JP3278454B2 - 溶液中走査型トンネル顕微鏡 - Google Patents
溶液中走査型トンネル顕微鏡Info
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Description
に関する。さらに、溶液中の試料面を観察する溶液中走
査型トンネル顕微鏡の探針に関するものである。
は、探針はガラスコ−トされた白金針など、対極には白
金線などが用いられていた。例えば特公平1−1413
02号公報などにこのような構造が開示されている。
対極は別々に配置されているため、探針直下の試料表面
に局所的に電位を設定し電気化学反応をおこさせ、その
変化を測定することが困難であるという課題があった。
そこで、この発明の目的は、局所的な電気化学反応に伴
う試料表面構造の変化を測定する溶液中走査型トンネル
顕微鏡を提供することである。
に、この発明は、対極と探針を一体構造とした。
により、探針直下の試料表面上に局所的に電気化学反応
をおこさせることができる。試料の電気化学反応電流
は、対極との間に流れるため、対極直下つまり探針直下
の試料面に電気化学反応をおこさせ、同時に、その変化
を探針で測定することが可能となる。
説明する。 (実施例1)図1は本発明の溶液中走査型トンネル顕微
鏡の概略図である。電気化学セル4中に、試料2と参照
電極3、対極/探針一体電極1を配置し、溶液5を入れ
る。試料および探針の電位制御と電流検出は、試料/探
針電位制御・試料/探針電流検出部で行う。得られた電
気化学デ−タの処理は、試料/探針の電位・電流記録部
で行う。探針のZ軸方向の制御およびXY方向の走査
は、XY軸制御・Z軸制御部で圧電アクチュエ−タから
なるXYZ3軸制御機構6を動作させて行う。得られた
XYZ軸デ−タは、画像処理部で画像化する。装置の機
械体は、除振台7上に設置し、外部の振動の影響を取り
除いている。
体電極の断面図である。白金探針8をガラス等の絶縁体
9で被覆した後、対極としての白金10を蒸着した。な
お、本発明には、探針とし、白金の他、白金の合金およ
び金や炭素等も含まれ、絶縁体9としては、絶縁性の高
分子膜も含まれる。この対極/探針一体電極を用いて、
例えば、グラファイト上の金メッキの核成長のリアルタ
イム測定、ステンレス鋼の腐食過程のその場測定などが
可能となった。
の対極/探針一体電極の断面図である。白金探針11を
同時に対極として使用する。探針11はガラス等の絶縁
体で被覆される。この対極/探針一体電極を用いて、試
料面の局所反応発生および表面測定が同時に行えるよう
になった。
施例の対極/探針一体電極の断面図である。白金等の金
属探針8上にガラス等の絶縁膜9を被覆した後、白金板
12を探針の周囲に固定する。この対極/探針一体電極
を用いて、試料面の局所反応発生および表面測定が同時
に行えるようになった。
の対極/探針一体電極の断面図である。白金等の金属探
針8上にガラス等の絶縁膜9を被覆した後、白金線13
を探針の周囲にコイル状に固定する。この対極/探針一
体電極を用いて、試料面の局所反応発生および表面測定
が同時に行えるようになった。
ば、対極と探針を一体構造とすることにより、従来困難
であった探針直下の局所的な試料表面に電気化学反応を
おこさせ、同時にSTM測定を行うことが可能となる。
である。
る。
る。
である。
る。
Claims (2)
- 【請求項1】 試料、対極、参照電極および探針を溶液
中に配置した電気化学セルを用い、試料と探針の電位を
設定し、試料と対極との間に流れる電流による試料面の
局部反応発生、および探針と試料との間に流れるトンネ
ル電流による試料表面の測定を同時に行うための溶液中
走査型トンネル顕微鏡であって、 前記探針に前記対極を電気的絶縁体を介して一体に取り
付け、前記対極と前記試料との間に流れる電流により前
記探針の近傍において局部反応を発生させることができ
るようにした ことを特徴とする溶液中走査型トンネル顕
微鏡。 - 【請求項2】 前記探針の回りに絶縁体を介して前記対
極が前記探針と一体に設けられていることを特徴とする
請求項1記載の溶液中走査型トンネル顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08578492A JP3278454B2 (ja) | 1992-04-07 | 1992-04-07 | 溶液中走査型トンネル顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08578492A JP3278454B2 (ja) | 1992-04-07 | 1992-04-07 | 溶液中走査型トンネル顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05288714A JPH05288714A (ja) | 1993-11-02 |
JP3278454B2 true JP3278454B2 (ja) | 2002-04-30 |
Family
ID=13868516
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP08578492A Expired - Fee Related JP3278454B2 (ja) | 1992-04-07 | 1992-04-07 | 溶液中走査型トンネル顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3278454B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2001512706A (ja) * | 1997-08-05 | 2001-08-28 | ドイッチェ テレコム アーゲー | 材料の添加または除去方法 |
JP4507310B2 (ja) * | 1999-10-18 | 2010-07-21 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミック素子の剥離方法及び積層セラミック素子の検査方法 |
JP5467473B2 (ja) * | 2009-04-30 | 2014-04-09 | 国立大学法人東北大学 | 走査型電気化学イオンコンダクタンス顕微鏡、その探針及び探針の製造方法。 |
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-
1992
- 1992-04-07 JP JP08578492A patent/JP3278454B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
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JPH05288714A (ja) | 1993-11-02 |
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