転
位置、即ちマガジンホルダ４の位置が原点位置１７とし
てデータメモリ１４に記憶される。この状態におけるマ
ガジンホルダ４の位置を図１（ａ）に実線で示す。
【００１６】また本実施の形態においては、制御メモリ
１３には、下限リミットスイッチのオン信号により、マ
ガジンホルダ４をフレーム搬送路１の搬送路レベル１ｂ
の近傍まで上昇させるようにプログラムが入力されてい
る。これは次に説明する図１（ｂ）の操作時間の短縮を
図るために設定されている。即ち、原点位置１７の検出
後、モータ１６は逆転してマガジンホルダ４は図１
（ａ）に２点鎖線で示すように上昇する。そこで、マガ
ジンホルダ４上に使用するマガジン２Ａ１を位置決め載
置する。
１３には、下限リミットスイッチのオン信号により、マ
ガジンホルダ４をフレーム搬送路１の搬送路レベル１ｂ
の近傍まで上昇させるようにプログラムが入力されてい
る。これは次に説明する図１（ｂ）の操作時間の短縮を
図るために設定されている。即ち、原点位置１７の検出
後、モータ１６は逆転してマガジンホルダ４は図１
（ａ）に２点鎖線で示すように上昇する。そこで、マガ
ジンホルダ４上に使用するマガジン２Ａ１を位置決め載
置する。
【００１７】次に手動入力手段１０のディジタルスイッ
チを用いてモータ１６を駆動させ、マガジンホルダ４を
上昇させる。そして、図１（ｂ）に示すようにマガジン
２Ａ１の最下段のフレーム収納部２ａを搬送路レベル１
ｂに合わせる。その後、手動入力手段１０の設定ボタン
を押すと、その時のモータ１６の回転位置、即ちマガジ
ンホルダ４の第１収納部高さＡが主制御部１２を通して
データメモリ１４に記憶される。
チを用いてモータ１６を駆動させ、マガジンホルダ４を
上昇させる。そして、図１（ｂ）に示すようにマガジン
２Ａ１の最下段のフレーム収納部２ａを搬送路レベル１
ｂに合わせる。その後、手動入力手段１０の設定ボタン
を押すと、その時のモータ１６の回転位置、即ちマガジ
ンホルダ４の第１収納部高さＡが主制御部１２を通して
データメモリ１４に記憶される。
【００１８】続いて前記と同様に、手動入力手段１０の
ディジタルスイッチを用いてモータ１６を駆動させ、マ
ガジンホルダ４を下降させる。そして、図１（ｃ）に示
すようにマガジン２Ａ１の最上段のフレーム収納部２ｇ
を搬送路レベル１ｂに合わせる。その後、手動入力手段
１０の設定ボタンを押すと、その時のモータ１６の回転
位置、即ちマガジンホルダ４の最上段収納部高さＢが主
制御部１２を通してデータメモリ１４に記憶される。
ディジタルスイッチを用いてモータ１６を駆動させ、マ
ガジンホルダ４を下降させる。そして、図１（ｃ）に示
すようにマガジン２Ａ１の最上段のフレーム収納部２ｇ
を搬送路レベル１ｂに合わせる。その後、手動入力手段
１０の設定ボタンを押すと、その時のモータ１６の回転
位置、即ちマガジンホルダ４の最上段収納部高さＢが主
制御部１２を通してデータメモリ１４に記憶される。
【００１９】次に前記マガジン２Ａ１上にマガジン２Ａ
２をセットする。そこで、前記と同様に、手動入力手段
１０のディジタルスイッチを用いてモータ１６を駆動さ
せ、マガジンホルダ４を下降させる。そして、図１
（ｄ）に示すようにマガジン２Ａ２の最下段のフレーム
収納部２ａを搬送路レベル１ｂに合わせる。その後、手
動入力手段１０の設定ボタンを押すと、その時のモータ
１６の回転位置、即ちマガジンホルダ４のマガジン２Ａ
２の第１収納部高さＣが主制御部１２を通してデータメ
モリ１４に記憶される。
２をセットする。そこで、前記と同様に、手動入力手段
１０のディジタルスイッチを用いてモータ１６を駆動さ
せ、マガジンホルダ４を下降させる。そして、図１
（ｄ）に示すようにマガジン２Ａ２の最下段のフレーム
収納部２ａを搬送路レベル１ｂに合わせる。その後、手
動入力手段１０の設定ボタンを押すと、その時のモータ
１６の回転位置、即ちマガジンホルダ４のマガジン２Ａ
２の第１収納部高さＣが主制御部１２を通してデータメ
モリ１４に記憶される。
【００２０】前記の方法によって得られたデータＡ、
Ｂ、Ｃ及びマガジン２のフレーム収納部２ａ、２ｂ・・
・２ｇの段数ｎから、フレーム収納部ピッチＰ及び第１
のマガジン２Ａ１の最上段のフレーム収納部２ｇから第
２のマガジン２Ａ２の最下段のフレーム収納部２ａまで
の寸法Ｈは、下記に示す〔数１〕及び〔数２〕によって
算出される。
Ｂ、Ｃ及びマガジン２のフレーム収納部２ａ、２ｂ・・
・２ｇの段数ｎから、フレーム収納部ピッチＰ及び第１
のマガジン２Ａ１の最上段のフレーム収納部２ｇから第
２のマガジン２Ａ２の最下段のフレーム収納部２ａまで
の寸法Ｈは、下記に示す〔数１〕及び〔数２〕によって
算出される。
【数１】Ｐ＝（Ａ−Ｂ）／（ｎ−１）
【数２】Ｈ＝Ｂ−Ｃ
【００２１】そこで、手動入力手段１０によってデータ
入力終了ボタンを押すと、主制御部１２を通して演算部
１８は、〔数１〕及び〔数２〕のＰ及びＨを算出する。
即ち、制御メモリ１３に記憶されているプログラムに従
ってデータメモリ１４に記憶されているデータｎ、Ａ、
Ｂ、Ｃにより、演算部１８は〔数１〕及び〔数２〕によ
