JP3255947B2 - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

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JP3255947B2
JP3255947B2 JP29547791A JP29547791A JP3255947B2 JP 3255947 B2 JP3255947 B2 JP 3255947B2 JP 29547791 A JP29547791 A JP 29547791A JP 29547791 A JP29547791 A JP 29547791A JP 3255947 B2 JP3255947 B2 JP 3255947B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体記憶装置の低消
費電流化に係わる。
【0002】
【従来の技術】従来例を以下に述べる。なお、以下の説
明において図面で記号にオーバーラインを付けて表した
コンプリメンタリ信号は記号の前に/を付けて示し、ま
た特に断らない限り端子名を表す記号は同時に配線名,
信号名も兼ね電源の場合はその電圧値も兼ねるものとす
る。従来のダイナミック形ランダムアクセスメモリ(D
RAM)は図13のような構成をしている。すなわち、
ワード線W1〜W4とデータ線D1〜/D2の交点に1
トランジスタ・1キャパシタのメモリセルMCが置かれ
る。RA1及びRA2はこのメモリセルの信号の読み出
し及び再書き込みを行うセンスアンプであり、コモンソ
ースPN及びPPで駆動される。コモンソースの信号
は、PP及びPNをショートしHVの電圧にプリチャー
ジするPC0と、PPを高電圧VDへ充電するpMOS
トランジスタDP1及びPNを低電圧VSへ放電するn
MOSトランジスタDN1とで発生される。このDP1
の駆動信号がRPであり、DN1の駆動信号がRNであ
る。また、PC1及びPC2はデータ線対をショートし
HVにプリチャージする回路であり、これらとPC0の
制御信号がFPである。DA1及びDA2はデータ線対
に現れた信号を後段の回路に転送し、またデータ線を介
してメモリセルに書き込む信号を後段から転送する回路
であり、I/Oと/I/Oの対がその入出力にあたる。
転送の開閉をYS1及びYS2で制御する。このような
DRAMではメモリセルに蓄えられた電荷は様々なリー
ク電流によって消失してしまうため、一定の期間ごとに
同じ情報を再書き込みしなければならずこれはリフレッ
シュとよばれる。このリフレッシュ動作を図14を用い
て説明する。CKはこの動作を制御するクロック信号で
あり、/RASなどの外部クロックで与えたり或いは発
振回路によって内部で発生したりする。まず、最初の状
態においては、CKは低レベルであり、RPは高レベル
でありRNは低レベルであるためDP1及びDN1はオ
フしている。また、FPは高レベルVDとなっているた
め、データ線対及びPP及びPNはショートされHVの
電位となっている。また、YS1及びYS2は低レベル
であり、DA1及びDA2はオフしている。リフレッシ
ュ動作では、YS1及びYS2は常に低レベルである。
ワード線はVSである。ここで、CKが低レベルから高
レベルへと変化すると、まず、FPが低レベルVSとな
り、データ線対及びPN及びPPはHVの電位でフロー
ティングとなる。ここでワード線W1が選択され、高レ
ベルVCHとなるため、データ線対D1及び/D1上に
メモリセルからの情報に対応した微小な電圧差が生じ
る。次に、RP及びRNがそれぞれ反転するため、DN
1がオンしPNはVSへ向けて放電され、またDP1が
オンしPPはVDへ向けて充電される。これによって、
センスアンプRA1及びRA2が動作し、微小な電圧信
号差はデータ線対上で大振幅VD−VSに増幅される。
増幅が終わると、ワード線が低レベルVSとなり、RP
及びRNが反転し、DP1及びDN1はオフする。この
後、従来例と本発明との差異で重要なことであるが、F
Pが高レベルVDとなり、データ線対及びPNとPPは
ショートされ、HVとなる。以上が従来のDRAMにお
けるリフレッシュ動作である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】DRAMの情報を電池
バックアップで保持しようとする場合、いわゆる待機時
の電源電流は主にリフレッシュ電流で決まりこれをいか
に小さくするかが課題である。待機時においてはメモリ
