JP6053715B2 - 位置制御装置および位置制御方法、光学機器、撮像装置 - Google Patents

位置制御装置および位置制御方法、光学機器、撮像装置 Download PDF

Info

Publication number
JP6053715B2
JP6053715B2 JP2014073948A JP2014073948A JP6053715B2 JP 6053715 B2 JP6053715 B2 JP 6053715B2 JP 2014073948 A JP2014073948 A JP 2014073948A JP 2014073948 A JP2014073948 A JP 2014073948A JP 6053715 B2 JP6053715 B2 JP 6053715B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
control
amount
control amount
target
disturbance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014073948A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2015197714A (ja
Inventor
田中 秀哉
秀哉 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2014073948A priority Critical patent/JP6053715B2/ja
Priority to US14/671,543 priority patent/US9977419B2/en
Publication of JP2015197714A publication Critical patent/JP2015197714A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6053715B2 publication Critical patent/JP6053715B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B11/00Automatic controllers
    • G05B11/01Automatic controllers electric
    • G05B11/32Automatic controllers electric with inputs from more than one sensing element; with outputs to more than one correcting element
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B3/00Focusing arrangements of general interest for cameras, projectors or printers
    • G03B3/10Power-operated focusing
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B13/00Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion
    • G05B13/02Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion electric
    • G05B13/04Adaptive control systems, i.e. systems automatically adjusting themselves to have a performance which is optimum according to some preassigned criterion electric involving the use of models or simulators
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/18Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/19Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D3/00Control of position or direction
    • G05D3/12Control of position or direction using feedback
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00Image analysis
    • G06T7/70Determining position or orientation of objects or cameras
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00Image analysis
    • G06T7/80Analysis of captured images to determine intrinsic or extrinsic camera parameters, i.e. camera calibration
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/60Control of cameras or camera modules
    • H04N23/69Control of means for changing angle of the field of view, e.g. optical zoom objectives or electronic zooming
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03BAPPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B2205/00Adjustment of optical system relative to image or object surface other than for focusing
    • G03B2205/0053Driving means for the movement of one or more optical element
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/41Servomotor, servo controller till figures
    • G05B2219/41368Disturbance observer, inject disturbance, adapt controller to resulting effect
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/42Servomotor, servo controller kind till VSS
    • G05B2219/42033Kind of servo controller

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Artificial Intelligence (AREA)
  • Evolutionary Computation (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Software Systems (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Feedback Control In General (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Description

本発明は、外乱推定オブザーバを用いて制御対象の位置を制御する装置および方法に関する。
制御対象をサーボ制御し、制御対象の絶対位置を検出し、位置、速度および制御対象に印加される外乱などの状態量を推定するオブザーバを用いるサーボ制御システムがある。特許文献1には、制御対象の任意の停止位置から目標位置に直接、安全に制御対象を制御することが可能なサーボ制御システムが開示されている。
特開平4−238509号公報
特許文献1では、固定座標系に設置される制御装置を想定している。装置全体の設置姿勢が変化した場合には、駆動手段に印加される駆動指令に基づいて状態量が算出されるが、姿勢変化に抗するための駆動指令成分がバイアスになってしまい、推定状態量の結果が誤推定値になる可能性がある。
本発明の目的は、制御対象の姿勢が変化しても推定状態量の結果が誤推定になる可能性を低減することができる位置制御装置および位置制御方法の提供にある。
本発明に係る装置は、位置制御装置であって、制御対象の検出位置に応じて、前記制御対象を目標位置に追従させる制御量を算出する算出手段と、前記算出手段により算出された制御量、または当該制御量と前記制御対象の移動量に応じた外乱相殺制御量とを加算した総制御量、に応じて前記制御対象を制御する制御手段と、前記制御対象が停止状態の場合の当該停止状態を維持するための制御量である姿勢差補正量を記憶する記憶手段と、を備える。前記外乱相殺制御量は、さらに、移し続ける状態の目標位置前記制御対象を追従させる位置制御中に前記総制御量から前記記憶手段の記憶している姿勢差補正量を減算した制御量に応じた制御量である。
本発明によれば、制御対象の姿勢が変化しても推定状態量の結果が誤推定になる可能性を低減することができる。
本発明の実施形態に係る位置制御装置のブロック図である。 インクリメンタル信号の処理の概念図である。 インクリメンタル位置エンコード処理を説明するフローチャートである。 インクリメンタル信号と合成信号の概念図である。 アブソリュート位置エンコード処理を説明するフローチャートである。 本発明の第1実施形態に係るブロック線図である。 第1実施形態に係る外乱推定オブザーバのブロック線図である。 第1実施形態の処理を説明するフローチャートである。 第1実施形態の外乱推定オブザーバ処理を説明するフローチャートである。 第1実施形態における動作目標例を説明する図である。 第1実施形態における数値変化例を説明する図である。 本発明の第2実施形態の処理を説明するフローチャートである。 第2実施形態に係る外乱推定オブザーバのブロック線図である。 第2実施形態の外乱推定オブザーバ処理を説明するフローチャートである。
以下、図面を参照しながら本発明の各実施形態を説明する。本発明は、例えばデジタル一眼レフやデジタルコンパクトカメラに限らず、デジタルビデオカメラ、監視カメラ、Webカメラ、携帯電話等の撮像装置における光学部材の駆動制御に適用可能である。また、デジタル一眼レフ用の交換レンズのような光学機器にも適用可能である。したがって、光学機器や撮像装置も本発明の一側面を構成する。各実施形態では、推力の未発生時に保持力が無いアクチュエータとしてボイスコイル型リニアモータを例示する。
[第1実施形態]
本発明の第1実施形態では、目標速度が0で固定位置への位置制御中のサーボ補償器の出力を姿勢差補正量として保存し、目標速度が0以外で制御対象を移動目標へ追従させる位置制御中に総制御量から保存された姿勢差補正量を減算して外乱推定を行う。
図1は、本発明の実施形態に共通する、位置制御装置100の構成例を示す。内部バス109に対してCPU(中央演算処理装置)101、ROM(リード・オンリ・メモリ)102、RAM(ランダム・アクセス・メモリ)103、制御信号出力部104、AD入力部108が接続される。各部は内部バス109を介して互いにデータの送受信が可能である。ROM102は、CPU101が動作するための各種プログラムなどを格納する読出し専用メモリである。制御手段および計測手段としてのCPU101は、例えばROM102に格納されるプログラムに従い、RAM103をワークメモリとして用いて、位置制御装置100の各部を制御する。
制御信号出力部104は、CPU101から命令された制御信号をモータドライバ105に出力してリニアモータ106を駆動させる。また制御信号出力部104は、CPU101から命令された制御信号をリニアエンコーダ107に出力して、異なる位相のインクリメンタル信号を出力させる。リニアモータ106はレンズ等の制御対象(不図示)を移動させる。位置検出用のリニアエンコーダ107は制御対象の移動に応じてインクリメンタル信号を出力する。AD入力部108は、リニアエンコーダ107が出力するインクリメンタル信号をA(アナログ)−D(デジタル)変換して、A−D変換後の信号をCPU101に出力する。CPU101は、AD入力部108により変換されたインクリメンタル信号からインクリメンタル位置エンコード処理(以下、第1エンコード処理という)、およびアブソリュート位置エンコード処理(以下、第2エンコード処理という)により現在位置を算出する。
図2および図3を参照して、第1位置エンコード処理を説明する。図2は、インクリメンタル信号の処理を説明する概念図である。図3はCPU101が実行する第1エンコード処理を説明するフローチャートである。
図2(A)はインクリメンタル信号の波形例を示す。縦軸は10bitのAD変換値を示し、横軸は位置を示す。サイン波201とコサイン波202が、制御対象の移動に応じて出力される。図2(B)は、サイン波201とコサイン波202による正接関数の逆関数(逆正接関数)を示す。縦軸は角度をラジアンで示し、横軸は位置を示す。逆正接関数値203は、0から2πまでの範囲に正規化されて演算される。図2(C)はインクリメンタル位置エンコード値を示す。縦軸は単調増加するインクリメンタル位置エンコード値204を示し、横軸は位置を示す。逆正接関数値203がゼロを跨いだ時にMSB(Most Significant Bit)での2πに相当する上位桁が増減する。例えば、逆正接関数値203がゼロから増加して再びゼロになってさらに増加した場合、インクリメンタル位置エンコード値204に2πが加算される。他方、逆正接関数値203が減少してゼロになった場合にインクリメンタル位置エンコード値204から2πが減算される。
図3を参照して第1エンコード処理を説明する。S301にてCPU101は、第1エンコード処理の許可フラグがセット状態であるかどうかを判断する。許可フラグがセット状態でない場合には処理を終了し、許可フラグがセット状態である場合、S302へ処理を進める。S302において、CPU101は2相信号のAD変換値を取得し、オフセット除去演算、ゲイン調整演算を行う。2相信号とは、図2(A)のサイン波201およびコサイン波202のように、位相の異なる対をなす信号である。そして、CPU101は、図2(B)に示す逆正接関数の演算結果(逆正接関数値203)のデータをRAM103へ保存する。
S303でCPU101は、前回の逆正接関数演算結果と今回の逆正接関数演算結果との差の絶対値を3π/8と比較する。差の絶対値が3π/8未満であるかどうかが判断され、そうであればS304へ処理を進め、差の絶対値が3π/8未満でなければS310へ移行する。S304にてCPU101は、前回の逆正接関数演算結果と今回の逆正接関数演算結果による移動で制御対象の位置がゼロを跨いだかどうかを判断する。制御対象の位置がゼロを跨いでいる場合、S305へ処理を移し、ゼロを跨いでいない場合にはS308へ移行する。S305でCPU101は、今回の逆正接関数演算結果が前回の逆正接関数演算結果未満であるかどうかを判断する。今回の逆正接関数演算結果が前回の逆正接関数演算結果未満であればS306へ移行し、今回の逆正接関数演算結果が前回の逆正接関数演算結果以上であればS307へ移行する。S306でCPU101は、2π単位である上位桁へ1を加算する。上位桁とはインクリメンタル位置エンコード値の2π以上の桁である。一方、S307でCPU101は上位桁から1を減算する。
S306またはS307の後でS308へ処理を進め、CPU101は2π単位である上位桁と今回の逆正接関数演算結果を加算する。これにより、図2(C)のインクリメンタル位置エンコード値204が更新され、S309へ移行する。S309にてCPU101は、移動方向判別に係るエラー警告無しとして処理を終了する。S303からS310に移行した場合、CPU101は移動方向判別に係るエラー警告有りとして処理を終了する。その理由は、今回と前回の逆正接関数演算結果の差の絶対値が3π/8以上であり、制御対象の移動方向に関して増加により差の絶対値が3π/8以上となったのか、減少により3π/8以上となったのかを判別しにくいためである。
以上のようにインクリメンタル信号からエンコード値が生成されるので、位置制御に用いることができる。
次に、図4と図5を参照して第2エンコード処理を説明する。図4は、ピッチの異なる3種類のインクリメンタル信号と合成信号を例示した概念図である。図4(A)から(F)にて縦軸は角度をラジアンで示し、横軸は位置を示す。縦軸に示す逆正接関数値は、制御対象の移動に応じて逆正接関数として0から2πまでの範囲に正規化されて演算される。また図5はCPU101による第2エンコード処理を説明するフローチャートである。
図4(A)は最小ピッチの逆正接関数演算結果401を例示し、全ストロークで21周期出現する。図4(B)は中間ピッチの逆正接関数演算結果402を例示し、全ストロークで10周期出現する。図4(C)は最大ピッチの逆正接関数演算結果403を例示し、全ストロークで4周期出現する。図4(D)から(F)については後述する。
図5のS501でCPU101は、RAM103に保存されている最小ピッチの2相信号のAD変換値を取得し、オフセット除去演算、ゲイン調整演算を行う。そしてCPU101は、図4(A)の逆正接関数演算結果401を「p1」としてRAM103へ保存する。次のS502でCPU101は、RAM103に保存されている中間ピッチの2相信号のAD変換値を取得し、オフセット除去演算、ゲイン調整演算を行う。CPU101は、図4(B)の逆正接関数演算結果402を「p2」としてRAM103へ保存する。次のS503でCPU101は、RAM103に保存されている最大ピッチの2相信号のAD変換値を取得し、オフセット除去演算、ゲイン調整演算を行う。CPU101は、図4(C)の逆正接関数演算結果403を「p3」としてRAM103へ保存し、S504に移行する。
S504にてCPU101は下式を用い、Nを整数の変数として全ストロークをN周期とした逆正接関数に正規化する処理を行う。N=1,6,13,21として具体的に説明する。
Figure 0006053715
なお、式(1)はN=1の場合、式(2)はN=6の場合、式(3)はN=13の場合に使用する。
N=1の場合、RAM103に保存されているp1とp2の各データを用いて式(1)でph1が算出され、算出結果のデータがRAM103へ保存される。図4(D)に示す演算結果404は制御対象の移動に応じて式(1)の結果として、0から2πまでの範囲に正規化されて演算されるph1を例示し、全ストロークで1周期出現する。N=6の場合、CPU101はRAM103に保存されているp2とp3の各データを用いて式(2)でph6を算出し、算出結果のデータをRAM103へ保存する。図4(E)に示す演算結果405は制御対象の移動に応じて式(2)の結果として、0から2πまでの範囲に正規化されて演算されるph6を例示し、全ストロークで6周期出現する。N=13の場合、CPU101はRAM103に保存されているp1とp3の各データを用いて式(3)でph13を算出し、算出結果のデータをRAM103へ保存する。図4(F)に示す演算結果406は制御対象の移動に応じて式(3)の結果として、0から2πまでの範囲に正規化されて演算されるph13を例示し、全ストロークで13周期出現する。N=21の場合、CPU101はRAM103へ保存されているp1をph21として(ph21=p1)、データをRAM103へ保存する。図4(A)に示すようにph21では全ストロークで21周期出現する。
次のS505でCPU101は、以下の式を用いて、演算結果がN周期中でどの周期に該当するかを算出する。
Figure 0006053715
CPU101はRAM103へ保存されているph1を用いて式(4)で演算し、全ストロークで6周期出現する中のどの周期になるか演算し、abs6のデータをRAM103へ保存する。そしてCPU101は式(5)により、abs6とph6の各データを用いて、全ストロークで13周期出現する中のどの周期になるか演算し、abs13のデータをRAM103へ保存する。CPU101は式(6)により、abs13とph13の各データを用いて、全ストロークで21周期出現する中のどの周期になるか演算し、abs21のデータをRAM103へ保存する。CPU101は式(7)により、abs21とph21の各データを用いて、最小ピッチの分解能で全ストローク中のどの位置になるか演算し、FullABSのデータをRAM103へ保存して処理を終える。
以上のように、ピッチの異なる3種類のインクリメンタル信号を合成して更にピッチの異なるインクリメンタル信号を生成する事ができる。制御対象が静止した状態で取得されるピッチの異なる複数のインクリメンタル信号を合成し、第2エンコード処理を行うことで、最小ピッチの分解能でアブソリュート位置を算出できる。以降は、最小ピッチの分解能が固定で第1エンコード処理を実行し続けても生成されたインクリメンタル位置エンコード値をアブソリュート位置エンコード値として扱うことができる。
次に図6を参照して制御系の構成を説明する。図6は本実施形態に係る制御系のブロック線図を例示する。なお、図1と同じ構成部については同一の符号を使用することでそれらの説明を省略する。また、加算部については加算処理および減算処理(負値の加算)を含むものとして説明する。
制御信号出力部104は、CPU101から指定された制御量を入力としてデューティー比に変換したPWM(パルス幅変調)信号を、制御信号としてモータドライバ105へ出力する。モータドライバ105は、例えばHブリッジドライバであり、制御信号として入力されるPWM信号のデューティー比に応じて正逆方向にリニアモータ106を駆動する。リニアモータ106は、例えばボイスコイルモータであり、水平姿勢でデューティー比が50%の場合、推力無しで停止する。また、デューティー比が100%の場合、リニアモータ106は正方向へ最大推力を発生し、デューティー比が0%の場合、逆方向へ最大推力を発生する。ボイスコイルモータは、推力の無い状態では保持力が無いので姿勢を傾けられると重力の方向に動いてしまう。そのため、水平姿勢以外への姿勢変化が発生した場合、停止中にもかかわらず、重力による位置ずれを防ぐ目的で推力を発生させ続けるための制御量を出力する位置制御が行われる。
リニアエンコーダ107は、リニアモータ106の移動量を入力とし、サイン波信号およびコサイン波信号(図2(A)参照)に変換して出力する。AD入力部108は、リニアエンコーダ107が出力するサイン波信号およびコサイン波信号をAD変換する。AD変換値は位置エンコード処理部602へ出力される。位置エンコード処理部602はAD変換値がサイン波状に変化するのに応じた距離への変換を行う。変換後の信号は加算部603および外乱推定オブザーバ605に出力される。
目標発生部601は、リニアモータ106の目標値信号を発生して加算部603に出力する。目標値は、リニアモータ106が追従すべき目標速度および目標位置の情報を含む。加算部603は、目標発生部601が出力する目標値を正入力とし、位置エンコード処理部602が出力する現在位置を負入力として両者の差を算出して出力する。これはサーボ制御の位置エラーである。PID補償器604は、加算部603の出力である位置エラーを入力とし、PID制御量を生成して加算部606に出力する。P(比例)I(積分)D(微分)制御については公知であるため、詳細な説明は省略する。加算部606は外乱推定オブザーバ605の出力をPID補償器604の出力に加算し、加算結果を加算部608および制御信号出力部104に出力する。
姿勢差補正量の記憶部607は、外乱推定オブザーバ605での外乱推定の際に、総制御量から姿勢変化へ抗するための制御量を差し引く補正量(姿勢差補正量)を記憶している。この姿勢差補正量は加算部608へ負入力として出力される。加算部608は加算部606の出力である総制御量を正入力とし、総制御量から姿勢差補正量を減算する。減算結果は外乱推定オブザーバ605に出力される。
外乱推定オブザーバ605は、加算部608の出力および位置エンコード処理部602の出力を入力とし、リニアモータ106に印加した制御量と制御対象が実際に動いた速度との差に基づき外乱推定を行う。外乱推定オブザーバ605は推定した外乱に応じた外乱相殺制御量を生成して加算部606に出力する。外乱推定オブザーバ605の詳細については図7および図9を用いて後述する。加算部606は、PID補償器604の出力であるPID制御量と外乱推定オブザーバ605の出力である外乱相殺制御量を加算する。両者の和は総制御量として制御信号出力部104へ出力される。
以上のように、目標値に対してリニアモータ106の位置を追従させるサーボ制御系が構成される。なお、姿勢差補正量の記憶部607に記憶される姿勢差補正量の決定方法については後述する。
次に図7のブロック線図を参照して、外乱推定オブザーバ605を詳細に説明する。図中の「s」はラプラス変数を表す。
ブロック701は、位置エンコード処理部602の出力である位置情報を微分して速度情報へ変換する。ブロック702は、ブロック701の出力である速度情報を微分した加速度情報と質量情報Mの運動方程式から、リニアモータ106の実際の出力を示す実発生推力情報へ変換する。制御サンプル間の移動量、即ち速度から実発生推力情報を求めているため、原理的に目標速度がゼロであって固定位置への位置制御中には、実発生推力情報がゼロとなる。ブロック703は、加算部608の出力である制御量と、リニアモータ106のモデルから設計的に導出される発生推力情報へ変換する。リニアモータ106のモデルはPWMのbit分解能数、モータ電源電圧V、抵抗値R、リアクタンス値L、推力変換定数Kfを有し、抵抗値R、リアクタンス値Lについては「1/(sL+R)」の因子として含む。リニアモータ106に印加している制御量から導出される発生推力情報を求めているため、原理的に目標速度がゼロであって固定位置への位置制御中でも重力に抗する制御量を印加している場合には相当する推力が発生しているものとして変換される。
加算部704は、実発生推力情報と、リニアモータ106のモデルから設計的に導出される発生推力情報との差分を、損失した外乱推力であるとして外乱推定結果へ変換する。この差分が外乱推力となるので、傾けられた状態の制御対象を移動目標へ追従させる位置制御中の外乱推定において、姿勢差を考慮せずに総制御量を用いると、速度発生に寄与せず重力に抗するための制御量が全て外乱推力扱いとされてしまう。そこで本実施形態では、姿勢変化で重力に抗するためにリニアモータ106に印加している制御量を外乱推定に使用しないように姿勢差補正量として総制御量から差し引く処理を加算部608が行う。
ブロック705は、加算部704の出力である外乱推定結果と、リニアモータ106の逆モデルから、外乱推定結果に相当する推力を発生させるための外乱相殺制御量へ変換する。リニアモータ106の逆モデルは、ブロック703に示すリニアモータ106のモデルに対して、PWMのbit分解能数、モータ電源電圧V、推力変換定数Kfを逆数として有し、抵抗値R、リアクタンス値Lについては「sL+R」の因子で含む。
以上のように、リニアモータ106に印加した制御量と制御対象の移動量から外乱を推定し、損失した推力として外乱を相殺する外乱相殺制御量を出力する外乱推定オブザーバ605が構成される。加算部606がPID制御量と外乱相殺制御量を加算して制御信号出力部104に出力することで、PID補償器604による制御だけでは補償しきれないリニアモータ制御系の個別特性差、経時変化などの外乱を相殺することができる。本実施形態ではPID制御を実施しており、目標速度がゼロであって固定位置への位置制御中でも重力に抗する制御量がI制御成分として蓄積して出力される。なお、外乱推定オブザーバと組み合わせが可能な制御器であれば、特にPID制御のサーボ補償器に限定されない。
次に図6から図11を参照して、制御対象の姿勢が変化しても推定状態量の結果が誤推定になる可能性を低減可能な姿勢差補正量の決定処理を説明する。
図8は、図6のブロック線図中でCPU101が実行する位置制御処理を説明するフローチャートである。図9は、図8のS804の外乱推定オブザーバ処理について詳細を示すフローチャートである。
図8のS801でCPU101は、目標発生部601が目標値をカウント増減中か、またはカウント停止中かを示すカウント状態の情報を取得する。S802でCPU101は目標発生部601がカウント停止中であるかどうかを判断する。カウント停止中の場合、S803へ処理を進め、カウント増減中の場合、S804へ移行する。カウント増減中とは、目標速度が0以外で制御対象を移動目標へ追従させる位置制御が指示されていることである。また、カウント停止中とは、目標速度が0であって制御対象を固定位置で停止させ続ける位置制御が指示されていることである。
S803でCPU101は外乱相殺制御量を0とし、外乱推定オブザーバ処理回数(以下、単に処理回数という)を0として設定する。原理的には目標速度が0で固定位置への位置制御中に実発生推力情報として0となって外乱推定ができないので、外乱相殺制御量を0に設定することで実質的に外乱推定オブザーバ605がOFF状態となる。一方、S804にてCPU101は、外乱推定オブザーバ605による外乱推定オブザーバ処理を実行する。外乱推定オブザーバ処理の詳細については図9を用いて後述する。
S803またはS804の後、S805に進んでCPU101は目標発生部601の目標値と、位置エンコード処理部602で処理された現在の位置を取得し、加算部603により目標値と現在位置との差から位置エラーを算出する。PID補償器604は位置エラーを入力とするPID制御量を算出する。S806でCPU101は目標発生部601がカウント停止中であるかどうかを判断する。カウント停止中の場合、S807へ処理を進め、またカウント増減中の場合、S808へ移行する。S807でCPU101は次回の外乱推定オブザーバ処理用に姿勢差補正量として、S805で求めた現在のPID制御量を設定する。カウント停止中には、例えば、制御対象の姿勢が水平状態であればPID制御量が0となり、デューティー比が50%となる。姿勢変化がある状態であれば当該姿勢変化に抗して位置を維持するためにデューティー比が50%以外のPID制御量となる。このように制御対象が停止しているだけで速度発生に寄与せず重力に抗するためだけに必要な制御量が姿勢差補正量として記憶部607に記憶される。
図10は位置制御の動作目標例を説明するタイミングチャートである。図10(A)の横軸は時間軸であり、縦軸は制御対象の姿勢を示し、中央は水平を表す。図10(B)の横軸は時間軸(時刻T0からT7参照)であり、縦軸は目標位置(P0からP4参照)を示す。図11は動作中の数値変化例を説明する図である。(A)から(J)まで姿勢と、進行方向の異なる9つのパターンを例示する。
図10(A)では、時刻T0からT1までの期間に制御対象の姿勢が水平姿勢である。この期間にて制御対象が図10(B)の位置P1やP2の停止目標値に追従している状態で、図11(A)のように停止中のPID制御量が0であれば、姿勢差補正量は0である。つまり、外乱推定オブザーバ605はOFF状態である。その後、時刻T1からT4までの期間に傾斜1の向きへの姿勢変化があった場合を想定する。この場合、制御対象が図10(B)の位置P1の停止目標値に追従している時刻T2で、図11(D)のように停止中のPID制御量が「-20」であれば、姿勢差補正量として「-20」が記憶部607に記憶される。更に、制御対象が傾斜1の向きへの姿勢で、時刻T3にて図10(B)の位置P2の停止目標値に追従している時刻T3にて停止中でのPID制御量が「-25」であれば、姿勢差補正量として「-25」が記憶部607に記憶される。
その後、図10(A)に示す時刻T5から、傾斜1とは逆の傾斜2の向きへの姿勢変化があった場合を想定する。この場合、制御対象が図10(B)の位置P4の停止目標値に追従している時刻T6で、図11(G)のように停止中のPID制御量が「20」であれば、姿勢差補正量として記憶部607に「20」が記憶される。更に制御対象が傾斜2の向きへの姿勢で、時刻T7にて図10(B)の位置P3の停止目標値に追従している時刻T7にて停止中でのPID制御量が「25」であれば、姿勢差補正量として「25」が記憶部607に記憶される。
図8のS806でカウント停止中でない場合、またはS807の後、S808に処理を進め、加算部606によりPID制御量と外乱相殺制御量が加算されて総制御量が算出される。総制御量は加算部606から制御信号出力部104へ出力される。次のS809でCPU101は、次回の外乱推定オブザーバ処理用に総制御量をRAM103に保存して処理を終える。
以上のように制御対象の姿勢変化があった場合でも最新のカウント停止中におけるPID制御量が姿勢差補正量として記憶部607に保存される。
次に、図9のフローチャートを参照して、図8のS804に示す外乱推定オブザーバ処理を説明する。
S901でCPU101は位置エンコード処理部602で処理された現在の位置を取得し、S902で処理回数に1を加算してS903へ処理を進める。S903は処理回数が2回以上であるかどうかの判定処理である。CPU101は処理回数が2回以上であると判定した場合、S904へ処理を進め、2回未満であれば制御対象の移動量を計測できないのでS909に移行する。
S904にてCPU101は、RAM103に保存されている前回出力の総制御量、現在の姿勢差補正量、前回保存の位置(前回位置)を取得する。前回出力の総制御量とは図8のS809でRAM103に保存されたデータの示す総制御量である。前回位置とは後述のS909でRAM103に保存されたデータの示す位置である。S905でCPU101は、現在の位置と前回位置との差分、即ち移動量から速度を推定する。これは図7のブロック701での変換に相当する。推定速度とリニアモータ106の逆モデルに基づいて、実際に発生していると推定される実発生推力が算出される。これは図7のブロック702での変換に相当する。
次のS906において加算部608は加算部606の出力する総制御量から姿勢差補正量(記憶部607の記憶値)を減算する。減算結果である制御量とリニアモータ106のモデルから、当該制御量を与えた場合に発生すると期待される発生推力(以下、期待発生推力という)が推定される。これは図7のブロック703での変換に相当する。
図10(A)のように、制御対象の姿勢が水平姿勢であった時刻T0からT1までの期間で、制御対象が図10(B)の位置P1からP2への移動目標値に追従している場合を想定する。この期間にて図11(B)のように移動中のPID制御量が「10」の時点で、外乱推定オブザーバ処理に使用する制御量は、総制御量から姿勢差補正量を引いた値である。つまり、総制御量はPID制御量「10」と外乱相殺制御量の和であり、姿勢差補正量がゼロであるので、実質的には、現在の総制御量が全て推定に使われる。同様に時刻T0からT1までの期間で、制御対象が図10(B)の位置P2からP1への移動目標値に追従している場合を想定する。この期間にて図11(C)のように移動中のPID制御量が「-10」の時点で外乱推定オブザーバ処理に使用する制御量は、総制御量(PID制御量「-10」と外乱相殺制御量との和)から姿勢差補正量を引いた値である。この場合には姿勢差補正量がゼロであるので、実質的には、現在の総制御量が全て推定に使われる。
また、図10(A)に示す時刻T1からT4までの期間では、制御対象について傾斜1の向きへの姿勢変化が生じており、制御対象が図10(B)の時刻T2以降の位置P1からP2への移動目標値に追従している場合を想定する。この期間にて図11(E)のように移動中のPID制御量が「-10」の時点で外乱推定オブザーバ処理に使用する制御量は、総制御量(PID制御量「-10」と外乱相殺制御量の和)から姿勢差補正量「-20」を引いた値になる。このように傾斜1の向きへの位置ずれを引き起こさないための制御量「-20」は姿勢差補正量として総制御量から減算され、実質的に速度を発生させるための制御量「+10」が外乱推定に使われる。
更に制御対象の姿勢が傾斜1の向きになった状態で、図10(B)の位置P2の停止目標値に追従している時刻T3の後に図10(B)の位置P2からP1への移動目標値に制御対象が追従している場合を想定する。この場合、図11(F)のように移動中のPID制御量が「-35」の時点で外乱推定オブザーバ処理に使用する制御量は、総制御量(PID制御量「-35」と外乱相殺制御量の和)から姿勢差補正量「-25」を引いた値になる。このように傾斜1の向きへの位置ずれを引き起こさないための制御量「-25」は姿勢差補正量として総制御量から減算され、実質的に速度を発生させるための制御量「-10」が外乱推定に使われる。
図10(A)に示す時刻T5以降には傾斜2の向きへの姿勢変化が起きており、制御対象が図10(B)の時刻T6以降の位置P4からP3への移動目標値に追従している場合を想定する。この場合、図11(H)のように移動中のPID制御量が「30」の時点で外乱推定オブザーバ処理に使用する制御量は、総制御量(PID制御量「30」と外乱相殺制御量の和)から姿勢差補正量「20」を引いた値になる。傾斜2の向きへの位置ずれを引き起こさないための制御量「20」は総制御量から減算され、実質的に速度を発生させるための制御量「10」が外乱推定に使われる。更に、傾斜2の向きになった状態での制御対象が図10(B)の位置P3の停止目標値に追従している時刻T7の後に図10(B)の位置P3からP4への移動目標値に追従している場合を想定する。この場合、図11(J)のように移動中のPID制御量が「15」の時点で外乱推定オブザーバ処理に使用する制御量は、総制御量(PID制御量「15」と外乱相殺制御量の和)から姿勢差補正量「25」を引いた値になる。傾斜2の向きへの位置ずれを引き起こさないための制御量「25」が総制御量から減算され、実質的に速度を発生させるための制御量「-10」が外乱推定に使われる。
図9のS907にてCPU101は、S906で算出した期待発生推力の推定値と、S905で算出した実発生推力の推定値との差分から、リニアモータ106の内部で失われた外乱を推定する。これは図7の加算部704による減算処理に相当する。次のS908でCPU101は、S907で算出した外乱推定値から、それを相殺する推力を発生させるための外乱相殺制御量を算出する。これは図7のブロック705での変換に相当する。S909でCPU101は位置エンコード処理部602から取得した現在の位置を、次回の外乱推定オブザーバ処理用としてRAM103に保存して処理を終了する。保存されたデータの示す位置が前回位置として次回の処理で使用される。
例えば、位置制御装置の適用例としてカメラのレンズ位置制御装置について説明する。チルティングという撮影手法中には、ユーザがカメラをゆっくりと上下方向に振る操作を行うので姿勢変化が発生する。また、地面の花などの被写体になるべく接近して撮影する接写撮影中においても、カメラが長時間の下向きや上向きの姿勢をとる場合があるので姿勢変化が発生する。撮影動作中には、数秒単位のゆっくりとした周期で姿勢が変化するのに対し、位置制御では数ミリ秒単位の高速な周期で駆動と停止が繰り返される。可動光学部材であるレンズの移動目標値への追従中、即ち外乱推定中の姿勢変化は推定ずれの原因となるが、本実施形態では推定誤差を低減することができる。これは前述したように、直近の停止期間での姿勢差補正量を総制御量から減算する効果に依るものであり、姿勢変化を考慮しない場合に比べて推定誤差が少ない。
本実施形態では、固定位置への位置制御中に制御対象の姿勢変化へ抗するために出力している制御量を記憶部に保存し、移動位置への位置制御中には記憶部に保存された制御量を総制御量から減算して外乱推定を行う。よって、制御対象の姿勢変化へ抗するための速度発生に寄与しない制御量が除去されるので、姿勢変化による誤推定の可能性を低減し、位置サーボ制御を安定化させることができる。
[第2実施形態]
次に本発明の第2実施形態を説明する。本実施形態では、目標速度が0で固定位置への位置制御中の外乱推定オブザーバの出力を姿勢差補正量として記憶部に保存し、記憶データを、目標速度が0以外で制御対象を移動目標へ追従させる位置制御中の外乱推定に使用する例を説明する。第1実施形態の場合と同様の構成部については既に使用した符号を用いることで、それらの詳細な説明を省略し、主として相違点を説明する。
図1、図6、図12から図14を参照し、制御対象の姿勢が変化しても推定状態量の結果が誤推定になる可能性を低減するための、姿勢差補正量の決定処理を説明する。
図12は、図6に示す制御系のブロック線図にてCPU101が実行する位置制御処理を説明するフローチャートである。
S1201では目標発生部601が目標値をカウント増減中か、またはカウント停止中かを示すカウント状態の情報が取得される。次のS1202でCPU101は目標発生部601がカウント停止中であるかどうかを判断する。カウント停止中の場合、S1203へ処理を進め、カウント増減中の場合、S1204へ移行する。S1203で処理回数を1に設定し、姿勢差補正量をゼロに設定する処理を行い、S1204へ処理を移す。S1204では外乱推定オブザーバ605が外乱推定オブザーバ処理を行う。この処理の詳細については図14を用いて後述する。S1205へ処理を移し、CPU101は目標発生部601がカウント停止中であるかどうかを判断する。カウント停止中の場合、S1206へ処理を進め、カウント増減中の場合、S1207へ移行する。S1206にてCPU101は、姿勢差補正量の記憶部607に外乱相殺制御量を記憶させた後、外乱相殺制御量をゼロに設定し、S1207へ処理を移す。
S1207では目標発生部601の目標値と、位置エンコード処理部602で処理された現在の位置が取得され、加算部603が目標値と現在位置との差から位置エラーを算出する。PID補償器604は位置エラーを入力としてPID制御量を算出する。S1208で加算部606はPID制御量と外乱相殺制御量を加算して総制御量とし、制御信号出力部104へ出力する。S1209でCPU101は次回の外乱推定オブザーバ処理用に総制御量をRAM103に保存して処理を終える。
図13は本実施形態の外乱推定オブザーバ605を詳細に示すブロック線図である。
ブロック1301は、位置エンコード処理部602の出力である位置情報をハイパスフィルタ(HPF)処理して速度情報へ変換する。ブロック1302は、ブロック1301の出力である速度情報とモータ情報の運動方程式からリニアモータ106が実際に出力している実発生推力情報へ変換する。ブロック1303は、加算部608の出力である制御量をローパスフィルタ(LPF)処理する(以下、第1LPF処理という)。
ブロック1304は、ブロック1303の出力とリニアモータ106のモデルから設計的に導出される発生推力情報へ変換する。リニアモータ106のモデルは、PWMのbit分解能数、モータ電源電圧V、抵抗値R、推力変換定数Kfを有する。加算部1305は、ブロック1302の出力する実発生推力情報と、ブロック1304の出力する発生推力情報とを加算し、加算結果をブロック1306へ出力する。ブロック1306は、加算部1305の出力をローパスフィルタ処理する(以下、第2LPF処理という)。Tは第2LPF処理における1次LPF「1/(sT+1)」のフィルタ時定数である。
加算部1307は、第2LPF処理された出力情報(低域通過情報)を正入力とし、ブロック1302の出力する実発生推力情報を負入力して、両者の差分を算出する。差分は、損失した外乱推力の低周波数成分として外乱推定結果へ変換される。差分が外乱推力となるので、傾けられた状態で制御対象が移動目標へ追従する位置制御中の外乱推定にて姿勢差を考慮せずに総制御量を用いると、速度発生に寄与せず重力に抗するための制御量が全て外乱推力扱いとされてしまう。そこで本実施形態では、姿勢変化で重力に抗するためにリニアモータ106に印加している制御量を外乱推定に使用しないように、姿勢差補正量として総制御量から差し引く処理を行う。ブロック1308は、加算部1307の出力である外乱推定結果とリニアモータ106の逆モデルから、前記低周波数成分の外乱推定結果に相当する推力を発生させるための外乱相殺制御量へ変換する。リニアモータ106の逆モデルは、ブロック1304に示すリニアモータ106のモデルに対して、PWMのbit分解能数、モータ電源電圧V、抵抗値R、推力変換定数Kfを逆数として有する。
以上のように外乱推定オブザーバは、リニアモータ106に印加した制御量および検出された移動量から外乱を推定し、損失した推力として外乱を相殺する外乱相殺制御量を出力する。図14を参照して外乱推定オブザーバ処理の詳細を説明する。
図14は、図12のS1204に示す外乱推定オブザーバ処理の詳細を説明するフローチャートである。
S1401においてCPU101は、前回出力の総制御量を取得して第1LPF処理を実行する。これは図13のブロック1303での変換に相当する。S1402でCPU101は現時点にて外乱推定オブザーバ処理周期であるかどうかを判断する。例えば、位置制御周期と同じ周期で外乱推定オブザーバ処理を行うと外乱推定結果に高域ノイズが多い場合には、回避策として位置制御周期のN分の1の周期で外乱推定オブザーバ処理が実行される。S1402で判定されるタイミングが外乱推定オブザーバ処理周期であればS1403へ処理を進め、外乱推定オブザーバ処理周期でなければ処理を終了する。
S1403では、位置エンコード処理部602で処理された現在の位置を取得してハイパスフィルタ処理が実行される。これは図13のブロック1301での変換に相当する。次のS1404でCPU101は処理回数に1を加算した後、S1405では処理回数が2回以上であるかどうかを判断する。処理回数が2回以上の場合、S1406へ処理を進め、2回未満であれば処理を終了する。S1406でCPU101は第1LPF処理後の総制御量と、現在の姿勢差補正量を取得し、S1407では目標発生部601がカウント停止中であるかどうかを判断する。カウント停止中の場合、S1408へ処理を移し、カウント増減中の場合、S1409へ移行する。
S1408にてCPU101は実発生推力の推定結果をゼロとした後、S1410へ処理を進める。S1409にてCPU101はハイパスフィルタ処理後の位置情報から速度を推定する。推定速度とリニアモータ106の逆モデルから、実際に発生しているとみられる実発生推力が推定される。これは図13のブロック1302での変換に相当する。S1410において、CPU101は期待発生推力を推定する。期待発生推力とは、S1406で取得した総制御量から姿勢差補正量(記憶部607の記憶値)を引いた制御量と、リニアモータ106のモデルから、当該制御量を与えたならば発生することが期待される発生推力である。期待発生推力の推定は、図13のブロック1304での変換に相当する。
次にS1411にてCPU101は低周波数域の外乱を推定する。つまり、期待発生推力の推定値と実発生推力の推定値との加算値を時定数Tの第2LPF処理した値と、実発生推力の推定値との差分から、リニアモータ106の内部で失われた時定数T以下での低周波数域の外乱が推定される。これは図13の加算部1305とブロック1306と加算部1307での処理に相当する。S1412でCPU101は低周波数域の外乱推定値を相殺する推力を発生させるための外乱相殺制御量を算出し、処理を終了する。これは図13のブロック1308での変換に相当する。
以上のように制御対象の姿勢変化が生じた場合でも最新の停止中の外乱相殺制御量が姿勢差補正量として記憶部607に保存される。
本実施形態では、固定位置への位置制御中に姿勢変化へ抗するために出力しようした外乱相殺制御量を記憶部に保存し、移動位置への位置制御中には保存された外乱相殺制御量を総制御量から減算して外乱推定を行う。このように姿勢変化へ抗するための速度発生に寄与しない制御量を除去することにより、姿勢変化による誤推定の可能性を低減し、位置サーボ制御を安定化させる効果が得られる。
100 位置制御装置
101 CPU
102 ROM
103 RAM
106 リニアモータ
107 リニアエンコーダ
601 目標発生部
604 PID補償器
605 外乱推定オブザーバ
607 姿勢差補正量の記憶部

Claims (10)

  1. 制御対象の検出位置に応じて、前記制御対象を目標位置に追従させる制御量を算出する算出手段と、
    前記算出手段により算出された制御量、または当該制御量と前記制御対象の移動量に応じた外乱相殺制御量とを加算した総制御量、に応じて前記制御対象を制御する制御手段と、
    前記制御対象が停止状態の場合の当該停止状態を維持するための制御量である姿勢差補正量を記憶する記憶手段と、を備え、
    前記外乱相殺制御量は、さらに、移し続ける状態の目標位置前記制御対象を追従させる位置制御中に前記総制御量から前記記憶手段の記憶している姿勢差補正量を減算した制御量に応じた制御量であることを特徴とする位置制御装置。
  2. 前記外乱相殺制御量は、前記制御対象の移動量として、前記制御対象の検出位置から求めた前記制御対象の移動速度を用いることを特徴とする請求項1に記載の位置制御装置。
  3. 前記記憶手段は、前記制御対象が前記停止状態の場合に前記算出手段が算出した制御量を前記姿勢差補正量として記憶することを特徴とする請求項1または2に記載の位置制御装置。
  4. 前記記憶手段は、前記制御対象が前記停止状態の場合に前記外乱相殺制御量を前記姿勢差補正量として記憶することを特徴とする請求項1または2に記載の位置制御装置。
  5. 前記制御対象は、推力の未発生時に保持力が無いアクチュエータにより駆動されることを特徴とする請求項1ないしのいずれか1項に記載の位置制御装置。
  6. 前記制御対象が前記停止状態の場合に、前記制御手段は前記外乱相殺制御量を加算せずに前記算出手段の出力する制御量に応じて前記制御対象を制御することを特徴とする請求項1ないしのいずれか1項に記載の位置制御装置。
  7. 前記制御対象が前記停止状態の場合に、前記制御手段は前記外乱相殺制御量を加算せずに前記算出手段の出力する制御量に応じて前記制御対象を制御し、前記外乱相殺制御量は、前記制御対象の移動量をゼロとして前記総制御量から算出された制御量であることを特徴とする請求項に記載の位置制御装置。
  8. 請求項1ないしのいずれか1項に記載の位置制御装置を備えることを特徴とする光学機器。
  9. 請求項1ないしのいずれか1項に記載の位置制御装置を備えることを特徴とする撮像装置。
  10. 位置制御装置にて実行される位置制御方法であって、
    算出手段が制御対象の検出位置に応じて、前記制御対象を目標位置に追従させる制御量を算出するステップと、
    前記制御対象の移動量に応じた外乱相殺制御量を算出するステップと、
    前記算出手段により算出された制御量、または当該制御量と前記外乱相殺制御量とを加算した総制御量、に応じて前記制御対象を制御するステップと、
    前記制御対象が停止状態の場合の当該停止状態を維持するための制御量である姿勢差補正量を記憶手段が記憶するステップと、を有し、
    前記外乱相殺制御量は、さらに、移し続ける状態の目標位置前記制御対象を追従させる位置制御中に前記総制御量から前記記憶手段の記憶している姿勢差補正量を減算した制御量に応じた制御量であることを特徴とする位置制御方法。
JP2014073948A 2014-03-31 2014-03-31 位置制御装置および位置制御方法、光学機器、撮像装置 Active JP6053715B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014073948A JP6053715B2 (ja) 2014-03-31 2014-03-31 位置制御装置および位置制御方法、光学機器、撮像装置
US14/671,543 US9977419B2 (en) 2014-03-31 2015-03-27 Position control apparatus, position control method, optical apparatus, and imaging apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014073948A JP6053715B2 (ja) 2014-03-31 2014-03-31 位置制御装置および位置制御方法、光学機器、撮像装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015197714A JP2015197714A (ja) 2015-11-09
JP6053715B2 true JP6053715B2 (ja) 2016-12-27

Family

ID=54539547

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014073948A Active JP6053715B2 (ja) 2014-03-31 2014-03-31 位置制御装置および位置制御方法、光学機器、撮像装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US9977419B2 (ja)
JP (1) JP6053715B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109040574A (zh) * 2017-06-08 2018-12-18 北京君正集成电路股份有限公司 一种转动摇头机跟踪目标的方法及装置
CN108803669B (zh) * 2018-07-05 2021-08-24 北京淳中科技股份有限公司 云台转向控制方法、装置、电子设备及存储介质
CN109189085B (zh) * 2018-07-25 2021-06-08 西北工业大学 基于事件触发的航天器网络化系统姿态控制方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3171860B2 (ja) * 1991-01-23 2001-06-04 セイコーインスツルメンツ株式会社 サーボ制御システム
US5504407A (en) * 1992-02-21 1996-04-02 Canon Kabushiki Kaisha Stage driving system
JP3217522B2 (ja) * 1992-03-02 2001-10-09 キヤノン株式会社 精密位置決め装置
JPH09115825A (ja) * 1995-10-19 1997-05-02 Nikon Corp 走査型投影露光装置
JP3633095B2 (ja) * 1996-04-22 2005-03-30 富士通株式会社 光学的記憶装置
JP2000260137A (ja) * 1999-03-11 2000-09-22 Fujitsu Ltd 記憶装置
JP3552158B2 (ja) * 1999-04-08 2004-08-11 富士通株式会社 記憶装置
JP3298069B2 (ja) * 1999-05-20 2002-07-02 住友重機械工業株式会社 ステージの位置制御装置及び速度制御装置
US6434932B2 (en) * 2000-03-23 2002-08-20 Minolta Co., Ltd. Control mechanism with actuator employing shape memory alloy and method for adjusting servo control of the control mechanism
JP2002358678A (ja) * 2001-05-31 2002-12-13 Fujitsu Ltd トラックサーボ制御方法、トラックサーボ制御装置及び光記憶装置
US6668202B2 (en) * 2001-11-21 2003-12-23 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Position control system and velocity control system for stage driving mechanism
JP4810251B2 (ja) * 2006-02-16 2011-11-09 キヤノン株式会社 原子間力顕微鏡
US8064810B2 (en) * 2007-11-09 2011-11-22 Canon Kabushiki Kaisha Image forming apparatus with image bearing member adjustment
US8805556B2 (en) * 2008-07-03 2014-08-12 Nikon Corporation Damping apparatus and exposure apparatus
JP5943557B2 (ja) * 2011-06-01 2016-07-05 キヤノン株式会社 位置決め装置、露光装置およびデバイス製造方法
JP5987538B2 (ja) * 2012-08-03 2016-09-07 株式会社リコー 制御装置、プログラムおよび制御システム

Also Published As

Publication number Publication date
US20150334310A1 (en) 2015-11-19
US9977419B2 (en) 2018-05-22
JP2015197714A (ja) 2015-11-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10133246B2 (en) Position control device and position control method, optical device, and image pickup apparatus
JP6395506B2 (ja) 画像処理装置および方法、プログラム、並びに撮像装置
JP6053715B2 (ja) 位置制御装置および位置制御方法、光学機器、撮像装置
JP2016159407A (ja) ロボット制御装置およびロボット制御方法
KR20150088636A (ko) 위치 추정 장치 및 방법
US10737384B2 (en) Robot system
JP2009500709A (ja) 物体の動きのパターンを認識する方法
WO2020085028A1 (ja) 画像認識装置および画像認識方法
JP2016018374A (ja) 物体追跡装置、物体追跡方法および物体追跡プログラム
JP2019215912A (ja) 位置制御装置及び位置制御方法、光学機器、撮像装置
JP2007065251A (ja) 撮像装置および撮像装置の制御方法
CN111179328B (zh) 数据同步标定方法、装置、可读存储介质及电子设备
JP7336223B2 (ja) 自己位置推定方法
CN109547719B (zh) 模数转换器模块及包括模数转换器模块的相机驱动设备
JP6168776B2 (ja) 位置制御装置及び位置制御方法
Bobkov et al. Vision-based navigation method for a local maneuvering of the autonomous underwater vehicle
JP2019161539A (ja) 撮像装置およびその制御方法
Amanatiadis et al. Image stabilization in active robot vision
JP5686048B2 (ja) 位置姿勢出力装置、位置姿勢出力プログラム及び位置姿勢出力方法
KR20130124837A (ko) 영상의 모션 블러를 제거하는 방법 및 장치
TW200921316A (en) Multi-degree-of-freedom stage control apparatus
KR101199940B1 (ko) 이동체 탑재형 영상 추적 장치
JP2017154868A (ja) 吊り荷の振れ角演算装置
JP6245808B2 (ja) 位置制御装置及び位置制御方法
JP6472166B2 (ja) 位置制御装置および方法

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160316

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160329

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160527

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20161101

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20161129

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6053715

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151