ってＰ及びＨを算出する。このＰ及びＨはデータメモリ
１４に記憶される。これにより、ローダ側エレベータ装
置３Ａのマガジンデータの設定は完了する。アンローダ
側エレベータ装置３Ｂにおいても、同様の操作によって
データｎ、Ａ、Ｂ、Ｃを設定する。なお、本発明の要旨
とは関係ないので説明は省略するが、マガジンが変更に
なった場合は、マガジン２の長さを入力し、図４に示す
フレームプッシャ７の作動範囲を設定する必要がある。
入力終了ボタンを押すと、主制御部１２を通して演算部
１８は、〔数１〕及び〔数２〕のＰ及びＨを算出する。
即ち、制御メモリ１３に記憶されているプログラムに従
ってデータメモリ１４に記憶されているデータｎ、Ａ、
Ｂ、Ｃにより、演算部１８は〔数１〕及び〔数２〕によ
ってＰ及びＨを算出する。このＰ及びＨはデータメモリ
１４に記憶される。これにより、ローダ側エレベータ装
置３Ａのマガジンデータの設定は完了する。アンローダ
側エレベータ装置３Ｂにおいても、同様の操作によって
データｎ、Ａ、Ｂ、Ｃを設定する。なお、本発明の要旨
とは関係ないので説明は省略するが、マガジンが変更に
なった場合は、マガジン２の長さを入力し、図４に示す
フレームプッシャ７の作動範囲を設定する必要がある。
【００２２】次にローダ側エレベータ装置３Ａの動作を
図３により説明する。なお、図３において、２０はマガ
ジンクランパ、２１はマガジンプッシャを示す。図示し
ないマガジンセットボタンを押すと、主制御部１２はデ
ータメモリ１４に記憶されているデータＡを読み出し、
モータ制御部１５を介してモータ１６を駆動させ、マガ
ジンホルダ４は高さＡの位置に移動する。この状態で、
図３（ａ）に示すようにリードフレームが収納されたマ
ガジン２Ａ１、２Ａ２・・・を図示しないマガジンガイ
ド板内に入れてマガジンホルダ４上に積み重ねておく。
この状態においては、マガジン２Ａ１内の最下段のリー
ドフレームが搬送路レベル１ｂに位置している。
図３により説明する。なお、図３において、２０はマガ
ジンクランパ、２１はマガジンプッシャを示す。図示し
ないマガジンセットボタンを押すと、主制御部１２はデ
ータメモリ１４に記憶されているデータＡを読み出し、
モータ制御部１５を介してモータ１６を駆動させ、マガ
ジンホルダ４は高さＡの位置に移動する。この状態で、
図３（ａ）に示すようにリードフレームが収納されたマ
ガジン２Ａ１、２Ａ２・・・を図示しないマガジンガイ
ド板内に入れてマガジンホルダ４上に積み重ねておく。
この状態においては、マガジン２Ａ１内の最下段のリー
ドフレームが搬送路レベル１ｂに位置している。
【００２３】そこで装置を始動させると、フレームプッ
シャ７が作動してマガジン２Ａ１内の最下段のリードフ
レームがフレーム搬送路１に送出される。リードフレー
ムが送出されると、図示しないフレーム送り出し検出ス
イッチによりモータ１６が始動し、マガジンホルダ４は
データメモリ１４に記憶されている１ピッチＰだけ下降
し、図３（ｂ）に示すように次のリードフレームが搬送
路レベル１ｂに位置する。以後、前記のようにリードフ
レームが送出される毎にマガジンホルダ４は１ピッチＰ
だけ下降させられる。
シャ７が作動してマガジン２Ａ１内の最下段のリードフ
レームがフレーム搬送路１に送出される。リードフレー
ムが送出されると、図示しないフレーム送り出し検出ス
イッチによりモータ１６が始動し、マガジンホルダ４は
データメモリ１４に記憶されている１ピッチＰだけ下降
し、図３（ｂ）に示すように次のリードフレームが搬送
路レベル１ｂに位置する。以後、前記のようにリードフ
レームが送出される毎にマガジンホルダ４は１ピッチＰ
だけ下降させられる。
【００２４】このような動作を順次繰り返し、図３
（ｃ）に示すようにマガジン２Ａ１の最上段のリードフ
レームが搬送路レベル１ｂに位置され、このリードフレ
ームが送出される。即ち、データメモリ１４に記憶され
ているフレーム収納部の段数ｎの数だけリードフレーム
の送出動作が行われる。この動作後、次はデータメモリ
１４に記憶されているデータＨだけマガジンホルダ４は
下降させられる。これにより、図３（ｄ）に示すように
マガジン２Ａ２の最下段のリードフレームが搬送路レベ
ル１ｂに位置し、このリードフレームが送出可能な状態
となる。
（ｃ）に示すようにマガジン２Ａ１の最上段のリードフ
レームが搬送路レベル１ｂに位置され、このリードフレ
ームが送出される。即ち、データメモリ１４に記憶され
ているフレーム収納部の段数ｎの数だけリードフレーム
の送出動作が行われる。この動作後、次はデータメモリ
１４に記憶されているデータＨだけマガジンホルダ４は
下降させられる。これにより、図３（ｄ）に示すように
マガジン２Ａ２の最下段のリードフレームが搬送路レベ
ル１ｂに位置し、このリードフレームが送出可能な状態
となる。
【００２５】そしてマガジン２Ａ２の最下段のリードフ
レームが送出され、フレームフィーダで作業位置（ボン
ディング位置）に送られてリードフレームにボンディン
グが行われ、次のリードフレームの送出可能の信号がく
る前に、前記した公告公報（特公平１−３２１２７号公
