JP3265740B2 - 平板の貼り合わせ装置および貼り合わせ方法 - Google Patents
平板の貼り合わせ装置および貼り合わせ方法Info
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- JP3265740B2 JP3265740B2 JP22109093A JP22109093A JP3265740B2 JP 3265740 B2 JP3265740 B2 JP 3265740B2 JP 22109093 A JP22109093 A JP 22109093A JP 22109093 A JP22109093 A JP 22109093A JP 3265740 B2 JP3265740 B2 JP 3265740B2
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- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、２枚の平板状ガラス等
を貼り合わせるための平板の貼り合わせ装置および貼り
合わせ方法に関する。
を貼り合わせるための平板の貼り合わせ装置および貼り
合わせ方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の平板の貼り合わせ方法
は、水平方向に設置した吸着テーブル上に一方のガラス
を真空吸着し、そのガラスの２箇所以上の任意の端面に
水平方向に摺動可能なスペーサを設け、そのスペーサの
上面に接触するように別のガラスを載置してスペーサに
より上下２枚のガラス間の隙間を保持し、そして載置し
たガラスの表面を垂直方向より保持した状態で、ガラス
間の隙間からスペーサを引き抜いて２枚のガラスを貼り
合わせるものであった。
は、水平方向に設置した吸着テーブル上に一方のガラス
を真空吸着し、そのガラスの２箇所以上の任意の端面に
水平方向に摺動可能なスペーサを設け、そのスペーサの
上面に接触するように別のガラスを載置してスペーサに
より上下２枚のガラス間の隙間を保持し、そして載置し
たガラスの表面を垂直方向より保持した状態で、ガラス
間の隙間からスペーサを引き抜いて２枚のガラスを貼り
合わせるものであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の方法では、ガラス間の隙間からスペーサを引き抜くと
きに、スペーサとガラスの摩擦抵抗によりガラスも同時
に引っ張られてずれが発生することがあるので、貼り合
わせ後の２枚のガラスの相対位置を保証することができ
ないという問題があった。
の方法では、ガラス間の隙間からスペーサを引き抜くと
きに、スペーサとガラスの摩擦抵抗によりガラスも同時
に引っ張られてずれが発生することがあるので、貼り合
わせ後の２枚のガラスの相対位置を保証することができ
ないという問題があった。
【０００４】本発明は上記従来の問題を解決するもの
で、ガラスの一端部より順次貼り合わせが可能となり、
ガラスの相対的な位置ずれの少ない高精度な貼り合わせ
ができる平板の貼り合わせ装置および貼り合わせ方法を
提供することを目的とする。
で、ガラスの一端部より順次貼り合わせが可能となり、
ガラスの相対的な位置ずれの少ない高精度な貼り合わせ
ができる平板の貼り合わせ装置および貼り合わせ方法を
提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、平板を保持して垂直方向に移動可能な上テ
ーブルと、上記平板と平行に配置され別の平板を保持し
た状態で水平方向に移動可能な下テーブルと、この下テ
ーブルの一端に配設され上下２枚の平板間にスペーサを
介して隙間を一定に維持した状態で保持する第１のチャ
ックユニットと、この第１のチャックユニットに相対向
するように下テーブルの他端部に配設され上側の平板の
端部のみを保持して平板間の隙間を維持する第２のチャ
ックユニットとを備えたものであり、また、下テーブル
の一端に配設され上テーブルに保持された平板と下テー
ブルに保持された平板間の隙間に水平方向に挿入が可能
で上テーブルに保持された平板の保持面と反対側の平面
が接触するように下テーブルに保持された平板上に載置
可能なスペーサと、このスペーサの上面に上側の平板を
載置した状態でその平板の平面に対して垂直方向から一
定圧力でその平板を加圧可能な押え板と、下テーブルの
他端部側に配設され押え板に相対向し上テーブルに保持
した平板の吸着面と反対側の平面に接触するとともに垂
直方向に移動可能なリフターと、このリフターとともに
上テーブルに保持された平板の端部を保持可能なチャッ
クとを備えたものであり、さらに、平板位置決めステー
ジと平板貼り合わせステージを相互に回転移動可能な複
数の下テーブルを設け、平板位置決めステージに上テー
ブルを配設したものである。
するために、平板を保持して垂直方向に移動可能な上テ
ーブルと、上記平板と平行に配置され別の平板を保持し
た状態で水平方向に移動可能な下テーブルと、この下テ
ーブルの一端に配設され上下２枚の平板間にスペーサを
介して隙間を一定に維持した状態で保持する第１のチャ
ックユニットと、この第１のチャックユニットに相対向
するように下テーブルの他端部に配設され上側の平板の
端部のみを保持して平板間の隙間を維持する第２のチャ
ックユニットとを備えたものであり、また、下テーブル
の一端に配設され上テーブルに保持された平板と下テー
ブルに保持された平板間の隙間に水平方向に挿入が可能
で上テーブルに保持された平板の保持面と反対側の平面
が接触するように下テーブルに保持された平板上に載置
可能なスペーサと、このスペーサの上面に上側の平板を
載置した状態でその平板の平面に対して垂直方向から一
定圧力でその平板を加圧可能な押え板と、下テーブルの
他端部側に配設され押え板に相対向し上テーブルに保持
した平板の吸着面と反対側の平面に接触するとともに垂
直方向に移動可能なリフターと、このリフターとともに
上テーブルに保持された平板の端部を保持可能なチャッ
クとを備えたものであり、さらに、平板位置決めステー
ジと平板貼り合わせステージを相互に回転移動可能な複
数の下テーブルを設け、平板位置決めステージに上テー
ブルを配設したものである。
【０００６】
【作用】上記した構成において、第１のチャックユニッ
トによって２枚の平板間にスペーサを介して隙間を一定
に維持した状態で保持し、第２のチャックユニットによ
って上側の平板の端部のみを保持して平板間の隙間を維
持するため、上下２枚の平板を貼り合わすときに、平板
の端部より順次貼り合わすことが可能となり、平板間の
相対的な位置ずれの少ない貼り合わせが可能になる。
トによって２枚の平板間にスペーサを介して隙間を一定
に維持した状態で保持し、第２のチャックユニットによ
って上側の平板の端部のみを保持して平板間の隙間を維
持するため、上下２枚の平板を貼り合わすときに、平板
の端部より順次貼り合わすことが可能となり、平板間の
相対的な位置ずれの少ない貼り合わせが可能になる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例について、図１〜図
３を参照しながら説明する。図１に示すように、装置本
体（図示せず）に固定されたブラケットＡ１にはスライ
ドベアリングＡ２が取り付けられており、上テーブル３
にはブラケットＢ４が取り付けられ、ブラケットＢ４に
はガイドロッドＡ５を固定し、ガイドロッドＡ５はスラ
イドベアリングＡ２に挿着して上下に摺動可能としてい
る。またブラケットＡ１にはモータ６が取り付けられ、
モータ６の回転動力をボールねじ７に伝達して上テーブ
ル３は上下に昇降可能となっている。下テーブルユニッ
ト８は、上ガラス９下面と下ガラス１０上面の間に挿入
して隙間を保持するスペーサユニット１１、上ガラス９
と下ガラス１０を同時に固定するチャックユニットＡ１
２、上ガラス９のみを固定し昇降して上ガラス９と下ガ
ラス１０の隙間を調整するチャックユニットＢ１３等か
ら構成されている。
３を参照しながら説明する。図１に示すように、装置本
体（図示せず）に固定されたブラケットＡ１にはスライ
ドベアリングＡ２が取り付けられており、上テーブル３
にはブラケットＢ４が取り付けられ、ブラケットＢ４に
はガイドロッドＡ５を固定し、ガイドロッドＡ５はスラ
イドベアリングＡ２に挿着して上下に摺動可能としてい
る。またブラケットＡ１にはモータ６が取り付けられ、
モータ６の回転動力をボールねじ７に伝達して上テーブ
ル３は上下に昇降可能となっている。下テーブルユニッ
ト８は、上ガラス９下面と下ガラス１０上面の間に挿入
して隙間を保持するスペーサユニット１１、上ガラス９
と下ガラス１０を同時に固定するチャックユニットＡ１
２、上ガラス９のみを固定し昇降して上ガラス９と下ガ
ラス１０の隙間を調整するチャックユニットＢ１３等か
ら構成されている。
【０００８】図２はチャックユニットＡ１２の詳細を示
すもので、上ガラス９と下ガラス１０の間の隙間を保持
するスペーサ１４を有し、チャック１５はガイドロッド
１６の一端に固定され、下テーブルベース１７に固定さ
れたスライドベアリングＢ１８を介して上下方向に摺動
可能となっている。さらにガイドロッド１６の他端に
は、上下方向に駆動するシリンダーＡ１９が連結してい
る。シリンダーＡ１９の連結側近傍に歯車Ａ２０が固定
され、ブラケットＣ２１を介して下テーブルベース１７
に固定されたロータリーアクチュエータ２２に固定され
た歯車Ｂ２３とかみ合っている。スペーサ１４はガイド
ロッドＡ２４に固定され、ガイドロッドＡ２４は下テー
ブル１７に固定されたスライドベアリングＣ２５を介し
て摺動可能であり、ガイドロッドＡ２４はシリンダーＢ
２６に連結され、シリンダーＢ２６はブラケットＤ２７
を介して下テーブル２８に固定されている。
すもので、上ガラス９と下ガラス１０の間の隙間を保持
するスペーサ１４を有し、チャック１５はガイドロッド
１６の一端に固定され、下テーブルベース１７に固定さ
れたスライドベアリングＢ１８を介して上下方向に摺動
可能となっている。さらにガイドロッド１６の他端に
は、上下方向に駆動するシリンダーＡ１９が連結してい
る。シリンダーＡ１９の連結側近傍に歯車Ａ２０が固定
され、ブラケットＣ２１を介して下テーブルベース１７
に固定されたロータリーアクチュエータ２２に固定され
た歯車Ｂ２３とかみ合っている。スペーサ１４はガイド
ロッドＡ２４に固定され、ガイドロッドＡ２４は下テー
ブル１７に固定されたスライドベアリングＣ２５を介し
て摺動可能であり、ガイドロッドＡ２４はシリンダーＢ
２６に連結され、シリンダーＢ２６はブラケットＤ２７
を介して下テーブル２８に固定されている。
【０００９】図３はチャックユニットＢ１３の詳細を示
すもので、リフター２９は下テーブル２８に固定された
スライドガイド３０上を摺動可能にスライドベアリング
Ｄ３１を介して取り付けられている。レバーＡ３２は回
転軸Ａ３３にてリフター２９と連結され、回転軸Ａ３３
を中心にして回転できる。さらに引張りばね３４によっ
てリフター２９とレバー３２は連結され、レバー３２は
上方に引き上げられている。チャック３５は回転軸Ｂ３
６にてレバー３２と連結され、回転軸Ｂ３６を中心にし
て回転できる。さらにチャック３５の側面に取り付けら
れたレバーＢ３７の先端にカムフォロアー３８が固定さ
れ、カムフォロアー３８はスライドブロック３９に連結
されている。また、スライドブロック３９はガイドロッ
ドＢ４０に連結され、ガイドロッドＢ４０は下テーブル
２８に固定されたロッド回り止め防止機構付スライドベ
アリングＥ４１を介して左右方向に摺動可能である。ま
たガイドロッドＢ４０の他端にはブラケットＥ４２を介
してシリンダーＣ４３が連結固定されている。ロッド４
４はリフター２９に連結され、下テーブルベース１７に
はスライドベアリングＦ４５およびブラケットＥ４６を
固定し、シリンダーＤ４７がブラケットＥ４６に連結さ
れている。したがって、リフター２９はシリンダーＤ４
７の作動により上下方向に作動する。解除レバー４８は
ガイドロッドＣ４９に固定され、また下テーブルベース
１７にはスライドベアリングＧ５０が固定され、ガイド
ロッドＣ４９はロッド回り止め防止機構付シリンダー５
１に連結されている。
すもので、リフター２９は下テーブル２８に固定された
スライドガイド３０上を摺動可能にスライドベアリング
Ｄ３１を介して取り付けられている。レバーＡ３２は回
転軸Ａ３３にてリフター２９と連結され、回転軸Ａ３３
を中心にして回転できる。さらに引張りばね３４によっ
てリフター２９とレバー３２は連結され、レバー３２は
上方に引き上げられている。チャック３５は回転軸Ｂ３
６にてレバー３２と連結され、回転軸Ｂ３６を中心にし
て回転できる。さらにチャック３５の側面に取り付けら
れたレバーＢ３７の先端にカムフォロアー３８が固定さ
れ、カムフォロアー３８はスライドブロック３９に連結
されている。また、スライドブロック３９はガイドロッ
ドＢ４０に連結され、ガイドロッドＢ４０は下テーブル
２８に固定されたロッド回り止め防止機構付スライドベ
アリングＥ４１を介して左右方向に摺動可能である。ま
たガイドロッドＢ４０の他端にはブラケットＥ４２を介
してシリンダーＣ４３が連結固定されている。ロッド４
４はリフター２９に連結され、下テーブルベース１７に
はスライドベアリングＦ４５およびブラケットＥ４６を
固定し、シリンダーＤ４７がブラケットＥ４６に連結さ
れている。したがって、リフター２９はシリンダーＤ４
７の作動により上下方向に作動する。解除レバー４８は
ガイドロッドＣ４９に固定され、また下テーブルベース
１７にはスライドベアリングＧ５０が固定され、ガイド
ロッドＣ４９はロッド回り止め防止機構付シリンダー５
１に連結されている。
【００１０】次にその動作について説明する。まず、上
テーブル３の下面に上ガラス９を真空吸着保持し、下テ
ーブル２８上に下ガラス１０を真空吸着保持させる。チ
ャックユニットＡ１２の待機状態においては、シリンダ
ーＡ１９を上昇させることによりガイドロッド１６を介
してチャック１５が上昇し、ロータリーアクチュエータ
２２の作動により歯車Ａ２０、歯車Ｂ２３およびガイド
ロッド１６を介してチャック１５が９０度回転し、また
スペーサ１４もシリンダーＢ２６の駆動により、それぞ
れ下テーブル２８上面より回避した状態となっている
（図２参照）。
テーブル３の下面に上ガラス９を真空吸着保持し、下テ
ーブル２８上に下ガラス１０を真空吸着保持させる。チ
ャックユニットＡ１２の待機状態においては、シリンダ
ーＡ１９を上昇させることによりガイドロッド１６を介
してチャック１５が上昇し、ロータリーアクチュエータ
２２の作動により歯車Ａ２０、歯車Ｂ２３およびガイド
ロッド１６を介してチャック１５が９０度回転し、また
スペーサ１４もシリンダーＢ２６の駆動により、それぞ
れ下テーブル２８上面より回避した状態となっている
（図２参照）。
【００１１】チャックユニットＢ１３の待機状態におい
ては、シリンダー５１は下方に駆動し、ガイドロッドＣ
４９を介して解除レバー４８を下方に移動させ、レバー
Ａ３２を回転軸Ａ３３を中心に右回転させる。この動作
によりチャック３５は回転軸Ｂ３６およびスライドブロ
ック３９の溝に沿ってカムフォロアー３８が移動し、レ
バーＢ３７を介してチャック３５を右回転させ、上ガラ
ス９のチャッキング位置より回避させる。さらに、シリ
ンダーＣ４３の駆動によりスライドブロック３９を左方
向に押し出し、チャック３５を右回転させて回避させ、
また、シリンダーＤ４７を下方に駆動することにより、
リフター２９を下方に移動させ、下テーブル２８の下方
に回避させている（図３参照）。この状態から上下２枚
のガラスを隙間をあけて位置決めし、チャックユニット
Ａ１２およびチャックユニットＢ１３により固定する。
ては、シリンダー５１は下方に駆動し、ガイドロッドＣ
４９を介して解除レバー４８を下方に移動させ、レバー
Ａ３２を回転軸Ａ３３を中心に右回転させる。この動作
によりチャック３５は回転軸Ｂ３６およびスライドブロ
ック３９の溝に沿ってカムフォロアー３８が移動し、レ
バーＢ３７を介してチャック３５を右回転させ、上ガラ
ス９のチャッキング位置より回避させる。さらに、シリ
ンダーＣ４３の駆動によりスライドブロック３９を左方
向に押し出し、チャック３５を右回転させて回避させ、
また、シリンダーＤ４７を下方に駆動することにより、
リフター２９を下方に移動させ、下テーブル２８の下方
に回避させている（図３参照）。この状態から上下２枚
のガラスを隙間をあけて位置決めし、チャックユニット
Ａ１２およびチャックユニットＢ１３により固定する。
【００１２】つぎに、固定手順について説明すると、ま
ず、シリンダーＢ２６を右方向に駆動することにより、
スペーサ１４を下ガラス１０上に移動する。つぎに、モ
ータ６を駆動してボールねじ７を回転させ、上ガラス９
の位置まで上テーブル３を下降する。さらに、ロータリ
ーアクチュエータ２２の作動により歯車Ｂ２３、歯車Ａ
２０およびガイドロッド１６を介してチャック１５が９
０度回転して上ガラス９上面に移動し、シリンダーＡ１
９を下方に駆動させてチャック１５を下方に移動させス
ペーサ１４を挿入した状態で上ガラス９および下ガラス
１０を固定する（図２参照）。
ず、シリンダーＢ２６を右方向に駆動することにより、
スペーサ１４を下ガラス１０上に移動する。つぎに、モ
ータ６を駆動してボールねじ７を回転させ、上ガラス９
の位置まで上テーブル３を下降する。さらに、ロータリ
ーアクチュエータ２２の作動により歯車Ｂ２３、歯車Ａ
２０およびガイドロッド１６を介してチャック１５が９
０度回転して上ガラス９上面に移動し、シリンダーＡ１
９を下方に駆動させてチャック１５を下方に移動させス
ペーサ１４を挿入した状態で上ガラス９および下ガラス
１０を固定する（図２参照）。
【００１３】一方、チャックユニットＢ１３の動作は、
シリンダーＤ４７を上方に駆動させてリフター２９を上
ガラス９の下面に接触する高さまで上昇させる。つぎ
に、シリンダーＣ４３の駆動により、スライドブロック
３９を右方向に引き戻し、チャック３５を左回転させて
上ガラス９の上面に移動させる。この状態でシリンダー
５１が上方に駆動し、解除レバー４８を上方に移動さ
せ、レバーＡ３２を左回転させ、引っ張りばね３４の復
元力により、チャック３５を左回転させ、上ガラス９を
リフター２９とチャック３５とで挟み固定する（図３参
照）。つぎに、上テーブル３が上ガラス９との真空吸着
を終了し、背圧をかけながらモータ６を駆動することに
よりボールねじ７を回転させて、上テーブル３の上昇を
回避する。
シリンダーＤ４７を上方に駆動させてリフター２９を上
ガラス９の下面に接触する高さまで上昇させる。つぎ
に、シリンダーＣ４３の駆動により、スライドブロック
３９を右方向に引き戻し、チャック３５を左回転させて
上ガラス９の上面に移動させる。この状態でシリンダー
５１が上方に駆動し、解除レバー４８を上方に移動さ
せ、レバーＡ３２を左回転させ、引っ張りばね３４の復
元力により、チャック３５を左回転させ、上ガラス９を
リフター２９とチャック３５とで挟み固定する（図３参
照）。つぎに、上テーブル３が上ガラス９との真空吸着
を終了し、背圧をかけながらモータ６を駆動することに
よりボールねじ７を回転させて、上テーブル３の上昇を
回避する。
【００１４】上記構成により上下２枚のガラスを貼り合
わせる動作について図４に基づいて説明する。図におい
て、下テーブルユニットＡ５２上方に上テーブル３が配
置されたステージをガラス位置決めステージ、下テーブ
ルユニットＢ５３の位置するステージをガラス貼り合わ
せステージとする。インデックス５４がプーリおよびベ
ルト５５を介してモータ５６の回転動力によって１８０
度回転し、下テーブルユニットＡ５２と下テーブルユニ
ットＢ５３の位置を入れ換え、ガラス位置決めステージ
で上下２枚のガラスを隙間をあけて位置決め固定した状
態で下テーブルユニットＡ５２がガラス貼り合わせステ
ージに移動する。この状態から下記に示す手順で隙間を
あけて位置決め固定した上下２枚のガラスを貼り合わせ
る。
わせる動作について図４に基づいて説明する。図におい
て、下テーブルユニットＡ５２上方に上テーブル３が配
置されたステージをガラス位置決めステージ、下テーブ
ルユニットＢ５３の位置するステージをガラス貼り合わ
せステージとする。インデックス５４がプーリおよびベ
ルト５５を介してモータ５６の回転動力によって１８０
度回転し、下テーブルユニットＡ５２と下テーブルユニ
ットＢ５３の位置を入れ換え、ガラス位置決めステージ
で上下２枚のガラスを隙間をあけて位置決め固定した状
態で下テーブルユニットＡ５２がガラス貼り合わせステ
ージに移動する。この状態から下記に示す手順で隙間を
あけて位置決め固定した上下２枚のガラスを貼り合わせ
る。
【００１５】第１のステップとして上ガラス９のみを固
定し昇降してチャックユニットＢ１３が上ガラス９を掴
んだまま、シリンダーＤ４７を下方に駆動することによ
り、リフター２９を下方に移動させ、上ガラス９を下ガ
ラス１０と接触させる（図３参照）。
定し昇降してチャックユニットＢ１３が上ガラス９を掴
んだまま、シリンダーＤ４７を下方に駆動することによ
り、リフター２９を下方に移動させ、上ガラス９を下ガ
ラス１０と接触させる（図３参照）。
【００１６】第２のステップとしてチャックユニットＡ
１２は、シリンダーＡ１９が上方向に駆動し、チャック
１５を上方向に移動させて上ガラス９と下ガラス１０の
固定を解除し、シリンダーＢ２６を左方向に駆動するこ
とにより、スペーサ１４を左方向に移動させ、上ガラス
９と下ガラス１０との間よりスペーサを回避させて接触
させる（図２参照）。
１２は、シリンダーＡ１９が上方向に駆動し、チャック
１５を上方向に移動させて上ガラス９と下ガラス１０の
固定を解除し、シリンダーＢ２６を左方向に駆動するこ
とにより、スペーサ１４を左方向に移動させ、上ガラス
９と下ガラス１０との間よりスペーサを回避させて接触
させる（図２参照）。
【００１７】なお、上記貼り合わせ手順は第１，第２ス
テップを逆にしても可能である。
テップを逆にしても可能である。
【００１８】
【発明の効果】上記実施例から明らかなように本発明の
平板の貼り合わせ装置は、平板を保持して垂直方向に移
動可能な上テーブルと、平板と平行に配置し別の平板を
保持した状態で水平方向に移動可能な下テーブルと、こ
の下テーブルの一端に配設され上下２枚の平板間にスペ
ーサを介して隙間を一定に維持した状態で保持する第１
のチャックユニットと、この第１のチャックユニットに
相対向するように下テーブルの他端部に配設され上側の
平板の端部のみを保持して平板間の隙間を維持する第２
のチャックユニットとを備えたものであり、この構成と
することにより、上下２枚の平板を貼り合わすときに、
平板の端部より順次貼り合わせることが可能となり、平
板間の相対的な位置ずれの少ない高精度な貼り合わせが
可能になる。
平板の貼り合わせ装置は、平板を保持して垂直方向に移
動可能な上テーブルと、平板と平行に配置し別の平板を
保持した状態で水平方向に移動可能な下テーブルと、こ
の下テーブルの一端に配設され上下２枚の平板間にスペ
ーサを介して隙間を一定に維持した状態で保持する第１
のチャックユニットと、この第１のチャックユニットに
相対向するように下テーブルの他端部に配設され上側の
平板の端部のみを保持して平板間の隙間を維持する第２
のチャックユニットとを備えたものであり、この構成と
することにより、上下２枚の平板を貼り合わすときに、
平板の端部より順次貼り合わせることが可能となり、平
板間の相対的な位置ずれの少ない高精度な貼り合わせが
可能になる。
【図１】本発明の一実施例における平板の貼り合わせ装
置の外観斜視図
置の外観斜視図
【図２】同平板の貼り合わせ装置の第１のチャックユニ
ット部の断面図
ット部の断面図
【図３】同平板の貼り合わせ装置の第２のチャックユニ
ット部の断面図
ット部の断面図
【図４】同平板の貼り合わせ装置による貼り合わせ手順
を説明する外観斜視図
を説明する外観斜視図
３ 上テーブル ９ 上ガラス（平板） １０ 下ガラス（別の平板） １２ チャックユニットＡ（第１のチャックユニット） １３ チャックユニットＢ（第２のチャックユニット） １４ スペーサ ２８ 下テーブル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 時政 利守 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−95942（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−279335（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B32B 31/00 C03C 27/12
Claims (4)
- 【請求項１】 平板を保持して垂直方向に移動可能な上
テーブルと、前記平板と平行に配置され別の平板を保持
した状態で水平方向に移動可能な下テーブルと、この下
テーブルの一端に配設され上下２枚の平板間にスペーサ
を介して隙間を一定に維持した状態で保持する第１のチ
ャックユニットと、この第１のチャックユニットに相対
向するように前記下テーブルの他端部に配設され上側の
平板の端部のみを保持して前記平板間の隙間を維持する
第２のチャックユニットとを備えた平板の貼り合わせ装
置。 - 【請求項２】 平板を保持して垂直方向に移動可能な上
テーブルと、前記平板と平行に配置され別の平板を保持
した状態で水平方向に移動可能な下テーブルと、この下
テーブルの一端に配設され上テーブルに保持された平板
と下テーブルに保持された平板間の隙間に水平方向に挿
入が可能で上テーブルに保持された平板の保持面と反対
側の平面が接触するように下テーブルに保持された平板
上に載置可能なスペーサと、このスペーサの上面に上側
の平板を載置した状態でその平板の平面に対して垂直方
向から一定圧力でその平板を加圧可能な押え板と、前記
下テーブルの他端部側に配設され前記押え板に相対向し
前記上テーブルに保持した平板の吸着面と反対側の平面
に接触するとともに垂直方向に移動可能なリフターと、
このリフターとともに前記上テーブルに保持された平板
の端部を保持可能なチャックとを備えた平板の貼り合わ
せ装置。 - 【請求項３】 平板位置決めステージと平板貼り合わせ
ステージを相互に回転移動可能な複数の下テーブルを設
け、平板位置決めステージに上テーブルを配設した請求
項１記載の平板の貼り合わせ装置。 - 【請求項４】 上下に配置された２枚の平板を向かい合
わせて貼り合わせる場合に、一定の間隙を保って平板の
相対向する端部をそれぞれ保持し、２枚の平板間にスペ
ーサを挿入して一定の間隙を維持した状態で保持し、２
枚の平板の保持を一旦解除してスペーサを引き抜いた後
再度上側の平板と下側の平板を同時に保持して２枚の平
板を貼り合わせる平板の貼り合わせ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22109093A JP3265740B2 (ja) | 1993-09-06 | 1993-09-06 | 平板の貼り合わせ装置および貼り合わせ方法 |
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| JP22109093A JP3265740B2 (ja) | 1993-09-06 | 1993-09-06 | 平板の貼り合わせ装置および貼り合わせ方法 |
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