JP3282135B2 - 光周波数領域反射測定装置 - Google Patents

光周波数領域反射測定装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光部品の検査に利用す
る。特に、光ファイバその他の光部品による反射光ある
いは後方散乱光の強度分布を高い距離分解能で比較的広
い範囲にわたって測定することのできる光周波数領域反
射測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】高い距離分解能で光ファイバその他の光
部品からの反射光および後方散乱光の強度分布を測定す
ることが可能な分布型光センサとして、コヒーレント光
周波数領域反射測定(C−OFDR:Coherent-Optical
Frequency Domain Reflectometry )装置が知られてい
る。C−OFDRでは、周波数が時間に対して直線的に
繰り返し掃引されたコヒーレントなレーザ光を用いるこ
とにより、周波数領域における反射光あるいは後方散乱
光の強度分布を測定することができる。
【0003】図6は従来のC−OFDR装置の構成を示
す。光源61は発光周波数が可変であり、時間の経過に
対して周波数が直線的に変化するように制御し、繰り返
し周波数掃引されたコヒーレント光を得る。このコヒー
レント光を光分波器62により信号光と参照光とに分波
し、信号光については光合分波器63を介して被測定光
部品64に入射する。また、被測定光部品64からの反
射信号光を光合分波器63により取り出す。この反射信
号光には被測定光部品64の端面反射光や内部で発生し
た後方散乱光が含まれている。この反射信号光を反射鏡
65および光合波器66を用いて光分波器62からの参
照光に合波する。この合波された光波をヘテロダイン受
信器67でヘテロダイン検波し、被測定光部品64から
の反射信号光と参照光との周波数差をスペクトラムアナ
ライザ68および信号処理装置69により解析する。こ
のときの周波数差は戻り光と参照光との間の遅延時間に
比例するため、反射信号光の光強度分布を周波数領域で
測定することができる。また、受信帯域幅を狭く設定す
れば高い距離分解能を得ることができ、低雑音で測定を
行うことができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のC−O
FDR装置では、二つの光波の可干渉範囲内の光路時間
差に対してしか十分な強度の干渉信号が得られず、一度
に測定できる範囲が制限されてしまうという問題があっ
た。これは特に光源として高速周波数掃引性に優れた分
布帰還型レーザダイオード(以下「DFBレーザ」とい
う)を使用した場合に問題となり、その測定可能範囲は
10m程度に制限されていた。
【0005】本発明は、このような課題を解決し、比較
的広い範囲で高い距離分解能をもつ光周波数領域反射測
定装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の光周波数領域反
射測定装置は、参照光の光路上に、参照光を二つの光波
に分波する第三の光学手段と、この二つの光波の一方に
周波数シフトおよび遅延を与えて再び合波する第四の光
学手段とを備えたことを特徴とする。
【0007】第三の光学手段と第四の光学手段とからな
る光回路を多段に備え、第n段(n=1、2、…)の光
回路による周波数シフト量が2n-1 f、遅延光路差が2
n-1Lに設定されることが望ましい。
【0008】
【作用】参照光を二つの光波に分波し、その一方に周波
数シフトおよび遅延を与えて再び合波する。周波数シフ
トを与える前の参照光の光周波数をf0 、周波数シフト
をf、遅延を与える遅延光路差をLとすると、光周波数
0 の参照光から遅延光路長差L分の遅延時間の後に、
光周波数f0 +fの参照光が得られる。この参照光を用
いて、光周波数f0 の参照光により測定した範囲から光
路長Lだけ離れた領域の測定を行う。光周波数が異なる
ので互いの領域を区別して測定でき、参照光を遅延させ
るので被測定光部品の測定点との間の光路時間差を小さ
くして十分な強度の干渉信号を得ることができる。した
がって、高い距離分解能を保ちながら、比較的広い距離
範囲にわたる測定が可能となる。
【0009】参照光の分岐、周波数シフト、遅延および
合波を多段に行うと、測定可能な距離範囲をさらに拡大
できる。
【0010】
【実施例】図1は本発明第一実施例の光周波数領域反射
測定装置の構成を示す。
【0011】この光周波数領域反射測定装置は、光周波
数が時間に対して変化するコヒーレント光を発生する発
光手段としてレーザ光源1および外部制御回路2を備
え、このレーザ光源1の出力光を信号光と参照光とに分
波する第一の光学手段として光方向性結合器3を備え、
この信号光を被測定光部品20に入射するとともにその
被測定光部品20からの反射信号光を参照光に合波する
第二の光学手段として光方向性結合器4、5を備え、合
波された光波を電気信号に変換して解析する検波解析手
段としてヘテロダイン受信器16、スペクトラムアナラ
イザ17および信号処理装置18を備える。
【0012】ここで本実施例の特徴とするところは、参
照光の光路上に、参照光を二つの光波に分波する第三の
光学手段として光方向性結合器6を備え、二つの光波の
一方に周波数シフトおよび遅延を与えて再び合波する第
四の光学手段として光周波数シフタ7、光遅延線8およ
び光方向性結合器9を備えたことにある。さらに本実施
例は、光方向性結合器、光周波数シフタ、光遅延線およ
び光方向性結合器からなる光回路を3段備える。すなわ
ち、光方向性結合器9を第1段の光回路と共通とする光
方向性結合器9、光周波数シフタ10、光遅延線11お
よび光方向性結合器12からなる光回路と、光方向性結
合器12を第2段の光回路と共通とする光方向性結合器
12、光周波数シフタ13、光遅延線14および光方向
性結合器15からなる光回路とを備える。光周波数シフ
タ7、10、13は周波数シフト量がそれぞれf、2
f、4fに設定され、光遅延線8、11、14はそれぞ
れ分波された二つの光波の遅延光路差がL、2L、4L
となるように設定されている。
【0013】レーザ光源1は繰り返し周波数掃引が可能
であり、外部制御回路2の制御により、周波数が時間に
対して直線的に掃引されたコヒーレントなレーザ光を発
生する。このレーザ光を光方向性結合器3により信号光
と参照光とに分波する。信号光は光方向性結合器4を経
て被測定光部品20に入射し、反射または後方レーリー
散乱される。この反射信号光を光方向性結合器4により
取り出し、光方向性結合器5により、あらかじめ分波さ
れた参照光と合波する。この合波光をヘテロダイン受信
器16で受光し、反射信号光と参照光との周波数差をヘ
テロダインビート信号の周波数として測定する。このと
き周波数差は反射信号光と参照光との光路長差(遅延時
間差)に比例するため、スペクトラムアナライザ17お
よび信号処理装置18により出力電気信号を周波数解析
することにより、反射信号光強度分布を周波数領域で測
定することができる。
【0014】しかし、ヘテロダインビート信号は反射信
号光と参照光との光路長差が可干渉距離により短い場合
しか得られないために、従来の光周波数領域反射測定装
置では、測定可能な範囲が可干渉距離より短い範囲に制
限されていた。たとえば線幅1MHzのDFBレーザを
使用した場合、光路長差が大きくなると干渉性の低下に
よってヘテロダインビート信号の強度が低下し、光路長
差20mの場合には光路長差零の場合に比較して約3d
B低下する。
【0015】そこで本実施例では、参照光を周波数およ
び遅延時間差について同時に多重合成することにより、
ヘテロダインビート信号の低下を補い、測定範囲を大幅
に拡大している。具体的には、光方向性結合器、光周波
数シフタおよび光遅延線からなる光回路を多段接続して
参照光を通すことにより、周波数多重および遅延時間多
重を実現している。
【0016】光方向性結合器3により分波された参照光
は、1段目の光方向性結合器6により50対50に分波
される。その一方の光路中には、周波数シフトfを与え
る一段目の光周波数シフタ7と、遅延光路差Lを与える
光遅延線8が挿入される。この周波数シフト量f、遅延
光路差Lを以下「単位周波数シフト量」、「単位光路
差」という。異なる光路を通った二つの光波は、分岐比
50対50をもつ二段目の光方向性結合器9により合波
および再分波される。再分波された一方の光路中には、
周波数シフト2fを与える二段目の光周波数シフタ10
と、遅延光路差2Lを与える二段目の光遅延線11とが
挿入される。さらに、異なる光路を通った二つの光波
は、分波比50対50をもつ三段目の光方向性結合器1
2により合波および再分波される。ここで再分波された
一方の光路中には、周波数シフト4fを与える三段目の
光周波数シフタ13と、遅延光路長差4Lを与える三段
目の光遅延線14とが挿入される。異なる光路を通った
二つの光波は、光方向性結合器15により合波され、光
方向性結合器5で被測定光部品20からの反射信号光と
合波される。
【0017】図2は光方向性結合器、光周波数シフタ、
光遅延線および光方向性結合器からなる光回路をさらに
多段接続した構成例を示す。光方向性結合器としては分
岐比が50対50のものを用い、個々の光回路の入力側
の光方向性結合器を前段の光方向性結合器と共有する。
また、第n段(n=1、2、…)の光回路における周波
数シフタの周波数シフト量を2n-1 f、光遅延線による
遅延光路差を2n-1 Lに設定する。このようにすると、
n 重の参照光周波数多重、遅延光路差多重が可能にな
る。参照光の周波数差と遅延光路長差との関係を図3に
示す。
【0018】図4は後方散乱光の強度分布測定波形例を
示す。レーザ光源1の周波数掃引レートを調整し、単位
遅延光路差Lがレーザ光の可干渉距離の二倍程度、そし
て単位周波数シフト量fが遅延光路差Lに対応するビー
ト周波数差に相当するように設定する。このようにする
と、個々の干渉信号は遅延光路長差の増加により劣化す
るが、約半分に低下した地点で、遅延光路長差が相互に
Lまたは−Lだけずれた参照光による干渉信号と重ね合
わせられるため、全体の干渉信号強度の低下を避けるこ
とが可能となる。そのため、可干渉距離Lが比較的短い
光源を用いても、n段の複合光回路に参照光を通すこと
により2n Lの範囲まで測定可能範囲を拡大することが
できる。
【0019】図1に示した実施例をさらに具体的に説明
すると、レーザ光源1として、たとえば線幅が1MHz
の線幅(可干渉距離25m)のDFBレーザを用いる。
DFBレーザの光周波数は注入電流の変化によって制御
できる。光周波数シフタ7、10、13としては、たと
えば周波数シフト量がそれぞれ50MHz、100MH
z、200MHzの音響光学周波数シフタを用いる。光
遅延線8、11、14の長さはそれぞれ50、100、
200mとする。このようにすると、光方向性結合器1
5の出力端では、周波数シフト量が0、50、100、
150、200、250、300、350MHzの8個
の光周波数が得られる。また、各々の参照光成分の遅延
光路差は、それぞれ0、50、100、150、20
0、250、300mとなる。各々の参照光成分は、そ
れぞれ被測定光部品20内の異なる部分で反射、後方散
乱された反射信号光と干渉し、ヘテロダイン信号を作り
出す。
【0020】また、光周波数領域における周波数割り当
て量を50MHz/50m(=1MHz/1m=0.1
MHz/0.1m)に設定し、干渉信号を作り出す参照
光成分は異なっていても同一地点からの反射信号光に対
応する周波数差はひとつに定まるようにする。このよう
にすると、位置x〔m〕に対する周波数差F(x) 〔H
z〕は、 F(x) =Cx+D で表される。ここで、Cは比例係数であり、この例では
C=1MHz/1mである。Dは定数である。また、後
方散乱光分布に対応する周波数領域信号の強度I(x)
は、 I(x) =aPrefsig(x) Σ exp[-4π(Δf/2Vg)|x
−jL|] で表される。ここで、a光電変換における比例係数、P
ref 、Psig (x) はそれぞれ参照光、反射信号光の強
度、Δfは光源の線幅、Vg は光の群速度、Lは単位遅
延光路差である。Σはj=0〜22 −1の総和を表す。
このままでは、指数関数的な強度の変化が測定波形に重
なってしまう。これを補正すると、波数領域の信号の強
度I′(x) は、 I′(x) =aPrefsig(x) Σ exp[-4π(Δf/2Vg)|
x−jL|]÷Σ exp[-4π(Δf/2Vg)|x−jL|] で表される。この式のΣもまた、j=0〜22 −1の総
和を表す。
【0021】図5は本発明第二実施例の光周波数領域反
射測定装置の構成を示す。図1に示した第一実施例で
は、光周波数シフタ7、10、13および光遅延線8、
11、14による損失が無視できるものとして説明し
た。この損失が無視できない場合には、他方の光路にそ
れぞれ光減衰器51、52、53を挿入し、二つの光路
を通った光が等しい強度をもつように調整する。光方向
性結合器9、12のそれぞれの二つの出力ポートには、
二つの経路を通った光波が1対1の強度比で出力され
る。
【0022】以上の説明では光を合分波するために光方
向性結合器を用いた例を示したが、他の光学素子を用い
ても本発明を同様に実施できる。
【0023】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の光周波数
領域反射測定装置は、参照光の光周波数および遅延光路
差をずらして重ね合わせることにより、被測定光部品の
測定点との間の光路時間差を小さくして十分な強度の干
渉信号を得ることができ、しかも異なる光周波数を利用
してその測定領域を区別することができる。したがっ
て、高い距離分解能を保ちながら、比較的広い距離範囲
にわたる測定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明第一実施例の光周波数領域反射測定装置
の構成を示す図。
【図2】光方向性結合器、光周波数シフタ、光遅延線お
よび光方向性結合器からなる光回路を多段接続した構成
例を示す図。
【図3】参照光の周波数差と遅延光路長差との関係を示
す図。
【図4】後方散乱光の強度分布測定波形例を示す図。
【図5】本発明第二実施例の光周波数領域反射測定装置
の構成を示す図。
【図6】従来例の構成を示す図。
【符号の説明】
1 レーザ光源 2 外部制御回路 3、4、5、6、9、12、15 光方向性結合器 7、10、13 光周波数シフタ 8、11、14 光遅延線 16、67 ヘテロダイン受信器 17、68 スペクトラムアナライザ 18、69 信号処理装置 20、64 被測定光部品 51、52、53 光減衰器 61 光源 62 光分波器 63 光合分波器 65 反射鏡 66 光合波器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−118954(JP,A) 特開 平4−248434(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01M 11/00 - 11/08

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光周波数が時間に対して変化するコヒー
    レント光を発生する発光手段と、 この発光手段の出力光を信号光と参照光とに分波する第
    一の光学手段と、 この信号光を被測定光部品に入射するとともにその被測
    定光部品からの反射信号光を上記参照光に合波する第二
    の光学手段と、 合波された光波を電気信号に変換して解析する検波解析
    手段とを備えた光周波数領域反射測定装置において、 上記参照光の光路上に、 参照光を二つの光波に分波する第三の光学手段と、 この二つの光波の一方に周波数シフトおよび遅延を与え
    て再び合波する第四の光学手段とを備えたことを特徴と
    する光周波数領域反射測定装置。
  2. 【請求項2】 上記第三の光学手段と上記第四の光学手
    段とからなる光回路を多段に備え、 第n段(n=1、2、…)の光回路による周波数シフト
    量が2n-1 f、遅延光路差が2n-1 Lに設定された請求
    項1記載の光周波数領域反射測定装置。
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