JP2003279349A5 - - Google Patents

Description

例えば、機械的機構を用いたものの例としては、振り子を利用したものがある。しかし、このような機械的機構を用いたものでは、機構が複雑となり、又、小型化しようとした場合、高い加工精度と組立て精度が要求されるため、容易に小型化ができない問題がある。

【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、基板と、同基板に対して移動自在に設けられた導電性のマスと、同マスに接触するように配置されて、マスの移動範囲を規制するとともに、マスに対して電位を付与する第１電極と、前記マスの移動範囲の外方の複数箇所にそれぞれに配置され、同マスとの間で、静電容量が得られるように配置した複数の第２電極とを有することを特徴とする静電容量型傾斜センサを要旨としている。

各検出電極１２ａ〜１２ｄは、隣接したストッパ１３ａ〜１３ｄに対しては、絶縁ギャップを介して離間されている。
マス１４は、導電性を有するようにシリコンにて前記仮想円Ｃ２の半径よりも小径を備えた円板状に形成されている。マス１４は、各ストッパ１３の突出部１５にて周面が当接されて、仮想円Ｃ２外へ移動できない周の大きさを備えている。すなわち、ストッパ１３ａ〜１３ｄにより、マス１４の移動範囲が規制されている。

この結果、検出電極１２ｄ、１２ｃの静電容量が増加するように変化し、一方、検出電極１２ａ，１２ｂの静電容量が減少するように変化する。検出電極１２ａ〜１２ｄのそれぞれの増減の変化量を図示しない検出回路にて求めることにより、左側へ何度傾いたかを検出することができる。

例えば、図３の場合、検出電極１２ａ〜１２ｄの静電容量の変化と、傾き角度（基板１１の水平線Ｌに対する傾斜角度）とを予め対応づけしておけば、左側に何度傾いたかを検出することができる。

例えば、図４の場合、検出電極１２ａ〜１２ｄの静電容量の変化と、傾き角度（基板１１の水平線Ｌに対する傾斜角度）とを予め対応づけしておけば、右側に何度傾いたかを検出することができる。

この結果、従来技術と異なり、複雑な機械的機構を使用しないため、従来の傾斜センサよりも、簡単な構成とすることができ、小型化が容易にできる。

この結果、検出電極１２ｄ、１２ｃの静電容量が増加するように変化し、一方、検出電極１２ａ，１２ｂの静電容量が減少するように変化する。検出電極１２ａ〜１２ｄのそれぞれの増減の変化量を図示しない検出回路にて求めることにより、左側へ何度傾いたかを検出することができる。

Claims (1)

1. 基板と、同基板に対して移動自在に設けられた導電性のマスと、同マスに接触するように配置されて、マスの移動範囲を規制するとともに、マスに対して電位を付与する第１電極と、前記マスの移動範囲の外方の複数箇所にそれぞれに配置され、同マスとの間で、静電容量が得られるように配置した複数の第２電極とを有することを特徴とする静電容量型傾斜センサ。