JP3232132B2 - 光学式変位計 - Google Patents

光学式変位計

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JP3232132B2 JP20095592A JP20095592A JP3232132B2 JP 3232132 B2 JP3232132 B2 JP 3232132B2 JP 20095592 A JP20095592 A JP 20095592A JP 20095592 A JP20095592 A JP 20095592A JP 3232132 B2 JP3232132 B2 JP 3232132B2
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勝広 寺前
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、物体の変位量を測定す
る光学式変位計に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図3は従来の光学式変位計のブロック図
を示し、センサーヘッドAと本体Bからなる。センサー
ヘッドAは、位置検出素子1、増幅器2,3、レーザダ
イオード駆動回路4、レーザダイオードLD等から構成
されている。本体Bは、信号処理部11,12、減算器
14、DC演算部15、フィードバック制御回路16、
変調回路17、上記信号処理部11,12と変調回路1
7に基準信号を送る原発振器13等で構成されている。
【0003】上記センサーヘッドAの位置検出素子1
は、検出物体からのレーザ反射光を受け、その変位量に
応じて反射光を電流に変換するものである。増幅器2,
3は、上記位置検出素子1の電流出力を電圧に変換する
I/V変換して上増幅する。本体Bの信号処理部11,
12は、増幅器や、ある周波数以下をカットして信号周
波数を通すハイパスフィルタや、同期検波、整流回路な
どで構成されている。減算器14は、上記信号処理部1
1,12からの2系統の信号値を引き算するものであ
る。
【0004】DC演算部15は、ある周波数以上をカッ
トし、測距値であるDC信号を通すローパスフィルタ
や、ユーザーが調整可能な傾き調整部とオフセット部等
で構成されている。フィードバック制御回路16は、信
号処理部11,12からの信号2系統の加算器や、残差
増幅器や、積分回路などで構成され、検出物体の反射率
に応じたDC電圧をフィードバックが安定な状態で出力
する。
【0005】変調回路17は、フィードバック制御回路
16の積分回路出力のDC電圧を原発振器13の発振出
力に応じ、パルス変調をかける。そして、変調回路17
からの出力はレーザダイオード駆動回路4に伝達され、
レーザダイオードLDを変調発光させるようになってい
る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、変調光が物
体の変位量を測定するために使用されているが、レーザ
にとっては、バイアス的に直流発光を安定に行ってお
り、その安定直流発光に対し変調を加え、検出物体の反
射光量を逆比に比例して変調量は変化する。問題は、変
調量が大きくなると、後述の従来例で示す回路では、次
第に歪みだし、安定直流発光量の一定化が保持できなく
なることにある。
【0007】図4は従来のレーザダイオード駆動回路4
のブロック図を示し、DC発光安定化部20と、レーザ
ダイオードLDを駆動する駆動回路30で構成されてい
る。DC発光安定化部20は、フォトダイオードPD
と、バッファ回路21と、誤差増幅回路22と、積分回
路23等で構成されている。図5は図4の回路図を示し
ている。レーザダイオードLDの発光は、本体Bからの
変調ドライバの信号により変調発光している。一方、バ
イアスである直流発光は、基準電圧に従い、フォトダイ
オードPDからの発光量モニター信号を元にフィードバ
ック制御された状態で一定化し、変調信号と駆動回路3
0で合成される。
【0008】フォトダイオードPDと抵抗R1 とR2
により、レーザダイオードLDの発光を変調振幅を合わ
せた形で受光し、誤差増幅回路22に入力される。この
時、変調量が大きくなると、動作電源電圧によっては、
飽和したりして歪み、変調量が平均化により0ではなく
変化しだす。更に、変調周波数が高い場合、応答性能か
らも歪みが発生する。尚、直流発光量が、変調量で変化
すると起こる問題としては、変調状態でレーザ発光状態
が瞬時に変わり、それにより、測距値がふらつくこと
や、応答性能が不安定になるなどがある。
【0009】本発明は上述の点に鑑みて提供したもので
あって、変調量が大きくなっても、安定直流発光量の一
定化を保持し、変調発光状態で安定なレーザ発光をさせ
ることを目的とした光学式変位計を提供するものであ
る。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は、発光素子から
物体に向けて変調光を出力し、物体による反射光を、受
光位置に応じた一対の位置信号を出力する位置検出素子
で受光して、物体の変位量を測定するようにした光学式
変位計であって、発光素子の直流発光を一定にさせる駆
動回路を備えた光学式変位計において、直流分に加え変
調分を含む発光素子からの発光をモニターする受光素子
と、この受光素子からの出力を直流分のみを直流発光安
定化のフィードバック用信号として利用するためのフィ
ルタ回路とを備えたものである。
【0011】また、請求項3では、直流分に加え変調分
を含む発光素子からの発光をモニターする受光素子と、
この受光素子からの出力を直流分のみを直流発光安定化
のフィードバック用信号として利用し、カットオフ周波
数を変調周波数以下としたフィルタ回路と、このフィル
タ回路からの信号を出力するバッファ回路と、このバッ
ファ回路の出力と基準電圧とを比較し発光素子の直流発
光を一定化させる誤差増幅回路と、この誤差増幅回路か
らの信号を積分する積分回路と、この積分回路の出力と
変調出力信号とを合成して発光素子を駆動する駆動回路
とを設けたものである。
【0012】
【作用】而して、変調量が大きくなっても、安定直流発
光量の一定化を保持し、変調発光状態で、安定な発光を
させることができる。また、請求項3においては、安定
直流発光量の一定化を保持し、変調発光状態で、安定な
レーザ発光をさせることができる。
【0013】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。本発明はレーザダイオード駆動回路4の部分に要
旨があり、他の構成は従来と同じなので、要旨の部分に
ついて詳述する。図2はレーザダイオード駆動回路4の
ブロック図を、図1はその回路図をそれぞれ示してい
る。
【0014】本発明は、従来の回路にフィルタ回路24
を追加したものであり、そのカットオフ周波数fcは変
調周波数の1/10以下に設定している。すなわち、図
1に示すように、抵抗R1 ,R2 、コンデンサC1 でフ
ィルタ回路24を構成しており、このフィルタ回路24
のカットオフ周波数fcは次式で示される。
【0015】fc=1/(2πC1 ×R1 #R2 ) 但し、上記記号#は並列接続の意味である。変調量が大
きくなると、従来例で示す回路では、次第に歪みだし、
安定直流発光量の一定化が保持できなくなることにあっ
たが、この回路構成をとることで、つまり、フィルタ回
路24をフォトダイオードPDの次に設けることで、フ
ォトダイオードPDの受光、即、平均化が行われ、バッ
ファ回路21には、僅かなリップルを含む、ほぼ、直流
電圧が入力され、誤差増幅回路22の応答性能にも依存
せず、回路の電源電圧にも制約されないフィードバック
制御が行われることになる。
【0016】従って、変調量が大きくなっても、安定直
流発光量の一定化を保持し、変調発光状態で安定なレー
ザ発光をさせることができる。
【0017】
【発明の効果】本発明は上述のように、発光素子から物
体に向けて変調光を出力し、物体による反射光を、受光
位置に応じた一対の位置信号を出力する位置検出素子で
受光して、物体の変位量を測定するようにした光学式変
位計において、発光素子の直流発光を一定にさせる駆動
回路を備えた光学式変位計において、直流分に加え変調
分を含む発光素子からの発光をモニターする受光素子
と、この受光素子からの出力を直流分のみを直流発光安
定化のフィードバック用信号として利用するためのフィ
ルタ回路とを備えたものであるから、変調量が大きくな
っても、安定直流発光量の一定化を保持し、変調発光状
態で、安定な発光をさせることができる効果を奏するも
のである。
【0018】また、請求項3においては、安定直流発光
量の一定化を保持し、変調発光状態で、安定なレーザ発
光をさせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例のレーザダイオード駆動回路の
ブロック図である。
【図2】同上の図1の回路図である。
【図3】従来例の光学式変位計の全体のブロック図であ
る。
【図4】同上のレーザダイオード駆動回路のブロック図
である。
【図5】同上の図4の回路図である。
【符号の説明】
1 位置検出素子 4 レーザダイオード駆動回路 21 バッファ回路 22 誤差増幅回路 23 積分回路 30 駆動回路 LD レーザダイオード PD フォトダイオード
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−226607(JP,A) 特開 昭60−95317(JP,A) 特開 昭61−117407(JP,A) 特開 昭63−36183(JP,A) 特開 昭64−88203(JP,A) 特開 平4−99073(JP,A) 特開 平4−151507(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01C 3/06 G01B 11/00

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 発光素子から物体に向けて変調光を出力
    し、物体による反射光を、受光位置に応じた一対の位置
    信号を出力する位置検出素子で受光して、物体の変位量
    を測定するようにした光学式変位計であって、発光素子
    の直流発光を一定にさせる駆動回路を備えた光学式変位
    計において、直流分に加え変調分を含む発光素子からの
    発光をモニターする受光素子と、この受光素子からの出
    力を直流分のみを直流発光安定化のフィードバック用信
    号として利用するためのフィルタ回路とを備えたことを
    特徴とする光学式変位計。
  2. 【請求項2】 上記発光素子にレーザダイオードを用い
    たことを特徴とする請求項1記載の光学式変位計。
  3. 【請求項3】 直流分に加え変調分を含む発光素子から
    の発光をモニターする受光素子と、この受光素子からの
    出力を直流分のみを直流発光安定化のフィードバック用
    信号として利用し、カットオフ周波数を変調周波数以下
    としたフィルタ回路と、このフィルタ回路からの信号を
    出力するバッファ回路と、このバッファ回路の出力と基
    準電圧とを比較し発光素子の直流発光を一定化させる誤
    差増幅回路と、この誤差増幅回路からの信号を積分する
    積分回路と、この積分回路の出力と変調出力信号とを合
    成して発光素子を駆動する駆動回路とを設けたことを特
    徴とする請求項1記載の光学式変位計。
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