セルは順番にリフレッシュされる。このリフレッシュ電
流はリフレッシュ制御回路の動作電流とデータ線充放電
電流とからなる。このうちリフレッシュ制御回路の電流
低減については回路的に最小の動作素子数にする検討な
どが進んでいる。しかしながら、データ線電流について
は、特開昭60−45997号公報に記載されているよ
うな、待機時は低電圧にすること又はリフレッシュ周期
を長くすること等により、電源供給側からの消費電流を
抑える方法が開示されているだけであり、回路内での電
流の効率的利用については全く言及されていなかった。
【0004】本発明では、一旦電源から供給された電流
をすぐに接地に流してしまうことなく、他の回路に利用
することにより、低消費電流の半導体記憶装置を提供す
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題は、以下のよう
にして解決できる。
【0006】第1のメモリセルと、該第1のメモリセル
が接続された第1のデータ線対と、該第1のデータ線対
に読み出された微小信号を増幅する第1のセンスアンプ
と、第2のメモリセルと、該第2のメモリセルが接続さ
れた第2のデータ線対と、該第2のデータ線対に読み出
された微小信号を増幅する第2のセンスアンプと、上記
第1のセンスアンプを駆動する第1の駆動信号線と、該
第1の駆動信号線と電源線とを接続する第1のスイッチ
手段と、上記第2のセンスアンプを駆動する第2の駆動
信号線と、該第2の駆動信号線と電源線とを接続する第
2のスイッチ手段とを有する半導体記憶装置において、
上記第1の駆動信号線と上記第2の駆動信号線の間に接
続手段を設ける。
【0007】
【作用】上記構成とすることにより、第1の駆動信号線
側に蓄えられている電荷が、接続手段を介して第2の駆
動信号線側に流れ込む。この流れ込んだ電荷の分だけ、
第2の駆動信号線に電圧を印加したときに流れる電流を
抑えることができる。すなわち従来、単にショートする
だけで捨ててしまっていた電荷を別の線に流して再利用
することによって、消費電流を従来よりも低減できる。
【0008】
【実施例】以下、本発明を詳細に説明する。
【0009】図1は、本発明の第1の実施例を示す図で
ある。記号などは、ほとんど従来例で説明したものと同
じであるが、スイッチSPとスイッチSNとで接続され
た2系統のコモンソースPP(PP1及びPP2)及び
PN(PN1及びPN2)があり、これに同様な回路が
接続している。スイッチSPとスイッチSNの制御端子
がTP及びTNである。MCはメモリセルであり、W1
1及びW21はワード線であり、D11〜/D2nはデ
ータ線対である。PC10〜PC2nはショート回路で
あり、RA11〜RA2nはセンスアンプである。DP
11はPP1をVDに充電するpMOSトランジスタで
ありその制御端子がRP1、DP21はこれのPP2用
でありその制御端子がRP2である。DN11はPN1
1をVSに放電するnMOSトランジスタでありその制
御端子がRN1、DN21はこれのPN2用でありその
制御端子がRN2である。本発明では、これらメモリセ
ルの構造及びデータ線並びにコモンソース線の例えば途
中で交差させる等を特定するものではない。この回路の
動作を図2を用いて説明する。なお、以下の説明におい
てワード線高電位電圧VCH以外の高電位電圧はすべて
VDと表すがこれらの電位は同じである必要はない。最
初の状態ではワード線はW11及びW21は低レベルV
Sである。また、RP1及びRP2がVDでありRN1
及びRN2がVSであるためDP11〜DN21はオフ
し、FP1及びFP2がVDであるためPC10〜PC
2nがオンしているため、データ線D11〜/D21及
びPP1〜PN2はHVにプリチャージされている。ま
ず、FP1が低レベルVSとなるとこれと接続されるシ
ョート回路がオフし、PP1及びPN1及びデータ線D
11〜/D1nはHVの電位でフローティングとなる。
この後、ワード線W11が高レベルVCHとなるとメモ
リセルMC内のトランジスタがオンしデータ線に微小電
圧が発生する。この微小電圧はRP1及びRN1が反転
すると増幅される。この動作は従来例の動作と同じであ
る。なお、RP1及びRN1が反転する前一時的ににT
P及びTNをオンさせてHVであるPP2及びPN2と
PP1及びPN1とを各々接続しても変化は起こらない
ため後述の動作と同じにするためにTP及びTNをオン
させても良い。データ線対D11及び/D11は読み出
し信号に応じて各々VD及びVSとなる。この後、ワー
ド線W11が低レベルとなり、また、RP1及びRN1
が反転しPP1及びPN1は各々VD及びVSの電位で
フローティングとなる。次のサイクルでまず、FP2が
低レベルVSとなりこれと接続するショート回路がオフ
し、PP2及びPN2及びデータ線D21〜/D2nは
HVの電位でフローティングとなる。ワード線W21が
高レベルVCHとなり、メモリセルMC内のトランジス
タがオンし図中ではデータ線D21及び/D21にメモ
リセルの信号に応じた微小電圧が発生する。この微小信
号が発生した後、本発明では、TP及びTNによってス
イッチSP及びSNをオンさせる。これによって、PP
1とPP2及びPN1とPN2とが各々ショートされ
る。これによって、VDであるPP1及びこれと電気的
に接続しているデータ線の電荷が、HVであるPP2に
流れ込み、PP2に接続しているセンスアンプのpMO
Sトランジスタを動作させる。同様に、VSであるPN
1及びこれと電気的に接続しているデータ線へ、HVで
あるPN2の電荷が流れ込み、PN2に接続しているセ
ンスアンプのnMOSトランジスタを動作させる。これ
によって、データ線D21〜D2n上の微小信号は増幅
されることになる。この増幅は、同じデータ線数を持つ
PP及びPNの組であれば総容量は等しいので本来の振
幅の半分まで行われる。すなわち、データ線の高レベル
側はVD+HVの2分の1倍の電位であるVM1まで、
低レベル側はVS+HVの2分の1倍の電位であるVM
2までである。このためD11及び/D11側の電位も
同様になる。この後TP及びTNを反転しスイッチSP
及びSNをオフする。次に、RP2及びRN2を反転
し、通常のセンスアンプ動作を行う。この時は、既に本
来の振幅の半分まで増幅されているため電源端子VD及
びVSからDP21及びDN21を介して補う電荷は通
常の半分で良い。また、本来の振幅の半分まで増幅され
ているため通常のセンスアンプ動作での貫通電流も小さ
い。本来の振幅の半分となったD11及び/D11側で
はFP1が高レベルVDとなってショート回路がオン
し、ショートされる。すなわち、ショートして捨ててし
まう電荷は従来の半分となったのである。さて、通常の
センスアンプ動作によって本来の振幅となったD21及
び/D21側では、RP2及びRN2がオフし、PP2
及びPN2は各々VD及びVSの電位でフローティング
となる。また、ワード線W21が低レベルVSとなりメ
モリセル内のトランジスタはオフする。この状態で図示
はしないが、W11を選択しD11及び/D11に微小
信号を読み出せば、再び、スイッチSP及びSNをオン
することによって同様な動作を行うことができる。今度
は、D11及び/D11上で本来の振幅の半分までPP
2及びPN2及びこれと接続するデータ線の電荷によっ
て増幅を行うのである。このような動作を繰り返すこと
により、本発明では、従来と比べてデータ線の充放電電
流をおよそ半分にすることができる。
【0010】図3は、本発明を更に具体的に示した本発
明の第2の実施例である。本実施例では、メモリセルア
レイAR11及びAR12とAR21及びAR22との
組についてそれらに対応するPP及びPN間をスイッチ
で接続して前述の動作を行う。AM11〜AM22は2
組のデ−線対で共用されており、SH11〜SH22で
制御されるnMOSトランジスタによってどちらのデー
タ線と電気的に接続するかを決める。このような構成と
すると、メモリセルのレイアウトピッチよりもゆるいピ
ッチでAM11〜AM22のレイアウトを行うことがで
きる。また、PP11とPP21とを接続するスイッチ
SP11はpMOSトランジスタで構成した。同様にS
N11はnMOSトランジスタで構成したPN11とP
N21とを接続するスイッチであり、SP12はPP1
2とPP22とを接続するpMOSトランジスタのスイ
ッチ、SN12はPN12とPN22とを接続するnM
OSトランジスタのスイッチである。この動作を、図4
を用いて説明する。CKはこの実施例の回路の動作を制
御するクロック信号である。ここでは、AR11及びA
R21が交互に選択される場合を例にする。このため、
SH112及びSH121及びSH212及びSH22
1は常に高レベルであり、これと接続するnMOSトラ
ンジスタは常にオンしている。SH111及びSH12
2及びSH211及びSH222は動作に応じて低レベ
ルVSとなり選択しないメモリセルアレイを電気的に切
り離す。さて、CKが低レベルから高レベルとなると、
まず、SH111及びSH122が低レベルVSとな
り、AM11及びAM12はメモリセルアレイAR11
とのみ電気的に接続された状態となる。また、FP11
およびFP12が高レベルVDから低レベルVSとなり
データ線及びPP11〜PN12のショート及びHVへ
のプリチャージが解除される。この後、ワード線W11
が選択され高レベルVCHとなり、データ線D11及び
/D11上に微小信号が発生する。ここで、TP1及び
TP2及びTN1及びTN2が反転しPP11とPP2
1、PP12とPP22及びPN11とPN21、PN
12とPN22とがショートされるがこれは同電位であ
るためなんの変化も生じない。TP1〜TN2がまた反
転した後、RP11及びRP12が高レベルVDから低
レベルVSとなりまたRN11及びRN12が低レベル
VSから高レベルVDとなるとセンスアンプRA11〜
RA2nが動作し、データ線上の微小信号は増幅され
る。増幅が終わると、RP11及びRP12及びRN1
1及びRN12は反転し、PP11及びPP12及びP
N11及びPN12はフローティング状態となる。ま
た、ワード線W11は低レベルVSとなる。ここでクロ
ックCKの次のサイクルによってワード線W21が選択
されデータ線D21及び/D21に微小信号が発生す
る。この後、TP1及びTP2及びTN1及びTN2が
反転し、PP11とPP21及びPP12とPP22及
びPN11とPN21及びPN12とPN22とがショ
ートされるのである。これによって、図1及び図2で説
明したように本来のデータ線振幅の半分の振幅まで増幅
される。この後、RP11及びRP12及びRN11及
びRN12が反転し、データ線対はVD−VSの振幅ま
で増幅される。その後、FP11及びFP12が高レベ
ルとなりD11及び/D11はショートされる。以降の
説明はこの繰返しであるので省略するが、このように本
発明を用いれば、データ線の充放電電流を従来のおよそ
半分にすることができるのである。
【0011】本発明では、2系統のPPとPNとをショ
ートして本来の振幅の半分の振幅まで増幅を行うが、シ
ョートを行う2系統のレイアウト的な配置を図5及び図
6に示す。図5はショートを行うスイッチS1及びS2
を挟んで両側にメモリセルアレイAR11〜AR21及
びセンスアンプやショート回路を含むAM11〜AM2
2を配置する方法であり、図6は一列に並んだAR11
〜AR14及びAM11〜AM15と平行にスイッチ回
路S1〜S4を置き図に示すように結線する配置であ
る。図6ではS1とS3はメモリセルアレイを挟んでS
2とS4の反対に置いているが、同じ方向においても良
い。図5の配置の方がスイッチ回路S1及びS2との結
線数は少ないが、AR11とAR21とが距離的に離れ
過ぎていたり、スイッチ回路の場所にボンディングパッ
ドが配置されてレイアウトが困難な場合には図6の配置
も望ましい。図5の配置での動作は図3の実施例の通り
である。図6でも本質的には同じであり、最初、AR1
1を選択して、AM11とAM12を動作させて、次に
AR13を選択して、AM12及びAM14を動作させ
る。この時、スイッチS1とS2を用いて、PP11と
PP11をPP13とPN13と電気的に接続し、ま
た、PP12とPN12をPP14とPN14と電気的
に接続する。これによって、前述のような動作を行うこ
とができるのである。このように図6の配置では、メモ
リセルアレイをこのように一個置きに選択するようにす
れば良い。どちらの方法でも本発明の長所を発揮するこ
とができるのである。
【0012】図7に本発明を用いたDRAMの構成を示
す。/RASはX系の起動信号であり、/CASはY系
の起動信号であり、/WEは書き込み動作を行うか否か
の選択信号であり、/OEは外部へ信号出力を出すか否
かの選択信号である。CLKはこれら外部信号の入力バ
ッファ及びこれら外部信号から様々な内部制御信号を発
生する回路である。A1〜Anはアドレス信号であり、
ADBufはこのアドレスバッファである。ARはメモ
リセルアレイである。Row DecはXデコーダ及び
ワードドライバであり、Colomn DecはYデコ
ーダ及びドライバである。AMはセンスアンプやショー
ト回路や読み出し回路などのデータ線関連回路である。
Din Bufは入力バッファであり、Dout Bu
fは出力バッファであり、Dinが入力端子であり、D
outがその出力信号端子である。Sは本発明固有のこ
