JP3243394B2 - 疵検査装置 - Google Patents
疵検査装置Info
- Publication number
- JP3243394B2 JP3243394B2 JP07378395A JP7378395A JP3243394B2 JP 3243394 B2 JP3243394 B2 JP 3243394B2 JP 07378395 A JP07378395 A JP 07378395A JP 7378395 A JP7378395 A JP 7378395A JP 3243394 B2 JP3243394 B2 JP 3243394B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flaw
- image
- type
- degree
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8914—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the material examined
- G01N2021/8918—Metal
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属，フィルム，紙，
半導体等の生産ラインにおいて適用される疵検査装置に
おいて、疵部分の画像をリアルタイムに表示して検査員
に疵の画像情報を提示する疵検査装置に関するものであ
る。
半導体等の生産ラインにおいて適用される疵検査装置に
おいて、疵部分の画像をリアルタイムに表示して検査員
に疵の画像情報を提示する疵検査装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来技術】一般に金属，フィルム，紙，半導体等の生
産ラインにおいて適用される表面疵検査装置は光学式に
て実現され、疵部と無疵部で分布が異なる反射光を特定
の方向から受光することによって疵部と無疵部の区分を
行なっている。すなわち受光部での光の強度を電気信号
に変換し、無疵部の電気信号レベルに対し、しきい値レ
ベルを設定し、このしきい値を越えた部分を疵と特定す
る。しかるに、実際の疵の有害さと受光部で受光される
光の強度はリニアに対応していないため、このような疵
検査装置は、正確に検出したい疵をかならず検出するこ
とは不可能であり、誤検出、あるいは見逃しが発生する
という問題がある。このような問題点に対し、例えば、
受光部で受光された光の強度を検査対象の検査点ごとに
展開することによって疵部の画像を再構成し、該画像か
ら画像処理により疵部の長さ，幅あるいは面積等の特徴
量を抽出し、これらをもとに疵種や程度の分類を行う装
置がある。このような装置では、疵の有害さが単純な光
の強度のみではなく、長さ，幅，面積などの、より多く
の特徴量をもとに疵種，程度が判別できるため、誤検
出，見逃しを更に減少させることが可能である。しか
し、このような装置をもってしても、確実に疵種，程度
を判別することはできず、依然として誤検出，見逃しと
いった問題は十分には解決されていない。
産ラインにおいて適用される表面疵検査装置は光学式に
て実現され、疵部と無疵部で分布が異なる反射光を特定
の方向から受光することによって疵部と無疵部の区分を
行なっている。すなわち受光部での光の強度を電気信号
に変換し、無疵部の電気信号レベルに対し、しきい値レ
ベルを設定し、このしきい値を越えた部分を疵と特定す
る。しかるに、実際の疵の有害さと受光部で受光される
光の強度はリニアに対応していないため、このような疵
検査装置は、正確に検出したい疵をかならず検出するこ
とは不可能であり、誤検出、あるいは見逃しが発生する
という問題がある。このような問題点に対し、例えば、
受光部で受光された光の強度を検査対象の検査点ごとに
展開することによって疵部の画像を再構成し、該画像か
ら画像処理により疵部の長さ，幅あるいは面積等の特徴
量を抽出し、これらをもとに疵種や程度の分類を行う装
置がある。このような装置では、疵の有害さが単純な光
の強度のみではなく、長さ，幅，面積などの、より多く
の特徴量をもとに疵種，程度が判別できるため、誤検
出，見逃しを更に減少させることが可能である。しか
し、このような装置をもってしても、確実に疵種，程度
を判別することはできず、依然として誤検出，見逃しと
いった問題は十分には解決されていない。
【０００３】一方、このような問題点に対し受光部から
得られる信号から画像を再構成し、疵の画像をＣＲＴモ
ニタ上にリアルタイムに表示し、これを検査員に提示す
ることにより、オペレ−タの判断を加えて、疵の最終判
定を下せるようにした疵検査装置が開発されている。し
かし、このような疵検査装置では、有害な疵や無害な模
様等が混在して発生する場合、例えば、鉄鋼ラインで
は、鋼板表面の油分が誤検出される例が多いが、このよ
うな場合、連続して油分の画像が表示されてしまい、そ
のなかで時折発生する有害な疵の画像が表示されず、結
果として検査員が有害な疵を見逃してしまうことが発生
する。
得られる信号から画像を再構成し、疵の画像をＣＲＴモ
ニタ上にリアルタイムに表示し、これを検査員に提示す
ることにより、オペレ−タの判断を加えて、疵の最終判
定を下せるようにした疵検査装置が開発されている。し
かし、このような疵検査装置では、有害な疵や無害な模
様等が混在して発生する場合、例えば、鉄鋼ラインで
は、鋼板表面の油分が誤検出される例が多いが、このよ
うな場合、連続して油分の画像が表示されてしまい、そ
のなかで時折発生する有害な疵の画像が表示されず、結
果として検査員が有害な疵を見逃してしまうことが発生
する。
【０００４】このような問題点に対し、例えば特開平４
−５４４４３号公報で示すように被検査材の表面を走査
して得た画像信号に含まれる信号出力レベルの大小によ
ってレベルの大きいものを優先的に表示する装置が考案
されている。
−５４４４３号公報で示すように被検査材の表面を走査
して得た画像信号に含まれる信号出力レベルの大小によ
ってレベルの大きいものを優先的に表示する装置が考案
されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかるに上記特開平４
−５４４４３号公報で示す方法では、画像信号レベルが
疵の有害，無害とはリニアに一致していないのに対し
て、画像表示の優先度を画像信号レベルによって制御し
ているため、有害な疵，無害な模様等の判断が正確にな
されない。従って、誤検出された部分の画像がＣＲＴ上
に表示されてそれ以前に表示された疵画像が十分にチェ
ックされていないうちに更新されてしまう、あるいは、
無害な模様等が有害な疵よりも優先して表示されてしま
い、検査員が判定不可能となる場合がある、といった問
題点がある。
−５４４４３号公報で示す方法では、画像信号レベルが
疵の有害，無害とはリニアに一致していないのに対し
て、画像表示の優先度を画像信号レベルによって制御し
ているため、有害な疵，無害な模様等の判断が正確にな
されない。従って、誤検出された部分の画像がＣＲＴ上
に表示されてそれ以前に表示された疵画像が十分にチェ
ックされていないうちに更新されてしまう、あるいは、
無害な模様等が有害な疵よりも優先して表示されてしま
い、検査員が判定不可能となる場合がある、といった問
題点がある。
【０００６】従って、本発明は、上記の問題点を解決す
るとともに、誤検出に煩わされることなく、重要な疵の
みを検査員が十分に監視することが可能となる疵検査装
置を提供することを目的とする。
るとともに、誤検出に煩わされることなく、重要な疵の
みを検査員が十分に監視することが可能となる疵検査装
置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は従来技術を有利
に解決するものであり、金属、フィルム、紙、半導体等
の生産ラインにおいて適用され、投光装置と受光装置
と、受光装置の出力信号処理を行う信号処理装置と、そ
の出力を一時記憶するビデオメモリおよびゲート回路
と、疵部を判定する疵弁別回路と、疵部の画像のみを切
り出す画像切りだし制御回路と切り出された画像を記憶
するフレームメモリと、この画像を表示するための画像
表示用フレームメモリとCRT装置により構成され、疵部
分の画像を表示して検査員に疵の画像情報を提示する疵
検査装置において、疵の種類あるいは程度を自動的に分
類する手段と、分類された疵の種類あるいは程度に応じ
て、疵の画像情報の表示の有無を制御する手段とを具備
するとともに、前記疵の種類あるいは程度を自動的に分
類する手段が、分類された疵の種類あるいは程度に応じ
て評価点を設定する機能を有し、前記疵の画像情報の表
示の有無を制御する手段が、前記疵の種類あるいは程度
を自動的に分類する手段から出力された評価点を予め設
定されたしきい値と比較し、該しきい値を上回る疵の画
像で、かつある時間またはある通板長さの中に検出され
た疵のうち評価点の最も大きなものを優先して表示する
機能を有するようにしたことを特徴とする。
に解決するものであり、金属、フィルム、紙、半導体等
の生産ラインにおいて適用され、投光装置と受光装置
と、受光装置の出力信号処理を行う信号処理装置と、そ
の出力を一時記憶するビデオメモリおよびゲート回路
と、疵部を判定する疵弁別回路と、疵部の画像のみを切
り出す画像切りだし制御回路と切り出された画像を記憶
するフレームメモリと、この画像を表示するための画像
表示用フレームメモリとCRT装置により構成され、疵部
分の画像を表示して検査員に疵の画像情報を提示する疵
検査装置において、疵の種類あるいは程度を自動的に分
類する手段と、分類された疵の種類あるいは程度に応じ
て、疵の画像情報の表示の有無を制御する手段とを具備
するとともに、前記疵の種類あるいは程度を自動的に分
類する手段が、分類された疵の種類あるいは程度に応じ
て評価点を設定する機能を有し、前記疵の画像情報の表
示の有無を制御する手段が、前記疵の種類あるいは程度
を自動的に分類する手段から出力された評価点を予め設
定されたしきい値と比較し、該しきい値を上回る疵の画
像で、かつある時間またはある通板長さの中に検出され
た疵のうち評価点の最も大きなものを優先して表示する
機能を有するようにしたことを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明によれば、分類手段が疵の種類あるいは
程度を自動的に分類し、制御手段がこの分類に従って分
類した疵の表示／非表示を制御するので、従来の、画像
表示の優先度を画像信号レベルによって制御している装
置に比べて、より高い性能で、表示が制御される。特に
検査員の注意を必要としない軽微な疵、あるいは、製品
として問題のない表面の模様，汚れ，付着物等、疵検出
装置の特性上検出してしまうものが非表示となり、検査
員にとって重要な疵が表示され、軽微な疵の表示により
重要疵が表示されない、あるいは重要疵の画面が軽微な
疵の画面にすぐ更新されてしまうことがなくなり、その
結果、重要な疵を選択的にかつ優先的に十分な時間をも
って画像にて監視することが可能となり、上記分類機能
が分類し得ないものに対して検査員が表示された疵の画
像を目視にて検査することができるため、検査員と検査
装置が互いに補完しあい高い精度での疵種あるいは疵の
程度の識別が可能となる。
程度を自動的に分類し、制御手段がこの分類に従って分
類した疵の表示／非表示を制御するので、従来の、画像
表示の優先度を画像信号レベルによって制御している装
置に比べて、より高い性能で、表示が制御される。特に
検査員の注意を必要としない軽微な疵、あるいは、製品
として問題のない表面の模様，汚れ，付着物等、疵検出
装置の特性上検出してしまうものが非表示となり、検査
員にとって重要な疵が表示され、軽微な疵の表示により
重要疵が表示されない、あるいは重要疵の画面が軽微な
疵の画面にすぐ更新されてしまうことがなくなり、その
結果、重要な疵を選択的にかつ優先的に十分な時間をも
って画像にて監視することが可能となり、上記分類機能
が分類し得ないものに対して検査員が表示された疵の画
像を目視にて検査することができるため、検査員と検査
装置が互いに補完しあい高い精度での疵種あるいは疵の
程度の識別が可能となる。
【０００９】さらに、本装置であれば感度をあげて使用
しても、誤検出に煩わされることなく、重大疵のみを十
分に監視することが可能となるため、軽微な疵の検出感
度の向上と、重大疵のみの検査員への警報が両立可能と
なる。以下図面に基づいて本発明を説明する。
しても、誤検出に煩わされることなく、重大疵のみを十
分に監視することが可能となるため、軽微な疵の検出感
度の向上と、重大疵のみの検査員への警報が両立可能と
なる。以下図面に基づいて本発明を説明する。
【００１０】
【実施例】図１に、本発明の１実施例を示す。鋼板１は
冷間圧延された後、熱処理，調質圧延をほどこされた鋼
板であり、板幅600mm〜2000mm、厚さ0.1mm〜2.5mm程度
のものが、通常100mpm〜600mpm程度の速度で通板されて
いる。光源装置２は、ハロゲンランプ等輝度の高いラン
プと集光レンズ等からなり、鋼板１上、板全幅にわた
り、通板方向に5mm程度の幅の細いスリット光を投射す
る。受光装置３は、集光レンズとＣＣＤラインセンサか
らなるカメラであり、約10000回／秒の速度で板全幅を
電子的にスキャンしている。これにより幅方向0.5mm×
長手方向1.0mm程度の分解能で鋼板全面の検査を実施し
ている。なお、さらに分解能を上げるために複数のカメ
ラを幅方向に並列に並べることも可能である。
冷間圧延された後、熱処理，調質圧延をほどこされた鋼
板であり、板幅600mm〜2000mm、厚さ0.1mm〜2.5mm程度
のものが、通常100mpm〜600mpm程度の速度で通板されて
いる。光源装置２は、ハロゲンランプ等輝度の高いラン
プと集光レンズ等からなり、鋼板１上、板全幅にわた
り、通板方向に5mm程度の幅の細いスリット光を投射す
る。受光装置３は、集光レンズとＣＣＤラインセンサか
らなるカメラであり、約10000回／秒の速度で板全幅を
電子的にスキャンしている。これにより幅方向0.5mm×
長手方向1.0mm程度の分解能で鋼板全面の検査を実施し
ている。なお、さらに分解能を上げるために複数のカメ
ラを幅方向に並列に並べることも可能である。
【００１１】信号処理回路４は、受光装置３からの出力
を信号処理に適した強度の電気信号への変換（増幅）お
よび出力が全幅かつ全長にわたりほぼ一定のレベルに保
たれるようにゲインコントロ−ルを行っている。さらに
アナログ／デジタル変換回路を内蔵し、受光装置３にて
得られた輝度レベルを8bit程度の分解能でデジタル化す
る。またゲ−ト回路５は、鋼板１のエッジ部（側端）を
判定し、このエッジより数１０ｍｍ程度内側の部分にお
いてＯＮ、その他の部分についてはＯＦＦとなるような
マスキング信号を生成し、この信号がＯＮの間のみ信号
処理部５からの出力をビデオメモリ６に与える。これに
より、鋼板１の幅内のビデオデ−タがメモリ６に記録さ
れる。なおビデオメモリ６は、該メモリ６の最も古いデ
−タを捨てて、新しく入力されるデ−タを、最新デ−タ
書込領域に記録し、常時、最新デ−タから順次前のデ−
タを、所定容量分保持するリングバッファタイプのもの
である。
を信号処理に適した強度の電気信号への変換（増幅）お
よび出力が全幅かつ全長にわたりほぼ一定のレベルに保
たれるようにゲインコントロ−ルを行っている。さらに
アナログ／デジタル変換回路を内蔵し、受光装置３にて
得られた輝度レベルを8bit程度の分解能でデジタル化す
る。またゲ−ト回路５は、鋼板１のエッジ部（側端）を
判定し、このエッジより数１０ｍｍ程度内側の部分にお
いてＯＮ、その他の部分についてはＯＦＦとなるような
マスキング信号を生成し、この信号がＯＮの間のみ信号
処理部５からの出力をビデオメモリ６に与える。これに
より、鋼板１の幅内のビデオデ−タがメモリ６に記録さ
れる。なおビデオメモリ６は、該メモリ６の最も古いデ
−タを捨てて、新しく入力されるデ−タを、最新デ−タ
書込領域に記録し、常時、最新デ−タから順次前のデ−
タを、所定容量分保持するリングバッファタイプのもの
である。
【００１２】疵弁別回路７は、ビデオメモリ６に記録さ
れたデ−タを順次読み込み、しきい値処理等の２値化処
理を行う。通常、疵部からの受光信号は無疵部に対し明
るい、あるいは暗いものとなるため、該２値化処理によ
り疵部に対応する画素が抽出される。画像切り出し制御
回路８は疵弁別回路７により抽出された疵画素情報によ
り疵のラベリング処理を行い、疵およびその周囲の画像
情報を切り出し、正確に１つの疵の形状を抽出し、その
部分の画像のみをビデオメモリ６よりフレ−ムメモリ９
に切り出す。
れたデ−タを順次読み込み、しきい値処理等の２値化処
理を行う。通常、疵部からの受光信号は無疵部に対し明
るい、あるいは暗いものとなるため、該２値化処理によ
り疵部に対応する画素が抽出される。画像切り出し制御
回路８は疵弁別回路７により抽出された疵画素情報によ
り疵のラベリング処理を行い、疵およびその周囲の画像
情報を切り出し、正確に１つの疵の形状を抽出し、その
部分の画像のみをビデオメモリ６よりフレ−ムメモリ９
に切り出す。
【００１３】特徴抽出回路１０は、抽出された疵画像の
長さ，幅，面積，最大明度，最小明度等の特徴量を演算
し、そのデ−タを疵種判別回路１１へと伝送する。
長さ，幅，面積，最大明度，最小明度等の特徴量を演算
し、そのデ−タを疵種判別回路１１へと伝送する。
【００１４】疵種判別回路１１は、上記の特徴量をもと
にあらかじめプログラムされた疵種，程度判別ロジック
に基づいて、疵種あるいは程度の判定を行い、メモリ１
２にあらかじめ記録された評価点対照テ−ブルに基づ
き、判別された疵種，程度に応じた評価点を出力する。
にあらかじめプログラムされた疵種，程度判別ロジック
に基づいて、疵種あるいは程度の判定を行い、メモリ１
２にあらかじめ記録された評価点対照テ−ブルに基づ
き、判別された疵種，程度に応じた評価点を出力する。
【００１５】画像表示制御回路１６は、疵種判別回路１
１よりの評価点の出力信号を受け、この評価点を読み込
んだ後、あらかじめ設定されたしきい値（表示しきい
値）と比較し、これより大きい（あるいは小さい）場合
のみ、フレ−ムメモリ９より該当する疵画像デ−タを画
像表示用フレ−ムメモリ１３に転送しＣＲＴ表示装置１
４に疵画像を表示する。
１よりの評価点の出力信号を受け、この評価点を読み込
んだ後、あらかじめ設定されたしきい値（表示しきい
値）と比較し、これより大きい（あるいは小さい）場合
のみ、フレ−ムメモリ９より該当する疵画像デ−タを画
像表示用フレ−ムメモリ１３に転送しＣＲＴ表示装置１
４に疵画像を表示する。
【００１６】画像表示制御回路１６は更に、ラインに設
置されたＰＬＧ１７より常時供給されるパルス信号をカ
ウントすることにより、鋼板が一定距離移動するのを監
視する。疵種判別回路１１より受け取った評価点が表示
