JP3171860B2

JP3171860B2 - サーボ制御システム

Info

Publication number: JP3171860B2
Application number: JP00656591A
Authority: JP
Inventors: 明島田; 典夫横島
Original assignee: セイコーインスツルメンツ株式会社
Priority date: 1991-01-23
Filing date: 1991-01-23
Publication date: 2001-06-04
Anticipated expiration: 2016-06-04
Also published as: JPH04238509A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、産業用ロボットシステ
ムなどのサーボ制御システムに関するものであり、特
に、状態量を算出するオブザーバを用いるサーボ制御シ
ステムに関する。

【０００２】

【従来の技術】サーボ制御は産業用ロボットシステム、
工作機械、プロッタ、自動組立装置など制御対象（アク
チュエータ）をサーボモータを用いて制御する種々の制
御システムに用いられている。一般に、制御系（システ
ム）においては、「可制御性」の概念と「可観測性」の
概念が導入されている。サーボ制御を行うため、全ての
状態量をフィードバックすることにより、「可制御」な
制御対象の極を任意に設定できる。一方、制御システム
によっては全ての状態量を直接検出することができない
場合があり、かかる制御システムを構築する場合、「可
観測」である場合に限り「オブザーバ」を構成できるか
ら、オブザーバによって検出できる信号から状態量を推
定し、この推定状態量をフィードバックして制御するシ
ステムを構成する。

【０００３】オブザーバを用いる従来のサーボ制御シス
テムにおいて、起動時に制御対象は所定の原点位置に復
帰していることが前提となっており、オブザーバの状態
量はその原点位置を基準として算出されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】アブソリュート形エン
コーダなどの絶対位置検出機能を有するセンサを用いた
場合、制御システムの再起動時などにおいて制御対象の
現在停止位置が検出できるので操作時間の短縮などの観
点から、制御システムの電源再投入時またはシステムの
リセット時などの起動時に、制御対象を原点位置に復帰
させることなく現在の停止位置から直接目標位置まで制
御対象を駆動させたいという要望がある。

【０００５】しかしながら上述したように、従来のオブ
ザーバは制御対象が起動時に所定の原点に位置する場合
を基準として状態量を算出するように構成されているの
で、初期状態量を全て「０」としてその後の状態量を算
出している。そのため従来のオブザーバにおいては、実
際の停止位置と原点位置との差異のために状態量算出に
大きな隔たりが生じ、そのまま状態量を算出して制御対
象を制御させた場合、初期状態における制御システムの
動特性を著しく悪化させるという問題が発生している。
具体的には、アクチュエータを介して制御対象が大きく
振動したり、制御対象に過大なトルクがかかったり、場
合によっては制御対象が予期しない方向に移動して他の
機構に衝突する場合もある。

【０００６】したがって、従来のオブザーバを用いたサ
ーボ制御システムにおいては任意の停止位置からは制御
対象を安全に制御させることができないという問題に遭
遇している。したがって、本発明はかかるオブザーバを
用いたサーボ制御システムにおいて、制御対象の任意の
停止位置から目標位置に直接、安全に制御対象を制御す
ることが可能なサーボ制御システムを提供することを目
的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、本発明においてはオブザーバを有するサーボ制御シ
ステムの起動時にオブザーバの初期状態量を算出する手
段を設け、オブザーバはこの初期状態量に基づいてそれ
以降の状態量を算出するように構成する。すなわち、本
発明のサーボ制御システムは、制御対象の絶対位置を検
出する位置検出手段、制御対象を駆動する駆動手段、位
置検出手段からの位置信号および駆動手段に印加される
駆動指令信号に基づいて状態量を算出するオブザーバ、
制御目標（制御指令）と前記位置信号および推定状態量
とに基づいて駆動指令を算出し駆動手段を介して制御対
象を制御目標に制御するサーボ制御手段、および、起動
時に制御対象の停止位置に基づいて規定されるオブザー
バの初期状態量を算出するオブザーバ初期値算出手段か
らなる。

