JP3285312B2 - ダイヤルゲージ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ダイヤルゲージに
関する。詳しくは、相対移動する第１のスケールおよび
第２のスケールを含み、第１のスケールおよび第２のス
ケールに配列された電極間の静電容量変化からスピンド
ルの移動変位量を測定する静電容量式エンコーダを備え
たダイヤルゲージに関する。

【０００２】

【背景技術】ダイヤルゲージの中には、スピンドルの移
動変位量を測定するセンサとして、スピンドルを軸方向
に移動自在に支持するケース内に第１のスケールを配置
するとともに、スピンドルに第１のスケールに対向して
第２のスケールを配置し、この第１のスケールおよび第
２のスケールに配列された電極間の静電容量変化を検出
して両スケールの相対移動量を測定する静電容量式エン
コーダを備えたものが知られている。

【０００３】静電容量式エンコーダでは、第１のスケー
ルと第２のスケールとの間に一定のギャップを設けてあ
る。しかし、そのギャップは、高精度化および送受信信
号の省電力化などから狭まる傾向にある。そのため、従
来は、ギャップを設定するにあたって、第１のスケール
と第２のスケールとを一定のギャップを隔てて保持する
構成部材が高精密化、複雑化していたため、商品化に際
してコストアップの一因になっていた。

【０００４】そこで、第１のスケールと第２のスケール
との間に一定のギャップを設定するための機構として、
一方のスケールの対向面にギャップに相当する高さを有
する突起を複数形成するとともに、その一方のスケール
を片持ち支持構造の板ばねで他方のスケールに向かって
付勢し、一方のスケールの突起を他方のスケールに当接
させて第１のスケールと第２のスケールとの間に一定の
ギャップを設定する構造を備えたものも知られている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した構造
では、一方のスケールを他方のスケールに向かって付勢
する手段が片持ち支持構造の板ばねであるため、一方の
スケールが傾いた姿勢で他方のスケールに向かって付勢
される。このことは、他方のスケールとの接触圧が複数
の突起で異なってしまうため、両スケールが相対移動し
たとき、両スケール間のギャップが変動しやすいうえ、
複数の突起で摩耗の度合いが異なるため、長期間に渡り
両スケール間のギャップを一定に維持できないという課
題があった。

【０００６】本発明の目的は、従来の課題を解消して、
長期間に渡り両スケール間のギャップを一定に維持でき
るダイヤルゲージを提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明のダイヤルゲージ
は、ケースと、このケースに軸方向に移動自在に支持さ
れたスピンドルと、前記ケースに設けられた第１のスケ
ールおよび前記スピンドルに設けられ前記第１のスケー
ルにギャップを介して対向配置された第２のスケールを
含み、前記第１のスケールおよび第２のスケールに配列
された電極間の静電容量変化から両スケールの相対移動
量を測定するエンコーダとを備えたダイヤルゲージにお
いて、前記第２のスケールを前記第１のスケールに対し
て略平行な姿勢のまま第１のスケールに向かって付勢す
る平行付勢手段と、前記第１のスケールおよび第２のス
ケールの対向面のいずれか一方には、他方の対向面に当
接して前記第１のスケールおよび第２のスケール間のギ
ャップを一定に保持するギャップ形成手段とが設けら
れ、前記平行付勢手段は、前記スピンドルと前記第２の
スケールとの間に配置され両端側で前記第２のスケール
のスピンドル移動方向両端側を前記第１のスケールに向
かって押圧する板ばね部と、前記スピンドルの移動方向
に沿って配置され一端が前記スピンドルに支持されかつ
他端が前記板ばね部の他端側に連結された板ばね部とを
備えることを特徴とする。

【０００８】このような構成によれば、第２のスケール
は、第１のスケールに対して略平行な姿勢のまま第１の
スケールに向かって付勢され、ギャップ形成手段を介し
て第１のスケールに当接されるから、第１のスケールと
第２のスケールとの接触圧が略全面に亘って均一にでき
る。従って、両スケールの相対移動時に両スケール間の
ギャップが変動することも少なく、しかも、偏った摩耗
も生じることもないから全体として摩耗量も少なくで
き、長期間に渡り両スケール間のギャップを一定に維持
できる。

【０００９】

【００１０】また、前記平行付勢手段は、互いに平行に
かつ前記スピンドルの軸方向に沿って配置され一端が前
記スピンドルに支持された一対の第１板ばね部と、この
一対の第１板ばね部の他端間を連結するとともに前記第
２のスケールを有するスケール基板の他端側を保持した
連結板部と、この連結板部から前記スケール基板の一端
側に向かって延長され先端が前記スケール基板の一端側
に当接してスケール基板の一端側を前記第１のスケール
に向かって付勢する第２板ばね部とを備え、これら第
１、第２板ばね部および連結板部は１枚の板ばねの折り
曲げによって形成されていることが望ましい。このよう
な構成とすれば、第１、第２板ばね部および連結板部を
１枚の板ばねの折り曲げによって形成したので、部品点
数が少なく、組立工数も低減できる。しかも、スケール
基板の他端側および一端側が第２板ばね部によってスケ
ール基板の第１のスケールに向かって付勢されるから、
スケール基板（つまり、第２のスケール）を第１のスケ
ールと平行な姿勢のまま第１のスケールに向かって付勢
することができる。

【００１１】また、前記ギャップ形成手段は、前記第１
のスケールおよび第２のスケールの対向面のいずれか一
方に設けられかつ厚みが一様で電気絶縁性を有する薄
膜、あるいは、前記第１のスケールおよび第２のスケー
ルの対向面のいずれか一方に貼り付けられかつ厚みが一
様で電気絶縁性を有するテープであることが望ましい。
このような構成とすれば、薄膜やテープの全面で第１の
スケールまたは第２のスケールが接触するので、薄膜や
テープの変形、摩耗が少なく、精度を長期に渡って維持
することができる。とくに、テープの場合には、単に貼
り付けるだけでよいから、簡単に形成することができ
る。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。図１は本実施形態のダイヤルゲー
ジの外観を示す斜視図、図２は裏蓋を外した状態の背面
図、図３は図２のIII-III線断面図、図４は図２、図３
（裏蓋を外した状態）の分解斜視図である。これらの図
に示すように、本実施形態のダイヤルゲージは、短円筒
形状のケース１０を有する。ケース１０は、外周壁を貫
通してスピンドル１をその軸方向に移動自在に支持した
円筒状のケース本体１１と、このケース本体１１の一端
面に設けられた表面ケース部材２１と、前記ケース本体
１１の他端面に設けられた裏面ケース部材３１とを有す
る。

【００１３】ここで、前記ケース本体１１と前記表面ケ
ース部材２１とは、プラスチック材料、具体的にはエン
ジニアリングプラスチックの射出成形により一体的に形
成されている。また、裏面ケース部材３１は、前記ケー
ス本体１１の他端面に掛け渡された金属製の補強板５１
と、この補強板５１の外側から前記ケース本体１１の他
端面に被嵌されたプラスチック製（具体的には、エンジ
ニアリングプラスチック製）の裏蓋３２とを含んで構成
されているなお、前記スピンドル１は、一端側（上端
側）にストッパ２を有し、他端側に被測定物に当接され
る測定子３を有する。

【００１４】前記ケース本体１１には、その周壁に前記
スピンドル１の一端側（上端側）を支持する軸受部材１
２と、前記スピンドル１の他端側（下端側）を支持する
軸受部材１３を内装したステム１４とが、前記エンジニ
アリングプラスチックの射出成形時にそれぞれ一体的に
埋設されている。軸受部材１２には、前記スピンドル１
の一端側を覆うキャップ１５が螺合されている。また、
ケース本体１１の周壁内周面には、前記補強板５１を止
めねじ１６で取り付ける突条１７が複数条設けられてい
る。

【００１５】前記表面ケース部材２１の表面側には、中
央部分に前記スピンドル１の移動変位量を表示するデジ
タル表示部２２が設けられているとともに、その上方に
電池収納部２３が、下方にゼロセットスイッチ２４およ
び電源オン・オフスイッチ２５がぞれぞれ設けられてい
る。また、表面ケース部材２１の裏面側には、ゴムシー
ト２６を介して電装基板２７が数本の止めねじ２８で取
り付けられている。電装基板２７には、第１のスケール
Ｓ１が前記スピンドル１の移動方向に沿って設けられて
いるとともに、この第１のスケールＳ１と前記スピンド
ル１に設けられる第２のスケールＳ２とに配列された電
極間の静電容量変化からスピンドル１の移動変位量を検
出し前記デジタル表示部２２にデジタル表示する静電容
量式エンコーダ２９が設けられている。

【００１６】ここで、前記静電容量式エンコーダ２９の
構成を図５で簡単に説明する。第１のスケールＳ１に
は、第１の送信電極１０１がスピンドル１の移動方向に
沿って等間隔に複数配列されているとともに、その配列
方向に沿って第１の受信電極１０４が配列されている。
第１の送信電極１０１は、この例では８個ずつが一つの
ユニットを構成している。パルス変調回路１０６から
は、発振器１０５のクロックパルスに基づいてパルス化
された４５度ずつ位相のずれた８相の正弦波が発生さ
れ、これが第１の送信電極１０１に供給される。即ち、
第１の送信電極１０１の単位ユニットのピッチは送信波
長ピッチＷｔ１となる。

【００１７】第２のスケールＳ２には、第１のスケール
Ｓ１の送信電極１０１の４個と容量結合するように対向
する第２の受信電極１０２が送信波長ピッチＷｔ１と等
しいピッチＰｒ２で配列されている。第２のスケールＳ
２には、また、第２の受信電極１０２と電気的に結合し
て、かつ、第１のスケールＳ１上の第１の受信電極１０
４と容量結合するように第２の送信電極１０３が配列さ
れている。第１のスケールＳ１の第１の受信電極１０４
は測定回路１０７に接続されている。

【００１８】従って、第１のスケールＳ１と第２のスケ
ールＳ２が相対移動したとき、その相対移動に伴う第１
の送信電極１０１と第２の受信電極１０２との容量結合
による受信信号の位相を検出することにより、第１のス
ケールＳ１と第２のスケールＳ２との相対変位量を測定
することができる。この場合、第１の送信電極１０１が
８分割されて、それぞれ４５度ずつ異なる位相で駆動さ
れる結果、第２の受信電極１０２のピッチＰｒ２を８分
割した精度で位置測定を行うことができる。

【００１９】前記第２のスケールＳ２は、前記ケース１
０内の前記スピンドル１に平行付勢手段４１を介して取
り付けられている。平行付勢手段４１は、図６に示すよ
うに、前記スピンドル１に止めねじ４２を介して固定さ
れた取付片４３と、この取付片４３の一端に止めねじ４
４を介して固定された１枚の板ばねからなる平行変位ば
ね４５と、この平行変位ばね４５によって前記第１のス
ケールＳ１に対して略平行な姿勢のまま第１のスケール
Ｓ１に向かって変位されるとともに、前記第１のスケー
ルＳ１と対向する面に前記第２のスケールＳ２を有する
スケール基板４６とから構成されている。

【００２０】前記取付片４３には、一側にスプリング係
止片４３Ａが設けられているとともに、他側に折曲片４
３Ｂが設けられている。前記平行変位ばね４５は、前記
取付片４３に止めねじ４４で一端が固定された一対の第
１板ばね部４５Ａと、この一対の第１板ばね部４５Ａの
他端間を連結するとともに前記スケール基板４６の他端
側を保持した連結板部４５Ｂと、この連結板部４５Ｂの
中央（前記一対の第１板ばね部４５Ａの間）から一対の
第１板ばね部４５Ａより次第に離れる方向に傾斜状に折
曲され、続いて一対の第１板ばね部４５Ａに接近する方
向に折曲されて前記スケール基板４６の一端側に当接し
たのち再び離れる方向に弧状に湾曲された第２板ばね部
４５Ｃとから構成されている。ここで、スピンドル１が
挿入されていない状態において、第２板ばね部４５Ｃと
取付片４３との間隔は、スピンドル１の直径より小さい
寸法に設定されている。