しきい値より大きい（あるいは小さい）場合に画像デ−
タをフレ−ムメモリ１８に転送する機能を有しているの
に加えて、上記の一定の鋼板移動距離に達するまでこれ
をホ−ルドしておく機能を有する。そして、鋼板移動距
離が一定値に達した時にこのデ−タを画像表示用フレ−
ムメモリ１３に転送し、ＣＲＴ１４上に疵画像を表示す
る。一方、フレ−ムメモリ１８に画像デ−タをホ−ルド
している間に次の疵情報を受け取った場合、その評価点
が先にホ−ルドした疵の評価点より高かった場合には、
この疵画像デ−タをフレ−ムメモリ１８に上書きして転
送する制御を行う。
置されたＰＬＧ１７より常時供給されるパルス信号をカ
ウントすることにより、鋼板が一定距離移動するのを監
視する。疵種判別回路１１より受け取った評価点が表示
しきい値より大きい（あるいは小さい）場合に画像デ−
タをフレ−ムメモリ１８に転送する機能を有しているの
に加えて、上記の一定の鋼板移動距離に達するまでこれ
をホ−ルドしておく機能を有する。そして、鋼板移動距
離が一定値に達した時にこのデ−タを画像表示用フレ−
ムメモリ１３に転送し、ＣＲＴ１４上に疵画像を表示す
る。一方、フレ−ムメモリ１８に画像デ−タをホ−ルド
している間に次の疵情報を受け取った場合、その評価点
が先にホ−ルドした疵の評価点より高かった場合には、
この疵画像デ−タをフレ−ムメモリ１８に上書きして転
送する制御を行う。
【００１７】鋼板の移動距離が先の一定値に達するまで
この制御を繰り返し、一定距離を過ぎた時点で、画像表
示用フレ−ムメモリ１３にこの疵画像デ−タを転送す
る。以上のような、鋼板が一定の移動距離を移動する間
に発生した疵の評価点の最高値を判定し、この最高値に
対応した疵のデ−タを画像表示用フレ−ムメモリ１３に
転送する機能により、より有害な疵が優先判定され表示
される。
この制御を繰り返し、一定距離を過ぎた時点で、画像表
示用フレ−ムメモリ１３にこの疵画像デ−タを転送す
る。以上のような、鋼板が一定の移動距離を移動する間
に発生した疵の評価点の最高値を判定し、この最高値に
対応した疵のデ−タを画像表示用フレ−ムメモリ１３に
転送する機能により、より有害な疵が優先判定され表示
される。
【００１８】なお、図１においてハロゲンランプ光源と
ＣＣＤラインセンサ受光素子が用いられているが、例え
ばレ−ザ−光源とフォトマル、ハロゲンランプ光源とＣ
ＣＤエリアセンサ等、他の投受光系を用いてもよい。ま
た、ラインから供給されるＰＬＧ信号に変えてクロック
信号発生器を用いて、一定時間ごとに評価点の最高値を
判定し、画像表示を制御してもよい。
ＣＣＤラインセンサ受光素子が用いられているが、例え
ばレ−ザ−光源とフォトマル、ハロゲンランプ光源とＣ
ＣＤエリアセンサ等、他の投受光系を用いてもよい。ま
た、ラインから供給されるＰＬＧ信号に変えてクロック
信号発生器を用いて、一定時間ごとに評価点の最高値を
判定し、画像表示を制御してもよい。
【００１９】図２に、疵種判別回路１１にて実行される
疵種の判定処理および評価点の設定例を示す。ここで行
われる疵種判別ロジックは、デシジョンツリ−によるも
のである。上述の検査対象は冷延鋼板である。検出すベ
き疵としてはスリバ，スケ−ルおよびロ−ル疵がある。
また鋼板上の圧延油による模様も光学式疵検査装置では
検出されてしまうが、出荷品質上問題になるものではな
い。これらに対し、まず鋼板面上の明度むら部の面積
は、圧延油による模様の場合は明度むら部の面積が大き
いので、圧延油による模様の識別に有効である。
疵種の判定処理および評価点の設定例を示す。ここで行
われる疵種判別ロジックは、デシジョンツリ−によるも
のである。上述の検査対象は冷延鋼板である。検出すベ
き疵としてはスリバ，スケ−ルおよびロ−ル疵がある。
また鋼板上の圧延油による模様も光学式疵検査装置では
検出されてしまうが、出荷品質上問題になるものではな
い。これらに対し、まず鋼板面上の明度むら部の面積
は、圧延油による模様の場合は明度むら部の面積が大き
いので、圧延油による模様の識別に有効である。
【００２０】次に、３つの疵、スリバ，スケ−ルおよび
ロ−ル疵のうち、スリバのみが疵の長さが長く、他の２
つの疵とは明らかに区分できる。長さがスリバよりも短
いスケ−ルとロ−ル疵のうち、スケ−ルは長さは短いも
のの細長い疵であり、ロ−ル疵は点状の疵であるので、
両者共に長さ／幅で分別できる。さらに、ここで示した
３種類の疵については、スリバが鋼板を加工したときに
割れを発生させるなど、品質上非常に重要な疵であり、
次にスケ−ルは大きなものについては同じく割れを生じ
させる。一方ロ−ル疵は繰り返し周期的に発生するた
め、１個を見逃しても次に発生するものを検出できれば
問題はない。従ってこの場合評価点はスリバが１０、ス
ケ−ルが５、ロ−ル疵が３、油による模様は０とし、表
示しきい値を１とした。これにより、スリバ，スケ−ル
およびロ−ル疵は表示するが、油による模様は表示しな
い。
ロ−ル疵のうち、スリバのみが疵の長さが長く、他の２
つの疵とは明らかに区分できる。長さがスリバよりも短
いスケ−ルとロ−ル疵のうち、スケ−ルは長さは短いも
のの細長い疵であり、ロ−ル疵は点状の疵であるので、
両者共に長さ／幅で分別できる。さらに、ここで示した
３種類の疵については、スリバが鋼板を加工したときに
割れを発生させるなど、品質上非常に重要な疵であり、
次にスケ−ルは大きなものについては同じく割れを生じ
させる。一方ロ−ル疵は繰り返し周期的に発生するた
め、１個を見逃しても次に発生するものを検出できれば
問題はない。従ってこの場合評価点はスリバが１０、ス
ケ−ルが５、ロ−ル疵が３、油による模様は０とし、表
示しきい値を１とした。これにより、スリバ，スケ−ル
およびロ−ル疵は表示するが、油による模様は表示しな
い。
【００２１】このように重要な疵ほど高い評価点を与
え、重要度が下がるに従って小さい評価点を設定し、表
示する必要のない無害な疵もしくは無疵部については表
示しきい値より低く設定した。そして、評価点の高いも
のを優先的に表示し、かつ表示しきい値より低いものは
表示しないように設定すれば良い。
え、重要度が下がるに従って小さい評価点を設定し、表
示する必要のない無害な疵もしくは無疵部については表
示しきい値より低く設定した。そして、評価点の高いも
のを優先的に表示し、かつ表示しきい値より低いものは
表示しないように設定すれば良い。
【００２２】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、疵
検査装置は大まかに疵の分類を行い、疵画像表示装置に
表示して検査員の判断を仰ぐ必要のあるもののみを表示
し、かつ検査員にとって重要な疵のみが選択的にかつ優
先的に表示されることから検査員はこれらの重要な疵を
十分時間をもって検査することができるため、疵検査精
度が確実に向上する。さらに疵検査装置の感度をあげて
使用しても、誤検出に煩わされることなく、重大疵のみ
を十分に監視することが可能となるため、軽微な疵の検
出感度向上と、重要な疵のみの検査員への警報が両立可
能となる。従って、検査員の負荷を増大することなく、
重要な疵の詳細検査と、軽微な疵の検出，発生確認が可
能となることから、ラインでは品質保証能力の向上と検
査員の負荷軽減が可能となる。
検査装置は大まかに疵の分類を行い、疵画像表示装置に
表示して検査員の判断を仰ぐ必要のあるもののみを表示
し、かつ検査員にとって重要な疵のみが選択的にかつ優
先的に表示されることから検査員はこれらの重要な疵を
十分時間をもって検査することができるため、疵検査精
度が確実に向上する。さらに疵検査装置の感度をあげて
使用しても、誤検出に煩わされることなく、重大疵のみ
を十分に監視することが可能となるため、軽微な疵の検
出感度向上と、重要な疵のみの検査員への警報が両立可
能となる。従って、検査員の負荷を増大することなく、
重要な疵の詳細検査と、軽微な疵の検出，発生確認が可
能となることから、ラインでは品質保証能力の向上と検
査員の負荷軽減が可能となる。
【図１】 本発明の１実施例の構成を示すブロック図で
ある。
ある。
【図２】 図１に示す疵種判別回路１１にて実行される
疵種の判定処理および評価点の設定例を示すフロ−チャ
−トである。
疵種の判定処理および評価点の設定例を示すフロ−チャ
−トである。
１：鋼板 ２：光源装置 ３：受光装置 ４：信号処理回路 ５：ゲ−ト回路 ６：ビデオメモリ ７：疵弁別回路 ８：画像切り出し制
御回路 ９：フレ−ムメモリ １０：特徴抽出回路 １１：疵種判別回路 １２：メモリ １３：画像表示用フレ−ムメモリ １４：ＣＲＴ １５：画像表示制御回路 １６：画像表示制御
回路 １７：ＰＬＧ １８：フレ−ムメモ
リ
御回路 ９：フレ−ムメモリ １０：特徴抽出回路 １１：疵種判別回路 １２：メモリ １３：画像表示用フレ−ムメモリ １４：ＣＲＴ １５：画像表示制御回路 １６：画像表示制御
回路 １７：ＰＬＧ １８：フレ−ムメモ
リ
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−54443（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−108948（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−38957（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−38953（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−255647（ＪＰ，Ａ) 特公 平６−63985（ＪＰ，Ｂ２) 民安明成，新たな検査システムへの展 開−欠点自動録画システムの開発−，コ ンバーテック，日本，加工技術研究会, 1992年１月15日，第20巻１号 通巻第 225号，第52−58頁 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/88 G01N 21/892
Claims (1)
- 【請求項１】 金属、フィルム、紙、半導体等の生産ラ
インにおいて適用され、投光装置と受光装置と、受光装
置の出力信号処理を行う信号処理装置と、その出力を一
時記憶するビデオメモリおよびゲート回路と、疵部を判
定する疵弁別回路と、疵部の画像のみを切り出す画像切
りだし制御回路と切り出された画像を記憶するフレーム
メモリと、この画像を表示するための画像表示用フレー
ムメモリとCRT装置により構成され、疵部分の画像を表
示して検査員に疵の画像情報を提示する疵検査装置にお
いて、 疵の種類あるいは程度を自動的に分類する手段と、分類
された疵の種類あるいは程度に応じて、疵の画像情報の
表示の有無を制御する手段とを具備するとともに、 前記疵の種類あるいは程度を自動的に分類する手段が、
分類された疵の種類あるいは程度に応じて評価点を設定
する機能を有し、前記疵の画像情報の表示の有無を制御
する手段が、前記疵の種類あるいは程度を自動的に分類
する手段から出力された評価点を予め設定されたしきい
値と比較し、該しきい値を上回る疵の画像で、かつある
時間またはある通板長さの中に検出された疵のうち評価
点の最も大きなものを優先して表示する機能を有するよ
うにしたことを特徴とする疵検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07378395A JP3243394B2 (ja) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 疵検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07378395A JP3243394B2 (ja) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 疵検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08271440A JPH08271440A (ja) | 1996-10-18 |
| JP3243394B2 true JP3243394B2 (ja) | 2002-01-07 |
Family
ID=13528151
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07378395A Expired - Fee Related JP3243394B2 (ja) | 1995-03-30 | 1995-03-30 | 疵検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3243394B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102735689A (zh) * | 2012-06-20 | 2012-10-17 | 太仓博天网络科技有限公司 | 一种基于图形模式识别的纸张纸病检测系统 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4982909A (en) * | 1990-01-12 | 1991-01-08 | Eastman Kodak Company | Film cartridge and method of assembling the same |
| JP3368838B2 (ja) | 1998-08-06 | 2003-01-20 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線ｃｔ装置 |
| JP2006266845A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Fuji Xerox Co Ltd | 画像判定装置及び画像判定方法 |
| JP2007322173A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ダメージチェックシステム及びダメージチェック方法 |
| ES2284410B1 (es) * | 2007-04-02 | 2009-04-01 | Acerinox, S.A. | Dispositivo para la deteccion y la clasificacion de oxido residual en lineas de produccion de laminados metalicos. |
| JP5891715B2 (ja) * | 2010-11-24 | 2016-03-23 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 表面検査装置 |
-
1995
- 1995-03-30 JP JP07378395A patent/JP3243394B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 民安明成，新たな検査システムへの展開−欠点自動録画システムの開発−，コンバーテック，日本，加工技術研究会，１９９２年１月１５日，第２０巻１号 通巻第２２５号，第５２−５８頁 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102735689A (zh) * | 2012-06-20 | 2012-10-17 | 太仓博天网络科技有限公司 | 一种基于图形模式识别的纸张纸病检测系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08271440A (ja) | 1996-10-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4675730A (en) | Video surface inspection system | |
| US5172421A (en) | Automated method of classifying optical fiber flaws | |
| US6687396B1 (en) | Optical member inspection apparatus, image-processing apparatus, image-processing method, and computer readable medium | |
| JP5594071B2 (ja) | 溶融金属メッキ鋼板のドロス欠陥検査装置およびドロス欠陥検査方法 | |
| JP3243394B2 (ja) | 疵検査装置 | |
| JP2011053173A (ja) | 糸条の欠陥検出方法および欠陥検出装置 | |
| JPH08285780A (ja) | 鋼管の外面疵検査方法 | |
| JPH06294749A (ja) | 板ガラスの欠点検査方法 | |
| JPH06148098A (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| KR101587982B1 (ko) | 용기 주둥이부 검사 방법 및 장치 | |
| JP2003065966A (ja) | フィルムに対する異物検査方法およびその装置 | |
| JPH07198627A (ja) | 金属表面欠陥検査装置 | |
| JP2003262593A (ja) | 欠陥検出装置及び欠陥検出方法 | |
| JP3332208B2 (ja) | 網入りガラスの欠陥検出方法および装置 | |
| JP2001124538A (ja) | 物体表面の欠陥検査方法および欠陥検査装置 | |
| JPH07333197A (ja) | 表面疵自動探傷装置 | |
| KR100484812B1 (ko) | 이미지 센서를 이용한 표면 검사방법 및 검사장치 | |
| JP2004138417A (ja) | 鋼板の疵検査方法およびその装置 | |
| JPH09113465A (ja) | 亜鉛メッキ系鋼板用表面欠陥検出装置 | |
| JP3047168B2 (ja) | 鶏卵の検査方法 | |
| JPH0763699A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPH11316179A (ja) | ガラス板破砕試験方法、装置、ガラス試験用撮像方法及びそれに用いる画像信号処理方法 | |
| JP2005003574A (ja) | 表面疵検査方法及び表面疵検査装置 | |
| JPH07113758A (ja) | 外観検査装置における２値化算出方式 | |
| JPH0882604A (ja) | 鋼板表面欠陥検査方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20011009 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |