JP3253226B2 - 被処理材の固定装置 - Google Patents
被処理材の固定装置Info
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Description
【０００１】［産業上の利用分野］ 本発明は、例えば、半導体装置製造用ガラスマスク等の
四角形の被処理材を処理ステージ上に固定する被処理材
の固定装置に関するものである。
四角形の被処理材を処理ステージ上に固定する被処理材
の固定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置製造用ガラスマスク、また
は、液晶パネル、シャドウマスク、サーマルヘッド製造
用ガラスマスク等の被処理材にパタ−ンを描画する電子
ビーム描画装置、あるいは描画されたパタ−ンを検査す
るパタ−ン検査装置等においては、被処理材を移動手段
である処理ステージ（Ｘ−Ｙテーブル）上に固定して処
理するようになっている。
は、液晶パネル、シャドウマスク、サーマルヘッド製造
用ガラスマスク等の被処理材にパタ−ンを描画する電子
ビーム描画装置、あるいは描画されたパタ−ンを検査す
るパタ−ン検査装置等においては、被処理材を移動手段
である処理ステージ（Ｘ−Ｙテーブル）上に固定して処
理するようになっている。
【０００３】従来の被処理材の固定装置は、例えば特開
昭６４−８００３６号公報に開示されるように、サイズ
の違う四角形の被処理材をクランプする際、共通のクラ
ンプ基準を用いて固定していた。
昭６４−８００３６号公報に開示されるように、サイズ
の違う四角形の被処理材をクランプする際、共通のクラ
ンプ基準を用いて固定していた。
【０００４】すなわち、図７及び図８に示すように、処
理ステージａ上に互いに対向して設けられた固定部材ｂ
及び可動部材ｃに、被処理材ｄの一辺とこれとは反対側
の辺との２つの辺の端縁部を保持するクランプ片ｅ，ｅ
を取付けるとともに、複数の被処理材ｄのサイズに合っ
た間隔Ｌ1 ，Ｌ2 となるように前記可動部材ｃを前記固
定部材ｂに対して近接及び離間させるべく可動部材移動
機構ｆにより移動させるようになっている。図７は被処
理材ｄが大きい（例えば７″×７″）場合、図８は被処
理材ｄが小さい（例えば４″×４″）場合を示す。
理ステージａ上に互いに対向して設けられた固定部材ｂ
及び可動部材ｃに、被処理材ｄの一辺とこれとは反対側
の辺との２つの辺の端縁部を保持するクランプ片ｅ，ｅ
を取付けるとともに、複数の被処理材ｄのサイズに合っ
た間隔Ｌ1 ，Ｌ2 となるように前記可動部材ｃを前記固
定部材ｂに対して近接及び離間させるべく可動部材移動
機構ｆにより移動させるようになっている。図７は被処
理材ｄが大きい（例えば７″×７″）場合、図８は被処
理材ｄが小さい（例えば４″×４″）場合を示す。
【０００５】可動部材移動機構ｆは、モータｇ，ｇを駆
動源としてボールネジｈ，ｈを正方向あるいは逆方向に
回転させてボールネジｈ，ｈに螺合されたナット部材
ｊ，ｊを矢印ｋ方向に移動させることにより、これらナ
ット部材ｊ，ｊが両端部に固定された可動部材ｃを、固
定部材ｂに対して近接及び離間させる方向に移動させる
ようになっている。
動源としてボールネジｈ，ｈを正方向あるいは逆方向に
回転させてボールネジｈ，ｈに螺合されたナット部材
ｊ，ｊを矢印ｋ方向に移動させることにより、これらナ
ット部材ｊ，ｊが両端部に固定された可動部材ｃを、固
定部材ｂに対して近接及び離間させる方向に移動させる
ようになっている。
【０００６】クランプ片ｅ，ｅの上面には、真空経路と
連通する複数の真空吸着溝ｍ…が形成されており、被処
理材ｄの一辺とこれとは反対側の辺との２つの辺の両端
縁部を吸着保持するようになっている。
連通する複数の真空吸着溝ｍ…が形成されており、被処
理材ｄの一辺とこれとは反対側の辺との２つの辺の両端
縁部を吸着保持するようになっている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
被処理材の固定装置は、被処理材ｄの四隅ではなく、図
９にも示すように、一辺とこれとは反対側の辺との２つ
の辺の端縁部を、サイズの大小に係らずクランプ片ｅ，
ｅの共通のクランプ基準ｎ，ｎを用いて固定していた。
被処理材の固定装置は、被処理材ｄの四隅ではなく、図
９にも示すように、一辺とこれとは反対側の辺との２つ
の辺の端縁部を、サイズの大小に係らずクランプ片ｅ，
ｅの共通のクランプ基準ｎ，ｎを用いて固定していた。
【０００８】ところが、図１０に示すように、被処理材
ｄの下面側に防塵目的で枠付防塵膜、いわゆるペリクル
ｐを取付けることがある。このペリクルｐは、通常、長
方形をしており、被処理材ｄの外寸より短手方向は１０
ｍｍ以上短いものとなっているが、長手方向は２〜３ｍ
ｍと僅かに短いものとなっている。
ｄの下面側に防塵目的で枠付防塵膜、いわゆるペリクル
ｐを取付けることがある。このペリクルｐは、通常、長
方形をしており、被処理材ｄの外寸より短手方向は１０
ｍｍ以上短いものとなっているが、長手方向は２〜３ｍ
ｍと僅かに短いものとなっている。
【０００９】このため、ペリクルｐの取付方向によって
は、図１０に示すように、ペリクルｐがクランプ片ｅ，
ｅに当たって、被処理材ｄの端縁部をクランプ片ｅ，ｅ
に接触させることができず、被処理材ｄを固定できなく
なる場合があった。
は、図１０に示すように、ペリクルｐがクランプ片ｅ，
ｅに当たって、被処理材ｄの端縁部をクランプ片ｅ，ｅ
に接触させることができず、被処理材ｄを固定できなく
なる場合があった。
【００１０】本発明は、上記事情に基づきなされたもの
で、サイズの異なる複数種の四角形の被処理材が固定可
能で、しかも、ペリクル付の被処理材でも問題はなく固
定できる被処理材の固定装置を提供することを目的とす
る。
で、サイズの異なる複数種の四角形の被処理材が固定可
能で、しかも、ペリクル付の被処理材でも問題はなく固
定できる被処理材の固定装置を提供することを目的とす
る。
【００１１】［課題を解決するための手段］ 本発明は上記課題を解決するための手段として、四角形
の被処理材を処理ステージ上に固定する被処理材の固定
装置であって、前記処理ステージ上に互いに対向して設
けられた固定部材及び可動部材と、前記固定部材に設け
られ、かつ、サイズの異なる複数の被処理材の互いに対
向する二辺のうちの一辺の両隅部が各サイズ毎にそれぞ
れ載る間隔に複数のクランプ基準片部を前記可動部材に
向けて階段状に形成してなる一対の第１のクランプ部材
と、前記可動部材に設けられ、かつ、サイズの異なる複
数の被処理材の前記二辺のうちの他の一辺の両隅部が各
サイズ毎にそれぞれ載る間隔に複数のクランプ基準片部
を前記固定部材に向けて階段状に形成してなる一対の第
２のクランプ部材と、前記第１のクランプ部材と第２の
クランプ部材との間隔が複数の被処理材のサイズに合っ
た間隔となるように前記可動部材を移動させるための可
動部材移動機構とを具備してなる構成としたものであ
る。
の被処理材を処理ステージ上に固定する被処理材の固定
装置であって、前記処理ステージ上に互いに対向して設
けられた固定部材及び可動部材と、前記固定部材に設け
られ、かつ、サイズの異なる複数の被処理材の互いに対
向する二辺のうちの一辺の両隅部が各サイズ毎にそれぞ
れ載る間隔に複数のクランプ基準片部を前記可動部材に
向けて階段状に形成してなる一対の第１のクランプ部材
と、前記可動部材に設けられ、かつ、サイズの異なる複
数の被処理材の前記二辺のうちの他の一辺の両隅部が各
サイズ毎にそれぞれ載る間隔に複数のクランプ基準片部
を前記固定部材に向けて階段状に形成してなる一対の第
２のクランプ部材と、前記第１のクランプ部材と第２の
クランプ部材との間隔が複数の被処理材のサイズに合っ
た間隔となるように前記可動部材を移動させるための可
動部材移動機構とを具備してなる構成としたものであ
る。
【００１２】［作用］ 上記手段の被処理材の固定装置によれば、処理ステージ
上に互いに対向して設けられた固定部材及び可動部材
に、サイズの異なる複数の被処理材の互いに対向する二
辺の両隅部が各サイズ毎にそれぞれ載る間隔に複数のク
ランプ基準片部を互いに対向する可動部材または固定部
材に向けて階段状に形成してなるそれぞれ一対の第１の
クランプ部材及び第２のクランプ部材を設けると共に、
前記第１のクランプ部材と第２のクランプ部材との間隔
が複数の被処理材のサイズに合った間隔となるように可
動部材を移動させ得る構成としたから、サイズの異なる
複数種の被処理材をそれぞれ専用のクランプ基準片部を
利用して、その４隅近傍を固定でき、また、例えペリク
ル付の被処理材でもクランプ部材とペリクルとの干渉が
無く確実に固定することが可能となる。
上に互いに対向して設けられた固定部材及び可動部材
に、サイズの異なる複数の被処理材の互いに対向する二
辺の両隅部が各サイズ毎にそれぞれ載る間隔に複数のク
ランプ基準片部を互いに対向する可動部材または固定部
材に向けて階段状に形成してなるそれぞれ一対の第１の
クランプ部材及び第２のクランプ部材を設けると共に、
前記第１のクランプ部材と第２のクランプ部材との間隔
が複数の被処理材のサイズに合った間隔となるように可
動部材を移動させ得る構成としたから、サイズの異なる
複数種の被処理材をそれぞれ専用のクランプ基準片部を
利用して、その４隅近傍を固定でき、また、例えペリク
ル付の被処理材でもクランプ部材とペリクルとの干渉が
無く確実に固定することが可能となる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１ないし図６を
参照して説明する。図１は被処理材にパタ−ンを描画す
る電子ビーム描画装置、あるいは被処理材に描画された
パタ−ンを検査するパタ−ン検査装置における被処理材
の固定装置の構成を示す平面図である。
参照して説明する。図１は被処理材にパタ−ンを描画す
る電子ビーム描画装置、あるいは被処理材に描画された
パタ−ンを検査するパタ−ン検査装置における被処理材
の固定装置の構成を示す平面図である。
【００１４】図中１は、Ｘ−Ｙテーブルからなる処理ス
テージであり、この処理ステージ１の上面には、直交す
る２辺に沿って位置検出用の２本のレーザミラー２，４
と、四角形の被処理材６を固定するための固定装置８が
配設されている。
テージであり、この処理ステージ１の上面には、直交す
る２辺に沿って位置検出用の２本のレーザミラー２，４
と、四角形の被処理材６を固定するための固定装置８が
配設されている。
【００１５】この固定装置８は、処理ステージ１上に互
いに対向して固定部材１０及び可動部材１２が設けられ
ている。この固定部材１０には一対の第１のクランプ部
材１４Ａ，１４Ｂが、また、可動部材１２には一対の第
２のクランプ部材１６Ａ，１６Ｂが設けられている。
いに対向して固定部材１０及び可動部材１２が設けられ
ている。この固定部材１０には一対の第１のクランプ部
材１４Ａ，１４Ｂが、また、可動部材１２には一対の第
２のクランプ部材１６Ａ，１６Ｂが設けられている。
【００１６】可動部材１２は、可動部材移動機構１８に
より前記固定部材１０に対して近接する方向及び離間す
る方向に移動自在であり、前記第１のクランプ部材１４
Ａ，１４Ｂと第２のクランプ部材１６Ａ，１６Ｂとの間
隔が複数の被処理材６のサイズに合った間隔に調整でき
るようになっている。
より前記固定部材１０に対して近接する方向及び離間す
る方向に移動自在であり、前記第１のクランプ部材１４
Ａ，１４Ｂと第２のクランプ部材１６Ａ，１６Ｂとの間
隔が複数の被処理材６のサイズに合った間隔に調整でき
るようになっている。
【００１７】可動部材移動機構１８は、可動部材１２の
両端側、かつ、可動部材１２の移動方向が軸方向となる
状態に軸受部材２０，２２を介してそれぞれ回転可能に
支承された２本の平行なボールネジ２４Ａ，２４Ｂを有
する。これらボールネジ２４Ａ，２４Ｂは、駆動源であ
るモータ２６Ａ，２６Ｂにより、正方向あるいは逆方向
に選択的に回転されるようになっている。
両端側、かつ、可動部材１２の移動方向が軸方向となる
状態に軸受部材２０，２２を介してそれぞれ回転可能に
支承された２本の平行なボールネジ２４Ａ，２４Ｂを有
する。これらボールネジ２４Ａ，２４Ｂは、駆動源であ
るモータ２６Ａ，２６Ｂにより、正方向あるいは逆方向
に選択的に回転されるようになっている。
【００１８】また、ボールネジ２４Ａにはナット部材２
８Ａが、また、ボールネジ２４Ｂにはナット部材２８Ｂ
が螺合されており、これらナット部材２８Ａ，２８Ｂ
は、ボールネジ２４Ａ，２４Ｂの回転に伴って矢印方向
に往復移動可能となっている。
８Ａが、また、ボールネジ２４Ｂにはナット部材２８Ｂ
が螺合されており、これらナット部材２８Ａ，２８Ｂ
は、ボールネジ２４Ａ，２４Ｂの回転に伴って矢印方向
に往復移動可能となっている。
【００１９】また、ナット部材２８Ａ，２８Ｂは、連結
部材としての板ばね３０，３０を介して可動部材１２の
両端に連結されており、ナット部材２８Ａ，２８Ｂと一
体に可動部材１２が移動し、固定部材１０との間隔Ｌを
調整できるようになっている。また、板ばね３０，３０
は、上下方向には剛性を有し水平方向には可撓性を有す
るように取付けられており、モータ２６Ａ，２６Ｂの極
微小の回転ムラによる可動部材１２の回転をこの板ばね
３０，３０で吸収できるようになっている。
部材としての板ばね３０，３０を介して可動部材１２の
両端に連結されており、ナット部材２８Ａ，２８Ｂと一
体に可動部材１２が移動し、固定部材１０との間隔Ｌを
調整できるようになっている。また、板ばね３０，３０
は、上下方向には剛性を有し水平方向には可撓性を有す
るように取付けられており、モータ２６Ａ，２６Ｂの極
微小の回転ムラによる可動部材１２の回転をこの板ばね
３０，３０で吸収できるようになっている。
【００２０】また、固定部材１０に設けられた一対の第
１のクランプ部材１４Ａ，１４Ｂには、例えば５”×
５”，６”×６”，７”×７”等のサイズの異なる複数
の被処理材６の一辺の両隅部が載る間隔に、また、可動
部材１２に設けられた一対の第２のクランプ部材１６
Ａ，１６Ｂには、前記５”×５”，６”×６”，７”×
７”等のサイズの異なる複数の被処理材６の前記一辺に
対向する辺の両隅部が載る間隔に、それぞれ５”×５”
用，６”×６”用，７”×７”用のクランプ基準片部４
０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃを、それぞれ可動部材１２と固定
部材１０に向けて階段状に形成したものとなっている。
１のクランプ部材１４Ａ，１４Ｂには、例えば５”×
５”，６”×６”，７”×７”等のサイズの異なる複数
の被処理材６の一辺の両隅部が載る間隔に、また、可動
部材１２に設けられた一対の第２のクランプ部材１６
Ａ，１６Ｂには、前記５”×５”，６”×６”，７”×
７”等のサイズの異なる複数の被処理材６の前記一辺に
対向する辺の両隅部が載る間隔に、それぞれ５”×５”
用，６”×６”用，７”×７”用のクランプ基準片部４
０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃを、それぞれ可動部材１２と固定
部材１０に向けて階段状に形成したものとなっている。
【００２１】また、第１のクランプ部材１４Ａ，１４Ｂ
及び第２のクランプ部材１６Ａ，１６Ｂには、図２及び
図３に示すように、前記クランプ基準片部４０Ａ，４０
Ｂ，４０Ｃの上面に、真空チャック４２の真空吸着溝
（真空ポート）４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃが形成されてい
る。そして、これら真空吸着溝４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃ
に連通する真空経路４６Ａ，４６Ｂ，４６Ｃは、ソレノ
イドバルブ４８によって選択的に切換えられる様になっ
ており、被処理材６の四隅が載った所定の真空吸着溝４
４Ａ，４４Ｂ，あるいは４４Ｃのいずれか１つが負圧と
なり、被処理材６の四隅を吸着保持するようになってい
る。
及び第２のクランプ部材１６Ａ，１６Ｂには、図２及び
図３に示すように、前記クランプ基準片部４０Ａ，４０
Ｂ，４０Ｃの上面に、真空チャック４２の真空吸着溝
（真空ポート）４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃが形成されてい
る。そして、これら真空吸着溝４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃ
に連通する真空経路４６Ａ，４６Ｂ，４６Ｃは、ソレノ
イドバルブ４８によって選択的に切換えられる様になっ
ており、被処理材６の四隅が載った所定の真空吸着溝４
４Ａ，４４Ｂ，あるいは４４Ｃのいずれか１つが負圧と
なり、被処理材６の四隅を吸着保持するようになってい
る。
【００２２】図４は７″×７″の大きなサイズの被処理
材６を固定した場合を示し、第１のクランプ部材１４
Ａ，１４Ｂ及び第２のクランプ部材１６Ａ，１６Ｂのそ
れぞれのクランプ基準片部４０Ａ…を利用して固定して
いる。
材６を固定した場合を示し、第１のクランプ部材１４
Ａ，１４Ｂ及び第２のクランプ部材１６Ａ，１６Ｂのそ
れぞれのクランプ基準片部４０Ａ…を利用して固定して
いる。
【００２３】図５は５″×５″の小さなサイズの被処理
材６を固定した場合を示し、第１のクランプ部材１４
Ａ，１４Ｂ及び第２のクランプ部材１６Ａ，１６Ｂのそ
れぞれのクランプ基準片部４０Ｃ…を利用して固定して
いる。
材６を固定した場合を示し、第１のクランプ部材１４
Ａ，１４Ｂ及び第２のクランプ部材１６Ａ，１６Ｂのそ
れぞれのクランプ基準片部４０Ｃ…を利用して固定して
いる。
【００２４】また、図示しないが６″×６″の中間サイ
ズの被処理材６を固定する場合には、第１のクランプ部
材１４Ａ，１４Ｂ及び第２のクランプ部材１６Ａ，１６
Ｂのそれぞれのクランプ基準片部４０Ｂ…を利用して固
定するものとなる。
ズの被処理材６を固定する場合には、第１のクランプ部
材１４Ａ，１４Ｂ及び第２のクランプ部材１６Ａ，１６
Ｂのそれぞれのクランプ基準片部４０Ｂ…を利用して固
定するものとなる。
【００２５】このように、この実施例にあっては、サイ
ズの異なる複数種の被処理材６を、第１のクランプ部材
１４Ａ，１４Ｂ及び第２のクランプ部材１６Ａ，１６Ｂ
のそれぞれ専用のクランプ基準片部４０Ａ，４０Ｂ，４
０Ｃを利用して、その４隅近傍を固定できるようにした
から、例えペリクル５０付きの被処理材６でもクランプ
部材１４Ａ，１４Ｂ，１６Ａ，１６Ｂとペリクル５０と
の干渉が無く確実に固定することが可能となるものであ
る。
ズの異なる複数種の被処理材６を、第１のクランプ部材
１４Ａ，１４Ｂ及び第２のクランプ部材１６Ａ，１６Ｂ
のそれぞれ専用のクランプ基準片部４０Ａ，４０Ｂ，４
０Ｃを利用して、その４隅近傍を固定できるようにした
から、例えペリクル５０付きの被処理材６でもクランプ
部材１４Ａ，１４Ｂ，１６Ａ，１６Ｂとペリクル５０と
の干渉が無く確実に固定することが可能となるものであ
る。
【００２６】次に、図６を参照して、クランプ部材１４
Ａ，１４Ｂ，１６Ａ，１６Ｂを介して上述のように固定
される被処理材６の回転位置を微調整する場合について
説明する。
Ａ，１４Ｂ，１６Ａ，１６Ｂを介して上述のように固定
される被処理材６の回転位置を微調整する場合について
説明する。
【００２７】左右のモータ２６Ａ，２６Ｂを回転方向が
互いに逆になるように回転させることで、左右のボール
ネジ２４Ａ，２４Ｂを相反する方向に回転させ、ボール
ネジ２４Ａ，２４Ｂに螺合されたナット部材２８Ａ，２
８Ｂを矢印で示すように相反する方向に移動させる。な
お、この時、固定部材１０側のクランプ基準片部４０
Ａ，４０Ａは被処理材６をクランプしていない。
互いに逆になるように回転させることで、左右のボール
ネジ２４Ａ，２４Ｂを相反する方向に回転させ、ボール
ネジ２４Ａ，２４Ｂに螺合されたナット部材２８Ａ，２
８Ｂを矢印で示すように相反する方向に移動させる。な
お、この時、固定部材１０側のクランプ基準片部４０
Ａ，４０Ａは被処理材６をクランプしていない。
【００２８】これにより、可動部材１２を回転し、可動
部材１２に取付けられたクランプ基準片部４０Ａ，４０
Ａにクランプされた被処理材６を微小回転させることに
なる。
部材１２に取付けられたクランプ基準片部４０Ａ，４０
Ａにクランプされた被処理材６を微小回転させることに
なる。
【００２９】必要な回転量Θは極少量であるため、対向
する固定部材１０に取付けられたクランプ部材１６Ａ，
１６Ｂのクランプ基準片部４０Ａ，４０Ａからはずれる
事はない。
する固定部材１０に取付けられたクランプ部材１６Ａ，
１６Ｂのクランプ基準片部４０Ａ，４０Ａからはずれる
事はない。
【００３０】なお、上述の一実施例の説明において、ク
ランプ部材１４Ａ，１４Ｂ，１６Ａ，１６Ｂに、５″×
５″用，６″×６″用，７″×７″用の３種のクランプ
基準片部４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃを形成したものについ
て説明したが、これに限らず、他のサイズの被処理材６
も同様に専用のクランプ基準を設定することができるこ
とは勿論である。その他、本発明は本発明の要旨を変え
ない範囲で種々変形実施可能なことは勿論である。
ランプ部材１４Ａ，１４Ｂ，１６Ａ，１６Ｂに、５″×
５″用，６″×６″用，７″×７″用の３種のクランプ
基準片部４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃを形成したものについ
て説明したが、これに限らず、他のサイズの被処理材６
も同様に専用のクランプ基準を設定することができるこ
とは勿論である。その他、本発明は本発明の要旨を変え
ない範囲で種々変形実施可能なことは勿論である。
【００３１】［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、サイズの異なる
複数種の被処理材が固定可能で、しかも、ペリクル付の
四角形の被処理材でも問題なく固定できる被処理材の固
定装置を提供することができるといった効果を奏する。
複数種の被処理材が固定可能で、しかも、ペリクル付の
四角形の被処理材でも問題なく固定できる被処理材の固
定装置を提供することができるといった効果を奏する。
【図１】本発明の被処理材の固定装置の一実施例を示す
平面図。
平面図。
【図２】同実施例の要部であるクランプ部材を示す一部
切欠した側面図。
切欠した側面図。
【図３】同実施例の要部であるクランプ部材を示す平面
図。
図。
【図４】同実施例の大きなサイズの被処理材を固定した
状態を示す平面図。
状態を示す平面図。
【図５】同実施例の小さなサイズの被処理材を固定した
状態を示す平面図。
状態を示す平面図。
【図６】同実施例の被処理材の回転位置を微調整する場
合を示す平面図。
合を示す平面図。
【図７】従来例の大きなサイズの被処理材を固定した状
態を示す平面図。
態を示す平面図。
【図８】従来例の小さなサイズの被処理材を固定した状
態を示す平面図。
態を示す平面図。
【図９】従来例の被処理材を固定した状態を示す要部の
側面図。
側面図。
【図１０】従来例のペリクル付き被処理材を固定しよう
とした場合の不具合を示す説明図。
とした場合の不具合を示す説明図。
１…処理ステージ、６…被処理材、８…固定装置、１０
…固定部材、１２…可動部材、１４Ａ，１４Ｂ…第１の
クランプ部材、１６Ａ，１６Ｂ…第２のクランプ部材、
１８…可動部材移動機構、２０，２２…軸受部材、２４
Ａ，２４Ｂ…ボールネジ、２６Ａ，２６Ｂ…モータ、２
８Ａ，２８Ｂ…ナット部材、３０，３０…板ばね（連結
部材）、４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ…クランプ基準片部、
４２…真空チャック、４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃ…真空吸
着溝、４６Ａ，４６Ｂ，４６Ｃ…真空経路、４８…ソレ
ノイドバルブ、５０…ペリクル。
…固定部材、１２…可動部材、１４Ａ，１４Ｂ…第１の
クランプ部材、１６Ａ，１６Ｂ…第２のクランプ部材、
１８…可動部材移動機構、２０，２２…軸受部材、２４
Ａ，２４Ｂ…ボールネジ、２６Ａ，２６Ｂ…モータ、２
８Ａ，２８Ｂ…ナット部材、３０，３０…板ばね（連結
部材）、４０Ａ，４０Ｂ，４０Ｃ…クランプ基準片部、
４２…真空チャック、４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃ…真空吸
着溝、４６Ａ，４６Ｂ，４６Ｃ…真空経路、４８…ソレ
ノイドバルブ、５０…ペリクル。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 B23Q 3/06 301 H01L 21/027 G03F 7/20 521
Claims (2)
- 【請求項１】四角形の被処理材を処理ステージ上に固定
する被処理材の固定装置であって、 前記処理ステージ上に互いに対向して設けられた固定部
材及び可動部材と、 前記固定部材に設けられ、かつ、サイズの異なる複数の
被処理材の互いに対向する二辺のうちの一辺の両隅部が
各サイズ毎にそれぞれ載る間隔に複数のクランプ基準片
部を前記可動部材に向けて階段状に形成してなる一対の
第１のクランプ部材と、 前記可動部材に設けられ、かつ、サイズの異なる複数の
被処理材の前記二辺のうちの他の一辺の両隅部が各サイ
ズ毎にそれぞれ載る間隔に複数のクランプ基準片部を前
記固定部材に向けて階段状に形成してなる一対の第２の
クランプ部材と、 前記第１のクランプ部材と第２のクランプ部材との間隔
が複数の被処理材のサイズに合った間隔となるように前
記可動部材を移動させるための可動部材移動機構と、 を具備してなることを特徴とする被処理材の固定装置。 - 【請求項２】前記第１，第２のクランプ部材の各クラン
プ基準片部に、それぞれ真空経路と連通する真空吸着溝
が形成されていることを特徴とする請求項１記載の被処
理材の固定装置。
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1995
- 1995-01-30 JP JP1292795A patent/JP3253226B2/ja not_active Expired - Fee Related
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