JP3250320B2 - 磁気遮蔽ハウジングボックス - Google Patents
磁気遮蔽ハウジングボックスInfo
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- JP3250320B2 JP3250320B2 JP11977093A JP11977093A JP3250320B2 JP 3250320 B2 JP3250320 B2 JP 3250320B2 JP 11977093 A JP11977093 A JP 11977093A JP 11977093 A JP11977093 A JP 11977093A JP 3250320 B2 JP3250320 B2 JP 3250320B2
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- Japan
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- housing box
- magnetic shielding
- housing
- electron beam
- shielding housing
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- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子線露光装置などが
照射する電子線の進路妨害をする外部磁場を遮断する、
磁気遮蔽ハウジングボックスに関する。
照射する電子線の進路妨害をする外部磁場を遮断する、
磁気遮蔽ハウジングボックスに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体素子の高密度化に伴い、レ
チクルの上にサブミクロンの回路パターンを精度よく形
成する技術が必要とされている。このレチクル上に回路
パターンを形成する方法としては、電子線露光装置によ
り、レジスト上に所望の回路パターン形状に電子線を照
射する方法が一般的に用いられている。この際、電子線
露光装置が磁場の中に存在する場合には、照射する電子
線の進路が磁場の影響を受けることになり、曲げられて
所定の進路から外れてしまい、従って、レジスト上に所
望の回路パターンが精度よく形成することができない。
このような外部磁場による障害を回避する目的で、電子
線露光装置などの装置及び作業場全体を、パーマロイ等
の高透磁性材料で構成された部屋（いわゆる磁気遮蔽
室）に設置することが一般的に行われている。
チクルの上にサブミクロンの回路パターンを精度よく形
成する技術が必要とされている。このレチクル上に回路
パターンを形成する方法としては、電子線露光装置によ
り、レジスト上に所望の回路パターン形状に電子線を照
射する方法が一般的に用いられている。この際、電子線
露光装置が磁場の中に存在する場合には、照射する電子
線の進路が磁場の影響を受けることになり、曲げられて
所定の進路から外れてしまい、従って、レジスト上に所
望の回路パターンが精度よく形成することができない。
このような外部磁場による障害を回避する目的で、電子
線露光装置などの装置及び作業場全体を、パーマロイ等
の高透磁性材料で構成された部屋（いわゆる磁気遮蔽
室）に設置することが一般的に行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
場合には以下に述べるような問題がある。 （１）部屋全体が高透磁性材料から構成されている磁気
遮蔽室は一般的に製造費用が高価である。 （２）電子線露光装置などが当初は、一般の部屋に設置
されており、後から磁気遮蔽設備を設けようとすると、
当初の部屋が狭い場合には、その中に新たに磁気遮蔽室
を設けることが困難である。 （３）電子線露光装置などの上端と磁気遮蔽室の天井面
との間隔が狭いと、電子線露光装置の保全の目的で、電
子銃を上方に引き抜いて交換すること等の保全が困難で
ある。
場合には以下に述べるような問題がある。 （１）部屋全体が高透磁性材料から構成されている磁気
遮蔽室は一般的に製造費用が高価である。 （２）電子線露光装置などが当初は、一般の部屋に設置
されており、後から磁気遮蔽設備を設けようとすると、
当初の部屋が狭い場合には、その中に新たに磁気遮蔽室
を設けることが困難である。 （３）電子線露光装置などの上端と磁気遮蔽室の天井面
との間隔が狭いと、電子線露光装置の保全の目的で、電
子銃を上方に引き抜いて交換すること等の保全が困難で
ある。
【０００４】これらの問題に対して本発明は、安価であ
り、しかも電子線露光装置などの保全が容易に行える磁
気遮蔽設備を提供するために、一般の部屋に設置されて
いる電子線露光装置の周囲を覆って密閉し、しかも装置
の保全の目的で電子銃を上方に引き抜いて交換すること
等が容易にでき、かつ外部磁場を遮断する磁気遮蔽ハウ
ジングボックスを提供することにある。
り、しかも電子線露光装置などの保全が容易に行える磁
気遮蔽設備を提供するために、一般の部屋に設置されて
いる電子線露光装置の周囲を覆って密閉し、しかも装置
の保全の目的で電子銃を上方に引き抜いて交換すること
等が容易にでき、かつ外部磁場を遮断する磁気遮蔽ハウ
ジングボックスを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに本発明は、電子線露光装置などを密閉し、照射する
電子線が外部磁場によって所定の進路から外れることを
防止する磁気遮蔽ハウジングボックスにおいて、該磁気
遮蔽ハウジングボックスは、少なくとも２個以上に分割
されたハウジングボックスと、周縁の少なくとも２側壁
に通気孔(45)を有する床盤とから形成され、該ハウジン
グボックスの各々が左右にスライド移動を可能とした構
成からなる前記磁気遮蔽ハウジングボックスが、高透磁
性材料で構成されていることを特徴とする電子線露光装
置などの磁気遮蔽ハウジングボックスである。また、こ
の磁気遮蔽ハウジングボックスを構成する高透磁性材料
が、パーマロイ（ニッケルと鉄の合金）からなることを
特徴とする。
めに本発明は、電子線露光装置などを密閉し、照射する
電子線が外部磁場によって所定の進路から外れることを
防止する磁気遮蔽ハウジングボックスにおいて、該磁気
遮蔽ハウジングボックスは、少なくとも２個以上に分割
されたハウジングボックスと、周縁の少なくとも２側壁
に通気孔(45)を有する床盤とから形成され、該ハウジン
グボックスの各々が左右にスライド移動を可能とした構
成からなる前記磁気遮蔽ハウジングボックスが、高透磁
性材料で構成されていることを特徴とする電子線露光装
置などの磁気遮蔽ハウジングボックスである。また、こ
の磁気遮蔽ハウジングボックスを構成する高透磁性材料
が、パーマロイ（ニッケルと鉄の合金）からなることを
特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明の磁気遮蔽ハウジングボックスは、高透
磁性材料により構成されているので、照射する電子線の
進路が外部磁場の影響を受けて、所定の進路より外れる
ことを防止することができ、しかも、この磁気遮蔽ハウ
ジングボックスが、左右方向に開く２個以上のハウジン
グからなり、このハウジングボックスが左右方向にスラ
イド移動するので、電子線露光装置を開放し、電子銃等
を上方に引き抜いて交換する等ができるので保守、保全
を容易にする。
磁性材料により構成されているので、照射する電子線の
進路が外部磁場の影響を受けて、所定の進路より外れる
ことを防止することができ、しかも、この磁気遮蔽ハウ
ジングボックスが、左右方向に開く２個以上のハウジン
グからなり、このハウジングボックスが左右方向にスラ
イド移動するので、電子線露光装置を開放し、電子銃等
を上方に引き抜いて交換する等ができるので保守、保全
を容易にする。
【０００７】
【実施例】図に基づき実施例を説明する。図１は、本発
明の実施例における磁気遮蔽ハウジングボックスの構成
部材の一例を示す説明図である。本発明の磁気遮蔽ハウ
ジングボックス(50)の構成は、図１に示すように、大き
く分けて、左ハウジング(10)、中央ハウジング(20)、右
ハウジング(30)と底盤(40)と各ハウジングの平行移動用
のガイドレール(60)から構成されている。
明の実施例における磁気遮蔽ハウジングボックスの構成
部材の一例を示す説明図である。本発明の磁気遮蔽ハウ
ジングボックス(50)の構成は、図１に示すように、大き
く分けて、左ハウジング(10)、中央ハウジング(20)、右
ハウジング(30)と底盤(40)と各ハウジングの平行移動用
のガイドレール(60)から構成されている。
【０００８】図２は、磁気遮蔽ハウジングボックスにお
ける正面からの縦断面図を示すもので、各ハウジングは
前側、後側の２本のガイドレール(60)上に設置されてお
り、ガイドレール(60)上を左右方向にスライド移動可能
になっている。図に示すように、中央ハウジング(20)の
右端と右ハウジング(30)の左端は互いに当接するように
なっており、また、中央ハウジング(20)を左方向にスラ
イド移動させると、中央ハウジング(20)が左ハウジング
(10)の外側面に重なるようになっている。
ける正面からの縦断面図を示すもので、各ハウジングは
前側、後側の２本のガイドレール(60)上に設置されてお
り、ガイドレール(60)上を左右方向にスライド移動可能
になっている。図に示すように、中央ハウジング(20)の
右端と右ハウジング(30)の左端は互いに当接するように
なっており、また、中央ハウジング(20)を左方向にスラ
イド移動させると、中央ハウジング(20)が左ハウジング
(10)の外側面に重なるようになっている。
【０００９】また、図３は、上述の図２のＡ−Ａ線断面
図を示すもので、中央ハウジング(20)と右ハウジング(3
0)の前面には、電子線露光装置(70)にて描画するレチク
ル用ガラス基板を出し入れできるように出入口(21,21a)
を設け、その一部分が開閉可能になっている。更に、図
３のＢ部部分斜視図に示すように、左右及び中央ハウジ
ングボックスの正面側及び裏面側の側壁は、床部に設け
たガイドレール(60)によって平行移動できるようになっ
ているので、ハウジングボックスの開閉は容易に行うこ
とができる。
図を示すもので、中央ハウジング(20)と右ハウジング(3
0)の前面には、電子線露光装置(70)にて描画するレチク
ル用ガラス基板を出し入れできるように出入口(21,21a)
を設け、その一部分が開閉可能になっている。更に、図
３のＢ部部分斜視図に示すように、左右及び中央ハウジ
ングボックスの正面側及び裏面側の側壁は、床部に設け
たガイドレール(60)によって平行移動できるようになっ
ているので、ハウジングボックスの開閉は容易に行うこ
とができる。
【００１０】図４は、磁気遮蔽ハウジングボックスを出
入口側から見た正面図で、出入口(21,21a)は中央ハウジ
ング(20)と右ハウジング(30)の正面上方に取り付けら
れ、又ハウジングの開閉の際２つに分割できるようにな
っている。
入口側から見た正面図で、出入口(21,21a)は中央ハウジ
ング(20)と右ハウジング(30)の正面上方に取り付けら
れ、又ハウジングの開閉の際２つに分割できるようにな
っている。
【００１１】また、図２に示すように、底盤(40)は、左
ハウジング(10)、中央ハウジング(20)、右ハウジング(3
0)の下部に位置し、周縁に側壁を設け、上面が開いた箱
状の形状となっており、左ハウジング(10)、中央ハウジ
ング(20)、右ハウジング(30)を閉じれば電子線露光装置
(70)が完全に覆われる構造になっている。但し、左ハウ
ジング(10)、中央ハウジング(20)、右ハウジング(30)の
天井面と底盤(40)の側面には、通風のための多数の通気
孔が設けられている。これは、電子線露光装置(70)を無
塵環境で作動させるために、上方より下方に流れる無塵
の空気を磁気遮蔽ハウジングボックスの中に通すことが
目的である。この通気孔の大きさ、個数については外部
磁場の遮蔽効果を低下させない程度にする。
ハウジング(10)、中央ハウジング(20)、右ハウジング(3
0)の下部に位置し、周縁に側壁を設け、上面が開いた箱
状の形状となっており、左ハウジング(10)、中央ハウジ
ング(20)、右ハウジング(30)を閉じれば電子線露光装置
(70)が完全に覆われる構造になっている。但し、左ハウ
ジング(10)、中央ハウジング(20)、右ハウジング(30)の
天井面と底盤(40)の側面には、通風のための多数の通気
孔が設けられている。これは、電子線露光装置(70)を無
塵環境で作動させるために、上方より下方に流れる無塵
の空気を磁気遮蔽ハウジングボックスの中に通すことが
目的である。この通気孔の大きさ、個数については外部
磁場の遮蔽効果を低下させない程度にする。
【００１２】また、電子線露光装置(70)が当初、高透磁
性材料で構成されていない一般の部屋に設置されてい
て、後から磁気遮蔽ハウジングボックスを設ける場合
は、底盤(40)の床面のうち、電子線露光装置(70)の脚部
分(72,72) に相当する部分は高透磁性材料で被覆されな
いことになるが、磁気遮蔽効果には実用上の影響は殆ど
ない（図２を参照）。
性材料で構成されていない一般の部屋に設置されてい
て、後から磁気遮蔽ハウジングボックスを設ける場合
は、底盤(40)の床面のうち、電子線露光装置(70)の脚部
分(72,72) に相当する部分は高透磁性材料で被覆されな
いことになるが、磁気遮蔽効果には実用上の影響は殆ど
ない（図２を参照）。
【００１３】更に、電子線露光装置(70)の電子銃(71)を
交換する際は、中央ハウジング(20)をガイドレール(60)
上で左方向にスライド移動させ、右ハウジング(30)をガ
イドレール(60)上で右方向にスライド移動させて、電子
銃(71)上方、前方、及び側方から作業を行なって、電子
銃(71)を上方に引き抜けばよい。従って、左ハウジング
(10)、中央ハウジング(20)、右ハウジング(30)の高さに
ついては、電子銃(71)の高さより僅かに高くするだけで
よいので、磁気遮蔽ハウジングボックスは、コンパクト
な大きさになり、構成する高透磁性材料が少なくてす
み、その結果として磁気遮蔽ハウジングボックスの費用
は安価なものとなる。尚、実施例では、左右方向に開く
ハウジングボックスは３個のハウジングから構成されて
いるが、３個に限定する必要はなく、２個或いは必要に
応じて４個以上のハウジングボックスで構成されていて
もよい。
交換する際は、中央ハウジング(20)をガイドレール(60)
上で左方向にスライド移動させ、右ハウジング(30)をガ
イドレール(60)上で右方向にスライド移動させて、電子
銃(71)上方、前方、及び側方から作業を行なって、電子
銃(71)を上方に引き抜けばよい。従って、左ハウジング
(10)、中央ハウジング(20)、右ハウジング(30)の高さに
ついては、電子銃(71)の高さより僅かに高くするだけで
よいので、磁気遮蔽ハウジングボックスは、コンパクト
な大きさになり、構成する高透磁性材料が少なくてす
み、その結果として磁気遮蔽ハウジングボックスの費用
は安価なものとなる。尚、実施例では、左右方向に開く
ハウジングボックスは３個のハウジングから構成されて
いるが、３個に限定する必要はなく、２個或いは必要に
応じて４個以上のハウジングボックスで構成されていて
もよい。
【００１４】
【発明の効果】本発明の磁気遮蔽ハウジングボックスを
使用することにより、安価で、しかも電子線露光装置の
保守保全が容易になる。また、既に一般の部屋に電子線
露光装置が設置されている場合でも、後から装置だけを
容易に密閉することができる磁気遮蔽ハウジングボック
