JP3248988B2 - サーボ装置 - Google Patents
サーボ装置Info
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Description
置制御に途中で切換えられ、停止時においてサーボロッ
クされるサーボ装置に関するものである。
切換えられモータ停止時にサーボロックされる従来のサ
ーボ装置の構成を示すブロック図である。図において、
19はモータ、20は検出手段、例えば、エンコーダで
ある。このエンコーダ20はモータ19の1回転につき
エンコーダパルス数の2相パルスを発生する機構を内部
に有している。なお、この2相パルスは互いに90°位
相がずれており、それぞれのパルスの立ち上がりと立ち
下がりを用いて4つのパルスが得られるので、エンコー
ダパルス数の4倍の分解能で使用することができる。モ
ータ19の指令回転量および実回転量はこのパルス数で
表現することができる。
号である。この位置指令信号2は、例えば、制御周期当
たりのモータ19の指令回転量で与えられる。図7にお
いては、この位置指令信号2は常に“0”である。3は
微分された形で与えられる位置フィードバック信号であ
り、検出手段20より出力される。この位置フィードバ
ック信号3は、例えば、制御周期当たりのモータ19の
実回転量で与えられる。4は位置指令信号2と位置フィ
ードバック信号3との差を求める減算手段の減算出力で
ある偏差信号、50は偏差信号4を積分する積分手段、
5は積分手段5 0のメモリ50aの内容を示す偏差カウ
ンタ(溜まりパルス)である。6は偏差カウンタ5の出
力信号、7は偏差カウンタ5の出力信号6に位置ループ
ゲイン(Kp)を乗じ位置制御時速度指令信号を作成す
る位置制御演算手段、8は位置制御時速度指令信号であ
る。
り換える切換手段、例えば、スイッチであり、速度制御
処理時にはa側に倒れ、サーボロック処理時、すなわ
ち、位置制御時にはb側に倒れる。10は速度指令制御
手段、11は速度制御時速度指令信号、12は速度指令
信号、13は速度フィードバック信号、14は偏差信
号、15は速度指令信号12と速度フィードバック信号
13との偏差に速度ループゲイン(Kv)を乗じ電流指
令信号を作成する速度制御演算手段、16は電流指令信
号、17は電流指令信号16に基づいてモータ駆動電流
を出力する電流制御手段、18はモータ駆動電流であ
る。なお、速度指令信号12から速度フィードバック信
号13を減ずる減算器と、速度制御演算手段15、およ
び、電流制御手段17より駆動制御手段が構成される。
タの速度制御状態を示す速度線図である。図8におい
て、Aは速度制御から位置制御への切換点、Bは位置制
御時におけるモータの速度変化、Cは減速時定数と定速
運転時の速度とから求められる減速時間、D(斜線部分
の面積)は切り換え時において偏差カウンタに設定され
る値(パルス数)である。
大きい場合の速度線図であり(図9は図8に比べて左右
方向の縮尺率が大きい)、A点が速度制御から位置制御
への切換点、Bがサーボロック処理によるモータの速度
変化、Cが減速時定数による減速時間、D(斜線部分の
面積)が切り換え時において偏差カウンタに設定される
値(パルス数)である。
偏差カウンタ5の初期設定値にもと づく位置制御開始速
度が、切換時におけるモータ速度より高い場合を示す速
度線図であり、Aが切り換え直前のモータ速度、Bが位
置制御開始時のモータ速度、Cが位置制御に切り換えら
れてからのモータ速度変化、D(斜線部分の面積)が切
り換え時において偏差カウンタに設定される初期値(パ
ルス数)である。
上記従来例におけるサーボアンプ装置の速度制御処理動
作を示すフローチャートである。図において、切換前の
速度制御時であれば速度制御時速度指令信号11を作成
し(S41)、さらに、定速運転の始動信号がOFFで
あるか否かを判断する(S42)。このステップS42
において、始動信号がONであると判断した場合には、
上記ステップS41において作成された速度制御時速度
指令信号11が図7に示した速度指令信号12の値とな
りステップS48へ移行する。
OFFであると判断した場合には、さらに、サーボロッ
ク切換速度以下であるか否か、すなわち、図8におい
て、モータ速度がサーボロック切換速度点(図8のA
点)に達したか否かを判断する(S43)。サーボロッ
ク切換速度以下であると判断した場合には、さらに、位
置制御初期設定済みであるか否か、すなわち、偏差カウ
ンタ5に初期設定する動作を行ったか否かを判断する
(S44)。このステップS44において、位置制御初
期設定済みでないと判断した場合には、スイッチ9がb
側に設定され位置制御(サーボロック処理)に切り換わ
り、所定のパラメータに設定された初期値(パルス数)
が偏差カウンタ5に設定され位置制御初期設定済みにな
る(S45)。
した後、あるいは上記ステップS44において、位置制
御初期設定済みであると判断した場合には、位置指令信
号2(常に0)から位置フィードバック信号3を引いた
偏差信号4の積分を行って偏差カウンタ5の更新処理を
実行する(S46)。なお、偏差カウンタ5、すなわ
ち、溜まりパルスは更新処理の都度減少し、モータ19
の停止時には0になる。
ループゲイン7(Kp)を乗じることにより、位置指令
時速度指令信号8を求める(S47)。上記ステップS
42において始動信号がONであると判断した場合、ま
たは、上記ステップS43においてサーボロック切換速
度以下ではないと判断した場合、または、上記ステップ
S47の処理を実行した後において、位置制御時速度指
令信号8から速度フィードバック信号13を引いた値
に、速度ループゲイン15(Kv)を乗じて、電流指令
信号16を求め(S48)、モータ19の減速処理を実
行する。電流制御手段17は、この電流指令信号16に
基づいてモータ19にモータ駆動電流18を供給し(S
49)、モータ19を駆動する。上記ステップS49ま
でを実行した後、再度、上記ステップS41に戻る動作
をサンプリング周期(制御周期)毎に繰り返し実行す
る。
が作成されるため、図8に示した曲線Bのように速度は
変化する。図8に示した斜線部分Dの面積がパラメータ
で設定されたパルス数、すなわち、偏差カウンタ5の初
期値となる。
て、切換速度の代わりにリミットスイッチ等からの信号
(外部位置決め信号)を用いることにより、この信号が
検出されたときの位置から、偏差カウンタ5の初期値で
示される距離だけ移動した位置で停止させることも可能
である。
して、特開平1−197812号公報に開示されている
「定位置停止制御装置」、特開平3−134716号公
報に開示されている「駆動制御装置」、特開平3−11
6206号公報に開示されている「数値制御装置の定位
置停止制御装置における減速制御方法」、特開昭64−
74609号公報に開示されている「加減速制御装
置」、実開昭63−175208号公報に開示されてい
る「サーボ制御装置」がある。
示されるような従来のサーボ装置にあっては、位置制御
に切り換わってからの速度は、偏差カウンタ5に設定さ
れるパルス数(初期値)により決まるため、図9に示す
速度線図のように減速時定数が大きな値に設定されてい
る場合においては、切換速度において減速度が大きく変
化するため機械系に大きな衝撃が生じるという問題点が
あった。
により速度制御から位置制御への切換えを行うと、通常
は切り換え時において、速度制御による速度と偏差カウ
ンタ5に設定された初期値により決まる位置制御開始時
の速度との間に差異が生じ、図10に示す速度線図のよ
うに速度が不連続に変化し、機械伝達系に衝撃が伝わる
という問題点があった。
あって、速度制御から位置制御へ切り換わるサーボロッ
ク切換速度点における速度変化を緩和し、機械系に大き
な衝撃を生じないようにし、安定した制御を行うサーボ
装置を得ることを目的とする。
り速度制御から位置制御へ切換わる際の速度差を解消
し、機械系に大きな衝撃を与えないようにし、安定した
制御を行うサーボ装置を得ることを目的とする。
置は、所定の減速度でモータを減速する速度制御時速度
指令を出力する速度指令制御手段と、前記モータの速度
を検出する検出手段と、前記減速度で減速する微分され
た形で与えられる位置指令と前記検出手段の検出出力と
の差を出力する減算手段と、前回の出力値を記憶するメ
モリを有しこのメモリからの読み出し値と前記減算手段
の出力とを加算することにより前記減算手段の出力を積
分する積分手段と、前記積分手段の積分出力にもとづき
速度指令を算出する位置制御演算手段と、前記速度指令
制御手段の出力および前記位置制御演算手段の出力のい
ずれかを切換えて出力する切換手段と、前記切換手段か
らの出力にもとづき前記モータを駆動する駆動制御手段
と、前記切換手段による切換え後の減速度を任意に設定
する設定手段と、を備え、前記速度指令制御手段からの
速度制御時速度指令が予め設定された切換速度になる
と、前記切換手段が前記速度指令制御手段側から前記位
置制御演算手段側に切換えられるとともに前記駆動制御
手段に前記切換速度を出力する初期値が前記メモリに設
定され、この切換時における前記微分された形で与えら
れる位置指令は前記切換速度である。また、前記設定手
段は、切換え前後の減速度をほぼ同一に設定するもので
ある。
度制御時速度指令を出力する速度指令制御手段と、前記
モータの速度を検出する検出手段と、微分された形で与
えられる位置指令を出力する位置指令制御手段と、前記
位置指令制御手段からの前記微分された形で与えられる
位置指令と前記検出手段の検出出力との差を出力する減
算手段と、前回の出力値を記憶するメモリを有し前記メ
モリからの読み出し値と前記減算手段の出力とを加算す
ることにより前記減算手段の出力を積分する積分手段
と、前記積分手段の積分出力にもとづき位置制御時速度
指令を算出する位置制御演算手段と、前記速度指令制御
手段の出力および前記位置制御演算手段の出力のいずれ
かを切換えて出力する切換手段と、前記切換手段からの
出力にもとづき前記モータを駆動する駆動制御手段と、
前記モータの位置が所定位置にきたことを検出する位置
検出手段と、を備え、前記位置検出手段の検出出力にも
とづき前記切換手段が前記速度指令制御手段側から前記
位置制御演算手段側に切換えられるとともに前記駆動制
御手段に前記切換速度を出力する初期値が前記メモリに
設定され、所定位置からモータの停止位置までの予め設
定された移動量から、前記メモリに設定された初期値に
基づく移動量を減算した結果が、前記位置指令制御手段
からの出力に基づく移動量となるように、微分された形
で与えられる位置指令の減速度を設定するものである。
に基づいて説明する。図1は、このサーボ装置の主要構
成を示すブロック図である。図において、1aは位置指
令制御手段、2は位置指令制御手段1aから出力され、
微分された形で与えられる位置指令信号である。この位
置指令信号2は、例えば、制御周期当たりのモータ19
の指令回転量で与えられる。3は微分された形で与えら
れる位置フィードバック信号であり、検出手段20より
出力される。この位置フィードバック信号3は、例え
ば、制御周期当たりのモータ19の実回転量で与えられ
る。4は位置指令信号2と位置フィードバック信号3と
の偏差信号、50は偏差信号4を積分する積分手段、5
は積分手段50のメモリ50aの内容を示す偏差カウン
タ(溜まりパルス)、6は偏差カウンタ5の出力信号、
7は偏差カウンタ5の出力信号6に位置ループゲイン
(Kp1)を乗じ、位置制御時速度指令信号を作成する
位置制御演算手段である。8は位置制御時速度指令信
号、9は速度制御と位置制御との切り換えを行うスイッ
チであり、速度制御処理時にはa側に、サーボロック処
理時にはb側に切換わる。
段、11は速度制御時速度指令信号、12は速度指令信
号、13は速度フィードバック信号、14は偏差信号、
15は速度指令信号12と速度フィードバック信号13
との偏差に速度ループゲイン(Kv)を乗じて電流指令
信号を作成する速度制御演算手段、16は電流指令信
号、17は電流指令信号16に基づきモータ駆動電流を
出力する電流制御手段、18はモータ駆動電流、19は
サーボ装置により制御されるモータ、20はモータ19
の回転を検出するエンコーダである。
施の形態1によるサーボ装置の速度線図であり、Aは速
度制御から位置制御への切換点、Bは位置制御の入力と
して作成する位置指令信号の変化、Cはモータの速度変
化、Dは減速時定数による減速時間である。
作を示すフローチャートである。図において、速度制御
時であれば速度制御時速度指令信号11を作成し(S
1)、始動信号がOFFであるか否かを判断する(S
2)。このステップS2にて、始動信号がOFFである
と判断した場合には、さらに、サーボロック切換速度以
下であるか否か、すなわち、モータ速度が図2に示され
るA点のサーボロック切換点に達したか否かを判断する
(S3)。サーボロック切換速度以下であると判断した
場合には、位置制御初期設定済みであるか否かを判断す
る(S4)。
設定済みでないと判断した場合には、位置指令制御手段
1aが出力する微分された形で与えられる位置指令信号
の初期値を図2のA点での速度に設定する(S5)。サ
ンプリング周期当たりのパルス数で表現した初期値は、
位置指令制御手段1aにより次式により算出される。 A点における位置指令信号 =サーボロック切換時速度×エンコーダパルス数 ×4×サンプリング周期×1/60 サーボロック切換時速度:rpm サンプリング周期:sec
切換えられ、偏差カウンタ5に初期値(パルス数)が設
定され位置制御初期設定済みになる(S6)。この初期
値(設定偏差量)は次式に基づいて算出される。 設定偏差量=(サーボロック切換時速度×エンコーダパルス数×4) /(60×位置ループゲイン)
値から微分された形で与えられる位置指令変化量分だけ
減算して更新する位置指令の入力処理を実行し(S
7)、さらに、偏差カウンタ5の更新処理を実行する
(S8)。なお、この場合における微分された形で与え
られる位置指令変化量は、微分された形で与えられる位
置指令の減速度が速度制御時の減速度と同じになる変化
量とし、次式により算出される。 位置指令変化量={((定格回転数×サンプリング周期)/減速時定数)× エンコーダパルス数×4×サンプリング周期}/60 定格回転数:r/min 減速時定数:secなお、減速時定数はモータ19が速度制御時の減速度で
減速した場合において定格回転数から停止するまでに要
する時間 である。
ループゲイン7(Kp)を乗じることにより、位置制御
時速度指令信号8を求め(S9)、さらに、この位置制
御時速度指令信号8から速度フィードバック信号13を
引いた値に、速度ループゲイン15(Kv)を乗じて、
電流指令信号16を求める(S10)。次に、電流制御
手段17は、この電流指令信号16に基づいてモータ1
9にモータ駆動電流18を供給することにより(S1
1)、モータ19を駆動する。
の微分された形で与えられる位置指令信号の値は図2の
破線Bのように変化し、図2の破線Cのような速度曲線
を描いてモータ19は停止するので、サーボロック切換
点での速度差や急激な速度変化の発生を回避することが
できる。従って、この実施の形態1によれば、サーボロ
ック処理時における速度変動が緩やかになり、停止直前
での機械系へのショックを大幅に低減させるため、安定
した制御が実現する。
られる位置指令の減速度を任意に設定することにより、
モータ停止までの停止時間を調整することも可能であ
る。
ば、外部速度指令入力による速度制御時に指令速度がサ
ーボロック切換速度相当であることを検出して位置制御
に切換えるサーボ装置において、切換時に速度および減
速度に変化がなくなめらかに切換えられ、停止時も減速
度に急変がなくなめらかにモータ19を停止させること
ができる。
要構成を示すブロック図である。図において、1bは位
置指令制御手段である。他の機能要素は上記図1に示し
た実施の形態1におけるものと同一であり、同じ符号を
付して、その説明を省略する。
施の形態2によるサーボ装置の速度線図であり、Aは速
度制御から位置制御への切換点、Bは微分された形で与
えられる位置指令信号の変化、Cはモータの速度変化、
D(斜線部分の面積)はA点からのモータ停止距離(パ
ルス数で示される)である。
作を示すフローチャートである。図において、速度制御
時であれば速度制御時速度指令信号11を作成し(S2
1)、始動信号がOFFであるか否かを判断する(S2
2)。このステップS22において、始動信号がOFF
であると判断した場合には、さらに、外部位置決め信号
を検出したか否か、すなわち、図5において、モータ速
度がA点に達したか否かをリミットスイッチ等からの信
号(外部位置決め信号)を検出したか否かにより判断す
る(S23)。リミットスイッチ等からの信号(外部位
置決め信号)を検出したと判断した場合にはスイッチ9
をb側に切換え、さらに、位置制御初期設定済みである
か否かを判断する(S24)。
期設定済みでないと判断した場合には、このとき位置指
令制御手段1aから出力される微分された形で与えられ
る位置指令信号を図5のA点での速度に設定する(S2
5)。このA点の速度は、位置指令制御手段1bにより
上記の実施の形態1において示した式に基づいて算出さ
れる。次に、スイッチ9がb側(位置制御側)に切換え
られ、偏差カウンタ5に初期値(設定偏差量)が設定さ
れ、位置制御初期設定済みになる(S26)。この設定
偏差量も、上記の実施の形態1において示した式に基づ
いて算出される。
与えられる位置指令信号を微分された形で与えられる位
置指令変化量分だけ減算して更新する処理)を実行し
(S27)、さらに、偏差カウンタ5の更新処理を実行
する(S28)。この場合における位置指令変化量は、
次式に基づき算出される。 位置指令変化量 =A点位置指令/ {(モータ停止距離設定値−A点で設定される初期偏差)×2/ (A点位置指令×サンプリング周期(sec))}すなわち、図5において、曲線Cと、破線Bと、速度0
の直線とで囲まれる面積が偏差カウンタ5の初期値にな
り、曲線Cと、A点を通る垂直な破線と、速度0の直線
とで囲まれる面積がモータ停止距離設定値(A点からモ
ータが停止するまでの距離)になるように、微分された
形で与えられる位置指令変化量(制御周期当たりの微分
された形で与えられる位置指令値の変化量)が決められ
る。
ループゲイン7(Kp)を乗じることにより、位置制御
時速度指令信号8を求め(S29)、この位置制御時速
度指令信号8から速度フィードバック信号13を引いた
値に、速度ループゲイン15(Kv)をかけて、電流指
令信号16を求める(S30)。電流制御手段17は、
この電流指令信号16に基づきモータ19にモータ駆動
電流18を供給して(S31)、モータ19を駆動す
る。
置指令信号の減速度を変化させることにより、モータ速
度は図5に示すように速度制御から位置制御に連続して
変化し、その後、線Cのように変化する。面積D(斜線
部分)がパラメータに設定されたモータ停止距離に等し
いパルス数になるので、モータ停止位置は常に一定にな
る。
て大きな速度変化が生じないので機 械系に大きな衝撃が
発生することがなく、停止時も減速度に急変がなくなめ
らかにモータ19を所定の停止位置にサーボロック状態
で停止させることができる。
速度指令制御手段が所定の減速度でモータを減速する速
度制御時速度指令を出力し、検出手段がモータの速度を
検出し、減算手段がこの減速度で減速する微分された形
で与えられる位置指令と検出手段の検出出力との差を出
力し、積分手段が前回の出力値を記憶するメモリからの
読み出し値と減算手段の出力とを加算することにより減
算手段の出力を積分し、位置制御演算手段が積分手段の
積分出力にもとづき速度指令を算出し、切換手段が速度
指令制御手段の出力および位置制御演算手段の出力のい
ずれかを切換えて出力し、駆動制御手段が切換手段から
の出力にもとづきモータを駆動し、速度指令制御手段か
らの速度制御時速度指令が予め設定された切換速度にな
ると、切換手段が速度指令制御手段側から位置制御演算
手段側に切換えられるとともに駆動制御手段に切換速度
を出力する初期値がメモリに設定され、この切換時にお
ける微分された形で与えられる位置指令を上記切換速度
にしたので、速度制御から位置制御に切橡わり時におい
て速度および減速度に変化がないので機械系に衝撃が発
生することがなく、安定にモータをサーボロック状態で
停止できる効果がある。
モータを減速する速度制御時速度指令を出力し、検出手
段がモータの速度を検出し、位置指令制御手段が微分さ
れた形で与えられる位置指令を出力し、減算手段が位置
指令制御手段からの微分された形で与えられる位置指令
と検出手段の検出出力との差を出力し、積分手段が前回
の出力値を記憶するメモリからの読み出し値と減算手段
の出力とを加算することにより減算手段の出力を積分
し、位置制御演算手段が積分手段の積分出力にもとづき
位置制御時速度指令を算出し、切換手段が速度指令制御
手段の出力および位置制御演算手段の出力のいずれかを
切換えて出力し、駆動制御手段が切換手段からの出力に
もとづきモータに駆動電流を流し、位置検出手段がモー
タの位置が 所定位置にきたことを検出し、位置検出手段
の検出出力にもとづき切換手段が速度指令制御手段側か
ら位置制御演算手段側に切換えられるとともに駆動制御
手段に切換速度を出力する初期値がメモリに設定され、
この切換時における微分された形で与えられる位置指令
を上記切換速度にし、上述の所定位置からモータの停止
位置までの予め設定された移動量からメモリの初期値に
もとづく移動量を減算した結果が位置指令制御手段から
の出力にもとづく移動量になるように微分された形で与
えられる位置指令の減速度を設定するようにしたので、
切換時において速度に変化がなく減速度に大きな変化も
生じないので機械系に大きな衝撃が発生することがな
く、安定にモータを所定の停止位置にサーボロック状態
で停止できる効果がある。
構成を示すブロック図である。
る。
ャートである。
構成を示すブロック図である。
る。
ャートである。
ある。
い場合の速度線図である。
位置制御への切換時に、偏差カウンタの初期設定値にも
とづく位置制御開始速度が切換時のモータ速度より高い
場合の速度線図である。
ートである。
位置指令信号,4偏差信号,5 偏差カウンタ,8
位置制御時速度指令信号,9 スイッチ,10速度指令
制御手段,19 モータ
Claims (3)
- 【請求項1】 所定の減速度でモータを減速する速度制
御時速度指令を出力する速度指令制御手段と、前記 モータの速度を検出する検出手段と、前記 減速度で減速する微分された形で与えられる位置指
令と前記検出手段の検出出力との差を出力する減算手段
と、 前回の出力値を記憶するメモリを有しこのメモリからの
読み出し値と前記減算手段の出力とを加算することによ
り前記減算手段の出力を積分する積分手段と、前記 積分手段の積分出力にもとづき速度指令を算出する
位置制御演算手段と、前記 速度指令制御手段の出力および前記位置制御演算手
段の出力のいずれかを切換えて出力する切換手段と、前記 切換手段からの出力にもとづき前記モータを駆動す
る駆動制御手段と、前記切換手段による切換え後の減速度を任意に設定する
設定手段と、 を備え、前記 速度指令制御手段からの速度制御時速度指令が予め
設定された切換速度になると、前記切換手段が前記速度
指令制御手段側から前記位置制御演算手段側に切換えら
れるとともに前記駆動制御手段に前記切換速度を出力す
る初期値が前記メモリに設定され、この切換時における
前記微分された形で与えられる位置指令は前記切換速度
であることを特徴とするサーボ装置。 - 【請求項2】 前記設定手段は、切換え前後の減速度を
ほぼ同一に設定することを特徴とする請求項1に記載の
サーボ装置。 - 【請求項3】 所定の減速度でモータを減速する速度制
御時速度指令を出力する速度指令制御手段と、前記 モータの速度を検出する検出手段と、 微分された形で与えられる位置指令を出力する位置指令
制御手段と、前記 位置指令制御手段からの前記微分された形で与えら
れる位置指令と前記検出手段の検出出力との差を出力す
る減算手段と、 前回の出力値を記憶するメモリを有し前記メモリからの
読み出し値と前記減算手段の出力とを加算することによ
り前記減算手段の出力を積分する積分手段と、前記 積分手段の積分出力にもとづき位置制御時速度指令
を算出する位置制御演算手段と、前記 速度指令制御手段の出力および前記位置制御演算手
段の出力のいずれかを切換えて出力する切換手段と、前記 切換手段からの出力にもとづき前記モータを駆動す
る駆動制御手段と、前記 モータの位置が所定位置にきたことを検出する位置
検出手段と、 を備え、前記 位置検出手段の検出出力にもとづき前記切換手段が
前記速度指令制御手段側から前記位置制御演算手段側に
切換えられるとともに前記駆動制御手段に前記切換速度
を出力する初期値が前記メモリに設定され、所定位置からモータの停止位置までの予め設定された移
動量から、前記メモリに設定された初期値に基づく移動
量を減算した結果が、前記位置指令制御手段からの出力
に基づく移動量となるように、微分された形で与えられ
る位置指令の減速度を設定する ことを特徴とするサーボ
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15503493A JP3248988B2 (ja) | 1993-06-25 | 1993-06-25 | サーボ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP15503493A JP3248988B2 (ja) | 1993-06-25 | 1993-06-25 | サーボ装置 |
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