報）に記載された従来と同様の動作によってマガジン２
Ａ１の排出が行われる。マガジン２Ａ１の排出後、マガ
ジンホルダ４が第１収納部高さＡだけ上昇し、マガジン
２Ａ２、２Ａ３・・・はマガジンホルダ４に載置され
る。以後、前記した図３（ａ）乃至（ｄ）の動作によっ
て順次マガジン２Ａ２、２Ａ３・・・内のリードフレー
ムの送出動作が行われる。アンローダ側エレベータ装置
３Ｂの場合は、マガジンホルダ４には空のマガジン２を
積み重ねておく。空のマガジン２に順次リードフレーム
が収納される点がローダ側エレベータ装置３Ａの場合と
異なるのみである。
レームが送出され、フレームフィーダで作業位置（ボン
ディング位置）に送られてリードフレームにボンディン
グが行われ、次のリードフレームの送出可能の信号がく
る前に、前記した公告公報（特公平１−３２１２７号公
報）に記載された従来と同様の動作によってマガジン２
Ａ１の排出が行われる。マガジン２Ａ１の排出後、マガ
ジンホルダ４が第１収納部高さＡだけ上昇し、マガジン
２Ａ２、２Ａ３・・・はマガジンホルダ４に載置され
る。以後、前記した図３（ａ）乃至（ｄ）の動作によっ
て順次マガジン２Ａ２、２Ａ３・・・内のリードフレー
ムの送出動作が行われる。アンローダ側エレベータ装置
３Ｂの場合は、マガジンホルダ４には空のマガジン２を
積み重ねておく。空のマガジン２に順次リードフレーム
が収納される点がローダ側エレベータ装置３Ａの場合と
異なるのみである。
【００２６】このように、マガジン２のフレーム収納部
の段数を記憶させる工程と、マガジンホルダ４に載置し
た第１のマガジン２Ａ１の最下段のフレーム収納部２ａ
を搬送路レベル１ｂに合わせ、そのデータをデータメモ
リ１４に記憶させる工程と、次に第１のマガジン２Ａ１
の最上段のフレーム収納部２ｇを搬送路レベル１ｂに合
わせ、そのデータをデータメモリ１４に記憶させる工程
と、その後に前記第１のマガジン２Ａ１上に積み重ねら
れた第２のマガジン２Ａ２の最下段のフレーム収納部２
ａを搬送路レベル１ｂに合わせ、そのデータをデータメ
モリ１４に記憶させる工程とを行うことにより、マガジ
ン交換に伴うエレベータ装置の上下動作データの設定が
行える。即ち、従来使用していたフレーム収納部位置検
出板及び位置検出用ホトセンサを必要としない。またエ
レベータ装置固有のマガジンホルダ４の位置ずれ誤差を
含めたデータ設定が行える。更にこの工程は１回で行え
るので、容易にかつ短時間に正確に対応することができ
る。
の段数を記憶させる工程と、マガジンホルダ４に載置し
た第１のマガジン２Ａ１の最下段のフレーム収納部２ａ
を搬送路レベル１ｂに合わせ、そのデータをデータメモ
リ１４に記憶させる工程と、次に第１のマガジン２Ａ１
の最上段のフレーム収納部２ｇを搬送路レベル１ｂに合
わせ、そのデータをデータメモリ１４に記憶させる工程
と、その後に前記第１のマガジン２Ａ１上に積み重ねら
れた第２のマガジン２Ａ２の最下段のフレーム収納部２
ａを搬送路レベル１ｂに合わせ、そのデータをデータメ
モリ１４に記憶させる工程とを行うことにより、マガジ
ン交換に伴うエレベータ装置の上下動作データの設定が
行える。即ち、従来使用していたフレーム収納部位置検
出板及び位置検出用ホトセンサを必要としない。またエ
レベータ装置固有のマガジンホルダ４の位置ずれ誤差を
含めたデータ設定が行える。更にこの工程は１回で行え
るので、容易にかつ短時間に正確に対応することができ
る。
【００２７】なお、上記実施の形態においては、マガジ
ン２を積み重ねて使用する場合について説明したが、マ
ガジン２を積み重ねない場合には、図１（ｄ）に示す高
さＣの設定操作を行う必要がないことは言うまでもな
い。
ン２を積み重ねて使用する場合について説明したが、マ
ガジン２を積み重ねない場合には、図１（ｄ）に示す高
さＣの設定操作を行う必要がないことは言うまでもな
い。
【００２８】
【発明の効果】本発明によれば、請求項１及び２の構成
により、次のような効果が得られる。第１に、フレーム
収納部位置検出板及び位置検出用ホトセンサを必要とし
ない。第２に、各エレベータ装置毎の装置固有のマガジ
ンホルダの位置ずれ誤差も含めたデータ設定が可能であ
る。第３に、マガジンの品種交換を容易にかつ短時間で
正確に対応することができる。
により、次のような効果が得られる。第１に、フレーム
収納部位置検出板及び位置検出用ホトセンサを必要とし
ない。第２に、各エレベータ装置毎の装置固有のマガジ
ンホルダの位置ずれ誤差も含めたデータ設定が可能であ
る。第３に、マガジンの品種交換を容易にかつ短時間で
正確に対応することができる。
【図１】本発明の一実施例の形態のマガジン用エレベー
タ装置の上下動作データ設定方法を示し、（ａ）（ｃ）
（ｄ）はフレーム搬送路から見た説明図、（ｂ）はフレ
ーム搬送路から見た説明図及び装置前面側から見た説明
図である。
タ装置の上下動作データ設定方法を示し、（ａ）（ｃ）
（ｄ）はフレーム搬送路から見た説明図、（ｂ）はフレ
ーム搬送路から見た説明図及び装置前面側から見た説明
図である。
【図２】制御回路のブロック図である。
【図３】マガジン動作の説明図である。
【図４】ボンディング装置のリードフレームの供給及び
収納装置の概略配置平面図である。
収納装置の概略配置平面図である。
【図５】マガジンの正面図である。
１ フレーム搬送路 １ｂ 搬送路レベル ２、２Ａ、２Ａ１、２Ａ２、２Ａ３、２Ｂ マガジン ２ａ、２ｂ・・・２ｇ フレーム収納部 ３、３Ａ、３Ｂ エレベータ装置 ４ マガジンホルダ １０ 手動入力手段 １１ テレビモニタ １２ 主制御部 １３ 制御メモリ １４ データメモリ １５ モータ制御部 １６ モータ １７ 原点位置 １８ 演算部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−84972（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−102364（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−10441（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−137039（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/50
Claims (2)
- 【請求項１】 エレベータ装置のマガジンホルダにマガ
ジンを載置する工程と、リードフレーム等を収納するた
めに前記マガジンに設けられたフレーム収納部の段数を
データメモリに記憶させる工程と、前記マガジンの最下
段のフレーム収納部を搬送路レベルに合わせてその位置
をデータメモリに記憶させる工程と、前記マガジンの最
上段のフレーム収納部を搬送路レベルに合わせてその位
置をデータメモリに記憶させる工程とを行うことを特徴
とするマガジン用エレベータ装置の上下動作データ設定
方法。 - 【請求項２】 エレベータ装置のマガジンホルダにマガ
ジンを載置する工程と、リードフレーム等を収納するた
めに前記マガジンに設けられたフレーム収納部の段数を
データメモリに記憶させる工程と、前記マガジンの最下
段のフレーム収納部を搬送路レベルに合わせてその位置
をデータメモリに記憶させる工程と、前記マガジンの最
上段のフレーム収納部を搬送路レベルに合わせてその位
置をデータメモリに記憶させる工程と、前記マガジン上
に更にマガジンを積み重ねた後に、この積み重ねたマガ
ジンの最下段のフレーム収納部を搬送路レベルに合わせ
てその位置をデータメモリに記憶させる工程とを行うこ
とを特徴とするマガジン用エレベータ装置の上下動作デ
ータ設定方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15184996A JP3287768B2 (ja) | 1996-05-24 | 1996-05-24 | マガジン用エレベータ装置の上下動作データ設定方法 |
| TW086106036A TW326103B (en) | 1996-05-24 | 1997-05-07 | Method of setting the up and down motion of a lifting device for lead frame container |
| US08/862,133 US5903463A (en) | 1996-05-24 | 1997-05-22 | Raising-and-lowering data setting method for magazine elevator device |
| KR1019970020152A KR100267811B1 (ko) | 1996-05-24 | 1997-05-23 | 매거진용엘리베이터장치의상하동작데이타설정방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15184996A JP3287768B2 (ja) | 1996-05-24 | 1996-05-24 | マガジン用エレベータ装置の上下動作データ設定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09321066A JPH09321066A (ja) | 1997-12-12 |
| JP3287768B2 true JP3287768B2 (ja) | 2002-06-04 |
Family
ID=15527623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15184996A Expired - Fee Related JP3287768B2 (ja) | 1996-05-24 | 1996-05-24 | マガジン用エレベータ装置の上下動作データ設定方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5903463A (ja) |
| JP (1) | JP3287768B2 (ja) |
| KR (1) | KR100267811B1 (ja) |
| TW (1) | TW326103B (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3354061B2 (ja) * | 1996-11-18 | 2002-12-09 | 株式会社新川 | リードフレーム供給方法及び供給装置 |
| SG102609A1 (en) * | 2001-01-10 | 2004-03-26 | Aem Tech Engineers Pte Ltd | Handling apparatus & method for a lead frame processing system |
| JP5859236B2 (ja) * | 2011-07-15 | 2016-02-10 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | フレーム供給装置およびフレーム供給方法 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4457662A (en) * | 1982-03-25 | 1984-07-03 | Pennwalt Corporation | Automatic lead frame loading machine |
| US4770590A (en) * | 1986-05-16 | 1988-09-13 | Silicon Valley Group, Inc. | Method and apparatus for transferring wafers between cassettes and a boat |
| JPS6432127A (en) * | 1987-07-28 | 1989-02-02 | Nippon Ceramic Kk | Support for infrared detecting element |
| US5003188A (en) * | 1988-11-18 | 1991-03-26 | Tokyo Aircraft Instrument Co., Ltd. | Semiconductor waxer detection system |
| FR2644237B1 (fr) * | 1989-03-07 | 1991-06-14 | Doeuvre Jean Pierre | Appareil automatique de controle dimensionnel de nacelles porte-plaquettes |
| US5044752A (en) * | 1989-06-30 | 1991-09-03 | General Signal Corporation | Apparatus and process for positioning wafers in receiving devices |
| JPH0669255A (ja) * | 1992-08-12 | 1994-03-11 | Shinkawa Ltd | 薄板部材収納装置 |
| US5605428A (en) * | 1993-03-05 | 1997-02-25 | Jenoptik Gmbh | Device for indexing magazine compartments and wafer-shaped objects in the compartments |
| US5315107A (en) * | 1993-04-23 | 1994-05-24 | Wea Manufacturing Inc. | Compact disc counter arranged to minimize counting errors having a pair of beams and a pulse counting means |
| US5562382A (en) * | 1994-07-18 | 1996-10-08 | Kaijo Corporation | Substrate transport apparatus and substrate transport path adjustment method |
| US5475604A (en) * | 1994-07-21 | 1995-12-12 | Amada Metrecs Company, Limited | Pallet carry-in management system for storehouse |
| DE59611078D1 (de) * | 1995-03-28 | 2004-10-14 | Brooks Automation Gmbh | Be- und Entladestation für Halbleiterbearbeitungsanlagen |
| US5588791A (en) * | 1995-08-10 | 1996-12-31 | Intelmatec Corporation | Apparatus for sequentially delivering articles contained in cassettes |
| DE19540963C2 (de) * | 1995-11-03 | 1999-05-20 | Jenoptik Jena Gmbh | Transportbehälter für scheibenförmige Objekte |
-
1996
- 1996-05-24 JP JP15184996A patent/JP3287768B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-05-07 TW TW086106036A patent/TW326103B/zh not_active IP Right Cessation
- 1997-05-22 US US08/862,133 patent/US5903463A/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-05-23 KR KR1019970020152A patent/KR100267811B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09321066A (ja) | 1997-12-12 |
| TW326103B (en) | 1998-02-01 |
| US5903463A (en) | 1999-05-11 |
| KR970077382A (ko) | 1997-12-12 |
| KR100267811B1 (ko) | 2000-10-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6729018B1 (en) | Apparatus for mounting components | |
| EP0660657A1 (en) | Method and mounting device for mounting a component at a specific position | |
| CN103000558A (zh) | 芯片接合机以及接合方法 | |
| US6616401B2 (en) | Part-supplying tray feeder and method of picking-up parts in the tray | |
| EP1600047B1 (en) | Component mounting apparatus and component mounting method | |
| JP3287768B2 (ja) | マガジン用エレベータ装置の上下動作データ設定方法 | |
| US3973713A (en) | Wire bonding system | |
| KR100235929B1 (ko) | 반도체 칩의 픽업 방법 및 장치 | |
| JPH05338728A (ja) | ウエーハ搬送方法及び装置 | |
| JP4398768B2 (ja) | 半導体樹脂封止装置および樹脂封止方法 | |
| JP3041984B2 (ja) | ワイヤボンディング・システム | |
| US4969256A (en) | Method of mounting electronic parts to circuit board | |
| JP3354061B2 (ja) | リードフレーム供給方法及び供給装置 | |
| JP2538418B2 (ja) | ダイボンディング装置 | |
| JP3339890B2 (ja) | 電子部品の実装方法及びその実装機 | |
| JP2002124796A (ja) | 部品実装機及び部品実装方法 | |
| KR100237327B1 (ko) | 솔더볼 범핑장비의 로딩장치 | |
| JP3139349B2 (ja) | 電子部品供給装置、電子部品実装装置及び電子部品供給方法 | |
| JP2580882B2 (ja) | ワイヤーボンディング装置 | |
| KR100781155B1 (ko) | 리드프레임 펀칭 장치 및 방법 | |
| KR920004167Y1 (ko) | 리이드 프레임 로더의 두께조정장치 | |
| JP3265931B2 (ja) | 電子部品実装装置および電子部品実装方法 | |
| JP2575243B2 (ja) | 基板収納容器内の基板検出装置 | |
| JP3171088B2 (ja) | 電子部品実装装置及び電子部品実装方法 | |
| KR200171662Y1 (ko) | 백-엔드메거진 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020218 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080315 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090315 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100315 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |