JP3269438B2 - 固体レーザ装置 - Google Patents
固体レーザ装置Info
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- JP3269438B2 JP3269438B2 JP32622797A JP32622797A JP3269438B2 JP 3269438 B2 JP3269438 B2 JP 3269438B2 JP 32622797 A JP32622797 A JP 32622797A JP 32622797 A JP32622797 A JP 32622797A JP 3269438 B2 JP3269438 B2 JP 3269438B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、くさび型のスラブ
結晶のエッジ部分からビームを入出射する入出射部分を
有するスラブレーザ集光器等の固体レーザ装置に関す
る。
結晶のエッジ部分からビームを入出射する入出射部分を
有するスラブレーザ集光器等の固体レーザ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】スラブ型固体レーザ発振器は、数１００
ＷからｋＷ級の高い平均出力でも、低拡がり角の高いビ
ーム品質を維持し続けるため、高いビーム輝度を有する
レーザ光を発生させることができるという特徴をもつ。
これはスラブ厚み方向に対してスラブ結晶の側面で全反
射を繰り返しながら、結晶中を伝搬するジグザグ型の光
路を用いることにより、温度分布から生じる屈折率差、
複屈折などの光学歪みがビームに与える影響を打ち消し
て、高いビーム品質が得られるというスラブ型固体レー
ザ発振器の原理によるものである。
ＷからｋＷ級の高い平均出力でも、低拡がり角の高いビ
ーム品質を維持し続けるため、高いビーム輝度を有する
レーザ光を発生させることができるという特徴をもつ。
これはスラブ厚み方向に対してスラブ結晶の側面で全反
射を繰り返しながら、結晶中を伝搬するジグザグ型の光
路を用いることにより、温度分布から生じる屈折率差、
複屈折などの光学歪みがビームに与える影響を打ち消し
て、高いビーム品質が得られるというスラブ型固体レー
ザ発振器の原理によるものである。
【０００３】ただし、理想的に無限長のスラブ結晶の場
合は上記の原理の通りであるが、実際には、ジグザグ型
の光路を形成するため、スラブの入出射面において屈折
させる必要があり、一般的にスラブ結晶のエッジ部分は
先端が鋭角となるくさび型の形状である。
合は上記の原理の通りであるが、実際には、ジグザグ型
の光路を形成するため、スラブの入出射面において屈折
させる必要があり、一般的にスラブ結晶のエッジ部分は
先端が鋭角となるくさび型の形状である。
【０００４】図３は、従来技術の一例として、スラブレ
ーザ集光器の入出射部分の断面と、スラブ結晶内の等温
線を示す断面図である。このスラブレーザ集光器におい
て、スラブ結晶１は平板形状で断面は長方形であり、そ
の長辺を含む側面から均一に励起及び冷却できるよう
に、励起用の光源であるランプ２が配置され、さらにス
ラブ結晶１に平行するように配置されたガラス板３の間
に高速で冷却水４を流している。さらに短辺を含む側面
は、スラブ結晶１に断熱材が密着されており、この面か
らの熱の逃げは遮断されている。このような構造におい
て、結晶内の温度分布は、上記断面の長辺方向（スラブ
幅方向）には均一であり、短辺方向（スラブ厚み方向）
にのみ中心部から両側面に向かい低下する勾配として生
じる。このスラブ厚み方向の温度分布により発生する光
学歪みは、上記の長辺を含む両側面にて全反射を繰り返
すジグザグ光路によりビームへの影響が補償される。
ーザ集光器の入出射部分の断面と、スラブ結晶内の等温
線を示す断面図である。このスラブレーザ集光器におい
て、スラブ結晶１は平板形状で断面は長方形であり、そ
の長辺を含む側面から均一に励起及び冷却できるよう
に、励起用の光源であるランプ２が配置され、さらにス
ラブ結晶１に平行するように配置されたガラス板３の間
に高速で冷却水４を流している。さらに短辺を含む側面
は、スラブ結晶１に断熱材が密着されており、この面か
らの熱の逃げは遮断されている。このような構造におい
て、結晶内の温度分布は、上記断面の長辺方向（スラブ
幅方向）には均一であり、短辺方向（スラブ厚み方向）
にのみ中心部から両側面に向かい低下する勾配として生
じる。このスラブ厚み方向の温度分布により発生する光
学歪みは、上記の長辺を含む両側面にて全反射を繰り返
すジグザグ光路によりビームへの影響が補償される。
【０００５】また、スラブ結晶１のエッジ部分付近に
は、冷却水４の外部への流出を防ぐためのスラブシール
材５が設けられ、このシール材５より外側の部分のスラ
ブ結晶１は、ジグザグ光路を形成するため入射光を屈折
するように、例えば入射がブリュースターとなる鋭角の
形状にカットされている。また、この部分は通常は空気
に触れる部分である。
は、冷却水４の外部への流出を防ぐためのスラブシール
材５が設けられ、このシール材５より外側の部分のスラ
ブ結晶１は、ジグザグ光路を形成するため入射光を屈折
するように、例えば入射がブリュースターとなる鋭角の
形状にカットされている。また、この部分は通常は空気
に触れる部分である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図３に示すようなスラ
ブ結晶においては、励起および冷却が行われているシー
ル材５より内側の部分は、スラブ側面に平行した等温線
が形成されるので、スラブ結晶１を透過するビーム２０
の各部は均一に高温部２４と低温部を通過し、上記の原
理によりビームの各部が受ける光学歪みの影響は均一化
される。
ブ結晶においては、励起および冷却が行われているシー
ル材５より内側の部分は、スラブ側面に平行した等温線
が形成されるので、スラブ結晶１を透過するビーム２０
の各部は均一に高温部２４と低温部を通過し、上記の原
理によりビームの各部が受ける光学歪みの影響は均一化
される。
【０００７】しかしながら、図３に示すように、シール
材５の外側のエッジ部分は、スラブの内部からの熱伝導
とエッジのくさび型の形状、エッジ付近の雰囲気への熱
の逃げなどの関係によって、結晶内の等温線２１が乱れ
る。このエッジ部分をビーム２０が通過する際、ビーム
の両サイドで大きく異なる温度領域を通過することにな
る。したがって、ビーム２０の各部分が受ける光学歪み
の影響が異なることから、波面が乱れ、出射するビーム
が広がったり、干渉などにより部分的に強い部分が発生
することがある。
材５の外側のエッジ部分は、スラブの内部からの熱伝導
とエッジのくさび型の形状、エッジ付近の雰囲気への熱
の逃げなどの関係によって、結晶内の等温線２１が乱れ
る。このエッジ部分をビーム２０が通過する際、ビーム
の両サイドで大きく異なる温度領域を通過することにな
る。したがって、ビーム２０の各部分が受ける光学歪み
の影響が異なることから、波面が乱れ、出射するビーム
が広がったり、干渉などにより部分的に強い部分が発生
することがある。
【０００８】また、例えば W.Koechner 著の「Solid-St
ate Laser Enginnering」(Springer-Verlag) の 7.3 Sl
ab and Disc Geometries に示されているように、エッ
ジ部分が鋭角であるために熱膨張によって結晶の変形が
生じる。すなわち、入出射面での反射ロスを押さえる目
的のブリュースター角にカットしたスラブ結晶１では、
先端が鋭角となるためスラブ内部の熱膨張によりエッジ
部分が変形して曲げられる。図３においては、元のスラ
ブ結晶１の形状２２と励起状態のスラブ結晶１の形状２
３を定性的に示す。このスラブ結晶の変形の結果、出射
するレーザ光の方向がずれることになり、共振器内では
往復するレーザ光のスラブ結晶端面でのロスとなった
り、そのロスとなる迷光によるスラブシール材の劣化
や、また、励起入力の変化に対する最適な発振状態の変
化、つまり調整ずれという問題の要因となる。
ate Laser Enginnering」(Springer-Verlag) の 7.3 Sl
ab and Disc Geometries に示されているように、エッ
ジ部分が鋭角であるために熱膨張によって結晶の変形が
生じる。すなわち、入出射面での反射ロスを押さえる目
的のブリュースター角にカットしたスラブ結晶１では、
先端が鋭角となるためスラブ内部の熱膨張によりエッジ
部分が変形して曲げられる。図３においては、元のスラ
ブ結晶１の形状２２と励起状態のスラブ結晶１の形状２
３を定性的に示す。このスラブ結晶の変形の結果、出射
するレーザ光の方向がずれることになり、共振器内では
往復するレーザ光のスラブ結晶端面でのロスとなった
り、そのロスとなる迷光によるスラブシール材の劣化
や、また、励起入力の変化に対する最適な発振状態の変
化、つまり調整ずれという問題の要因となる。
【０００９】以上のようなエッジ部分の光学歪みの不均
一性と、結晶の変形によるビームずれは、以下の各問題
点の要因となっていた。
一性と、結晶の変形によるビームずれは、以下の各問題
点の要因となっていた。
【００１０】第一の問題点は、スラブ結晶のエッジ部分
に生じている不規則な屈折率勾配による熱レンズ効果の
補償の不十分さのために、スラブを出射するビーム拡が
り角が大きくなり、スラブレーザ発振器のビーム品質が
悪化することである。
に生じている不規則な屈折率勾配による熱レンズ効果の
補償の不十分さのために、スラブを出射するビーム拡が
り角が大きくなり、スラブレーザ発振器のビーム品質が
悪化することである。
【００１１】第二の問題点は、エッジ部分を通過するレ
ーザ光の波面の乱れと全反射を繰り返すことにより生じ
る干渉のため、出力光の強度分布に局所的な集中が発生
することである。
ーザ光の波面の乱れと全反射を繰り返すことにより生じ
る干渉のため、出力光の強度分布に局所的な集中が発生
することである。
【００１２】第三の問題点は、スラブ結晶への励起入力
の変化に対するビームの変位によって生じる、調整ずれ
と出力の安定性の悪化である。
の変化に対するビームの変位によって生じる、調整ずれ
と出力の安定性の悪化である。
【００１３】第四の問題点は、スラブ結晶から出射した
際に現れる迷光、散乱光が共振器ミラーで反射され再度
スラブ結晶の側に戻る場合に発生するスラブシール材の
劣化である。
際に現れる迷光、散乱光が共振器ミラーで反射され再度
スラブ結晶の側に戻る場合に発生するスラブシール材の
劣化である。
【００１４】本発明は上述した従来技術の各問題点を解
決するためになされたものであり、ビーム品質、出力光
の強度分布や安定性、スラブシール材の劣化防止などに
おいて優れた固体レーザ装置を提供することを目的とす
る。
決するためになされたものであり、ビーム品質、出力光
の強度分布や安定性、スラブシール材の劣化防止などに
おいて優れた固体レーザ装置を提供することを目的とす
る。
【００１５】
【課題を解決するための手段】本発明は、スラブ結晶の
エッジ部分からビームを入射及び／又は出射するスラブ
レーザ集光器を有する固体レーザ装置において、該スラ
ブ結晶のエッジ部分近傍の温度分布を調整するための温
度分布調整用加熱手段を有し、スラブ結晶のエッジ部分
付近には、冷却水の外部への流出を防ぐためのスラブシ
ール材が設けられ、温度分布調整用加熱手段は、該シー
ル材より外側のスラブ結晶のエッジ部分の温度分布を調
整するための手段であることを特徴とする固体レーザ装
置である。
エッジ部分からビームを入射及び／又は出射するスラブ
レーザ集光器を有する固体レーザ装置において、該スラ
ブ結晶のエッジ部分近傍の温度分布を調整するための温
度分布調整用加熱手段を有し、スラブ結晶のエッジ部分
付近には、冷却水の外部への流出を防ぐためのスラブシ
ール材が設けられ、温度分布調整用加熱手段は、該シー
ル材より外側のスラブ結晶のエッジ部分の温度分布を調
整するための手段であることを特徴とする固体レーザ装
置である。
【００１６】本発明においては、温度分布調整用加熱手
段を設け、スラブ結晶のエッジ部分近傍の温度分布を調
整することにより、ビームがエッジ部分を通過すること
により生じる光学歪みや、エッジ部分の変形を改善で
き、上記各問題点を解決できることになる。
段を設け、スラブ結晶のエッジ部分近傍の温度分布を調
整することにより、ビームがエッジ部分を通過すること
により生じる光学歪みや、エッジ部分の変形を改善で
き、上記各問題点を解決できることになる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施形態に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００１８】図１は、本発明の固体レーザ装置の一例と
して、スラブレーザ集光器の入出射部分の断面と、スラ
ブ結晶内の等温線を示す断面図であり、図２は、図１の
スラブレーザ集光器の入出射側から見た、スラブ結晶の
エッジ部分を示す斜視図である。この図に示す装置にお
いては、ジグザグ・スラブ型レーザ結晶１を用いた集光
器の中でビームが入出射する部分について、ジグザグ光
路が形成される。なお図１では集光器の片側のエッジ付
近のみを表しているが、逆側のエッジ付近についても対
称に同じ形状及び等温線２１が形成されている。
して、スラブレーザ集光器の入出射部分の断面と、スラ
ブ結晶内の等温線を示す断面図であり、図２は、図１の
スラブレーザ集光器の入出射側から見た、スラブ結晶の
エッジ部分を示す斜視図である。この図に示す装置にお
いては、ジグザグ・スラブ型レーザ結晶１を用いた集光
器の中でビームが入出射する部分について、ジグザグ光
路が形成される。なお図１では集光器の片側のエッジ付
近のみを表しているが、逆側のエッジ付近についても対
称に同じ形状及び等温線２１が形成されている。
【００１９】この図１に示す装置は、図３に示した従来
例と同様に、スラブ結晶１は平板形状で断面は長方形で
あり、その長辺を含む側面から均一に励起及び冷却でき
るように、励起用の光源であるランプ２が配置され、さ
らにスラブ結晶１に平行するように配置されたガラス板
３の間に高速で冷却水４を流している。さらに短辺を含
む側面は、スラブ結晶１に断熱材が密着されており、こ
の面からの熱の逃げは遮断されている。
例と同様に、スラブ結晶１は平板形状で断面は長方形で
あり、その長辺を含む側面から均一に励起及び冷却でき
るように、励起用の光源であるランプ２が配置され、さ
らにスラブ結晶１に平行するように配置されたガラス板
３の間に高速で冷却水４を流している。さらに短辺を含
む側面は、スラブ結晶１に断熱材が密着されており、こ
の面からの熱の逃げは遮断されている。
【００２０】また、スラブ結晶１のエッジ部分付近に
は、冷却水４の外部への流出を防ぐためのスラブシール
材５が設けられ、このシール材５より外側の部分のスラ
ブ結晶１は、ジグザグ光路を形成するため入射光を屈折
するように、例えば入射がブリュースターとなる鋭角の
形状にカットされている。また、この部分は通常は空気
に触れる部分である。
は、冷却水４の外部への流出を防ぐためのスラブシール
材５が設けられ、このシール材５より外側の部分のスラ
ブ結晶１は、ジグザグ光路を形成するため入射光を屈折
するように、例えば入射がブリュースターとなる鋭角の
形状にカットされている。また、この部分は通常は空気
に触れる部分である。
【００２１】この図１に示す装置において、図３に示し
た従来例と異なる構成は、温度分布調整用加熱手段とし
て、シール材５より外側のスラブ結晶１のエッジ部分に
結晶側面に密着するように軟質の熱伝達材６，７を設
け、さらにこの熱伝達材６，７を介してスラブ結晶１を
加熱する目的の平板状のヒータ８，９を熱伝達材６，７
に貼り付けて設けていることである。このヒータ８，９
によりスラブ結晶１のエッジ部分に生じている温度分布
を変化させ、従来技術においてビーム品質悪化の原因で
あったエッジ部分の光学歪みを変化させ、ビームが受け
る影響を均一化でき、これによりスラブレーザ発振器の
ビーム品質、ビームの強度分布、出力安定性を改善でき
る。
た従来例と異なる構成は、温度分布調整用加熱手段とし
て、シール材５より外側のスラブ結晶１のエッジ部分に
結晶側面に密着するように軟質の熱伝達材６，７を設
け、さらにこの熱伝達材６，７を介してスラブ結晶１を
加熱する目的の平板状のヒータ８，９を熱伝達材６，７
に貼り付けて設けていることである。このヒータ８，９
によりスラブ結晶１のエッジ部分に生じている温度分布
を変化させ、従来技術においてビーム品質悪化の原因で
あったエッジ部分の光学歪みを変化させ、ビームが受け
る影響を均一化でき、これによりスラブレーザ発振器の
ビーム品質、ビームの強度分布、出力安定性を改善でき
る。
【００２２】エッジ部分の温度分布を最適化するために
は、共振器を取り付けてレーザ発振状態で調整するので
はなく、例えばＨｅ−Ｎｅレーザ光のような可視レーザ
光をプローブ光として、高励起状態にあるスラブ結晶１
に入射し、出射光のパターンを観察しながらスラブ結晶
の両側に配置したヒータ８，９の加熱量を独立に調整し
て良好なパターンが得られるようにすることが好まし
い。従来、このようなプローブ光を透過したとき励起エ
ネルギーを増加するに従って、出射光のパターンはスラ
ブ厚み方向の拡がり角が大きくなり、干渉縞が現れてい
たが、スラブエッジ部分の温度分布を改善することによ
ってこの現象を緩和することができる。
は、共振器を取り付けてレーザ発振状態で調整するので
はなく、例えばＨｅ−Ｎｅレーザ光のような可視レーザ
光をプローブ光として、高励起状態にあるスラブ結晶１
に入射し、出射光のパターンを観察しながらスラブ結晶
の両側に配置したヒータ８，９の加熱量を独立に調整し
て良好なパターンが得られるようにすることが好まし
い。従来、このようなプローブ光を透過したとき励起エ
ネルギーを増加するに従って、出射光のパターンはスラ
ブ厚み方向の拡がり角が大きくなり、干渉縞が現れてい
たが、スラブエッジ部分の温度分布を改善することによ
ってこの現象を緩和することができる。
【００２３】図１では、スラブ結晶１のエッジ部の両側
面からの加熱により、スラブ内部の高温部２４との温度
差が軽減されて等温線２１が変化する状態を定性的に示
している。このような状態では、エッジ部分を通過する
ビームの両サイドは、従来より温度差の小さな部分を通
過することとなる。また、エッジ部分の変形に対しても
エッジ部全体が加熱されるために熱膨張による先端の曲
げは少ない。図１にて元のスラブ結晶１の形状２２と励
起状態のスラブ結晶１の形状２３を定性的に示す。この
結果は、スラブ結晶の両端のヒータの加熱量を最適化す
ることによって得られ、前述のようなビームへの影響の
問題点が解消される。
面からの加熱により、スラブ内部の高温部２４との温度
差が軽減されて等温線２１が変化する状態を定性的に示
している。このような状態では、エッジ部分を通過する
ビームの両サイドは、従来より温度差の小さな部分を通
過することとなる。また、エッジ部分の変形に対しても
エッジ部全体が加熱されるために熱膨張による先端の曲
げは少ない。図１にて元のスラブ結晶１の形状２２と励
起状態のスラブ結晶１の形状２３を定性的に示す。この
結果は、スラブ結晶の両端のヒータの加熱量を最適化す
ることによって得られ、前述のようなビームへの影響の
問題点が解消される。
【００２４】また、このヒータ８，９の加熱温度の設定
は、スラブ結晶のエッジ部分の温度分布をサーモビュア
等の観測装置によって調製してもよい。
は、スラブ結晶のエッジ部分の温度分布をサーモビュア
等の観測装置によって調製してもよい。
【００２５】熱伝達材６，７としては、熱伝導度がよ
く、貼り付け時に結晶に与える歪みが少なく、レーザ光
による劣化のない軟質の部材、例えばインジウムなどの
金属が好ましい。
く、貼り付け時に結晶に与える歪みが少なく、レーザ光
による劣化のない軟質の部材、例えばインジウムなどの
金属が好ましい。
【００２６】ヒータ８，９としては、スラブ結晶の内部
温度が通常は１００〜１５０℃なので、この温度範囲相
当の加熱が可能なセラミックヒータなどの面発熱体が好
ましい。
温度が通常は１００〜１５０℃なので、この温度範囲相
当の加熱が可能なセラミックヒータなどの面発熱体が好
ましい。
【００２７】熱伝達材６，７及びヒータ８，９はスラブ
幅方向の結晶長以上の幅を有し、スラブ幅方向を均一に
加熱できるようになっている。ヒータ８，９からは電流
を流すための電線１２が集光器外部に配線されており、
駆動用の電源に接続されている。ヒータ８，９はスラブ
の両側面に配置されており、各ヒータは独立に加熱量を
調整することができる。また、例えばスラブエッジ付近
の結晶を保持する部品などのレーザ散乱光の吸収による
発熱や、雰囲気の温度変化に対してもスラブエッジ付近
を所定の温度に安定させるために、測温体の信号を電源
の代わりに温度コントローラ側に入力して、ヒータに流
れる電流を調整することが望ましい。
幅方向の結晶長以上の幅を有し、スラブ幅方向を均一に
加熱できるようになっている。ヒータ８，９からは電流
を流すための電線１２が集光器外部に配線されており、
駆動用の電源に接続されている。ヒータ８，９はスラブ
の両側面に配置されており、各ヒータは独立に加熱量を
調整することができる。また、例えばスラブエッジ付近
の結晶を保持する部品などのレーザ散乱光の吸収による
発熱や、雰囲気の温度変化に対してもスラブエッジ付近
を所定の温度に安定させるために、測温体の信号を電源
の代わりに温度コントローラ側に入力して、ヒータに流
れる電流を調整することが望ましい。
【００２８】また、図１に示した例では、シール材５の
位置がスラブ入出射面より少し間隔を開けて内側にある
ため、スラブ結晶１の両側に長い熱伝達材７及びヒータ
９と短い熱伝達材６及びヒータ８の２式を配置したが、
スラブ入出射面の極く近傍にシール材を配置した場合
は、長い熱伝達材７及びヒータ９のみでも同様の効果が
得られる。
位置がスラブ入出射面より少し間隔を開けて内側にある
ため、スラブ結晶１の両側に長い熱伝達材７及びヒータ
９と短い熱伝達材６及びヒータ８の２式を配置したが、
スラブ入出射面の極く近傍にシール材を配置した場合
は、長い熱伝達材７及びヒータ９のみでも同様の効果が
得られる。
【００２９】
【発明の効果】以上説明した本発明によれば、エッジ部
分の温度分布の乱れを調整する温度分布調整用加熱手段
を追加したことにより、通過するビームに与える光学歪
みを低減でき、また、熱膨張によるエッジ部分の変形を
抑制でき、これにより、以下の通り、ジグザグ光路を形
成しているスラブ厚み方向についての諸特性を改善でき
る。
分の温度分布の乱れを調整する温度分布調整用加熱手段
を追加したことにより、通過するビームに与える光学歪
みを低減でき、また、熱膨張によるエッジ部分の変形を
抑制でき、これにより、以下の通り、ジグザグ光路を形
成しているスラブ厚み方向についての諸特性を改善でき
る。
【００３０】第一に、スラブ型固体レーザ発振器の特徴
であるレーザ媒質の熱的な光学歪みがビームに与える影
響が低く、十分に活用されていなかったスラブ結晶のエ
ッジ部分に対しても光学歪みを軽減することにより改善
し、低ビーム拡がり角でビーム品質の良いレーザ光を得
ることができる。
であるレーザ媒質の熱的な光学歪みがビームに与える影
響が低く、十分に活用されていなかったスラブ結晶のエ
ッジ部分に対しても光学歪みを軽減することにより改善
し、低ビーム拡がり角でビーム品質の良いレーザ光を得
ることができる。
【００３１】第二に、エッジ部分を通過するレーザ光の
波面の乱れと干渉により生じていた出力光の強度分布の
局所的な集中を軽減することができる。
波面の乱れと干渉により生じていた出力光の強度分布の
局所的な集中を軽減することができる。
【００３２】第三に、スラブ結晶への励起入力の変化に
対して生じるビームの変位を抑えて調整ずれを低減し、
発振器の出力安定性を改善できる。
対して生じるビームの変位を抑えて調整ずれを低減し、
発振器の出力安定性を改善できる。
【００３３】第四に、スラブ結晶から出射した際に現れ
る迷光や散乱光が、共振器ミラーにより戻され、スラブ
シール材に照射して起こる劣化を防ぎ、冷却水の漏れに
対する信頼度を向上できる。
る迷光や散乱光が、共振器ミラーにより戻され、スラブ
シール材に照射して起こる劣化を防ぎ、冷却水の漏れに
対する信頼度を向上できる。
【図１】本発明の固体レーザ装置の一例として、スラブ
レーザ集光器の入出射部分の断面と、スラブ結晶内の等
温線を示す断面図である。
レーザ集光器の入出射部分の断面と、スラブ結晶内の等
温線を示す断面図である。
【図２】図１のスラブレーザ集光器の入出射側から見
た、スラブ結晶のエッジ部分を示す斜視図である。
た、スラブ結晶のエッジ部分を示す斜視図である。
【図３】従来技術の一例として、スラブレーザ集光器の
入出射部分の断面と、スラブ結晶内の等温線を示す断面
図である。
入出射部分の断面と、スラブ結晶内の等温線を示す断面
図である。
１ スラブ結晶 ２ 励起ランプ ３ ガラス板 ４ 冷却水 ５ スラブシール材 ６，７ 熱伝達材 ８，９ ヒータ １２ ヒータ用電線 ２０ レーザビーム ２１ スラブ結晶内の等温線 ２２ 励起していないときのスラブ結晶の形状 ２３ 励起しているときのスラブ結晶の形状 ２４ スラブ結晶内の高温部
Claims (4)
- 【請求項１】スラブ結晶のエッジ部分からビームを入射
及び／又は出射するスラブレーザ集光器を有する固体レ
ーザ装置において、 該スラブ結晶のエッジ部分近傍の温度分布を調整するた
めの温度分布調整用加熱手段を有し、スラブ結晶のエッジ部分付近には、冷却水の外部への流
出を防ぐためのスラブシール材が設けられ、温度分布調
整用加熱手段は、該シール材より外側のスラブ結晶のエ
ッジ部分の温度分布を調整するための手段である ことを
特徴とする固体レーザ装置。 - 【請求項２】温度分布調整用加熱手段は、シール材より
外側のスラブ結晶面に密着する軟質の熱伝達材と、該熱
伝達材を介して該スラブ結晶を加熱するヒータからなる
請求項１記載の固体レーザ装置。 - 【請求項３】熱伝達材は、インジウムからなる請求項２
記載の固体レーザ装置。 - 【請求項４】ヒータは、セラミックヒータである請求項
２又は３記載の固体レーザ装置。
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| JPH11163452A JPH11163452A (ja) | 1999-06-18 |
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| JP32622797A Expired - Fee Related JP3269438B2 (ja) | 1997-11-27 | 1997-11-27 | 固体レーザ装置 |
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| JP (1) | JP3269438B2 (ja) |
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