スであり、外部磁場も完全に遮断することができる。
使用することにより、安価で、しかも電子線露光装置の
保守保全が容易になる。また、既に一般の部屋に電子線
露光装置が設置されている場合でも、後から装置だけを
容易に密閉することができる磁気遮蔽ハウジングボック
スであり、外部磁場も完全に遮断することができる。
【図１】本発明の実施例における磁気遮蔽ハウジングボ
ックスの構成部材の一例を示す説明図である。
ックスの構成部材の一例を示す説明図である。
【図２】本発明の実施例における組み立てられた磁気遮
蔽ハウジングボックスの一例を示す縦断面図である。
蔽ハウジングボックスの一例を示す縦断面図である。
【図３】上記のＡ−Ａ横断面図である。
【図４】本発明の実施例における磁気遮蔽ハウジングボ
ックスの出入口側からの正面図である。
ックスの出入口側からの正面図である。
１０ …左ハウジング ２０ …中央ハウジング ３０ …右ハウジング ４０ …底盤 ４５ …通気孔 ５０ …磁気遮蔽ハウジングボックス ６０ …ガイドレール ７０ …電子線露光装置 ７１ …電子銃 ７２ …装置の脚部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−137396（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−296698（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−297893（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−49001（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−192534（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−124955（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭58−69934（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H05K 9/00 E04B 1/92
Claims (2)
- 【請求項１】電子線露光装置などを覆って、照射する電
子線が外部磁場によって所定の進路から外れることを防
止する磁気遮蔽ハウジングボックスにおいて、該磁気遮
蔽ハウジングボックスは、少なくとも２個以上に分割さ
れたハウジングボックスと、周縁に側壁を有する床盤と
から形成され、該ハウジングボックスの各々が左右にス
ライド移動を可能とした構成からなり、かつ、このハウ
ジングボックスが、高透磁性材料からなることを特徴と
する電子線露光装置などの磁気遮蔽ハウジングボック
ス。 - 【請求項２】前記ハウジングボックスを構成する高透磁
性材料が、パーマロイからなることを特徴とする請求項
１に記載の電子線露光装置などの磁気遮蔽ハウジングボ
ックス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11977093A JP3250320B2 (ja) | 1993-05-21 | 1993-05-21 | 磁気遮蔽ハウジングボックス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11977093A JP3250320B2 (ja) | 1993-05-21 | 1993-05-21 | 磁気遮蔽ハウジングボックス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06334381A JPH06334381A (ja) | 1994-12-02 |
| JP3250320B2 true JP3250320B2 (ja) | 2002-01-28 |
Family
ID=14769776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11977093A Expired - Fee Related JP3250320B2 (ja) | 1993-05-21 | 1993-05-21 | 磁気遮蔽ハウジングボックス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3250320B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001126651A (ja) | 1999-10-22 | 2001-05-11 | Hitachi Ltd | 電子ビーム描画装置 |
| JP6250238B1 (ja) * | 2016-12-26 | 2017-12-20 | 三菱電機株式会社 | 直流遮断器 |
-
1993
- 1993-05-21 JP JP11977093A patent/JP3250320B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06334381A (ja) | 1994-12-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |