JPH01289180A - 固体レーザ - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、スラブ型の固体レーザに関し、特にその励
起、冷却の構造を改良した固体レーザに関するものであ
る。
起、冷却の構造を改良した固体レーザに関するものであ
る。
第８図、第９図は例えば特開昭６１−２０４９９０号公
報に示された従来の固体レーザを示す横断面図及び縦断
面図であり、図において、１はレーザ媒質、３は透明板
、６はシール部材、１１は側板、７はランプ、８はミラ
ー面、９は冷却水、２０は光軸、３０は全反射ミラー、
４０は部分反射ミラー、２１はレーザビーム、５０はハ
ウジング、５１はハウジングの開孔でる。
報に示された従来の固体レーザを示す横断面図及び縦断
面図であり、図において、１はレーザ媒質、３は透明板
、６はシール部材、１１は側板、７はランプ、８はミラ
ー面、９は冷却水、２０は光軸、３０は全反射ミラー、
４０は部分反射ミラー、２１はレーザビーム、５０はハ
ウジング、５１はハウジングの開孔でる。
次に動作について説明する。
ランプ７による発光はミラー面８によってレーザ媒質１
に集光されこれを励起する。光軸２０はレーザ媒質１内
で複数回の内部全反射をしている。
に集光されこれを励起する。光軸２０はレーザ媒質１内
で複数回の内部全反射をしている。
全反射ミラー３０と部分反射ミラー４０によって形成さ
れる共振器により励起された光エネルギーの一部がレー
ザビーム２１として外部に出力される。
れる共振器により励起された光エネルギーの一部がレー
ザビーム２１として外部に出力される。
レーザ媒１ｔｌの縦断面は第９図に示すようになってお
り、透明板３と側板１１の表面で形成する外周と、ハウ
ジングの開孔５１の内周の間にシール部材６を設けて冷
却水９のシールをしている。
り、透明板３と側板１１の表面で形成する外周と、ハウ
ジングの開孔５１の内周の間にシール部材６を設けて冷
却水９のシールをしている。
ハウジング５０の内では、透明板３と側板１１は共に直
接冷却水９によって冷却されている。この構造で透明板
３に求められる物性は、レーザ媒質１内部の全反射条件
を乱さないように屈折率がレーザ媒質１に比して十分小
さいこと、熱伝導率が大きいこと、熱的に強いこと等で
ある。例えばレーザ媒質１がＹＡＧ、屈折率ｎ＝１．８
２である場合、屈折率ｆｌ−１．４５．熱伝導率に−１
，４Ｘｌ０−”Ｗ・ロトｄｅｇ−’である石英板が好適
である。側板１１の満足すべき物性は光を吸収しないこ
と、熱伝導率が小さいこと等で、例えばシリコンゴム系
物質の場合、Ｋ −０，２９Ｘ１０−！Ｗ−ｃｍ−’−
ｄｅｇ −’である。１ｒ１］ち、透明板３と側板１１
との熱伝導率の差は高々５倍程度である。この場合、レ
ーザ媒質ｌの熱はその大部分が透明板３を通して冷却水
９に吸収されるが、側面部分では一部の熱が側板１１を
通して冷却水９に伝わることを避けることはできない。
接冷却水９によって冷却されている。この構造で透明板
３に求められる物性は、レーザ媒質１内部の全反射条件
を乱さないように屈折率がレーザ媒質１に比して十分小
さいこと、熱伝導率が大きいこと、熱的に強いこと等で
ある。例えばレーザ媒質１がＹＡＧ、屈折率ｎ＝１．８
２である場合、屈折率ｆｌ−１．４５．熱伝導率に−１
，４Ｘｌ０−”Ｗ・ロトｄｅｇ−’である石英板が好適
である。側板１１の満足すべき物性は光を吸収しないこ
と、熱伝導率が小さいこと等で、例えばシリコンゴム系
物質の場合、Ｋ −０，２９Ｘ１０−！Ｗ−ｃｍ−’−
ｄｅｇ −’である。１ｒ１］ち、透明板３と側板１１
との熱伝導率の差は高々５倍程度である。この場合、レ
ーザ媒質ｌの熱はその大部分が透明板３を通して冷却水
９に吸収されるが、側面部分では一部の熱が側板１１を
通して冷却水９に伝わることを避けることはできない。
また、透明板３とレーザ媒質１の表面には多少の曲がり
や凹凸があることは避は難く、そのため両者の間隙はレ
ーザ媒質の幅方向に１００μｍ程度の分布が生じる０本
従来例では、この間隙には空気が存在することになる。
や凹凸があることは避は難く、そのため両者の間隙はレ
ーザ媒質の幅方向に１００μｍ程度の分布が生じる０本
従来例では、この間隙には空気が存在することになる。
