JP3238339B2 - 圧延ロールの研削装置 - Google Patents
圧延ロールの研削装置Info
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- JP3238339B2 JP3238339B2 JP32244896A JP32244896A JP3238339B2 JP 3238339 B2 JP3238339 B2 JP 3238339B2 JP 32244896 A JP32244896 A JP 32244896A JP 32244896 A JP32244896 A JP 32244896A JP 3238339 B2 JP3238339 B2 JP 3238339B2
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- Japan
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- roll
- grindstone
- nozzle
- cleaning liquid
- head
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は冷間圧延機などの圧
延ロールの研削装置で、特にオンライン研削を行うもの
に関する。
延ロールの研削装置で、特にオンライン研削を行うもの
に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の研削装置として、従来、図４〜
図７に示すようなものがある（特開平６−３４４０１３
号公報参照）。
図７に示すようなものがある（特開平６−３４４０１３
号公報参照）。
【０００３】これらの図において、２は円筒状のロール
１の表面に接触される臼状の砥石であり、その座金２ａ
によって回転軸３の先端側に螺合されている。この回転
軸３の基端側は、本体をなすグラインダケース４内に設
けられたモータ５に接続されている。この回転軸３は、
グラインダケース４に回転自在に軸着されている。
１の表面に接触される臼状の砥石であり、その座金２ａ
によって回転軸３の先端側に螺合されている。この回転
軸３の基端側は、本体をなすグラインダケース４内に設
けられたモータ５に接続されている。この回転軸３は、
グラインダケース４に回転自在に軸着されている。
【０００４】グラインダケース４の末端側には油圧シリ
ンダ８のロッド部７が連結され、この油圧シリンダ８
は、トラニオン９によってロール軸方向移動台９ａに揺
動可能に支持されている。また、グラインダケース４の
先端側には、砥石２を囲み込むヘッド１１が回転軸３と
同軸をなして装着されている。
ンダ８のロッド部７が連結され、この油圧シリンダ８
は、トラニオン９によってロール軸方向移動台９ａに揺
動可能に支持されている。また、グラインダケース４の
先端側には、砥石２を囲み込むヘッド１１が回転軸３と
同軸をなして装着されている。
【０００５】ヘッド１１の先端側には、開口部１１ａが
回転軸３と同軸をなすように形成されている。開口部１
１ａの周縁部分にはスリットノズル１２が、噴流２０ａ
のロール１周面への衝突点Ｐを起点とするロール１の周
面（周方向では衝突点Ｐを起点とする接線）に対する衝
突角θで形成されている。
回転軸３と同軸をなすように形成されている。開口部１
１ａの周縁部分にはスリットノズル１２が、噴流２０ａ
のロール１周面への衝突点Ｐを起点とするロール１の周
面（周方向では衝突点Ｐを起点とする接線）に対する衝
突角θで形成されている。
【０００６】このスリットノズル１２には、ヘッド１１
を介して図示しない洗浄水供給装置が接続されている。
ヘッド１１の内部にはフード１３が設けられ、このフー
ド１３には図示しない洗浄水回収装置が接続されてい
る。
を介して図示しない洗浄水供給装置が接続されている。
ヘッド１１の内部にはフード１３が設けられ、このフー
ド１３には図示しない洗浄水回収装置が接続されてい
る。
【０００７】前記砥石２の周囲には螺旋状の羽根１５が
座金２ａと一体をなすように装着されている。
座金２ａと一体をなすように装着されている。
【０００８】そして、例えば冷間圧延ラインのオンライ
ンロール研削装置においては、このような研削装置がロ
ール軸方向移動台９ａに等間隔で複数個装着され、ロー
ル軸方向移動台９ａはこの間隔寸法だけ往復移動するよ
うになっている。
ンロール研削装置においては、このような研削装置がロ
ール軸方向移動台９ａに等間隔で複数個装着され、ロー
ル軸方向移動台９ａはこの間隔寸法だけ往復移動するよ
うになっている。
【０００９】このような研削装置でロール１の周面を研
削するには、ロール１を回転させながら油圧シリンダ８
及びグラインダ軸方向移動装置６を調整して砥石２をロ
ール１に接触させると共に、ヘッド１１の開口部１１ａ
をロール１と非接触とする最小限の隙間ｇを形成し、モ
ータ５によって砥石２及び羽根１５を駆動回転しながら
ロール軸方向移動台９ａを往復移動させる。
削するには、ロール１を回転させながら油圧シリンダ８
及びグラインダ軸方向移動装置６を調整して砥石２をロ
ール１に接触させると共に、ヘッド１１の開口部１１ａ
をロール１と非接触とする最小限の隙間ｇを形成し、モ
ータ５によって砥石２及び羽根１５を駆動回転しながら
ロール軸方向移動台９ａを往復移動させる。
【００１０】そして、図示しない洗浄水供給装置から供
給した洗浄水２０をスリットノズル１２から噴射して研
削部を冷却すると共に、切削粉や脱落砥粒等を洗浄す
る。この際、洗浄水圧を高めれば洗浄能力が高まり、よ
り速いロール研削に対応できる。
給した洗浄水２０をスリットノズル１２から噴射して研
削部を冷却すると共に、切削粉や脱落砥粒等を洗浄す
る。この際、洗浄水圧を高めれば洗浄能力が高まり、よ
り速いロール研削に対応できる。
【００１１】前記ロール１の切削粉や砥石２の脱落砥粒
等を含んだ洗浄済洗浄水２１は螺旋状の羽根１５の回転
により、フード１３から図示しない洗浄水回収装置に送
られる。この際、スリットノズル１２から噴出する洗浄
水２０の噴流２０ａは液流カーテンを形成し、洗浄済洗
浄水２１のヘッド１１とロール１との隙間ｇからの漏洩
を防止している。
等を含んだ洗浄済洗浄水２１は螺旋状の羽根１５の回転
により、フード１３から図示しない洗浄水回収装置に送
られる。この際、スリットノズル１２から噴出する洗浄
水２０の噴流２０ａは液流カーテンを形成し、洗浄済洗
浄水２１のヘッド１１とロール１との隙間ｇからの漏洩
を防止している。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
装置では、噴流２０ａの衝突角θを特別に考慮せずに設
定していたので、噴流２０ａの吐出圧が小さいか、衝突
角θが大きい（吐出圧に応じた限界角より大きい）と、
図７に示すように、洗浄水２０の反転流２０ｂが発生
し、切削粉や脱落砥粒等を含んだ洗浄済洗浄水２１が完
全にフード１３に入らずに、その一部がヘッド１１とロ
ール１との隙間ｇから漏れ出すという不具合があった。
装置では、噴流２０ａの衝突角θを特別に考慮せずに設
定していたので、噴流２０ａの吐出圧が小さいか、衝突
角θが大きい（吐出圧に応じた限界角より大きい）と、
図７に示すように、洗浄水２０の反転流２０ｂが発生
し、切削粉や脱落砥粒等を含んだ洗浄済洗浄水２１が完
全にフード１３に入らずに、その一部がヘッド１１とロ
ール１との隙間ｇから漏れ出すという不具合があった。
【００１３】従って、この研削装置を圧延ラインのオン
ラインロール研削装置に用いた場合に、漏れ出した洗浄
済洗浄水２０ｂが圧延材の上に落下し、この圧延材を次
段の圧延機で圧延したときに、圧延材に疵を付け、製品
価値を著しく低下させることになる。
ラインロール研削装置に用いた場合に、漏れ出した洗浄
済洗浄水２０ｂが圧延材の上に落下し、この圧延材を次
段の圧延機で圧延したときに、圧延材に疵を付け、製品
価値を著しく低下させることになる。
【００１４】そこで、本発明の目的は、ノズルの衝突角
を適正に設定して同ノズルから噴射された洗浄液の反転
流の発生を確実に防止することができる圧延ロールの研
削装置を提供することにある。
を適正に設定して同ノズルから噴射された洗浄液の反転
流の発生を確実に防止することができる圧延ロールの研
削装置を提供することにある。
【００１５】
【００１６】
【課題を解決するための手段】 本発明に係る圧延ロール
の研削装置は、 ロールの表面を研削する砥石と、この砥
石の回転手段と、同砥石が前記ロールと接触するように
先端部に開口部を形成しかつ前記ロールと非接触で前記
砥石を囲み込むように設けたヘッドと、前記砥石と前記
ロールとの接触部に洗浄液を噴射するように前記ヘッド
開口部の周縁に沿って設けたノズルと、前記ヘッドに設
けた洗浄液供給手段及び洗浄液回収手段とを具備した圧
延ロールの研削装置であって、前記ノズルの前記ロール
表面に対する衝突角を、同ノズルのスリット幅が０．１
〜１．０ｍｍで同ノズルと前記ロールとの間の距離が３
〜５０ｍｍの条件下において、前記洗浄液の吐出圧が５
kg／cm2 では１８°、１０kg／cm2 では３０°、１５kg
／cm2 では４０°、２０kg／cm2 では４５°、２５kg／
cm2 では４８°、３０kg／cm2 では５０°の各々のポイ
ントを結ぶ曲線上の限界角以下に設定したことを特徴と
する。
の研削装置は、 ロールの表面を研削する砥石と、この砥
石の回転手段と、同砥石が前記ロールと接触するように
先端部に開口部を形成しかつ前記ロールと非接触で前記
砥石を囲み込むように設けたヘッドと、前記砥石と前記
ロールとの接触部に洗浄液を噴射するように前記ヘッド
開口部の周縁に沿って設けたノズルと、前記ヘッドに設
けた洗浄液供給手段及び洗浄液回収手段とを具備した圧
延ロールの研削装置であって、前記ノズルの前記ロール
表面に対する衝突角を、同ノズルのスリット幅が０．１
〜１．０ｍｍで同ノズルと前記ロールとの間の距離が３
〜５０ｍｍの条件下において、前記洗浄液の吐出圧が５
kg／cm2 では１８°、１０kg／cm2 では３０°、１５kg
／cm2 では４０°、２０kg／cm2 では４５°、２５kg／
cm2 では４８°、３０kg／cm2 では５０°の各々のポイ
ントを結ぶ曲線上の限界角以下に設定したことを特徴と
する。
【００１７】［作用］ロールを回転させながらヘッドの
開口部とロールとの最小限の隙間を形成してロールと非
接触すると共に、砥石をロールに押圧して回転させなが
らロール軸方向に往復移動させる。そして、洗浄液供給
手段によって供給した洗浄液をノズルから前述した所要
の吐出圧以上及び衝突角以下で噴射することにより、洗
浄液の反転流発生を防止して洗浄済洗浄液の前記隙間か
らの漏洩を防止しつつ、切削粉や脱落砥粒等を洗浄して
この洗浄済洗浄液を洗浄液回収手段によって完全に回収
する。
開口部とロールとの最小限の隙間を形成してロールと非
接触すると共に、砥石をロールに押圧して回転させなが
らロール軸方向に往復移動させる。そして、洗浄液供給
手段によって供給した洗浄液をノズルから前述した所要
の吐出圧以上及び衝突角以下で噴射することにより、洗
浄液の反転流発生を防止して洗浄済洗浄液の前記隙間か
らの漏洩を防止しつつ、切削粉や脱落砥粒等を洗浄して
この洗浄済洗浄液を洗浄液回収手段によって完全に回収
する。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る圧延ロールの
研削装置を実施例により詳細に説明する。
研削装置を実施例により詳細に説明する。
【００１９】［実施例］図１は本発明の一実施例を示
す、圧延ロールの研削装置の縦断面図、図２は図１のII
−II線断面図、図３は実験による洗浄水反転流発生の各
ポイントを示す、吐出圧−衝突角線図である。尚、これ
らの図において、従来の装置と同一の部材には同一の符
号を付し、詳しい説明を省略する。
す、圧延ロールの研削装置の縦断面図、図２は図１のII
−II線断面図、図３は実験による洗浄水反転流発生の各
ポイントを示す、吐出圧−衝突角線図である。尚、これ
らの図において、従来の装置と同一の部材には同一の符
号を付し、詳しい説明を省略する。
【００２０】図１及び図２において、２は円筒状のロー
ル１の表面に接触される臼状の砥石であり、その座金２
ａによって回転軸３の先端側に螺合されている。この砥
石２の周囲には螺旋状の羽根１５が座金２ａと一体をな
すように装着されている。
ル１の表面に接触される臼状の砥石であり、その座金２
ａによって回転軸３の先端側に螺合されている。この砥
石２の周囲には螺旋状の羽根１５が座金２ａと一体をな
すように装着されている。
【００２１】前記回転軸３は、本体をなすグラインダケ
ース４に回転自在に軸着され、その基端側はグラインダ
ケース４内に設けられた図外のモータに接続されてい
る。
ース４に回転自在に軸着され、その基端側はグラインダ
ケース４内に設けられた図外のモータに接続されてい
る。
【００２２】前記グラインダケース４の末端側は図外の
油圧シリンダを介してロール軸方向移動台に連繋される
と共に、その先端側には、砥石２を囲み込む角筒状のヘ
ッド１０が回転軸３と同軸をなして装着されている。
油圧シリンダを介してロール軸方向移動台に連繋される
と共に、その先端側には、砥石２を囲み込む角筒状のヘ
ッド１０が回転軸３と同軸をなして装着されている。
【００２３】前記ヘッド１０の先端側には、開口部１０
ａが回転軸３と同軸をなすように形成され、この開口部
１０ａの周縁に沿って多数のスリットノズル２２が形成
されている。また、ヘッド１０の内部にはフード１３が
設けられ、このフード１３には図示しない洗浄水回収装
置が接続されている。
ａが回転軸３と同軸をなすように形成され、この開口部
１０ａの周縁に沿って多数のスリットノズル２２が形成
されている。また、ヘッド１０の内部にはフード１３が
設けられ、このフード１３には図示しない洗浄水回収装
置が接続されている。
【００２４】前記スリットノズル２２には、ヘッド１０
を介して図示しない洗浄水供給装置が接続されている。
を介して図示しない洗浄水供給装置が接続されている。
【００２５】また、前記スリットノズル２２は、図３に
示すように、洗浄水２０のスリットノズル２２からの吐
出圧におけるこのスリットノズル２２のロール１の表面
に対する衝突角θが、前記吐出圧が５kg／cm2 では１８
°、１０kg／cm2 では３０°、１５kg／cm2 では４０
°、２０kg／cm2 では４５°、２５kg／cm2 では４８
°、３０kg／cm2 では５０°の各々のポイントを結ぶ曲
線上の値（限界角）以下となるように設定されている。
示すように、洗浄水２０のスリットノズル２２からの吐
出圧におけるこのスリットノズル２２のロール１の表面
に対する衝突角θが、前記吐出圧が５kg／cm2 では１８
°、１０kg／cm2 では３０°、１５kg／cm2 では４０
°、２０kg／cm2 では４５°、２５kg／cm2 では４８
°、３０kg／cm2 では５０°の各々のポイントを結ぶ曲
線上の値（限界角）以下となるように設定されている。
【００２６】図３は、スリット幅Ｗ＝０．１〜１．０ｍ
ｍ，ノズル−ロール間距離Ｈ＝３〜５０ｍｍの条件下で
の実験による反転流２０ｂ（図７参照）発生の各ポイン
トを結ぶ曲線を示しており、前述した各々のポイントの
根拠となっている。
ｍ，ノズル−ロール間距離Ｈ＝３〜５０ｍｍの条件下で
の実験による反転流２０ｂ（図７参照）発生の各ポイン
トを結ぶ曲線を示しており、前述した各々のポイントの
根拠となっている。
【００２７】その他の構成は従来の装置と同一である。
【００２８】このような研削装置で、例えば冷間圧延ラ
インのワークロールの周面をオンラインで研削するに
は、ロール１を回転させながらヘッド１０の開口部１０
ａとロール１との最小限の隙間ｇを形成してヘッド１０
をロール１と非接触すると共に、砥石２をロール１に押
圧して羽根１５と共に駆動回転しながらグラインダケー
ス４毎ロール軸方向に往復移動させる。
インのワークロールの周面をオンラインで研削するに
は、ロール１を回転させながらヘッド１０の開口部１０
ａとロール１との最小限の隙間ｇを形成してヘッド１０
をロール１と非接触すると共に、砥石２をロール１に押
圧して羽根１５と共に駆動回転しながらグラインダケー
ス４毎ロール軸方向に往復移動させる。
【００２９】そして、図示しない洗浄水供給装置から供
給した洗浄水２０の噴流２０ａをスリットノズル２２か
ら前述した吐出圧以上及び衝突角θ以下で噴射してロー
ル１及び砥石２を冷却すると共に、その切削粉や脱落砥
粒等を洗浄し、反転流２０ｂの発生を防止する。
給した洗浄水２０の噴流２０ａをスリットノズル２２か
ら前述した吐出圧以上及び衝突角θ以下で噴射してロー
ル１及び砥石２を冷却すると共に、その切削粉や脱落砥
粒等を洗浄し、反転流２０ｂの発生を防止する。
【００３０】この洗浄済洗浄水２１は螺旋状の羽根１５
の回転により、フード１３から図示しない洗浄水回収装
置に完全に回収され、ヘッド１０の外部に漏れることが
無くなり、圧延材の疵発生を防止する。
の回転により、フード１３から図示しない洗浄水回収装
置に完全に回収され、ヘッド１０の外部に漏れることが
無くなり、圧延材の疵発生を防止する。
【００３１】尚、駆動回転する臼状の砥石２の代わり
に、カップ状の非駆動の砥石を使用し、ロール１の回転
によって回転させる方式を用いてもよい。また、スリッ
トノズル２２の代わりに、洗浄水噴出孔を列設したスプ
レイノズルを用いることも出来る。さらに、ヘッド１０
の形状は円筒状でもよい。さらにまた、洗浄水２０に代
えて、研削剤や圧延油などを洗浄液として用いてもよ
い。
に、カップ状の非駆動の砥石を使用し、ロール１の回転
によって回転させる方式を用いてもよい。また、スリッ
トノズル２２の代わりに、洗浄水噴出孔を列設したスプ
レイノズルを用いることも出来る。さらに、ヘッド１０
の形状は円筒状でもよい。さらにまた、洗浄水２０に代
えて、研削剤や圧延油などを洗浄液として用いてもよ
い。
【００３２】
【発明の効果】本発明による圧延ロールの研削装置で
は、洗浄液をノズルから所要の吐出圧以上及び衝突角以
下で噴射するようにしたので、洗浄液をノズルからロー
ル及び砥石へ噴射した際に、この洗浄液の反転流発生を
確実に無くすることができる。
は、洗浄液をノズルから所要の吐出圧以上及び衝突角以
下で噴射するようにしたので、洗浄液をノズルからロー
ル及び砥石へ噴射した際に、この洗浄液の反転流発生を
確実に無くすることができる。
【００３３】従って、ヘッドとロールとの隙間から洗浄
済の洗浄液がヘッドの外部へ漏れることが無くなり、オ
ンラインロール研削装置においては、切削粉や脱落砥粒
を含んだ洗浄済洗浄液の板材上への落下を無くして次段
の圧延機、レベラ等の圧延、矯正等による板材の疵発生
を防止することが可能になり、板材の品質を向上するこ
とができる。
済の洗浄液がヘッドの外部へ漏れることが無くなり、オ
ンラインロール研削装置においては、切削粉や脱落砥粒
を含んだ洗浄済洗浄液の板材上への落下を無くして次段
の圧延機、レベラ等の圧延、矯正等による板材の疵発生
を防止することが可能になり、板材の品質を向上するこ
とができる。
【図１】本発明の一実施例を示す、圧延ロールの研削装
置の縦断面図である。
置の縦断面図である。
【図２】図１のII−II線断面図である。
【図３】実験による洗浄水反転流発生の各ポイントを示
す、吐出圧−衝突角線図である。
す、吐出圧−衝突角線図である。
【図４】従来のロール研削装置の一例を示す縦断面図で
ある。
ある。
【図５】図４のＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】図４のロール研削部を示す縦断面図である。
【図７】図４のロール軸方向の洗浄水噴流及び反転流を
示す縦断面図である。
示す縦断面図である。
１ ロール ２ 砥石 ３ 回転軸 １０ ヘッド １０ａ 開口部 ２０ 洗浄水 ２０ａ 噴流 ２０ｂ 反転流 ２２ スリットノズル θ 衝突角
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森本 和夫 広島県広島市西区観音新町四丁目６番22 号 三菱重工業株式会社 広島研究所内 (72)発明者 水田 桂司 広島県広島市西区観音新町四丁目６番22 号 三菱重工業株式会社 広島研究所内 (72)発明者 日朝 幸雄 広島県広島市西区観音新町四丁目６番22 号 三菱重工業株式会社 広島研究所内 (72)発明者 瀧 文男 愛知県東海市東海町５−３新日本製鐵株 式会社名古屋製鉄所内 (72)発明者 浅野 弘揮 愛知県東海市東海町５−３新日本製鐵株 式会社名古屋製鉄所内 (72)発明者 矢部 隆二 愛知県東海市東海町５−３新日本製鐵株 式会社名古屋製鉄所内 (56)参考文献 特開 平６−344013（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−183905（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−218673（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−127025（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−119411（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−84706（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−15313（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−169567（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭54−127288（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B21B 28/04 B24B 5/37 B24B 55/02
Claims (1)
- 【請求項１】 ロールの表面を研削する砥石と、この砥
石の回転手段と、同砥石が前記ロールと接触するように
先端部に開口部を形成しかつ前記ロールと非接触で前記
砥石を囲み込むように設けたヘッドと、前記砥石と前記
ロールとの接触部に洗浄液を噴射するように前記ヘッド
開口部の周縁に沿って設けたノズルと、前記ヘッドに設
けた洗浄液供給手段及び洗浄液回収手段とを具備した圧
延ロールの研削装置であって、前記ノズルの前記ロール
表面に対する衝突角を、同ノズルのスリット幅が０．１
〜１．０ｍｍで同ノズルと前記ロールとの間の距離が３
〜５０ｍｍの条件下において、前記洗浄液の吐出圧が５
kg／cm2 では１８°、１０kg／cm2 では３０°、１５kg
／cm2 では４０°、２０kg／cm2 では４５°、２５kg／
cm2 では４８°、３０kg／cm2 では５０°の各々のポイ
ントを結ぶ曲線上の限界角以下に設定したことを特徴と
する圧延ロールの研削装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32244896A JP3238339B2 (ja) | 1996-12-03 | 1996-12-03 | 圧延ロールの研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32244896A JP3238339B2 (ja) | 1996-12-03 | 1996-12-03 | 圧延ロールの研削装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10166013A JPH10166013A (ja) | 1998-06-23 |
| JP3238339B2 true JP3238339B2 (ja) | 2001-12-10 |
Family
ID=18143783
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32244896A Expired - Fee Related JP3238339B2 (ja) | 1996-12-03 | 1996-12-03 | 圧延ロールの研削装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3238339B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100825618B1 (ko) * | 2001-12-22 | 2008-04-25 | 주식회사 포스코 | 압연공정용 롤의 연마 장치 |
| CN105033796A (zh) * | 2015-06-08 | 2015-11-11 | 朱德仲 | 一种片材电晕处理机水洗打磨器 |
| CN113997197A (zh) * | 2021-10-29 | 2022-02-01 | 华海清科股份有限公司 | 一种用于基板减薄的主轴组件及基板减薄装置 |
| CN114131487B (zh) * | 2021-11-02 | 2023-03-17 | 德州职业技术学院（德州市技师学院） | 一种计算机主板处理用晶圆划片机 |
-
1996
- 1996-12-03 JP JP32244896A patent/JP3238339B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10166013A (ja) | 1998-06-23 |
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