れまでの実施例で説明したショート回路である。RFは
リフレッシュ制御回路であり、ADCはアドレスカウン
タであり、本発明では後述するような回路を用いて構成
することができる。
【0013】次に、制御回路の例について説明する。図
4の本発明の動作と、図14の従来例の動作とで大きな
点は、従来例では、ワード線を低レベルVSとした後で
FPを高レベルとしてショート回路をオンさせるのにた
いして、本発明では、もう一方のワード線を選択するま
で低レベルのままにして置く点である。図8に本発明に
用いるこのようなパルスを発生する制御回路の例を示
す。/ROは、クロックCKから発生させたワード線の
選択サイクルと同じサイクルで動作するクロックであ
る。一方、RKはこの/ROのクロックを分周した2倍
のクロック周期を持つクロック信号である。2ヶの2入
力のNANDがあり、一方のNANDには/ROとRK
が入力し、他方のNANDには/ROとRKをインバー
タ反転した/RKが入力する。NANDの出力は各々/
FP1及び/FP2であり、このインバータ反転した出
力がFP1及びFP2である。これらを用いれば、図9
に示すように所望のパルスを発生することができる。す
なわち、出力が/FP1であるNANDには、/ROと
/RKが入力するため、/RKが高レベルの時の/RO
のパルスが反転して/FP1に発生しそれ以外は高レベ
ルである。この/FP1を反転したFP1は図4に示し
たものと同じ信号となっている。同様に、/FP2には
RKが高レベルの時の/ROのパルスが反転して現れ
る。この/FP2を反転したFP2は図4に示したもの
と少し異なり最初が図4ではVDであるが、これは問題
とはならず図4の動作と同じ動作を行うことができる。
【0014】図10は、本発明に用いる制御回路例の第
2の回路であるアドレスカウンタの例である。ADC0
〜ADCjは各々破線で囲った回路ADCを示す。AD
Cにおいて、INTはこの回路を使用しない時に低レベ
ルとしておいて出力Aを高レベルにする信号である。C
kはクロック信号であり、Ci及びCjはADCをAD
C0〜ADCjのように接続し大きな分周器として用い
る場合の入力及び出力端子である。ADCは単体では、
INTが高レベルVDでありCiが高レベルVDの時に
クロックCkを2倍に分周した信号をA及びCjに出力
する回路である。RMはこのアドレスカウンタを動作さ
せるか否かを選択する信号である。R0はクロック信号
である。図11を用いてこのアドレスカウンタの動作の
概略を説明する。まず、最初はRMが低レベルであるた
め、ADC0〜ADCjの出力RK及びA1R及びAj
Rはすべて高レベルVDとなっている。RMが高レベル
となると、各ADCの回路はクロックによって動作でき
るようになる。これによって、RKはR0を2倍に分周
し、A1RはこのRKをさらに2倍に分周する。以下同
様である。このうちRKを用いれば、図8及び図9で説
明したように所望のFP1及びFP2を発生することが
できる。他の出力A1R〜AjRでメモリセルがうまく
選択されるようにデコーダ及びドライバを構成する。な
お、RMは/RASや/CASや/OEや/WEの信号
のタイミング関係や信号レベルの組み合わせで発生でき
るようにしておけば良い。
【0015】以上、DRAMの待機時のリフレッシュ動
作に本発明を用いた例を述べたが、擬似SRAMの待機
時のリフレッシュ動作にも同様に適用できる。本発明は
他にメモリセルを読み出す順番があらかじめ決まってい
る画像メモリのようなシリアルアクセスメモリの読み出
し動作にも適用できる。予め、読みだす情報を2系統の
PP及びPNがショートできるようにしたメモリセルア
レイに順番に書き込んでおけば良い。また、DRAMに
おいて、1991 SYMPOSIUM ONVLSI
CIRCUITSのダイジェストの第65頁〜第66
頁に記載の一つのキャパシタに2ヶのトランジスタを並
列に接続して読み出しと平行してリフレッシュを行う方
式にも適用することができる。さらに、1991 IS
SCCのダイジェストの第106頁〜第107頁に記載
のDRAMメモリセルを直列に接続して、これを順に読
み出す方式にも適用可能である。また、DRAMの通常
の読み出し動作においても本発明の本質を変えずに適用
できるような場合もありえる。
【0016】図12は本発明を用いたシステム構成を示
す図である。矢印は信号の流れを表わす。Mは本発明を
用いたDRAMを示し、CPUはシステム全体を制御す
る処理装置を、RAGはリフレッシュアドレス発生装置
を、TCは本発明を用いた記憶装置部分の制御信号発生
装置を、SLCTはCPUから送られてくるアドレス信
号とRAGから送られてくるリフレッシュアドレス信号
を切り換えるセレクト装置を示す。また、PFYはシス
テム内の他の装置であり、例えば外部記憶装置,表示装
置,数値演算装置等であり、通信回線を通して他の情報
処理装置と接続される場合もある。DATAはCPUと
Mとの間でやりとりされるデータを表わし、AicはC
PUで発生するアドレス信号を、AirはRAGで発生
するリフレッシュアドレス信号を示し、AiはSLCT
で選択されMに送られるアドレス信号を示す。STはC
PUからRAGに送られるステイタス信号、BSはTC
からCPUへのビジイ信号である。SEはTCから送ら
れるSLCTの起動をかける信号であり、/RAS及び
/CASは本発明を用いたDRAMの起動をかける信号
である。SGはCPUとシステム内の他の装置との信号
のやりとりをまとめて表わしたものである。Mとしては
擬似SRAM等も考えられる。この時はもちろんそれに
応じた起動信号や制御信号が存在する。本発明を用いた
半導体装置を用いれば待機時におけるリフレシュ動作時
にデータ線の充放電電流をほぼ半分にすることができる
ため待機時の電流を小さくすることができる。このた
め、電池駆動可能な小さな待機時電流を実現することが
できる。
【0017】
【発明の効果】第1のデータ線対及びこれと接続する第
1のPN及びPPと第2のデータ線対及びこれと接続す
る第2のPN及びPPにおいて、第1及び第2のPP及
びPNをショートする手段を設けたことにより、第2の
データ線上の微小信号は本来の半分の振幅まで第1のデ
ータ線対及びこれと接続する第1のPN及びPPの電荷
によって増幅できることになる。すなわち従来、単にシ
ョートするだけで捨ててしまっていた電荷によって本来
の半分の振幅までの増幅を行うのである。この後通常通
りのセンスアンプによる増幅を行い本来の振幅を得る。
これを繰り返すことによって、データ線電流を従来のお
よそ半分にできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す図。
【図2】第1の実施例の動作を示す図。
【図3】本発明の第2の実施例を示す図。
【図4】第2の実施例の動作を示す図。
【図5】本発明を用いたDRAMの構成を示す図。
【図6】レイアウト上の第1の配置を示す図。
【図7】レイアウト上の第2の配置を示す図。
【図8】制御回路例の第1の回路を示す図。
【図9】図8の回路の動作を示す図。
【図10】制御回路例の第2の回路を示す図。
【図11】図10の回路の動作を示す図。
【図12】本発明を用いたシステム構成を示す図。
【図13】従来例を示す図。
【図14】従来例の動作を示す図。
【符号の説明】
MC…メモリセル、W11〜W2m…ワード線、D11
〜/D1(2n)…データ線、PC10〜PN2n〜シ
ョート回路、RA11〜RA2n…センスアンプ、PP
1〜PN22…コモンソース線、DA1,DA2…入出
力ゲート、S,SP,SN,SP11〜SN12…スイ
ッチ回路、CLK…制御回路、RF…リフレッシュ制御
回路、ADC…アドレスカウンタ、ADBuf…アドレ
スバッファ、Din Buf…Dinバッファ、Dou
t Buf…Doutバッファ、Row Dec…Xデ
コーダ,ワードドライバ、Column Dec…Yデ
コーダ・ドライバ、ADC…アドレスカウンタ回路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 秋葉 武定 千葉県茂原市早野3681番地 日立デバイ スエンジニアリング株式会社内 (72)発明者 堀口 真志 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 橘川 五郎 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 青木 正和 東京都国分寺市東恋ケ窪1丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (56)参考文献 特開 平3−41695(JP,A) 特開 昭61−142593(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11C 11/34

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数の第1データ線対と複数の第1ワード
    線との交点に設けられた複数の第1メモリセルと、 前記複数の第1データ線対に結合される複数の第1増幅
    手段と、 複数の第2データ線対と複数の第2ワード線との交点に
    設けられた複数の第2メモリセルと、 前記複数の第2データ線対に結合される複数の第2増幅
    手段と、 前記複数の第1増幅手段に接続された第1駆動線と、 前記第1駆動線に所定電圧を供給するための第1スイッ
    チ手段と、 前記複数の第2増幅手段に接続された第2駆動線と、 前記第2駆動線に前記所定電圧を供給するための第2ス
    イッチ手段と、 前記第1及び第2駆動線を結合するための第3スイッチ
    手段とを備え、 前記複数の第1ワード線の一つを選択して前記複数の第
    1データ線対に読み出された信号を前記複数の第1増幅
    手段により増幅した後、選択された前記複数の第1ワー
    ド線の一つを非選択として前記第1スイッチ手段をオフ
    にし、さらに前記第3スイッチ手段によって前記第1駆
    動線と前記第2駆動線を一旦接続してから切り離し、し
    かる後に前記第2スイッチ手段をオンにして前記複数の
    第2増幅手段により前記複数の第2データ線対に読み出
    された信号を増幅することを特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】請求項1において、前記第1スイッチ手段
    をオフにする期間と前記第2スイッチ手段をオフにする
    期間とが重なる期間があり、該重なる期間中に前記第3
    スイッチ手段によって前記第1の駆動線と前記第2の駆
    動線は接続される期間を有することを特徴とする半導体
    装置。
  3. 【請求項3】請求項1において、前記第3のスイッチ手
    段は、前記第1及び第2駆動線のいづれか一方が駆動さ
    れて蓄えられた電荷を残る他方に転送して、電荷を再使
    用するためのものであることを特徴とする半導体装置。
  4. 【請求項4】請求項1において、前記複数の第2データ
    線対に読み出される信号を前記複数の第2の増幅手段に
    より増幅した後、選択された前記複数の第2ワード線の
    一つを非選択として前記第2スイッチ手段をオフにし、
    さらに前記第3スイッチ手段によって前記第1駆動線と
    前記第2駆動線を一旦接続してから切り離し、しかる後
    に前記第1スイッチ手段をオンにして前記複数の第1増
    幅手段により前記複数の第1データ線対に読み出される
    信号を増幅することを特徴とする半導体装置。
  5. 【請求項5】請求項1から4のいずれかにおいて、前記
    第1から第3のスイッチ手段のそれぞれは、MOSトラ
    ンジスタであることを特徴とする半導体装置。
  6. 【請求項6】請求項1から5のいずれかにおいて、前記
    半導体装置は、前記複数の第1データ線対をプリチャー
    ジ電位にプリチャージするための第1プリチャージ回路
    と、前記複数の第2データ線対を前記プリチャージ電位
    にプリチャージするための第2プリチャージ回路と、前
    記第1駆動線を前記プリチャージ電位にプリチャージす
    るための第3プリチャージ回路と、前記第2駆動線を前
    記プリチャージ電位にプリチャージするための第4プリ
    チャージ回路とを更に有することを特徴とする半導体装
    置。
  7. 【請求項7】請求項6において、前記第1増幅手段は対
    応する前記第1データ線対の一方と他方の間を第1電圧
    に増幅するものであり、前記プリチャージ電位は、前記
    第1電圧の1/2の電圧であることを特徴とする半導体
    装置。
  8. 【請求項8】請求項1から7のいずれかにおいて、前記
    複数の第1及び第2メモリセルのそれぞれは、1つのト
    ランジスタと1つのキャパシタを含むダイナミック形メ
    モリセルであることを特徴とする半導体装置。
  9. 【請求項9】請求項1から8のいずれかにおいて、前記
    第3スイッチ手段による前記第1及び第2駆動線の間の
    電荷再利用は、前記半導体装置のリフレッシュ動作で用
    いられることを特徴とする半導体装置。
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