空気の熱伝導率はＫ ＝２．６ Ｘｌ０−’Ｗ−ＣＩ１
１−’ ・ｄｅｇ −’と透明板３のそれに比して２指
手さい。それ故、間隙のわずかな分布は透明板３を経由
するレーザ媒質１の厚み方向の熱冷却に大きな分布をも
たらすことになる。そして上述のような理由により、レ
ーザ媒質１内に幅方向（第９図中のＸ方向）に温度分布
が生じ、これにより屈折率の分布が生じる。厚み方向の
屈折率分布は、光軸２０がジグザグに構成されているの
で全体として相殺されるが、幅方向の屈折率分布は長手
方向に積算されてレーザの共振条件を乱すことになる。
１−’ ・ｄｅｇ −’と透明板３のそれに比して２指
手さい。それ故、間隙のわずかな分布は透明板３を経由
するレーザ媒質１の厚み方向の熱冷却に大きな分布をも
たらすことになる。そして上述のような理由により、レ
ーザ媒質１内に幅方向（第９図中のＸ方向）に温度分布
が生じ、これにより屈折率の分布が生じる。厚み方向の
屈折率分布は、光軸２０がジグザグに構成されているの
で全体として相殺されるが、幅方向の屈折率分布は長手
方向に積算されてレーザの共振条件を乱すことになる。
この結果、レーザの高出力化にともない、幅方向にビー
ムのモードが（ずれたり、発散角が変化したり、角度が
ずれていわゆるビームの集束性が著しく劣化することが
ある。
ムのモードが（ずれたり、発散角が変化したり、角度が
ずれていわゆるビームの集束性が著しく劣化することが
ある。
従来の固体レーザは以上のように構成されているので、
レーザ媒質内の幅方向の温度分布が生じ易く、その結果
の屈折率分布によってレーザビームの発散角が出力の増
大にともない変化するなどビームの集束性に根本的な問
題点があった。
レーザ媒質内の幅方向の温度分布が生じ易く、その結果
の屈折率分布によってレーザビームの発散角が出力の増
大にともない変化するなどビームの集束性に根本的な問
題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、単純な構成でビームの集束性の優れた固体レ
ーザを得ることを目的とする。
たもので、単純な構成でビームの集束性の優れた固体レ
ーザを得ることを目的とする。
この発明に係る固体レーザは、レーザ媒質の光学平滑面
に密接した透光性の熱伝導部材と、レーザ媒質側面に設
定した実質的な断熱空間とを備え、レーザ媒質を幅方向
に断熱しつつ、厚み方向に励起光の入射と熱伝導的冷却
をする励起冷却構造としたものである。
に密接した透光性の熱伝導部材と、レーザ媒質側面に設
定した実質的な断熱空間とを備え、レーザ媒質を幅方向
に断熱しつつ、厚み方向に励起光の入射と熱伝導的冷却
をする励起冷却構造としたものである。
この発明においては、レーザ媒質を幅方向に断熱しつつ
、厚み方向に励起光の入射と熱伝導的冷却をする励起冷
却構造としたから、レーザ媒質内の幅方向の温度分布が
生じることがな（、ビームの集束性が向上する。
、厚み方向に励起光の入射と熱伝導的冷却をする励起冷
却構造としたから、レーザ媒質内の幅方向の温度分布が
生じることがな（、ビームの集束性が向上する。
以下、この発明の実施例を図について説明する。
第１図、第２図は本発明の第１の実施例による固体レー
ザを示す横断面図及び縦断面図であり、図において、１
はレーザ媒質であり、本実施例では厚さ（ｉｍ、幅１２
ｆｌ、長さ１００鶴のＹＡＧ結晶を用いている。１０１
はレーザ媒質１の光学平滑面にコーティングされた透明
膜で、レーザ媒質１に比して屈折率の小さい材料で構成
され、レーザ媒質内の全反射条件を満たしている。１０
２は反射膜で光の散逸を防ぎ、２は透明接着剤または油
などの透明液体からなる充填層である。透明膜１０１は
充填層２の屈折率が低（、かつ透明であれば省略するこ
ともできる。３は透明板で、厚さ１ｆｌの石英、４はレ
ーザ媒質の側面に設定された断熱空間で、例えば空気で
ある。５はフィルタで、レーザ励起にとって不必要な光
成分スペクトルを吸収する。ランプ７とフィルタ５に接
して流れる冷却水９は透明板３とハウジング５０の間の
シール材６で封止される。
ザを示す横断面図及び縦断面図であり、図において、１
はレーザ媒質であり、本実施例では厚さ（ｉｍ、幅１２
ｆｌ、長さ１００鶴のＹＡＧ結晶を用いている。１０１
はレーザ媒質１の光学平滑面にコーティングされた透明
膜で、レーザ媒質１に比して屈折率の小さい材料で構成
され、レーザ媒質内の全反射条件を満たしている。１０
２は反射膜で光の散逸を防ぎ、２は透明接着剤または油
などの透明液体からなる充填層である。透明膜１０１は
充填層２の屈折率が低（、かつ透明であれば省略するこ
ともできる。３は透明板で、厚さ１ｆｌの石英、４はレ
ーザ媒質の側面に設定された断熱空間で、例えば空気で
ある。５はフィルタで、レーザ励起にとって不必要な光
成分スペクトルを吸収する。ランプ７とフィルタ５に接
して流れる冷却水９は透明板３とハウジング５０の間の
シール材６で封止される。
次に動作について説明する。
２本のランプ７に約５ＫＨの放電パワーが注入され、フ
ィルタ５で不要なスペクトル成分を除去された光は、レ
ーザ媒質１にその約８％、約４０咋が吸収され、これを
励起し、その一部は約１００Ｗのレーザビーム２１に変
換されて外部に出力される。
ィルタ５で不要なスペクトル成分を除去された光は、レ
ーザ媒質１にその約８％、約４０咋が吸収され、これを
励起し、その一部は約１００Ｗのレーザビーム２１に変
換されて外部に出力される。
ここで透明板３を通過してこの吸収熱は放出されるが、
その過程で、レーザ媒質１内に約２０℃、透明板３内に
約１２０℃の熱勾配が生じる。
その過程で、レーザ媒質１内に約２０℃、透明板３内に
約１２０℃の熱勾配が生じる。
本実施例においては、充填層２は従来例におけるレーザ
媒質１と透明板３の間隙の空気に置きかわって充填され
ていることになる。
媒質１と透明板３の間隙の空気に置きかわって充填され
ていることになる。
充填層２は例えば透明な光学接着剤、ゲル状物質、オイ
ル等の液体により成り、その熱伝導率はに＝１〜３Ｘ１
０弓Ｗ−ｃｘｍ−’ ・ｄｅｇ −’のものが容易に入
手できる。充填層２は、従来例における空気に比して１
桁大きな熱伝導率を有していることから、薄い充填層２
の存在は前述したようなレーザ媒質の厚み方向の温度分
布に影響を与えない、また、充填層２に多少の厚みの分
布があっても、これがレーザ媒質１内の幅方向の温度分
布を生起するおそれもない。
ル等の液体により成り、その熱伝導率はに＝１〜３Ｘ１
０弓Ｗ−ｃｘｍ−’ ・ｄｅｇ −’のものが容易に入
手できる。充填層２は、従来例における空気に比して１
桁大きな熱伝導率を有していることから、薄い充填層２
の存在は前述したようなレーザ媒質の厚み方向の温度分
布に影響を与えない、また、充填層２に多少の厚みの分
布があっても、これがレーザ媒質１内の幅方向の温度分
布を生起するおそれもない。
また、断熱空間４の空気は熱伝導率が２．６ Ｘｌ０−
”Ｖ／−ａｍ−’−ｄｅｇりで、透明板３の石英の約１
７５０である。このため、レーザ媒質１への入熱は完璧
に透明板３を通してのみ冷却水９に放熱され、レーザ媒
質１が均一に光照射される限りレーザ媒質の幅方向の温
度分布は生じない。
”Ｖ／−ａｍ−’−ｄｅｇりで、透明板３の石英の約１
７５０である。このため、レーザ媒質１への入熱は完璧
に透明板３を通してのみ冷却水９に放熱され、レーザ媒
質１が均一に光照射される限りレーザ媒質の幅方向の温
度分布は生じない。
このように本実施例ではレーザ媒質を幅方向に断熱しつ
つ、厚み方向に励起光の入射と熱伝導的冷却をする励起
冷却構造としたから、レーザ媒質内の幅方向の温度分布
が極めて小さくなり、その結果ビームの集束性が大幅に
向上する。
つ、厚み方向に励起光の入射と熱伝導的冷却をする励起
冷却構造としたから、レーザ媒質内の幅方向の温度分布
が極めて小さくなり、その結果ビームの集束性が大幅に
向上する。
第３図（ａ）及び第３図（ｂｌはそれぞれ本発明の第２
゜第３の実施例を示す縦断面図である。これらの実施例
では、断熱空間４の外側に２枚の透明板３を相互に結合
する支持部材４２を設けている。このように断熱空間４
を閉塞的にすることで、対流等による熱伝達は減少し、
レーザ媒質１内の幅方向の温度分布はさらに減少する。
゜第３の実施例を示す縦断面図である。これらの実施例
では、断熱空間４の外側に２枚の透明板３を相互に結合
する支持部材４２を設けている。このように断熱空間４
を閉塞的にすることで、対流等による熱伝達は減少し、
レーザ媒質１内の幅方向の温度分布はさらに減少する。
第３図（ａ）の実施例ではシール材６が透明板３の各面