【００２１】従って、図７に示すように、第２板ばね部
４５Ｃと取付片４３との間にスピンドル１が挿入され、
そのスピンドル１に取付片４３が止めねじ４２によって
固定されると、第２板ばね部４５Ｃと取付片４３との間
隔がスピンドル１の直径より小さい寸法に形成されてい
るから、第２板ばね部４５Ｃを介して平行変位ばね４５
が第１のスケールＳ１に向かって付勢される。すると、
スケール基板４６の他端側および一端側が第１のスケー
ルＳ１に向かって付勢される結果、スケール基板４６
は、第１のスケールＳ１と平行な姿勢のまま第１のスケ
ールＳ１に向かって付勢される。つまり、第２のスケー
ルＳ２が第１のスケールＳ１と略平行な姿勢のまま第１
のスケールＳ１に向かって付勢され、第１のスケールＳ
１に当接される。

【００２２】このとき、第２のスケールＳ２の表面に
は、厚みが一様で前記第１のスケールＳ１に当接し第１
および第２のスケールＳ１，Ｓ２間のギャップＧを一定
に保持するギャップ形成手段としての薄膜４７が設けら
れている。ここで、薄膜４７としては、耐摩耗性、摺動
性に優れ、かつ、電気絶縁性を有する材料、たとえば、
ポリエステルテープ（住友スリーエム株式会社製のポリ
エステルテープＮｏ.３９６５など）が第２のスケール
Ｓ２の表面に貼り付けられている。これにより、第１の
スケールＳ１と第２のスケールＳ２との間のギャップＧ
が一定（薄膜４７の厚み）に設定されている。

【００２３】前記補強板５１には、図８に示すように、
両側に前記止めねじ１６を挿通するための切欠き５２が
形成されているとともに、内部に記スピンドル１の回動
を規制してスピンドル１をその軸方向にのみ移動自在に
案内するガイド部としてのガイド溝５３、前記スピンド
ル１を軸方向の一方向（図２中下方向）に付勢するスプ
リング５４を係止するスプリング係止部としてのスプリ
ング係止片５５、レリーズアーム５６およびアース板５
７がそれぞれ設けられている。

【００２４】前記ガイド溝５３は、前記スピンドル１の
移動方向に沿って長孔状に形成され、内部に前記止めね
じ４２の頭部４２Ａが摺動自在に収納されている。前記
レリーズアーム５６は、ピン５６Ａを介して前記補強板
５１に回動自在に支持されているとともに、自由端側の
一側にケース１０外から挿入される図示省略のレリーズ
ピンに当接してレリーズアーム５６をピン５６Ａを支点
として回動させる当接片５６Ｂが、自由端側の他側にレ
リーズアーム５６の回動時に前記折曲片４３Ｂと係合し
て取付片４３およびスピンドル１をスプリング５４の付
勢力に抗して図２中上方向に移動させる係合片５６Ｃが
それぞれ設けられている。前記アース板５７は、導電性
材料で形成され、先端が前記電装基板２７に接触されて
いる。

【００２５】以上の構成において、組立にあたっては、
図４に示すように、デジタル表示器２２を組み込んだケ
ース本体１１と表面ケース部材２１内に電装基板２７を
組み込み、止めねじ２８で表面ケース部材２１に固定し
たのち、平行付勢手段４１を電装基板２７上にセットす
る。このとき、平行付勢手段４１の平行変位ばね４５は
変形していない状態にあるから、平行付勢手段４１は電
装基板２７上に傾くことなく水平にセットされる。この
状態において、スピンドル１を軸受部材１２を通して平
行付勢手段４１の第２板ばね部４５Ｃと取付片４３との
間に挿入したのち、止めねじ４２によって取付片４３を
スピンドル１に固定する。

【００２６】このとき、第２板ばね部４５Ｃと取付片４
３との間隔がスピンドル１の直径より小さい寸法に形成
されているから、第２板ばね部４５Ｃを介して平行変位
ばね４５が第１のスケールＳ１に向かって付勢される。
すると、スケール基板４６の他端側および一端側が第１
のスケールＳ１に向かって付勢される結果、スケール基
板４６は、第１のスケール２６と平行な姿勢のまま第１
のスケールＳ１に向かって付勢され、第１のスケールＳ
１に当接される。この状態では、第２のスケールＳ２の
表面に薄膜４７が設けられているから、第１のスケール
Ｓ１と第２のスケールＳ２との間のギャップＧを一定
（薄膜４７の厚み）に確保できる。

【００２７】続いて、補強板５１をケース本体１１内に
掛け渡し、止めねじ１６を介して突条１７に固定する。
すると、アース板５７の先端が電装基板２７に接触し、
かつ、ガイド溝５３内に止めねじ４２の頭部４２Ａが収
納された状態になる。これにより、スピンドル１は、回
動が規制された状態で軸方向にのみ移動できる状態にな
るから、第１のスケールＳ１と第２のスケールＳ２とを
互いに対向した状態のまま相対移動させることができ
る。最後に、本体ケース１１の他端面に裏蓋３２を被嵌
する。

【００２８】従って、本実施形態によれば、ケース本体
１１と表面ケース部材２１とをプラスチック材料の射出
成形によって一体的に形成したので、ケース１０をそれ
ぞれ別体のケース本体１１、表面ケース部材２１および
裏面ケース部材３１で形成するより部品点数を少なくで
きる。このため、組立工数も少なくできるから、安価に
構成することができる。

【００２９】また、ケース本体１１と表面ケース部材２
１との成形時に、スピンドル１の一端側を支持する軸受
部材１２およびスピンドル１の他端側を支持する軸受部
材１３を有するステム１４をそれぞれ埋設した状態で成
形するようにしたので、ケース本体１１に対する軸受部
材１２およびステム１４の取り付けを容易にできる。

【００３０】また、プラスチック材料としてエンジニア
リングプラスチックを用いたので、ケース本体１１と表
面ケース部材２１との強度も高く、スピンドル１の真直
性も確保できる。しかも、このケース本体１１の開口側
端には、補強板５１が掛け渡され、さらに、その外側か
ら裏蓋３２が被嵌されているから、ケース１０全体の強
度を高めることができる。さらに、補強板５１を金属製
としたので、ケース本体１１の開口端側の強度をより向
上させることができるから、スピンドル１の真直性をよ
り高い精度に維持できる。

【００３１】また、補強板５１には、スピンドル１の回
動を規制しスピンドル１をその軸方向にのみ案内するガ
イド部５３、スピンドル１を軸方向の一方向に付勢する
スプリング５４を係止するスプリング係止片５５、レリ
ーズアーム５６およびアース板５７をそれぞれ設けたの
で、単に、補強板５１を本体ケース１１に取り付けるだ
けで、ガイド部５３、スプリング係止片５５、レリーズ
アームおよびアース板５７を取り付けることができるか
ら、簡単に組立できる。

【００３２】また、電装基板２７に第１のスケールＳ１
を設けるとともに、スピンドル１に第２のスケールＳ２
を平行付勢手段４１を介して設けたので、この平行付勢
手段４１によって、第２のスケールＳ２を第１のスケー
ルＳ１に対して略平行な姿勢のまま第１のスケールＳ１
に向かって付勢することができる。従って、第１のスケ
ールＳ１に対して第２のスケールＳ２が傾くことがない
から、第１のスケールＳ１と第２のスケールＳ２とのギ
ャップＧを長期に渡って一定に保つことができる。

【００３３】また、平行付勢手段４１を、スピンドル１
に一端が支持された一対の第１板ばね部４５Ａと、この
第１板ばね部４５Ａの他端間を連結しかつスケール基板
４６の他端側を保持した連結板部４５Ｂと、この連結板
部４５Ｂからスケール基板４６の一端側に向かって延長
され先端がスケール基板４６の一端側に当接してスケー
ル基板４６の一端側を第１のスケールＳ１に向かって付
勢する第２板ばね部４５Ｃとを備えた１枚の板ばねの折
り曲げによって形成したので、部品点数が少なく、組立
工数を削減できる。

【００３４】また、第２のスケールＳ２の表面に、厚み
が一様で電気絶縁性を有する薄膜４７を設けたので、第
２のスケールＳ２が第１のスケールＳ１に向かって付勢
されたとき、第２のスケールＳ２は薄膜４７を介して第
１のスケールＳ１に当接することになるから、第１のス
ケールＳ１と第２のスケールＳ２との間のギャップＧを
一定（薄膜４７の厚み）に設定できる。しかも、薄膜４
７の全面で第１のスケールＳ１に接触するので、薄膜４
７の変形や摩耗が少なく、高精度を長期に渡って維持で
きる。とくに、薄膜４７として、耐摩耗性、摺動性に優
れ、かつ、電気絶縁性を有するポリエステルテープを第
２のスケールＳ２の表面に貼り付けるようにしたので、
第１のスケールＳ１と第２のスケールＳ２との間にギャ
ップＧを簡単に形成することができる。

【００３５】また、組立にあたっては、一体成形した表
面ケース部材２１およびケース本体１１内に電装基板２
７を挿入、固定し、その上に平行付勢手段４１をセット
したのち、軸受部材１２から挿入したスピンドル１を平
行付勢手段４１の取付片４３と第２板ばね部４５Ｃとの
間に挿入して取付片４３をスピンドル１に固定し、次
に、補強板５１をケース本体１１の他端面側に掛け渡し
固定し、最後に裏蓋３２を被嵌すればよいから、つま
り、予め複数の部品を組み付けたアッセンブリを順に組
み付けていけばよいから、組立が容易である。

【００３６】なお、上記実施形態では、裏面ケース部材
３１を、金属製の補強板５１とプラスチック製（エンジ
ニアリングプラスチック製）の裏蓋３２とを含んで構成
したが、これとは逆に、補強板５１をプラスチック製
（エンジニアリングプラスチック製）に、裏蓋３２を金
属製としてもよい。さらに、裏面ケース部材３１は、補
強板５１および裏蓋３２のいずれか一方のみでもよい。

【００３７】また、上記実施形態では、平行付勢手段４
１を１枚の板ばねの折り曲げによって形成したが、２枚
の板ばねを組み合わせて構成してもよい。また、上記実
施形態では、ギャップ形成手段を第２のスケールＳ２表
面に貼り付けたテープ（薄膜４７）によって構成した
が、複数の突起によって構成してもよい。さらに、これ
らを取り付けるスケールも、第２のスケールＳ２に限ら
ず、第１のスケールＳ１に取り付けるようにしてもよ
い。

【００３８】

【発明の効果】本発明のダイヤルゲージによれば、第２
のスケールを第１のスケールに対して略平行な姿勢のま
ま第１のスケールに向かって付勢する平行付勢手段を設
けるとともに、第１のスケールおよび第２のスケールの
対向面のいずれか一方に他方の対向面に当接して両スケ
ール間のギャップを保持するギャップ形成手段を設けた
ので、第２のスケールを、第１のスケールに対して略平
行な姿勢のまま第１のスケールに向かって付勢し、ギャ
ップ形成手段を介して第２のスケールに当接させること
ができるから、長期間に渡り両スケール間のギャップを
一定に維持できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態の外観を示す斜視図であ
る。

【図２】同上実施形態の裏蓋を外した状態の背面図であ
る。

【図３】図２のIII-III線断面図である。

【図４】図２および図３の状態の分解斜視図である。

【図５】同上実施形態における静電容量式エンコーダを
示す図である。

【図６】同上実施形態における平行付勢手段を示す分解
斜視図である。

【図７】同上実施形態における平行付勢手段による第１
のスケールと第２のスケールとの状態を示す断面図であ
る。

【図８】同上実施形態の補強板を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ スピンドル １０ ケース ２９ エンコーダ ４１ 平行付勢手段 ４５Ａ 第１板ばね部 ４５Ｂ 連結板部 ４５Ｃ 第２板ばね部 ４６ スケール基板 ４７ 薄膜(ギャップ形成手段） Ｓ１ 第１のスケール Ｓ２ 第２のスケール １０１ 第１の送信電極 １０２ 第２の受信電極 １０３ 第２の送信電極 １０４ 第１の受信電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鈴木 正道 神奈川県川崎市高津区坂戸１−20−１ 株式会社ミツトヨ内 (56)参考文献 特開 平２−49112（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−324946（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−103909（ＪＰ，Ａ) 実開 平６−35902（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01B 7/00 G01B 7/02

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ケースと、このケースに軸方向に移動自
   在に支持されたスピンドルと、前記ケースに設けられた
   第１のスケールおよび前記スピンドルに設けられ前記第
   １のスケールにギャップを介して対向配置された第２の
   スケールを含み、前記第１のスケールおよび第２のスケ
   ールに配列された電極間の静電容量変化から両スケール
   の相対移動量を測定するエンコーダとを備えたダイヤル
   ゲージにおいて、 前記第２のスケールを前記第１のスケールに対して略平
   行な姿勢のまま第１のスケールに向かって付勢する平行
   付勢手段と、 前記第１のスケールおよび第２のスケールの対向面のい
   ずれか一方には、他方の対向面に当接して前記第１のス
   ケールおよび第２のスケール間のギャップを一定に保持
   するギャップ形成手段とが設けられ、 前記平行付勢手段は、前記スピンドルと前記第２のスケ
   ールとの間に配置され両端側で前記第２のスケールのス
   ピンドル移動方向両端側を前記第１のスケールに向かっ
   て押圧する板ばね部と、前記スピンドルの移動方向に沿
   って配置され一端が前記スピンドルに支持されかつ他端
   が前記板ばね部の他端側に連結された板ばね部とを備え
   る ことを特徴とするダイヤルゲージ。
2. 【請求項２】 ケースと、このケースに軸方向に移動自
   在に支持されたスピンドルと、前記ケースに設けられた
   第１のスケールおよび前記スピンドルに設けられ前記第
   １のスケールにギャップを介して対向配置された第２の
   スケールを含み、前記第１のスケールおよび第２のスケ
   ールに配列された電極間の静電容量変化から両スケール
   の相対移動量を測定するエンコーダとを備えたダイヤル
   ゲージにおいて、 前記第２のスケールを前記第１のスケールに対して略平
   行な姿勢のまま第１のスケールに向かって付勢する平行
   付勢手段と、 前記第１のスケールおよび第２のスケールの対向面のい
   ずれか一方には、他方の対向面に当接して前記第１のス
   ケールおよび第２のスケール間のギャップを一定に保持
   するギャップ形成手段とが設けられ、 前記平行付勢手段は、互いに平行にかつ前記スピンドル
   の軸方向に沿って配置され一端が前記スピンドルに支持
   された一対の第１板ばね部と、この一対の第１板ばね部
   の他端間を連結するとともに前記第２のスケールを有す
   るスケール基板の他端側を保持した連結板部と、この連
   結板部から前記スケール基板の一端側に向かって延長さ
   れ先端が前記スケール基板の一端側に当接してスケール
   基板の一端側を前記第１のスケールに向かって付勢する
   第２板ばね部とを備え、これら第１、第２板ばね部およ
   び連結板部は１枚の板ばねの折り曲げによって形成され
   ていることを特徴とするダイヤルゲージ。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２記載のダイヤル
   ゲージにおいて、前記ギャップ形成手段は、前記第１の
   スケールおよび第２のスケールの対向面のいずれか一方
   に設けられかつ厚みが一様で電気絶縁性を有する薄膜で
   あることを特徴とするダイヤルゲージ。
4. 【請求項４】 請求項３記載のダイヤルゲージにおい
   て、前記薄膜は、前記第１のスケールおよび第２のスケ
   ールの対向面のいずれか一方に貼り付けられかつ厚みが
   一様で電気絶縁性を有するテープであることを特徴とす
   るダイヤルゲージ。