JP3267446B2 - フルイディック流量計 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ガスメータ等に利用さ
れるフルイディック流量計に係り、特に上流側での圧力
変動の影響を低減させる手段を有するフルイディック流
量計に関する。

【０００２】

【従来の技術】フルイディック流量計は、噴流を発生さ
せるノズルの下流側に、一対の側壁によって流路拡大部
を形成すると共に、側壁の外側に設けられたリターンガ
イドによって、ノズルを通過した流体を各側壁の外側に
沿ってノズルの噴出口側へ導く一対のフィードバック流
路を形成し、ノズルを通過した流体が一対のフィードバ
ック流路を交互に流れる現象を利用し、ノズルを通過し
た流体の流れる方向の切り替わりの周波数（以下、発振
周波数という。）に基づいて流体の流量を計量するもの
である。

【０００３】ところで、ガスメータとして使用する流量
計では、流量計の下流側に接続された機器によって発生
するガス圧力の変動（脈動）が流量計の計量部や流量計
の上流側へ伝わらないように、流量計の出口部に、絞り
や、パンチングメタル（多数の孔を形成した金属板）、
焼結金属等の多孔質板や、ゴムチューブ等の緩衝流路を
設けたものが提案されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、流量計
をガスメータとして用いた場合には、近隣のガスメータ
の状態や近隣のガスの使用状況等によって、流量計の上
流側でも圧力変動が発生するが、従来は流量計の上流側
での圧力変動については考慮されていなかった。上流側
での圧力変動があるガスの流量をフルイディック流量計
によって計量した場合、上流側での圧力変動によってフ
ルイディック流量計の発振周波数が乱れ、例えば、フル
イディック流量計の発振周波数が上流側での圧力変動の
周波数またはその１／２の周波数に変化する場合があ
る。そのため、計量した流量の誤差が大きくなったり、
流量を計量できなくなったりするという問題点があっ
た。

【０００５】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、上流側での圧力変動の影響を低減で
きるようにしたフルイディック流量計を提供することに
ある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１記載のフルイデ
ィック流量計は、流体を受け入れる入口部と、この入口
部から受け入れた流体を通過させて噴流を発生させるノ
ズルと、入口部から受け入れた流体をノズルへ導く主流
体流路と、この主流体流路中の２箇所にそれぞれ出入口
を有し、この２箇所間で主流体流路とは別に流体を流通
させるバイパス流路と、ノズルの下流側に設けられ、拡
大された流路を形成する一対の側壁と、この側壁の外側
に設けられ、ノズルを通過した流体を各側壁の外側に沿
ってノズルの噴出口側へ帰還させる一対のフィードバッ
ク流路を形成するリターンガイドと、フィードバック流
路を通過した流体を排出する出口部と、ノズルを通過し
た流体の流れる方向の切り替わりを検出する検出手段と
を備えたものである。

【０００７】このフルイディック流量計では、入口部か
ら受け入れた流体は、主流体流路とバイパス流路を経て
ノズルに到達する。主流体流路を経た流体とバイパス流
路を経た流体とが合流する際、上流側での圧力変動によ
る波の位相は互いに異なるので、主流体流路を経た流体
とバイパス流路を経た流体とが合流すると圧力変動の波
が弱められる。

【０００８】請求項２記載のフルイディック流量計は、
請求項１記載のフルイディック流量計において、バイパ
ス流路の一方の出入口がノズルの直前の位置に配置され
ているものである。

【０００９】請求項３記載のフルイディック流量計は、
請求項２記載のフルイディック流量計において、主流体
流路中において流体が通過する開口部と、この開口部を
開閉するための遮断弁とを更に具備し、バイパス流路の
他方の出入口が開口部の下流側に配置されているもので
ある。

【００１０】請求項４記載のフルイディック流量計は、
請求項２記載のフルイディック流量計において、主流体
流路中に設けられた絞りを更に具備し、バイパス流路の
他方の出入口が絞りの下流側に配置されているものであ
る。

【００１１】このフルイディック流量計では、絞りによ
っても流体の圧力変動が低減される。

【００１２】請求項５記載のフルイディック流量計は、
請求項２記載のフルイディック流量計において、主流体
流路中において、間に流体収容室を形成するように設け
られた複数の絞りを更に具備し、バイパス流路の他方の
出入口が流体収容室に連通しているものである。

【００１３】このフルイディック流量計では、入口部か
ら受け入れられた流体が複数の絞りとその間に形成され
た流体収容室を通過する際にも、流体の圧力変動が低減
される。

【００１４】請求項６記載のフルイディック流量計は、
請求項２記載のフルイディック流量計において、主流体
流路中において流体が通過する開口部と、この開口部を
開閉するための遮断弁であって、開口部を覆うための主
弁と、主流体流路中に配設されると共に主弁に結合さ
れ、内部に流体収容室を形成する容器と、この容器に設
けられ、この容器の外側と流体収容室とを連通させる第
１の孔と、主弁に設けられ、開口部と流体収容室とを連
通させる第２の孔と、この第２の孔を閉塞可能な副弁
と、主弁および副弁を移動し、開口部を開放した第１の
状態、主弁によって開口部を覆うと共に第２の孔を開放
した第２の状態、および主弁によって開口部を覆うと共
に副弁によって第２の孔を閉塞した第３の状態のうちの
一つの状態を選択する状態選択手段とを有する遮断弁と
を更に具備し、バイパス流路の他方の出入口が流体収容
室に連通しているものである。

【００１５】このフルイディック流量計における遮断弁
では、状態選択手段によって主弁および副弁が移動さ
れ、３つの状態のうちの一つが選択される。開口部を開
放した第１の状態では、流体は開口部を通過する。主弁
によって開口部を覆うと共に第２の孔を開放した第２の
状態では、流体は第１の孔、流体収容室および第２の孔
を通過し、その際、流体の圧力変動が低減される。ま
た、主弁によって開口部を覆うと共に副弁によって第２
の孔を閉塞した第３の状態では、流体の流通が遮断され
る。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。

【００１７】図１は本発明の第１実施例に係るフルイデ
ィック流量計の構成を示す断面図である。なお、本実施
例は、ガスメータとして使用するフルイディック流量計
の例である。図１に示すように、本実施例のフルイディ
ック流量計は、気体（ガス）を受け入れる入口部１１と
気体を排出する出口部１２とを有する本体１０を備えて
いる。本体１０内には隔壁１３が設けられ、この隔壁１
３と入口部１１との間に第１の気体流路１４が形成さ
れ、隔壁１３と出口部１２との間に第２の気体流路１５
が形成されている。これら第１の気体流路１４と第２の
気体流路１５は、主流体流路を形成する。隔壁１３には
開口部１６が設けられ、第１の気体流路１４内には、開
口部１６を閉塞可能な弁１７が設けられている。また、
本体１０の外側にはソレノイド１８が固定され、このソ
レノイド１８のプランジャ１９が、本体１０の側壁を貫
通して弁１７に接合されている。そして、ソレノイド１
８が消磁状態のときは弁１７が開口部１６から離れ、開
口部１６が開放された状態となり、ソレノイド１８が励
磁状態のときはプランジャ１９が突出して弁１７が開口
部１６を閉塞するようになっている。

【００１８】第２の気体流路１５内には、入口部１１か
ら受け入れた気体を通過させて噴流を発生させるノズル
２１が設けられている。このノズル２１の上流側には気
体の流れを整える整流部材２２が設けられている。ノズ
ル２１の下流側には、拡大された流路を形成する一対の
側壁２３、２４が設けられている。この側壁２３、２４
の間には、所定の間隔を開けて、上流側に第１ターゲッ
ト２５、下流側に第２ターゲット２６がそれぞれ配設さ
れている。また、側壁２３、２４の外側には、ノズル２
１を通過した気体を各側壁２３、２４の外周部に沿って
ノズル２１の噴出口側へ帰還させる一対のフィードバッ
ク流路２７、２８を形成するリターンガイド２９が配設
されている。また、フィードバック流路２７、２８の各
出口部分と出口部１２との間には、リターンガイド２９
の背面と本体１０とによって、一対の排出路３１、３２
が形成されている。

【００１９】また、ノズル２１の噴出口の近傍には、ノ
ズル２１を通過した気体の流れる方向の切り替わりを検
出する検出手段としての圧力センサ３３、３４が配設さ
れている。

【００２０】また、本実施例では、第２の気体流路１５
中の２箇所にそれぞれ出入口を有し、この２箇所間で主
流体流路とは別に気体を流通させるバイパス流路３０が
設けられている。

【００２１】図２は本実施例のフルイディック流量計の
要部を示す斜視図、図３は図１のＡ−Ａ´線断面図であ
る。図３に示すように、フルイディック流量計の本体１
０は、入口部１１および出口部１２を除いて上面が開放
された枠体１０ａと、この枠体１０ａの上面を覆う蓋体
１０ｂとで構成されている。なお、図２では蓋体１０ｂ
を省略して描いている。図２および図３に示すように、
バイパス流路３０の一方の出入口３０ａはノズル２１の
直前の位置に配置され、他方の出入口３０ｂは開口部１
６の直後に配置され、２つの出入口３０ａ、３０ｂ間を
結ぶ管路３０ｃは、途中、蓋体１０ｂを貫通して、大部
分が蓋体１０ｂの外側に配置されている。

【００２２】図４は本実施例のフルイディック流量計の
回路部分の構成を示すブロック図である。この図に示す
ように、フルイディック流量計は、各圧力センサ３３、
３４の出力を入力し、流量を演算する流量演算部４１
と、この流量演算部４１によって演算された流量を表示
する表示部４２と、流量演算部４１によって制御され、
ソレノイド１８を駆動するソレノイド駆動回路４３とを
備えている。流量演算部４１は、例えば各圧力センサ３
３、３４の出力を２値化してパルス化し、単位時間当た
りのパルス数をカウントして、ノズル２１を通過した気
体の流れる方向の切り替わりの周波数を求め、この周波
数を流量に換算する。また、本実施例のフルイディック
流量計は、ガスメータとして使用した場合における安全
機能として、例えば、流量演算部４１が所定量以上の流
量を検出した場合や所定の流量を所定時間以上検出した
場合等に、ソレノイド駆動回路４３を動作させてソレノ
イド１８を励磁し、弁１７によって開口部１６を閉塞し
てガスを遮断するようになっている。なお、流量演算部
４１は、例えばマイクロコンピュータによって実現され
る。

【００２３】次に、本実施例のフルイディック流量計の
作用について説明する。

【００２４】フルイディック流量計の入口部１１から受
け入れられた気体は、第１の気体流路１４、開口部１６
を通過して、第２の気体流路１５に入る。第２の気体流
路１５に入った気体は、主に、第２の気体流路１５を通
ってノズル２１に至るが、一部はバイパス流路３０を通
ってノズル２１に至る。第２の気体流路１５を通った気
体とバイパス流路３０を通った気体は、ノズル２１の入
口部近傍で合流してノズル２１に入る。第２の気体流路
１５とバイパス流路３０は互いに距離が異なるため、２
つの流路１５、３０を通った気体が合流する際、上流側
での圧力変動による波の位相は互いに異なることとな
り、その結果、２つの流路１５、３０を経た気体が合流
すると圧力変動の波が弱められる。なお、圧力変動があ
る場合には、出入口３０ａ側から出入口３０ｂ側へ気体
が流れるときもあり、このような気体の流れによって
も、出入口３０ａと出入口３０ｂの両側において気体の
圧力変動が低減される。

【００２５】ノズル２１を通過した気体は、噴流となっ
てノズル２１より噴出される。ノズル２１より噴出され
た気体は、コアンダ効果により一方の側壁に沿って流れ
る。ここでは、まず側壁２３に沿って流れるものとす
る。側壁２３に沿って流れた気体は、更にフィードバッ
ク流路２７を経て、ノズル２１の噴出口側へ帰還され、
排出路３１を経て出口部１２より排出される。このと
き、ノズル２１より噴出された気体は、フィードバック
流路２７を流れてきた気体によって方向が変えられ、今
度は他方の側壁２４に沿って流れるようになる。この気
体は、更にフィードバック流路２８を経て、ノズル２１
の噴出口側へ帰還され、排出路３２を経て出口部１２よ
り排出される。すると、ノズル２１より噴出された気体
は、今度は、フィードバック流路２８を流れてきた気体
によって方向が変えられ、再び側壁２３、フィードバッ
ク流路２７に沿って流れるようになる。以上の動作を繰
り返すことにより、ノズル２１を通過した気体は一対の
フィードバック流路２７、２８を交互に流れる。この気
体の流れる方向の切り替わりの周波数は流量と対応関係
がある。ノズル２１を通過した気体の流れる方向の切り
替わりの周波数は、圧力センサ３３、３４の出力に基づ
いて流量演算部４１によって求められる。流量演算部４
１は、求めた周波数より流量を演算し、表示部４２に表
示する。また、流量演算部４１は、所定量以上の流量を
検出した場合や所定の流量を所定時間以上検出した場合
等に、ソレノイド駆動回路４３を動作させてソレノイド
１８を励磁し、弁１７によって開口部１６を閉塞し、フ
ルイディック流量計の下流側への気体（ガス）の供給を
停止する。

【００２６】なお、第１ターゲット２５および第２ター
ゲット２６は、ノズル２１を通過した気体の流れる方向
の切り替えを安定に行わせる作用がある。

【００２７】このように本実施例によれば、バイパス流
路３０を設けて、第２の気体流路１５を通った気体とバ
イパス流路３０を通った気体を合流させて圧力変動の波
を弱めるようにしたので、フルイディック流量計の上流
側で気体の圧力変動がある場合でも、ノズル２１の上流
側において圧力変動が低減され、フルイディック流量計
の発振周波数が安定し、正確な流量の計量が可能とな
る。

【００２８】図５は本発明の第２実施例に係るフルイデ
ィック流量計の要部を示す斜視図である。本実施例は、
第１実施例における開口部１６の代わりに、この開口部
１６よりも径の小さな絞り４５を設けたものである。

【００２９】本実施例では、気体が絞り４５を通過する
ことによって、絞り４５の下流側において上流側よりも
流速が増加し、ジェット噴流になる。一般に、気体等の
流体が絞りを通過すると、絞りの上流側における圧力変
動が低減され、振幅の小さい脈動流に変化することが知
られている。従って、絞り４５を通過した後の気体の圧
力は、絞り４５通過前に比べて、圧力の平均値に対する
圧力変動幅の割合が減少したものとなる。このように本
実施例では、絞り４５によっても気体の圧力変動が低減
される。その他の構成、作用および効果は第１実施例と
同様である。

【００３０】図６は本発明の第３実施例に係るフルイデ
ィック流量計の要部を示す斜視図である。本実施例は、
第２実施例において、更に、第２の気体流路１５内に、
絞り４５に対して所定の間隔を開けた下流側に隔壁４６
を設け、この隔壁４６に絞り４７を設け、絞り４５、４
７の間に気体収容室４８を形成したものである。なお、
バイパス流路３０の一方の出入口３０ａはノズル２１の
直前の位置に配置され、他方の出入口３０ｂ部は気体収
容室４８内に配置されている。

【００３１】本実施例では、フルイディック流量計の入
口部１１から受け入れられた気体は、第１の気体流路１
４、絞り４５を通過して、第２の気体流路１５に入る。
第２の気体流路１５に入った気体は、主に、気体収容室
４８、絞り４７を経てノズル２１に至るが、一部はバイ
パス流路３０を通ってノズル２１に至る。

【００３２】ところで、圧力変動のある気体が絞り４
５、気体収容室４８および絞り４７を通過する際には、
まず、絞り４５において圧力変動の脈動成分が減少され
る。次に、多くの場合は絞り４５を通過した圧力変動波
が絞り４７に到達する時間が圧力変動波（脈動成分）の
周期の１／２の整数倍とは異なるため、絞り４７におい
て脈動成分を相互に打ち消す作用が発生し、脈動成分が
減少される。

【００３３】図７は、絞り４５、気体収容室４８および
絞り４７による構造の電気的等価回路を示すものであ
る。この図において、絞り４５は抵抗器８１に対応し、
絞り４７は抵抗器８２に対応し、気体収容室４８はコン
デンサ８３に対応し、直列に接続された抵抗器８１、８
２と、これら抵抗器８１、８２の中間点をコンデンサ８
３を介して接地側に接続した回路によって高周波成分除
去フィルタが構成される。このように、絞り４５、気体
収容室４８および絞り４７による構造は、圧力変動の脈
動成分を減少させる高周波成分除去フィルタとして作用
する。

【００３４】このように本実施例によれば、気体が絞り
４５、気体収容室４８および絞り４７を通過する際に気
体の圧力変動が低減され、更に、これら絞り４５、気体
収容室４８および絞り４７を通った気体とバイパス流路
３０を通った気体とが合流する際にも気体の圧力変動が
低減される。その他の構成、作用および効果は第２実施
例と同様である。

【００３５】図８は本発明の第４実施例に係るフルイデ
ィック流量計の構成を示す断面図、図９は図８のＢ−Ｂ
´線断面図である。図８に示すように、本実施例におい
て、隔壁１３は、入口部１１の軸方向に対して直交する
面となっている。この隔壁１３には開口部１６が設けら
れ、この開口部１６の下流側に遮断弁５０が設けられて
いる。

【００３６】図１０は、図８における遮断弁５０を拡大
して示す断面図である。この遮断弁５０は、第２の気体
流路１５内に配設され、開口部１６を覆うための主弁５
１と、第２の気体流路１５内に配設されると共に主弁５
１に結合され、内部に気体収容室５３を形成する容器５
２と、この容器５２に設けられ、この容器５２の外側と
気体収容室５３とを連通させる第１の孔５４と、主弁５
１に設けられ、開口部１６と気体収容室５３とを連通さ
せる第２の孔５５と、気体収容室５３内に配設され、第
２の孔５５を閉塞可能な副弁５６と、主弁５１および副
弁５６を移動する状態選択手段としてのアクチュエータ
６０とを備えている。第２の孔５５は開口部１６よりも
小径であり、第１の孔５４は第２の孔５５と略同径であ
る。

【００３７】アクチュエータ６０は、第１の孔５４内に
挿通され、一端が副弁５６に接続され、他端側が本体１
０の側壁を貫通して本体１０の外部に導出されたロッド
６１と、本体１０の外側に固定され、ロッド６１の他端
側を保持すると共にロッド６１を軸方向に移動させるア
クチュエータ本体６２と、容器５２の背面と本体１０の
側壁との間におけるロッド６１の周囲に設けられ、容器
５２を開口部１６側に付勢する第１のばね６３と、副弁
５６と容器５２の内壁面との間におけるロッド６１の周
囲に設けられ、副弁５６を開口部１６側に付勢する第２
のばね６４とを備えている。アクチュエータ本体６２
は、比例ソレノイドやリニアモータ等、ロッド６１の軸
方向の位置を少なくとも３段階に切り換え可能な駆動手
段である。

【００３８】この遮断弁５０では、アクチュエータ６０
によって主弁５１および副弁５６を移動し、開口部１６
を開放した第１の状態と、主弁５１によって開口部１６
を覆うと共に第２の孔５５を開放した第２の状態と、主
弁５１によって開口部１６を覆うと共に副弁５６によっ
て第２の孔５５を閉塞した第３の状態とを選択可能にな
っている。

【００３９】また、図９に示すように、本実施例では、
バイパス流路３０の一方の出入口３０ａはノズル２１の
直前の位置に配置され、他方の出入口３０ｂは遮断弁５
０の容器５２に接続され、この容器５２内の気体収容室
５３に連通している。

【００４０】図１１は本実施例のフルイディック流量計
における流量演算および遮断弁５０の制御のための回路
の構成を示すブロック図である。この回路は、各圧力セ
ンサ３３、３４の出力を入力し、流量を演算する流量演
算部４１と、この流量演算部４１によって演算された流
量を表示する表示部４２と、入口部１１に接続される配
管の途中に設けられ、フルイディック流量計の上流側に
おける気体の圧力を検出する圧力センサ７１と、この圧
力センサ７１の出力に基づいて、圧力変動の大きさが所
定値を越えたか否かを判定する圧力変動判定部７２と、
流量演算部４１および圧力変動判定部７２によって制御
され、アクチュエータ本体６２を駆動するアクチュエー
タ駆動回路７３とを備えている。流量演算部４１は、例
えば所定量以上の流量を検出した場合や所定の流量を所
定時間以上検出した場合等に、アクチュエータ駆動回路
７３を制御してアクチュエータ本体６２を駆動し、遮断
弁５０を第３の状態にして、開口部１６を閉塞してガス
を遮断するようになっている。

【００４１】また、圧力変動判定部７２は、例えば、所
定時間内における圧力センサ７１の出力の最大値と最小
値との差を圧力変動の大きさとして求め、これが所定値
を越えたか否かを判定する。そして、圧力変動判定部７
２は、圧力変動の大きさが所定値を越えていないときに
は、遮断弁５０を第１の状態にして、開口部１６を開放
し、圧力変動の大きさが所定値を越えているときには、
遮断弁５０を第２の状態にして、主弁５１によって開口
部１６を覆うと共に第２の孔５５を開放するようになっ
ている。

【００４２】なお、流量演算部４１および圧力変動判定
部７２は、例えばマイクロコンピュータによって実現さ
れる。

【００４３】次に、図１２ないし図１４を参照して、本
実施例のフルイディック流量計の作用について説明す
る。

【００４４】まず、圧力変動判定部７２によってフルイ
ディック流量計の上流側における圧力変動の大きさが所
定値を越えていないと判定されたときには、アクチュエ
ータ駆動回路７３によってアクチュエータ本体６２が駆
動され、図１２に示すように、遮断弁５０は第１の状態
にされる。すなわち、ロッド６１が最も引き込まれた状
態にされ、主弁５１が開口部１６から離れ、開口部１６
が開放される。この状態では、気体は、開口部１６を通
過して、第１の気体流路１４から第２の気体流路１５に
入る。

【００４５】一方、圧力変動判定部７２によってフルイ
ディック流量計の上流側における圧力変動の大きさが所
定値を越えていると判定されたときには、アクチュエー
タ駆動回路７３によってアクチュエータ本体６２が駆動
され、図１３に示すように、遮断弁５０は第２の状態に
される。すなわち、ロッド６１の引き込み量が中間の状
態にされ、主弁５１によって開口部１６が覆われると共
に、副弁５６が第２の孔５５から離れ、第２の孔５５が
開放される。この状態では、気体は、開口部１６を通過
し、第２の孔５５から気体収容室５３に入り、この気体
収容室５３を経て、第１の孔５４を通過して、第１の気
体流路１４から第２の気体流路１５に入る。この遮断弁
５０における第１の孔５４、第２の孔５５および気体収
容室５３は、第３実施例における絞り４５、４７および
空気収容室４８と同様に、圧力変動の脈動成分を減少さ
せる高周波成分除去フィルタとして作用する。

【００４６】また、流量演算部４１が所定量以上の流量
を検出した場合や所定の流量を所定時間以上検出した場
合等には、アクチュエータ駆動回路７３によってアクチ
ュエータ本体６２が駆動され、図１４に示すように、遮
断弁５０は第３の状態にされる。すなわち、ロッド６１
が最も突出した状態にされ、主弁５１によって開口部１
６が覆われると共に副弁５６によって第２の孔５５が閉
塞され、開口部１６が閉塞され、フルイディック流量計
の下流側への気体（ガス）の供給が停止される。

【００４７】このように本実施例では、遮断弁５０が図
１３に示す第２の状態において、気体が第２の孔５５、
気体収容室５３および第１の孔５４を通過する際に気体
の圧力変動が低減されると共に、更に、これら第２の孔
５５、気体収容室５３および第１の孔５４を通った気体
と、気体収容室５３からバイパス流路３０へ流れた気体
とが合流する際にも気体の圧力変動が低減される。その
他の構成、作用および効果は第１実施例と同様である。

【００４８】なお、本発明は上記各実施例に限定され
ず、例えば、バイパス流路３０の２つの出入口は、入口
部１１からノズル２１までの間の流体流路中の任意の位
置に配置することができる。

【００４９】また、圧力センサ３３、３４の代わりに、
圧力センサ３３の位置における圧力と圧力センサ３４の
位置における圧力との差圧を求める差圧センサを設けて
も良い。

【００５０】また、上記各実施例ではガス等の気体の流
量を計量するフルイディック流量計について説明した
が、本発明のフルイディック流量計は、気体のみならず
液体の流量を計量する流量計としても利用することがで
きる。

【００５１】

【発明の効果】以上説明したように請求項１ないし３の
いずれかに記載のフルイディック流量計によれば、入口
部から受け入れた流体をノズルへ導く主流体流路中の２
箇所間で、主流体流路とは別に流体を流通させるバイパ
ス流路を設け、主流体流路を経た流体とバイパス流路を
経た流体とを合流させて圧力変動の波を弱めるようにし
たので、フルイディック流量計の発振周波数が安定し、
上流側での圧力変動の影響を低減することができるとい
う効果がある。

【００５２】また、請求項４記載のフルイディック流量
計によれば、上記第１の効果に加え、絞りによっても流
体の圧力変動を低減することができるという効果があ
る。

【００５３】また、請求項５記載のフルイディック流量
計によれば、上記第１の効果に加え、流体が複数の絞り
とその間に形成された流体収容室を通過する際にも、流
体の圧力変動を低減することができるという効果があ
る。

【００５４】また、請求項６記載のフルイディック流量
計によれば、上記第１の効果に加え、流体が遮断弁の第
１の孔、流体収容室および第２の孔を通過する際にも、
流体の圧力変動を低減することができるという効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例に係るフルイディック流量
計の構成を示す断面図である。

【図２】本発明の第１実施例に係るフルイディック流量
計の要部を示す斜視図である。

【図３】図１におけるＡ−Ａ´線断面図である。

【図４】本発明の第１実施例に係るフルイディック流量
計の回路部分の構成を示すブロック図である。

【図５】本発明の第２実施例に係るフルイディック流量
計の要部を示す斜視図である。

【図６】本発明の第３実施例に係るフルイディック流量
計の要部を示す斜視図である。

【図７】本発明の第３実施例に係るフルイディック流量
計における２つの絞りおよび気体収容室による構造の電
気的等価回路を示す回路図である。

【図８】本発明の第４実施例に係るフルイディック流量
計の構成を示す断面図である。

【図９】図１におけるＢ−Ｂ´線断面図である。

【図１０】図８における遮断弁を拡大して示す断面図で
ある。

【図１１】本発明の第４実施例に係るフルイディック流
量計における流量演算および遮断弁の制御のための回路
の構成を示すブロック図である。

【図１２】図１０に示す遮断弁の第１の状態を示す断面
図である。

【図１３】図１０に示す遮断弁の第２の状態を示す断面
図である。

【図１４】図１０に示す遮断弁の第３の状態を示す断面
図である。

【符号の説明】

１１ 入口部 １２ 出口部 １６ 開口部 １７ 遮断弁 ２１ ノズル ２３、２４ 側壁 ２７、２８ フィードバック流路 ２９ リターンガイド ３０ バイパス流路 ３３、３４ 圧力センサ

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−50724（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−278422（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01F 1/00 - 9/02

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体を受け入れる入口部と、 この入口部から受け入れた流体を通過させて噴流を発生
   させるノズルと、 前記入口部から受け入れた流体を前記ノズルへ導く主流
   体流路と、 この主流体流路中の２箇所にそれぞれ出入口を有し、こ
   の２箇所間で前記主流体流路とは別に流体を流通させる
   バイパス流路と、 前記ノズルの下流側に設けられ、拡大された流路を形成
   する一対の側壁と、 この側壁の外側に設けられ、前記ノズルを通過した流体
   を各側壁の外側に沿って前記ノズルの噴出口側へ帰還さ
   せる一対のフィードバック流路を形成するリターンガイ
   ドと、 前記フィードバック流路を通過した流体を排出する出口
   部と、 前記ノズルを通過した流体の流れる方向の切り替わりを
   検出する検出手段とを具備することを特徴とするフルイ
   ディック流量計。
2. 【請求項２】 前記バイパス流路の一方の出入口は前記
   ノズルの直前の位置に配置されていることを特徴とする
   請求項１記載のフルイディック流量計。
3. 【請求項３】 前記主流体流路中において流体が通過す
   る開口部と、この開口部を開閉するための遮断弁とを更
   に具備し、前記バイパス流路の他方の出入口は前記開口
   部の下流側に配置されていることを特徴とする請求項２
   記載のフルイディック流量計。
4. 【請求項４】 前記主流体流路中に設けられた絞りを更
   に具備し、前記バイパス流路の他方の出入口は前記絞り
   の下流側に配置されていることを特徴とする請求項２記
   載のフルイディック流量計。
5. 【請求項５】 前記主流体流路中において、間に流体収
   容室を形成するように設けられた複数の絞りを更に具備
   し、前記バイパス流路の他方の出入口は前記流体収容室
   に連通していることを特徴とする請求項２記載のフルイ
   ディック流量計。
6. 【請求項６】 前記主流体流路中において流体が通過す
   る開口部と、 この開口部を開閉するための遮断弁であって、前記開口
   部を覆うための主弁と、前記主流体流路中に配設される
   と共に前記主弁に結合され、内部に流体収容室を形成す
   る容器と、この容器に設けられ、この容器の外側と流体
   収容室とを連通させる第１の孔と、前記主弁に設けら
   れ、前記開口部と流体収容室とを連通させる第２の孔
   と、この第２の孔を閉塞可能な副弁と、前記主弁および
   副弁を移動し、前記開口部を開放した第１の状態、前記
   主弁によって前記開口部を覆うと共に前記第２の孔を開
   放した第２の状態、および前記主弁によって前記開口部
   を覆うと共に前記副弁によって前記第２の孔を閉塞した
   第３の状態のうちの一つの状態を選択する状態選択手段
   とを有する遮断弁とを更に具備し、 前記バイパス流路の他方の出入口は前記流体収容室に連
   通していることを特徴とする請求項２記載のフルイディ
   ック流量計。