状に閉ループを成して設けられており、第３図（ｂｌの
実施例では特に図示していないが、レーザ媒質１の長手
両端部分で透明板３と支持部材４２により成る外周に、
冷却水のシール材６を配置している。
状に閉ループを成して設けられており、第３図（ｂｌの
実施例では特に図示していないが、レーザ媒質１の長手
両端部分で透明板３と支持部材４２により成る外周に、
冷却水のシール材６を配置している。
第４図、第５図は本発明の第４の実施例による固体レー
ザを示す横断面図及び縦断面図であり、図において第１
図あるいは第２図と同一符号は同−又は相当部分であり
、３００は冷却板である。
ザを示す横断面図及び縦断面図であり、図において第１
図あるいは第２図と同一符号は同−又は相当部分であり
、３００は冷却板である。
また第６図（ａ）、第６図山）はこの実施例に用いる冷
却板３００の構造を示す上面図及び横断面図である。
却板３００の構造を示す上面図及び横断面図である。
次に動作について説明する。
ランプ７の光はフィルタ５を経由し、冷却ｖｉ、３ＯＯ
の反射面３０１に当り、あるいはそのまま開孔３０２か
らレーザ媒質１に入射する。レーザ媒質１の熱は透明膜
１０１．透明な充填１ｉ２を経由し、冷却面３０３から
冷却板３００を通過してハウジング５０内の冷却水９に
放出される。
の反射面３０１に当り、あるいはそのまま開孔３０２か
らレーザ媒質１に入射する。レーザ媒質１の熱は透明膜
１０１．透明な充填１ｉ２を経由し、冷却面３０３から
冷却板３００を通過してハウジング５０内の冷却水９に
放出される。
ビームの進行方向の光入射にともなう温度分布は、光軸
２０がレーザ媒質内をジグザグに進むことで相殺される
。レーザ媒質内の幅方向の温度分布は上記第１．第２．
第３の実施例と同様の原理により抑えられるが、冷却板
３００が金属で構成されているため、その中の温度上昇
は無視し得るほどに小さく、レーザ媒ｔ１全体の温度を
下げ得る利点がある。
２０がレーザ媒質内をジグザグに進むことで相殺される
。レーザ媒質内の幅方向の温度分布は上記第１．第２．
第３の実施例と同様の原理により抑えられるが、冷却板
３００が金属で構成されているため、その中の温度上昇
は無視し得るほどに小さく、レーザ媒ｔ１全体の温度を
下げ得る利点がある。
第７図は本発明の第５の実施例を示す図であり、図にお
いて、４３は熱伝導率の小さな充填部材である８本実施
例は第５図の実施例における断熱空間４を気体ではなく
熱伝導率の小さな充填部材４３でモールドして構成して
いる０例えば、シリコンゴムを用いると、その熱伝導率
は金属、例えばＡｌに比べ１／８２０と小さいので、レ
ーザ媒！１に幅方向の温度分布は生じない。
いて、４３は熱伝導率の小さな充填部材である８本実施
例は第５図の実施例における断熱空間４を気体ではなく
熱伝導率の小さな充填部材４３でモールドして構成して
いる０例えば、シリコンゴムを用いると、その熱伝導率
は金属、例えばＡｌに比べ１／８２０と小さいので、レ
ーザ媒！１に幅方向の温度分布は生じない。
以上のように、この発明によれば固体レーザにおいて、
レーザ媒質の光学平滑面に密接した透光性の熱伝導部材
と、レーザ媒質側面に設定した実質的な断熱空間とを備
え、レーザ媒質を幅方向に断熱しつつ、厚み方向に励起
光の入射と熱伝導的冷却をする励起冷却構造としたから
、高出力領域でも集束性の優れた固体レーザを得ること
ができる効果がある。
レーザ媒質の光学平滑面に密接した透光性の熱伝導部材
と、レーザ媒質側面に設定した実質的な断熱空間とを備
え、レーザ媒質を幅方向に断熱しつつ、厚み方向に励起
光の入射と熱伝導的冷却をする励起冷却構造としたから
、高出力領域でも集束性の優れた固体レーザを得ること
ができる効果がある。
第１図、第２図はこの発明の第１の実施例による画体レ
ーザを示す横断面図、及び縦断面図、第３図（ａ）、第
３図山）は各々この発明の第２．第３の実施例を示す縦
断面図、第４図、第５図はこの発明の第４の実施例によ
る固体レーザを示す横断面図、及び縦断面図、第６図（
ａ）、第６図ｃｂｌははこの発明の第４の実施例に用い
る冷却板を示す上面図。 及び横断面図、第７図はこの発明の第５の実施例を示す
縦断面図、第８図、第９図は従来の固体レーザを示す横
断面図、及び縦断面図である。 １はレーザ媒質、１０１は透明膜、１０２は反射膜、２
は充填層、３は透明板、４はレーザ媒質断熱空間、５は
フィルタ、６はシール材、７はランプ、８はミラー面、
９は冷却水、２０は光軸、２１はレーザビーム、３０は
全反射ミラー、４０は部分反射ミラー、５０はハウジン
グ、４２は支持部材、４３は充填部材、３００は冷却板
、３０１は反射面、３０２は開孔、３０３は冷却面。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
ーザを示す横断面図、及び縦断面図、第３図（ａ）、第
３図山）は各々この発明の第２．第３の実施例を示す縦
断面図、第４図、第５図はこの発明の第４の実施例によ
る固体レーザを示す横断面図、及び縦断面図、第６図（
ａ）、第６図ｃｂｌははこの発明の第４の実施例に用い
る冷却板を示す上面図。 及び横断面図、第７図はこの発明の第５の実施例を示す
縦断面図、第８図、第９図は従来の固体レーザを示す横
断面図、及び縦断面図である。 １はレーザ媒質、１０１は透明膜、１０２は反射膜、２
は充填層、３は透明板、４はレーザ媒質断熱空間、５は
フィルタ、６はシール材、７はランプ、８はミラー面、
９は冷却水、２０は光軸、２１はレーザビーム、３０は
全反射ミラー、４０は部分反射ミラー、５０はハウジン
グ、４２は支持部材、４３は充填部材、３００は冷却板
、３０１は反射面、３０２は開孔、３０３は冷却面。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (2)
- （１）２つの光学的な平滑面と２つの側面とを有する断
面がほぼ矩形のレーザ媒質を有し、上記平滑面から入射
する光により光励起され、レーザビームが上記平滑面で
複数回の内部全反射を行ないながら往復する固体レーザ
において、 上記レーザ媒質の平滑面に密接して透明板を、上記レー
ザ媒質の側面に接して断熱空間をそれぞれ設け、上記透
明板を介してレーザ媒質を光励起すると共に熱伝導的に
冷却するようにしたことを特徴とする固体レーザ。 - （２）２つの光学的な平滑面と２つの側面とを有する断
面がほぼ矩形のレーザ媒質を有し、レーザビームが上記
平滑面で複数回の内部全反射を行ないながら往復する固
体レーザにおいて、 励起光を通過させる開孔を有する金属板を上記レーザ媒
質の平滑面に密接させて設け、該金属板を介してレーザ
媒質を励起すると共に熱伝導的に冷却するようにしたこ
とを特徴とする固体レーザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11985688A JP2588931B2 (ja) | 1988-05-16 | 1988-05-16 | 固体レーザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11985688A JP2588931B2 (ja) | 1988-05-16 | 1988-05-16 | 固体レーザ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01289180A true JPH01289180A (ja) | 1989-11-21 |
| JP2588931B2 JP2588931B2 (ja) | 1997-03-12 |
Family
ID=14771968
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11985688A Expired - Fee Related JP2588931B2 (ja) | 1988-05-16 | 1988-05-16 | 固体レーザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2588931B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0587092A1 (en) * | 1992-09-08 | 1994-03-16 | Hughes Aircraft Company | Stress-free mounting and protection of liquid-cooled solid-state laser media |
| WO2006070548A1 (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-06 | Osaka University | 固体レーザモジュール、光増幅器及びレーザ発振器 |
| US7755280B2 (en) | 2003-06-23 | 2010-07-13 | Lg Electronics Inc. | Active matrix electroluminescence device having a metallic protective layer and method for fabricating the same |
| CN111129919A (zh) * | 2019-12-17 | 2020-05-08 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种高功率固体激光增益模块、激光振荡器和激光放大器 |
-
1988
- 1988-05-16 JP JP11985688A patent/JP2588931B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0587092A1 (en) * | 1992-09-08 | 1994-03-16 | Hughes Aircraft Company | Stress-free mounting and protection of liquid-cooled solid-state laser media |
| US7755280B2 (en) | 2003-06-23 | 2010-07-13 | Lg Electronics Inc. | Active matrix electroluminescence device having a metallic protective layer and method for fabricating the same |
| US7876040B2 (en) | 2003-06-23 | 2011-01-25 | Lg Electronics Inc. | Active matrix electroluminescence device having a metallic protective layer and method for fabricating the same |
| US8344620B2 (en) | 2003-06-23 | 2013-01-01 | Lg Electronics Inc. | Active matrix electroluminescence device having a metallic protective layer and method for fabricating the same |
| WO2006070548A1 (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-06 | Osaka University | 固体レーザモジュール、光増幅器及びレーザ発振器 |
| US7653100B2 (en) | 2004-12-28 | 2010-01-26 | Osaka University | Solid laser module, optical amplifier, and laser oscillator |
| CN111129919A (zh) * | 2019-12-17 | 2020-05-08 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种高功率固体激光增益模块、激光振荡器和激光放大器 |
| CN111129919B (zh) * | 2019-12-17 | 2021-10-26 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种高功率固体激光增益模块、激光振荡器和激光放大器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2588931B2 (ja) | 1997-03-12 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |