JP3248307B2

JP3248307B2 - 角度センサ

Info

Publication number: JP3248307B2
Application number: JP19551793A
Authority: JP
Inventors: 元祐木下; 文年増田; 雅典大嶋; 弘武奥西; 公則山内
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1993-07-12
Filing date: 1993-07-12
Publication date: 2002-01-21
Anticipated expiration: 2017-01-21
Also published as: JPH0727505A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、静電容量の変化量に
より、回転角度などを検出する無接触静電容量式の角度
センサに関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】傾斜角
度や回転角度を検出するための従来の角度センサとして
は、例えば、光学的に角度を検出する角度センサや、ポ
テンショメータを使用して電気的に角度を検出する角度
センサなどが知られている。

【０００３】しかし、光学的な角度センサは、高い精度
を得ようとすると構造が複雑になり、製造コストが増大
するという問題点があり、また、デジタル式にすると分
解能が低下するという問題点がある。

【０００４】一方、ポテンショメータを使用した角度セ
ンサは、有接点であるため、摺動によってコンタクトが
磨耗し、測定精度が低下するという問題点があり、ま
た、寿命が短いという問題点がある。

【０００５】さらに、従来の他の角度センサとしては、
例えば、特開昭６１−８０００２号公報に開示された角
度検出装置のように、円筒の中心に配置された中心電極
と、円筒の内面に２等分して配設された検出電極とを備
え、誘電率の異なる２種の誘電体として、円筒内に気体
及び液体を封入してなる角度センサがある。

【０００６】しかし、このような液体を用いた角度セン
サ（角度検出装置）においては、液体に振動が加わる
と、液面が波立って角度の測定が困難になったり、測定
精度が低下したりするという問題点がある。また、液体
の粘度に起因するヒステリシスにより測定誤差が生じる
という問題点がある。

【０００７】この発明は、上記問題点を解決するもので
あり、特に複雑な構造を必要とすることなく、角度を高
精度に検出することが可能で、かつ、耐久性にも優れた
角度センサを提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明（請求項１）の角度センサは、互に対向す
るように配設された固定電極と、接触することなく前記
固定電極間に挿入され、シャフトにより回転可能に支持
された可動電極とを具備し、前記固定電極と前記可動電
極との間に形成される静電容量の変化量を測定すること
により角度を検出する無接触静電容量式の角度センサに
おいて、前記固定電極を、それぞれ、互に導通しない第
１及び第２の分割電極から構成し、かつ、各固定電極を
構成する第１の分割電極、及び各固定電極を構成する第
２の分割電極をそれぞれ電気的に接続するとともに、前
記可動電極を、それぞれ、互に導通しない第１及び第２
の２つの分割電極から構成し、かつ、２つの分割電極の
重量及び形状の少なくとも一方を異ならせることによ
り、前記可動電極に、重力により角度センサ本体の回転
位置いかんにかかわらず一定の位置に保たれるような重
量と重心の偏りを付与したことを特徴としている。

【０００９】また、請求項２の角度センサは、基準状態
における可動電極の位置を、該基準状態から所定の傾斜
が生じた場合に形成される静電容量の大きさが、正負い
ずれの傾斜が生じた場合にも静電容量が略直線的に変化
する範囲の略中央の大きさとなる位置に設定したことを
特徴としている。

【００１０】さらに、請求項３の角度センサは、前記可
動電極は、その平面形状が略半円状に形成されているこ
とを特徴とする。

【００１１】さらに、請求項４の角度センサは、前記固
定電極と前記可動電極の間隔を調整するための固定電極
位置調整機構を備えたことを特徴とする。

【００１２】さらに、請求項５の角度センサは、前記固
定電極及び可動電極を複数組積み重ねるための積重ね機
構を有していることを特徴とする。

【００１３】

【作用】この発明の角度センサは、無接触式で磨耗部
（コンタクト部）がないため、耐久性と電気的特性がコ
ンタクト部の寿命や接触状態に依存することがなく、耐
久性及び信頼性を向上させることが可能になる。

【００１４】また、可動電極を、第１及び第２の２つの
分割電極から構成し、２つの分割電極の重量または形状
の少なくとも一方を異ならせるようにしているので、可
動電極が、角度センサ本体の回転位置いかんにかかわら
ず、可動電極を一定の位置に保つことが可能になる。