【０００８】

【作用】サーボ制御システムの起動時にオブザーバ初期
状態量算出手段が起動されて、現在の制御対象の停止位
置（絶対位置）からオブザーバ初期状態量を算出する。
オブザーバ初期状態量はオブザーバに印加される。この
オブザーバ初期状態量を算出した後、サーボ制御システ
ムが実質的に起動され、オブザーバは算出された初期状
態量を用いて状態量を算出する。サーボ制御手段はオブ
ザーバからの状態量および位置検出手段からの信号と制
御目標とに基づいて制御信号を算出して駆動手段を介し
て制御対象を制御する。

【０００９】このように初期状態においても制御対象の
任意の停止位置におけるオブザーバ初期状態量が算出さ
れ、そのときの制御対象の状態量が正確に算出され、そ
の状態に応じた状態量に基づいて制御対象が制御され
る。その結果、制御対象が不安定動作することが防止さ
れる。

【００１０】

【実施例】図１に本発明のサーボ制御システムの一実施
例として産業用ロボットシステムを例示する。図１のサ
ーボ制御システムは、制御対象１、例えば、ロボットア
ーム、この制御対象１の絶対位置（角度）を検出する絶
対位置検出器２、例えば、アブソリュート形エンコー
ダ、制御対象１を駆動する駆動手段３、例えば、サーボ
モータ、この駆動手段３を駆動制御するための駆動回路
４、およびサーボ制御装置５からなる。サーボ制御装置
５は、位置制御演算部５１、信号加算部５２、外乱負荷
速度オブザーバ５３、およびオブザーバ初期状態量算出
部５４が図示の如く構成されている。

【００１１】本実施例においては、サーボ制御装置５は
マイクロコンピュータ（またはマイクロプロセッサ）で
実現されている。アブソリュート形エンコーダである絶
対位置検出器２はインクリメンタルな位置、すなわち、
位置変化のみ出力する形式ではなく、制御対象１の現在
の位置をそのまま出力する形式のものである。したがっ
て、制御対象１が任意の位置で停止してる場合、制御対
象１を原点位置に復帰させずに、その時の位置検出器２
の出力を読み取れば制御対象１の位置が判る。

【００１２】制御対象１と駆動手段３とは機械的に接続
されている。制御対象１の駆動軸には、摩擦力、弾性又
は複数の駆動軸からなる制御対象１に生ずる軸間干渉ト
ルクなどからなる外乱負荷７が印加される。外乱負荷７
は制御対象１の運動特性の劣化をもたらすので本実施例
においてはその補償を行う。ただし、この外乱負荷７は
直接検出できないので、外乱負荷速度オブザーバ５３が
位置検出器２からの絶対位置信号Ｓ２、信号加算部５２
からの駆動指令信号Ｓ５２を参照して推定外乱負荷信号
Ｓ５３ａを算出し信号加算部５２にフィードバックして
外乱負荷７の補償を行う。

【００１３】また制御対象１の位置および速度を制御す
る場合、速度フィードバックをかけることが制御特性を
向上させるのに有効であることが知られている。そのた
め図１のサーボ制御システムにおいては、外乱負荷速度
オブザーバ５３が推定速度信号Ｓ５３ｂを算出して位置
制御演算部５１にフィードバックし、駆動力信号Ｓ５１
を出力させている。

【００１４】位置制御演算部５１はこの例示において
は、通常のＰＩＤ制御演算を行うように構成されてお
り、位置指令（目標指令）ＲＥＦから絶対位置信号Ｓ２
を減じて速度指令を算出し、さらに推定速度信号Ｓ５３
ｂを加算して駆動力指令信号Ｓ５１を算出する。この駆
動力指令信号Ｓ５１は信号加算部５２において外乱負荷
速度オブザーバ５３からの推定外乱負荷信号Ｓ５３ａが
加算されて駆動回路４に対する駆動力信号Ｓ５２が算出
される。駆動回路４は駆動力信号Ｓ５２に応答した駆動
信号で駆動手段３を駆動させ、最終的に制御対象１を駆
動する。

【００１５】オブザーバ初期状態量算出部５４はサーボ
制御システムの起動時に動作して、絶対位置信号Ｓ２に
基づいて外乱負荷速度オブザーバ５３において算出され
る状態量、すなわち、推定外乱負荷信号Ｓ５３ａおよび
推定速度信号Ｓ５３ｂの初期値を算出する。したがっ
て、初期状態において制御対象１が任意の位置に停止し
ている場合においても、オブザーバ初期状態量算出部５
４が制御対象１の停止位置におけるオブザーバで算出す
る状態量の初期値を算出して外乱負荷速度オブザーバ５
３に印加し、外乱負荷速度オブザーバ５３はその初期値
を用いてそれ以降の状態量の算出を行う。

【００１６】以下、外乱負荷速度オブザーバ５３および
オブザーバ初期状態量算出部５４の演算処理内容につい
て詳述する。ここでは、上述したように、制御対象１の
入力にあたる駆動トルクと制御対象１の出力にあたる位
置信号を外乱負荷速度オブザーバ５３の入力として、制
御対象１にかかる外乱トルクと制御対象１の運動速度を
推定する場合について述べる。

【００１７】制御対象１への駆動トルクＴｍは第１式で
表される。

【００１８】

【数１】

【００１９】ただし、Ｊは制御対象１の慣性モーメン
ト、

【００２０】

【外１】

【００２１】は制御対象１の回転角度位置、本実施例で
は位置信号Ｓ２の読み、Ｔ_Lは制御対象１に印加される
外乱トルク、本実施例では外乱負荷７の値を示す。ここ
で、状態ベクトルｘ＝（ｘ₁,ｘ₂,ｘ₃）、入力ｕ、出力
ｙを

【００２２】

【数２】

【００２３】とおくと、次の状態方程式が得られる。

【００２４】

【数３】

【００２５】ただし、Ａは係数ベクトル、Ｂは入力ベク
トル、Ｃは出力ベクトルを示す。ベクトルＡ，Ｂ，Ｃに
具体的な値を設定し、第３式および第４式の表現を変え
る次の式が得られる。

【００２６】

【数４】

【００２７】上述したようにサーボ制御装置５はマイク
ロコンピュータで実現されており、上記状態方程式をサ
ンプリング周期ごとにディジタル演算するため、サンプ
リング方式に則したディジタル演算処理のアルゴリズム
に変換する。このため、第７式〜第９式に示す差分方程
式を用いる。その結果を以下に示す。まず、サンプリン
グ方式に則した表現はｋをサンプリング番号、ｋ＝０，
１，２，・・・とした場合、状態方程式は第７式および
第８式で表される。

【００２８】

【数５】

【００２９】ただし、Ｔはサンプリング周期、ｔはサン
プリング時間ｔ＝ｋＴ以上から、サンプリング周期ごと
に演算される状態方程式は次の式になる。第１０式及び第１１式に対して「ゴビナスの設計法（た
とえば、美土、他「基礎ディジタル制御」、コロナ社、
第７９頁、参照）」を適用して最小限オブザーバを作成
すると、下記第１２式〜第１５式が得られる。ここで各係数は以下に表される。

【００３０】ａ₁₁＝１−Ｌ₁Ｔａ₁₂＝−Ｔ／Ｊ＋Ｌ₁Ｔ²／２Ｊａ₂₁＝−Ｌ₂Ｔａ₂₂＝Ｌ₂Ｔ²／２Ｊｂ₁₁＝−Ｌ₁ ²Ｔ−Ｌ₂Ｔ／Ｊ＋Ｌ₁Ｌ₂Ｔ²／２・・・（１３）ｂ₁₂＝Ｔ／Ｊ−Ｌ₁Ｔ²／２Ｊｂ₂₁＝Ｌ₂ ²Ｔ²／２Ｊ−Ｌ₁Ｌ₂Ｔｂ₂₂＝−Ｌ₂Ｔ²／２Ｊまた下記式が得られる。

【００３１】

【数６】なお、数６に示した第１４式における数７は推定値を示
す。

【数７】また、Ｌ₁、Ｌ₂は下記の第１５式で示される。

【００３２】Ｌ₁＝（−α−β−αβ＋３）／２ＴＬ₂＝（−α−β＋αβ＋１）／（−Ｔ²／Ｊ）・・・（１５）ただし、α，βはオブザーバの極を示す。上記式（１
２）〜式（１５）をより簡略化する。第１２式を１サン
プル前の表現にしても一般性を失わないから、第１２式
の表現の１サンプル前の数１３に示す第１６式を使用す
る。

【数８】すなわち、外乱負荷速度オブザーバ５３は数８に示す第
１６式のアルゴリズムを遂行する。

【００３３】第１６式において、ｋの初期値は１であ
り、以後、サンプリング周期ごとにｋ＝２，３，・・と
更新されていく。外乱負荷速度オブザーバ５３は前回の
サンプリング周期（ｋ−１）のｚ₁(k-1)、ｚ₂(k-1)、ｙ
(k-1) 、ｕ(k-1) に基づいて今回のサンプリング周期
（ｋ）の状態量ｚ₁(k)、ｚ₂(k)を算出する。本実施例で
は、状態量ｚ₁(k)およびｚ₂(k)をそれぞれ推定外乱負荷
信号Ｓ５３ａおよび推定速度信号Ｓ５３ｂに対応してい
る。

【００３４】もし、制御対象１が原点に位置している場
合、すなわち、原点で停止している状態から起動する場
合、ｙ（ｋ−１）の値は、ｋの初期値はｋ＝１であるの
で、ｙ（０）＝θ（０）となる。通常、初期状態においては制御対象１は無励磁
状態なので、ｕ（ｋ−１）、ｚ₁（ｋ−１）、ｚ₂（ｋ−
１）の値はそれぞれｕ（０）＝０ｚ₁（０）＝０ｚ₂（０）＝０とおける。

【００３５】一方、制御対象１が原点から離れた位置で
起動する場合、第１６式から状態量、ｚ₁（ｋ）、ｚ
₂（ｋ）はそれぞれｚ₁（１）、ｚ₂（１）という値にな
る。すなわち、ｚ₁（ｋ）＝ｚ₁（１）ｚ₂（ｋ）＝ｚ₂（１）ここで、起動時の状態量ｚ₁（０）＝０、ｚ₂（０）＝０
と１サンプリング周期後の状態量ｚ₁（１）、ｚ₂（１）
がそれぞれ大きく離れている場合、外乱負荷速度オブザ
ーバ５３は初期状態の状態量との差を０に戻す収束特性
を固有の特性として持っているから、サンプリング周期
ごとに推定を繰り返して外乱負荷速度オブザーバ５３の
極の大きさに則した時間（速度）で収束するが、サンプ
リング周期間に、大きな状態量である、ｚ₁（１）、ｚ₂
（１）に誤差を有したまま制御対象１が駆動されると、
過大な入力が制御対象１に印加されて制御対象１の暴
走、振動などの原因となる。

【００３６】オブザーバ初期状態量算出部５４は起動時
における制御対象１の現在停止位置（原点も含む）に応
じた第１４式の推定値である数９

【００３７】

【数９】

【００３８】を算出して、制御対象１がいかなる位置に
停止している場合であっても上記誤差をなくすようにす
る。以下、オブザーバ初期状態量算出部５４の処理内容
について述べる。位置検出器２で検出した初期状態にお
ける絶対位置（絶対位置信号Ｓ２）をθ（０）＝０とす
ると、ｙ（ｋ−１）＝ｙ（０）＝θ（０）である。サーボ制御装置５は初期起動段階においては制
御対象１を励磁していないから、１サンプリング周期後
の出力は、ｙ（ｋ）＝ｙ（１）＝θ（０）で近似できる。第１４式から第１の推定値

【００３９】

【数１０】

【００４０】（本実施例では、位置の推定値）数１１が
得られる。

【数１１】この時の第２の推定値

【００４１】

【数１２】

【００４２】本実施例では推定速度、および第３の推定
値

【００４３】

【数１３】

【００４４】本実施例では推定外乱トルクを第１７式に
示すように設定して第１４式に導入する。

【００４５】

【数１４】

【００４６】その結果、第１８式が得られる。ｚ₁（ｋ）＝−Ｌ₁ｙ（１）ｚ₂（ｋ）＝−Ｌ₂ｙ（１）・・・（１８）この第１８式から外乱負荷速度オブザーバ５３の状態量ｚ₁（ｋ）＝ｚ₁（１）＝−Ｌ₁ｙ（１）ｚ₂（ｋ）＝ｚ₂（１）＝−Ｌ₂ｙ（１）を求めることができる。第１６式に初期サンプリング周
期の時のｋ＝１を代入すると、数１５に示す第１９式が
得られる。

【数１５】ついで、入力の初期値をｕ（０）＝０・・・（２０）と定義して、第１３式から数１６が得られ、これらから
外乱負荷速度オブザーバ５３の初期状態量を表す数１７
に示す第２２式が得られる。

【数１６】

【数１７】オブザーバ初期状態量算出部５４は起動時に上記初期
値、ｚ₁（０）およびｚ₂（０）を算出して外乱負荷速度
オブザーバ５３に与える。外乱負荷速度オブザーバ５３
は上記初期値を用いて状態量を算出する。

【００４７】図２に上記制御アルゴリズムを遂行する図
１のサーボ制御装置５の処理フローチャートを示す。ステップ０１サーボ制御装置５を構成するマイクロコンピュータが起
動されたとき、または、サーボ制御システムが起動され
たとき、まずオブザーバ初期状態量算出部５４が起動さ
れ、上述したアルゴリズムにしたがって制御対象１の現
在の停止位置における外乱負荷速度オブザーバ５３の初
期状態量を算出する。この初期状態量はサーボ制御装置
５内のメモリ（図示せず）に記憶される。

【００４８】以下、サンプリング周期ごと下記ステップ
０２〜０８の処理動作が繰り返される。ステップ０２サーボ制御装置５は位置指令（制御目標）ＲＥＦを入力
する。この位置指令ＲＥＦはサーボ制御装置５を構成す
るマイクロコンピュータに記憶された位置指令発生プロ
グラムによって制御対象１の制御内容に応じて所定のア
ルゴリズムにしたがって発生される。

【００４９】ステップ０３サンプリング時間に到達したか否かを判別し、所定のサ
ンプリング時間に到達していない場合は待機する。所定
のサンプリング時間に到達した場合、以下の制御処理を
行う。このサンプリング周期管理によりサーボ制御装置
５は予め定められた一定のサンプリング周期に基づい
て、以下に述べるサンプリング方式のフィードバック制
御を行う。

【００５０】ステップ０４サーボ制御装置５内のディジタル入力装置（図示せず）
は絶対位置信号Ｓ２としてアブソリュート形エンコーダ
である位置検出器２から制御対象１の絶対位置、この例
示においては制御対象１の回転角度を入力してメモリに
記憶する。メモリに記憶された絶対位置信号Ｓ２は外乱
負荷速度オブザーバ５３および位置制御演算部５１で使
用する。

【００５１】ステップ０５外乱負荷速度オブザーバ５３が絶対位置信号Ｓ２および
駆動指令信号Ｓ５２に基づいて推定外乱負荷信号Ｓ５３
ａおよび推定速度信号Ｓ５３ｂを算出する。サーボ制御
システムの起動直後の第１回目のサンプリング周期にお
いては、外乱負荷速度オブザーバ５３はオブザーバ初期
状態量算出部５４で算出した初期値を用いて推定外乱負
荷信号Ｓ５３ａおよび推定速度信号Ｓ５３ｂを算出す
る。

【００５２】２回目以降のサンプリング周期において
は、外乱負荷速度オブザーバ５３は、第１４式と第１６
式を順次適用して推定外乱負荷信号Ｓ５３ａおよび推定
速度信号Ｓ５３ｂを算出する。ステップ０６，０７位置制御演算部５１は絶対位置信号Ｓ２、外乱負荷速度
オブザーバ５３からの推定速度信号Ｓ５３ｂに基づいて
駆動力指令信号Ｓ５１を算出する。信号加算回路５２は
この駆動力指令信号Ｓ５１と外乱負荷速度オブザーバ５
３からの推定外乱負荷信号Ｓ５３ａを加算して駆動指令
信号Ｓ５２を算出する。

【００５３】これによりサーボモータ駆動回路４に駆動
指令信号Ｓ５２が印加されサーボモータである駆動手段
３が駆動、すなわち、回転させられ、制御対象１である
産業用ロボットシステムのロボットアームなどを駆動さ
せる。ステップ０８外乱負荷速度オブザーバ５３において、次のサンプリン
グ周期における第１４式および第１６式を演算するため
サンプリング周期番号ｋが更新される。

【００５４】以上述べたように、オブザーバ初期状態量
算出部５４が任意の位置に停止している制御対象１の停
止位置で規定されるオブザーバ状態量算出のための初期
値を算出するので、外乱負荷速度オブザーバ５３は制御
対象１が任意の位置に停止している場合であっても、常
に制御対象１の円滑かつ効率的な制御を遂行させる初期
状態量の算出可能となる。その結果として、制御対象１
は任意の停止位置から円滑に制御され、振動、衝撃など
が発生しない。

【００５５】オブザーバ初期状態量算出部５４は起動直
後に上述した処理を行うだけであるから、周期的な制御
動作処理（ステップ０２〜０８）の時間的負担を増大さ
せない。図１に示したサーボ制御システムは、オブザー
バとしての外乱負荷速度オブザーバ５３を組み込み推定
外乱負荷信号Ｓ５３ａを算出して外乱負荷７に対する制
御性を向上させている。また、図１のサーボ制御システ
ムは速度制御ループを組み込んで制御特性を向上させる
構成になっている。

【００５６】上述した実施例は産業用ロボットシステム
のロボットアーム駆動に関連づけた角度制御について例
示したが、本発明の実施に際しては上述したものの他、
種々の変形形態をとることができる。たとえば、制御対
象１は角度制御に限定されず、リニアな位置制御につい
ても適用できる。

【００５７】また、絶対位置検出器２としてアブソリュ
ート形エンコーダを用いた例を示したが、インクリメン
ト形エンコーダとこのエンコーダのインクリメント出力
を計数し保持するカウンタを組み合わせて絶対位置を検
出するように構成することもできる。さらに、上記実施
例においては位置制御演算部５１はＰＩＤ制御演算を行
う場合について例示したが、ＰＩＤ制御演算に限らず、
ＩＰＤ制御演算など他の制御演算を行う場合でもよく、
位置制御演算部５１からは速度指令に限らずその制御ア
ルゴリズムに応じた指令が出力される。

【００５８】本発明の実施に際しては、サーボ制御装置
５を上述したように全てマイクロコンピュータまたはマ
イクロプロセッサで実現するばかりでなく、ハードウエ
ア回路とマイクロコンピュータとハイブリッドシステム
構成などにすることができる。さらに本発明は上述した
産業用ロボットシステムばかりでなく他の種々のサーボ
制御システム、例えば、工作機械などに適用できること
はいうまでもない。

【００５９】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、制御
対象が任意の位置（角度を含む）に停止している状態に
おけるオブザーバ状態量算出のための初期値を提供する
オブザーバ初期状態量算出手段を設けることにより、制
御対象が任意の位置にあっても円滑かつ安全にその停止
位置から目標制御位置に制御することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例のサーボ制御システムのブロ
ック図である。

【図２】図１のサーボ制御装置の処理フローチャートで
ある。

【符号の説明】

１・・・制御対象２・・・絶対位置検出器３・・・駆動手段４・・・駆動回路５・・・サーボ制御装置７・・・外乱負荷５１・・・位置制御演算部５２・・・信号加算部５３・・・外乱負荷速度オブザーバ５４・・・
オブザーバ初期状態量算出部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開昭60−27913（ＪＰ，Ａ) 特開昭63−26702（ＪＰ，Ａ) 特開平３−110605（ＪＰ，Ａ) 特開平３−262003（ＪＰ，Ａ) 特開平４−98304（ＪＰ，Ａ) 特開平３−226282（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G05D 3/12 305 G05D 3/12 G05D 3/12 306 G05B 13/04

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】制御対象の絶対位置を検出する位置検出
手段と、前記制御対象を駆動する駆動手段と、前記位置検出手段からの位置信号および前記駆動手段に
印加される駆動指令信号に基づいて状態量を算出するオ
ブザーバと制御目標と前記位置信号および推定状態量と
に基づいて駆動指令を算出し、前記駆動手段を介して前
記制御対象を前記制御目標に制御するサーボ制御手段と
を備えたサーボ制御システムにおいて、起動時に、前記制御対象の初期状態に基づいてオブザー
バの初期状態量を算出する前記オブザーバの初期状態量
算出手段を備えたことを特徴とするサーボ制御システ
ム。