【００１５】また、角度センサ本体の回転位置いかんに
かかわらず、可動電極が一定の位置に保たれることか
ら、可動電極と固定電極の位置関係を角度に対応して連
続的に変化させることが可能になり、分解能を向上させ
て、微小な角度の変化を精度よく検出することができる
ようになる。

【００１６】また、可動電極を互に導通しない第１及び
第２の２つの分割電極から構成することにより、静電容
量の角度当たりの変化量を大きくして、感度をさらに向
上させることが可能になる。

【００１７】また、請求項２の角度センサのように、基
準状態（例えば傾斜のない水平状態）における可動電極
の位置を、該基準状態から所定の傾斜が生じた場合に形
成される静電容量の大きさが、正負いずれの傾斜が生じ
た場合にも静電容量が略直線的に変化する範囲の略中央
の大きさとなる位置に設定することにより、傾斜の方向
が、正負のいずれの方向である場合にも、その角度を確
実に精度よく検出することができるとともに、傾斜の方
向が正負のいずれの方向であるかを検出することができ
るようになる。

【００１８】また、請求項３の角度センサのように、可
動電極として、その平面形状が略半円状のものを用いる
ことにより、可動電極を、角度センサ本体の回転位置い
かんにかかわらず、確実に一定の位置に保つことが可能
になる。

【００１９】また、請求項４の角度センサのように、固
定電極と可動電極の間隔を調整するための固定電極位置
調整機構を設けることにより、容易に固定電極と可動電
極の間隔を微調整することが可能になり、形成される静
電容量の精度を高めることができるとともに、耐圧異常
などの問題の発生を防止することが可能になる。

【００２０】さらに、請求項５の角度センサのように、
固定電極及び可動電極を複数組積み重ねる積重ね機構を
設けることにより、必要に応じて固定電極及び可動電極
を増やすことが可能になり、所望の静電容量を得ること
が可能になる。

【００２１】

【実施例】以下、この発明の前提技術及び実施例を図に
基づいて説明する。

【００２２】［前提技術］図１は、この発明の前提技術となる角度センサを示す分
解斜視図である。また、図２は、組み立てられた角度セ
ンサを示す図であり、（ａ）はその正面断面図、（ｂ）
は側面図である。

【００２３】この角度センサＡにおいては、図１，図２
に示すように、互に対向するように配設された第１の固
定電極１と第２の固定電極２の間に可動電極３が接触す
ることなく挿入されている。そして、この可動電極３
は、シャフト本体６ａの上端側に取り付けられた可動電
極固定部材６ｂにより、固定電極１，２に対して接触す
ることなく回転可能に保持されている。なお、可動電極
固定部材６ｂはＰＰＳ樹脂、ＬＣＰ樹脂などの合成樹脂
やセラミックなどの絶縁体から形成されており、金属製
のシャフト本体６ａとともにシャフト７を構成してい
る。但し、シャフト本体６ａを構成する材料は、金属に
限られるものではなく、ＰＰＳ樹脂、ＬＣＰ樹脂などの
合成樹脂やセラミックなどの絶縁材料から構成すること
も可能である。

【００２４】第１の固定電極１は、互に導通しない、略
半円状で、取付ねじ８を通す穴１１が形成された突出部
を有する第１及び第２の分割電極１ａ，１ｂから構成さ
れた一対の電極構造を有しており、第２の固定電極２も
同様に、第１及び第２の分割電極２ａ，２ｂから構成さ
れている。

【００２５】また、この角度センサＡにおいては、可動
電極３は略半円状に形成されており、かつ、所定の重量
を有し得るだけの大きさに形成されている。これは、可
動電極３がシャフト７の回転位置にかかわらず一定の位
置に保たれるように、シャフト７とこれを回転可能に支
持する軸受５との静止摩擦力やシャフト７の重量などに
打ち勝つだけの重量と重心の偏りを持たせたものであ
る。なお、この角度センサＡでは、シャフト７を支持す
る軸受５として、トルクの小さいころがり軸受であるベ
アリングを用いている。

【００２６】なお、この第１及び第２の固定電極１，２
と可動電極３を構成する材料としては、金属などの導電
性を有する種々の材料を用いることが可能である。ま
た、樹脂などの絶縁材料の表面に金属メッキなどを施し
て導電性を付与することにより電極を形成することも可
能である。

【００２７】また、この角度センサＡにおいては、シャ
フト７を構成するシャフト本体６ａを回転可能に支持す
るベアリング５が、絶縁材料からなるベース（固定電極
取付部材）４に形成された穴４ａにはめ込まれている。

【００２８】そして、ベアリング５は、スラスト方向の
ガタをなくし、形成される静電容量のふらつきを防止す
るために、ベース４の下面側から穴４ａに挿入されたブ
ッシュ９と可動電極固定部材６ｂにより挾持されてい
る。

【００２９】また、可動電極３は、曲率を有しない方の
辺３ｃの中央に形成された凹部３ｄを、可動電極固定部
材６ｂの周囲に形成された溝６ｃに係合させる（はめ込
む）ことにより、可動電極固定部材６ｂに固定されてい
る。

【００３０】そして、第１及び第２の固定電極１，２
は、その穴１１を通して、固定電極１，２と同じ導電性
を有する材料からなる取付ねじ８をベース４のねじ穴１
０に螺合させることによりベース４に取り付けられてお
り、その中央部には、シャフト７を通すための切欠き部
１４が形成されている。そして、第１及び第２の固定電
極１，２の間には、両者の間に所定の間隔を確保するた
めのワッシャ状のスペーサ１２が配設されており、ま
た、ベース４と第２の固定電極（下側の固定電極）２の
間には、可動電極３と固定電極１，２の位置関係を定め
るための円筒状のベーススペーサ１３が配設されてい
る。このスペーサ１２及びベーススペーサ１３のうち、
少なくともスペーサ１２は導電性を有する材料から形成
されており、上記取付ねじ８は、スペーサ１２及びベー
ススペーサ１３を貫通してベース４のねじ穴１０に螺合
されている。

【００３１】なお、スペーサ１２及びベーススペーサ１
３の寸法、あるいは可動電極固定部材６ｂの寸法や溝６
ｃの配設位置などを調節することにより、固定電極１，
２と可動電極３との位置関係を任意に調整することが可
能になる。

【００３２】このように、固定電極１，２と可動電極３
との位置関係を調整する機構（固定電極位置調整機構）
を設けることにより、静電容量の精度を高めることがで
きるとともに、耐圧異常などの問題の発生を未然に防止
することが可能になる。

【００３３】また、上記取付ねじ８、スペーサ１２によ
り、第１及び第２の固定電極１，２を構成する第１の分
割電極１ａと２ａ、及び第２の分割電極１ｂと２ｂが電
気的に接続されており、さらに、第１及び第２の分割電
極（１ａ，２ａ），（１ｂ，２ｂ）はそれぞれ出力端子
（図示せず）に電気的に接続されている。

【００３４】そして、上記の各構成部材を、導電材料か
らなり、浮遊容量の影響を防ぐためにアースすることが
できるように構成されたケース２１（図２（ａ））に収
納することにより角度センサＡ（図２（ａ），（ｂ））
が形成されている。

【００３５】次に、この角度センサＡにおける、可動電
極３と第１及び第２の固定電極１，２との位置関係と、
静電容量の関係を図３を参照しつつ説明する。図３に示
すように、可動電極３の水平な片３ｃと、第１または第
２の固定電極１，２を構成する半円状の分割電極１ａ，
１ｂ及び２ａ，２ｂのギャップ部分１ｃ，２ｃ（図１，
図２（ｂ））との角度（回転角）θが０゜及び１８０゜
のときに、形成される静電容量が最小（Ｃ_MIN）とな
り、９０゜及び２７０°のときに最大（Ｃ_MAX）にな
る。

【００３６】そして、この角度センサＡにおいては、基
準状態における可動電極３と固定電極１，２との位置関
係が、該基準状態から所定の傾斜が生じた場合に形成さ
れる静電容量の大きさが、正負いずれの傾斜が生じた場
合にも静電容量が略直線的に変化する範囲（すなわちＣ
_MIN〜Ｃ_MAXの範囲）の略中央値となるように、すなわ
ち、回転角θが図３の点Ｐで表される値になるように構
成されている。但し、測定する傾斜が、正負のいずれか
一方に偏るような用途に限定して使用するような場合に
は、可動電極３の設定位置を、この角度センサＡの場合
のように、静電容量の直線的変化範囲の中央値付近に限
定する必要はなく、その偏る方向に対応して好ましい位
置に設定することが可能である。

【００３７】次に、上記のように構成された角度センサ
Ａの動作について説明する。角度センサＡにおいては、
可動電極３が、シャフト７とベアリング５との静止摩擦
力やシャフト７の重量などに打ち勝つだけの重量と重心
の偏りを持つように、所定の重量を有する半円状の形状
に形成され、回転可能なシャフト７（を構成する可動電
極固定部材６ｂ）に取り付けられている。したがって、
角度センサＡを所定の位置に配設して使用する場合、図
２（ｂ）に示すように、角度センサＡの本体が、基準状
態から矢印ＸまたはＹで示す方向に回転した（傾いた）
場合、可動電極３は角度センサＡの本体の傾きに対して
重心を低く保とうとする。その結果、可動電極３は図２
（ｂ）に示す位置に保たれ、第１及び第２の固定電極
１，２との位置関係が変化して、可動電極３と固定電極
１，２との対向面積が変化する。そして、それによって
生じる、可動電極３と固定電極１，２間の静電容量の変
化量を測定することにより傾斜角を検出することが可能
になる。

【００３８】さらに、この角度センサＡにおいては、所
定の傾斜が生じた場合に形成される静電容量の大きさ
が、正負いずれの傾斜が生じた場合にも略直線的に変化
するように、基準状態における可動電極３と固定電極
１，２との位置関係が設定されているため、傾斜の方向
が、正負のいずれの方向である場合にも、傾斜角度を確
実に精度よく検出することができる。

【００３９】なお、この角度センサＡでは、シャフト本
体６ａと可動電極固定部材６ｂを接続することによりシ
ャフト７を構成した場合について説明したが、シャフト
本体６ａと可動電極固定部材６ｂをＰＰＳやＬＣＰ樹脂
のような合成樹脂やセラミックなどの絶縁材料を用いて
一体に成形することによりシャフト７を構成することも
可能である。また、インサートモールドなどの方法によ
り、可動電極３と可動電極固定部材６ｂを一体に成形す
ることも可能である。

【００４０】さらに、可動電極，可動電極固定部材及び
シャフト本体を絶縁材料を用いて一体に形成し、電極部
分にのみメッキなどの表面処理を施すことにより導電性
を付与することも可能である。

【００４１】また、この角度センサＡのスペーサ１２及
びベーススペーサ１３を固定電極１，２と一体化するこ
とも可能である。

【００４２】さらに、この角度センサＡでは、２つの固
定電極と、該固定電極間に挿入された可動電極からなる
組合せ（機構）が一つだけ形成された角度センサＡにつ
いて説明したが、この発明の角度センサにおいては、上
記固定電極と可動電極の組合せが複数組形成されるよう
に、固定電極及び可動電極を積み重ねるための積重ね機
構を設け、固定電極及び可動電極を複数組積み重ねるこ
とにより、Ｃ_MAXとＣ_MINとの間の静電容量の差ΔＣをさ
らに大きくすることが可能である。なお、積重ね機構と
しては、複数の可動電極を挿入固定することができるよ
うに、シャフト（またはシャフトを構成する可動電極固
定部材）に複数の溝を形成するとともに、複数の固定電
極を配設することができるように、シャフトや固定電極
の取付ねじを長く形成し、スペーサを複数個配設するな
ど、種々の構成とすることが可能であり、その具体的な
構成に特別の制約はない。

【００４３】また、この角度センサＡでは、シャフト７
はケース２１（図２（ａ））から突出しないように構成
されているが、ケース２１から突出するように構成して
外部からシャフト７を操作できるようにしてもよい。ま
た、シャフト７はその両端側を軸受で支持するように構
成することも可能である。

【００４４】また、この角度センサＡでは半円状の可動
電極３を用いた場合について説明したが、可動電極３の
形状は、必ずしも完全な半円状である必要はなく、角度
の変化による静電容量の変化に悪影響を及ぼさない範囲
において、図４（ａ），（ｂ）に示すような、中心角が
１８０°より大きいか、または１８０°より小さい形状
（略半円状）とすることが可能である。

【００４５】また、この角度センサＡでは、固定電極を
構成する第１の分割電極及び固定電極を構成する第２の
分割電極のそれぞれの中心角が１８０°であり、その中
心角の合計が３６０°の場合について説明したが、この
発明はこれに限定されるものではなく、例えば、第１及
び第２の分割電極の中心角を相違させることや、例え
ば、それらの中心角の合計を３６０℃未満とすることな
どの種々の変更を加えることが可能である。また、可動
電極の中心角との組合せも種々の組合せとすることが可
能である。

【００４６】［実施例］図５，図６は、それぞれ、この発明の実施例にかかる角
度センサの要部（固定電極と可動電極の構造）を示す図
である。

【００４７】図５の実施例においては、可動電極３は、
導電性の材料からなり、略半円状で、平面形状（寸法）
は同じであるが、厚みの異なる２つの分割電極３ａ，３
ｂから構成されており、２つの分割電極３ａ，３ｂの重
量は互に異なっている。すなわち、可動電極３は、重力
により角度センサ本体の回転位置いかんにかかわらず一
定の位置に保たれるような重量と重心の偏りを有してい
る。

【００４８】また、図６の実施例においては、可動電極
３は、導電性の材料からなり、略半円状で、厚みは同じ
であるが、平面形状（寸法）の異なる２つの分割電極３
ａ，３ｂから形成されており、２つの分割電極３ａ，３
ｂの重量は互に異なっている。すなわち、可動電極３
は、重力により角度センサ本体の回転位置いかんにかか
わらず一定の位置に保たれるような重量と重心の偏りを
有している。

【００４９】図５，図６に示す実施例の角度センサにお
いては、可動電極３が角度センサ本体の回転位置にかか
わらず一定の位置に保たれるため、上記前提技術の角度
センサＡの場合と同様の効果を得ることができるととも
に、可動電極３が２つの分割電極３ａ，３ｂから構成さ
れているため、静電容量の角度当たりの変化量が大きく
なり、感度をさらに向上させることが可能になる。

【００５０】なお、可動電極を構成する一対の分割電極
の重量を異ならせる（重量差を付与する）方法として
は、上記実施例の方法に限られるものではなく、材料の
種類を異ならせて比重差により重量差を生じさせる方法
や、一方の分割電極に重りを取り付ける方法などの種々
の方法を用いることが可能である。

【００５１】なお、この発明は、その他の点においても
上記実施例に限定されるものではなく、発明の要旨の範
囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能で
ある。

【００５２】

【発明の効果】上述のように、この発明の角度センサ
は、固定電極を、それぞれ、互に導通しない第１及び第
２の分割電極から構成し、かつ、各固定電極を構成する
第１の分割電極、及び各固定電極を構成する第２の分割
電極をそれぞれ電気的に接続するとともに、可動電極
に、重力により角度センサ本体の回転位置いかんにかか
わらず一定の位置に保たれるような重量と重心の偏りを
付与しているので、可動電極と固定電極の位置関係が角
度に対応して連続的に変化する。したがって、分解能が
向上し、微小な角度の変化を精度よく検出することが可
能になる。

【００５３】また、この発明の角度センサは、無接触式
で、コンタクト部（磨耗部）が不要になるため、信頼性
及び耐久性を向上させることができる。また、空気層を
利用した静電容量式の角度センサであるため、周囲の温
度の影響を受けにくく安定した特性を得ることが可能に
なる。さらに、角度を検出する機構と容量変化を発生さ
せる機構が一つの機構であるため、感度及び再現性を向
上させることができる。また、構造が簡単で生産性にも
優れている。

【００５４】さらに、可動電極を、第１及び第２の分割
電極から構成し、２つの分割電極の重量または形状の少
なくとも一方を異ならせるようにしているので、可動電
極を、角度センサ本体の回転位置いかんにかかわらず、
確実に一定の位置に保つことが可能になる。

【００５５】また、可動電極を互に導通しない第１及び
第２の２つの分割電極から構成することにより、静電容
量の角度当たりの変化量を大きくして、感度をさらに向
上させることが可能になる。

【００５６】また、請求項２の角度センサのように、基
準状態（例えば傾斜のない水平状態）における可動電極
の位置を、該基準状態から所定の傾斜が生じた場合に形
成される静電容量の大きさが、正負いずれの傾斜が生じ
た場合にも静電容量が略直線的に変化する範囲の略中央
の大きさとなる位置に設定することにより、傾斜の方向
が、正負のいずれの方向である場合にも、その角度を確
実に精度よく検出することが可能になるとともに、傾斜
の方向が正負のいずれの方向であるか検出することが可
能になる。

【００５７】また、請求項３の角度センサのように、可
動電極として、その平面形状が略半円状のものを用いる
ことにより、可動電極を、角度センサ本体の回転位置い
かんにかかわらず、確実に一定の位置に保つことが可能
になる。

【００５８】また、請求項４の角度センサのように、固
定電極と可動電極の間隔を調整する固定電極位置調整機
構を設けることにより、固定電極と可動電極の間隔を微
調整することが可能になり、形成される静電容量の精度
を容易に高めることができるとともに、耐圧異常などの
問題の発生を防止することが可能になる。

【００５９】さらに、請求項５の角度センサのように、
固定電極及び可動電極を複数組積み重ねるための積重ね
機構を設けることにより、必要に応じて固定電極及び可
動電極を増やすことが可能になり、所望の静電容量を得
ることができるようになる。したがって、設計の自由度
を向上させることができる。また、固定電極及び可動電
極を縦に複数組積み重ねることにより、わずかに厚み方
向の寸法を増加させるだけで静電容量を増やすことが可
能になり、角度センサ全体としての小型化を図ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の前提技術となる角度センサを示す分
解斜視図である。

【図２】この発明の前提技術となる角度センサを示す図
であり、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は側面図である。

【図３】この発明の前提技術となる角度センサにおける
回転角と形成される静電容量の大きさの関係を示す図で
ある。

【図４】この発明の前提技術となる角度センサにおける
略半円状の可動電極の変形例を示す図であり、（ａ）は
中心角が１８０°より大きい可動電極、（ｂ）は中心角
が１８０°より小さい可動電極を示す図である。

【図５】この発明の実施例にかかる角度センサの要部を
示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図であ
る。

【図６】この発明の他の実施例にかかる角度センサの要
部を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図で
ある。

【符号の説明】

１，２第１及び第２の固定電極１ａ，２ａ固定電極を構成する第１の分割電極１ｂ，２ｂ固定電極を構成する第２の分割電極１ｃ，２ｃ固定電極のギャップ部分３可動電極３ａ可動電極を構成する第１の分割電極３ｂ可動電極を構成する第２の分割電極４ベース５ベアリング（軸受）６ａシャフト本体６ｂ可動電極固定部材６ｃ溝７シャフト８取付ねじ９ブッシュ１０ねじ穴１１穴１２スペーサ１３ベーススペーサ１４切欠き部２１ケースＡ角度センサ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者奥西弘武京都府長岡京市天神二丁目26番10号株式会社村田製作所内 (72)発明者山内公則京都府長岡京市天神二丁目26番10号株式会社村田製作所内 (56)参考文献実公昭44−15398（ＪＰ，Ｙ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01B 7/00 - 7/34

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】互に対向するように配設された固定電極
と、接触することなく前記固定電極間に挿入され、シャ
フトにより回転可能に支持された可動電極とを具備し、
前記固定電極と前記可動電極との間に形成される静電容
量の変化量を測定することにより角度を検出する無接触
静電容量式の角度センサにおいて、前記固定電極を、それぞれ、互に導通しない第１及び第
２の分割電極から構成し、かつ、各固定電極を構成する
第１の分割電極、及び各固定電極を構成する第２の分割
電極をそれぞれ電気的に接続するとともに、前記可動電極を、それぞれ、互に導通しない第１及び第
２の２つの分割電極から構成し、かつ、２つの分割電極
の重量及び形状の少なくとも一方を異ならせることによ
り、前記可動電極に、重力により角度センサ本体の回転
位置いかんにかかわらず一定の位置に保たれるような重
量と重心の偏りを付与したことを特徴とする角度セン
サ。
【請求項２】基準状態における可動電極の位置を、該基
準状態から所定の傾斜が生じた場合に形成される静電容
量の大きさが、正負いずれの傾斜が生じた場合にも静電
容量が略直線的に変化する範囲の略中央の大きさとなる
位置に設定したことを特徴とする請求項１記載の角度セ
ンサ。
【請求項３】前記可動電極は、その平面形状が略半円状
に形成されていることを特徴とする請求項１記載の角度
センサ。
【請求項４】前記固定電極と前記可動電極の間隔を調整
するための固定電極位置調整機構を備えたことを特徴と
する請求項１記載の角度センサ。
【請求項５】前記固定電極及び可動電極を複数組積み重
ねるための積重ね機構を有していることを特徴とする請
求項１記載の角度センサ。