JP3231028U - 高精度で迅速なチップのピックアップ・実装装置及びそれを用いたチップ実装機 - Google Patents

Abstract

【課題】高精度で迅速なチップのピックアップ・実装装置を提供する。
【解決手段】ピックアップ・実装装置は、ウェハ１を載置するためのウェハステージと、チップ載置基板７を載置するためのチップ支持台６とを備え、ウェハステージとチップ支持台６との中央位置には、回転駆動装置が設けられ、回転駆動装置には、回転タワーが接続して配置され、水平方向で３６０°の回転が実現されるように回転タワーを駆動し、回転タワーの周方向には、ウェハ１におけるチップ３を取り出し及び載置するための少なくとも３つの吸着ノズルが等間隔で配置され、垂直方向に上下移動するように吸着ノズルを駆動するための垂直運動駆動装置が設けられている。ピックアップ・実装装置は、構造配置が合理的であり、装置全体の応答が速くて、チップ実装効率とチップ実装歩留まりが大きく改善される。
【選択図】図１

Description

本考案は、半導体部品のパッケージ分野に関し、具体的には、高精度で迅速なチップのピックアップ・実装装置及びそれを用いたチップ実装機に関する。

マイクロエレクトロニクスの技術分野では、パッケージ済みの半導体部品又はチップがよく使用されており、そのパッケージプロセスにおいて、ウェハにおける半導体チップを取り外し、チップ載置基板に載置する必要がある。具体的には、まずディスペンシング機構でチップ載置基板におけるチップ固定（チップ実装）ステーションにディスペンシングし、次にチップ実装機構のチップ実装溶接ヘッドによりウェハブルーフィルムから半導体チップを取り出し、さらにディスペンシング済みのチップ固定ステーションに移送する必要がある。また、チップのピックアップ過程において、ウェハブルーフィルムの下方にエジェクターピンが設けられ、ウェハブルーフィルムの上方には視覚的位置決め装置が設けられ、まず、ウェハにおけるチップの位置を判断し、チップ及びチップの下方のエジェクターピンを視覚的位置決め装置に対向させ、次に、チップピックアップ用吸着ノズルを移動して、吸着ノズルを視覚的位置決め装置に対向させ、チップ実装用吸着ノズルの中心、エジェクターピンの中心、視覚的位置決め中心という３つの点を共線にして初めて、正確なチップピックアップが達成される。この過程は、３点共線修正作業とも称される。

同じチップ固定品質条件（チップがディスペンシング位置に正確にパッケージされた）で、チップ固定機のチップ固定効率はチップ固定機の性能を評価する重要な指標である。ウェハからチップを迅速に取り出すと共に、チップをチップ固定ステーションへ迅速に移動するために、特許出願番号が第２００７２０３０５５１５．８号である中国特許では、ウェハピックアップアンドプレース構造が開示されており、主に間欠的回転駆動機構、複数セットのウェハピックアップアンドプレース台、リニアブレーキ及び前後段電動昇降制動部材の構造設計によって、動作経路が円周経路に沿って間欠的に変位するウェハピックアップアンドプレース構造を提供し、稼動時に、所定の円周角ストロークずつ移動する度に、１つのウェハのピックアップアンドプレース動作を完成することができる。理論的には、周知のメカニカルアームのピックアップアンドプレース構造に比べて、ウェハのピックアップアンドプレース速度を大幅に向上させ、ウェハ製造プロセスの効率を効果的に向上させることができる。しかし、実際の実施過程において、以下の２つの問題がある。即ち、１）チップのピックアップ過程において、チップ実装溶接ヘッドの位置をリアルタイムで動的に矯正したことがなくて、各チップ実装溶接ヘッドの中心、エジェクターピンの中心、視覚的位置決め中心をいずれも３点共線させることができない。故に、チップの中心位置でチップをピックアップすることができず、ひいてはチップのピックアップ失敗をもたらすことになる。２）チップ実装過程において、複数セットのウェハピックアップアンドプレース台が３６０度に高速回転する時、視覚的位置決め装置により各溶接ヘッドのチップピックアップ時に生じる位置誤差をリアルタイムに検出したこともなく、運動機構が誤差を補正したこともないため、チップをチップ載置基板におけるチップ固定ステーションに正確に載置させることができず、チップ実装の歩留まりを大幅に低下させ、改良が強く求められている。

上記問題を解決するために、本考案は、高精度で迅速なチップのピックアップ・実装装置を提供している。まず、本考案の回転タワーは、水平方向で３６０°のステッピング式の回転を実現でき、チップのピックアップ及びチップ実装動作を同時に完成して、チップ実装効率を大幅に向上させる。次に、本考案は、視覚的位置決め装置の矯正により、回転タワーをそれぞれ移動させ、各溶接ヘッドがいずれも３点共線になるように確保された後、吸盤を下に移動するように駆動して、チップピックアップの信頼性や高精度を確保し、歩留まりを大幅に向上させる。また、デカップリングして接続される垂直運動駆動装置は、回転駆動装置のモータ負荷及び慣性モーメントを大幅に低減させて、回転速度や精度を向上し、スピードアップの役割を効果的に奏する。さらに、本考案は、構造配置が合理的であり、装置全体の応答が速くて、チップ実装効率とチップ実装歩留まりが大きく改善される。

上記技術目的を実現するために、本考案の技術案は、以下の通りである。ウェハを載置するためのウェハステージと、チップ載置基板を載置するためのチップ支持台とを備える、高精度で迅速なチップのピックアップ・実装装置であって、
前記ウェハステージとチップ支持台との中央位置には、回転駆動装置が設けられ、回転駆動装置には、回転タワーが接続して配置され、水平方向で３６０°の回転が実現されるように前記回転タワーを駆動し、
前記回転タワーの周方向には、ウェハにおけるチップを取り出し及び載置するための少なくとも３つの吸着ノズルが等間隔で配置され、
垂直方向に上下移動するように前記吸着ノズルを駆動するための垂直運動駆動装置が設けられている。

さらに、前記吸着ノズルは下に向かい、吸着ノズルには真空発生器に接続されたエアチューブが設けられ、チップの取り出し又は載置に用いられる。

さらに、前記回転駆動装置は、中央穴構造付きのＤＤＲモータ又はコーナーシリンダーによって駆動され、
前記エアチューブは、ＤＤＲモータを通って真空発生器に接続される。

さらに、前記回転タワーは、軸心に孔が配置され、前記エアチューブは前記回転タワー、孔を通って、真空発生器に接続される。

本考案の好ましい実施案として、上記内容に対し、前記垂直運動駆動装置は、リニアモータを用いて前記回転駆動装置に作用させ、回転タワーを上下移動するように駆動する点で異なる。

本考案の好ましい別の実施案として、上記内容に対し、
回転タワーの外周に摺動板が摺動接続可能に配置され、摺動板は連結アームに固着され、前記吸着ノズルは連結アームの下に配置され、
前記垂直運動駆動装置は、各摺動板にそれぞれ作用し、さらに連結アームを上下移動するように駆動し、
前記垂直運動駆動装置は、前記回転駆動装置とデカップリングすると共に、モータ固定枠を介して個別的に固定される点で異なる。

さらに、第１水平駆動装置と、第２水平駆動装置と、第３水平駆動装置とを備える水平駆動装置が配置され、
第１水平駆動装置は、前記ウェハステージの下に配置され、ウェハステージの真上には、前記ウェハにおけるチップの中心と第１視覚的位置決め装置との位置ずれを算出するための第１視覚的位置決め装置が配置され、ウェハステージを移動させて、前記ウェハにおけるチップを第１視覚的位置決め装置に対向させ、
前記回転タワーには第２水平駆動装置が接続して配置され、Ｘ方向、Ｙ方向に前記回転タワーが移動するように駆動して、回転タワーにおける吸着ノズル、前記ウェハにおけるチップ、第１視覚的位置決め装置という３つの点を共線にする。

本考案の好ましい実施案として、上記内容に対し、
前記ウェハステージとチップ支持台との間であって、前記吸着ノズルの下方には、前記回転タワーにおける各吸着ノズルの相対的な位置ずれを記録するための上面視の第２視覚的位置決め装置が配置され、
前記回転タワーは、各吸着ノズルの相対的な位置ずれに応じて、チップを正確にピックアップするために自己移動し、
前記チップ支持台には、Ｘ方向、Ｙ方向に前記回転タワーと同期して移動するための第３水平駆動装置が接続して配置される点で異なる。

本考案の好ましい別の実施案として、上記内容に対し、前記回転タワーは時計回りに回転し、前記第２視覚的位置決め装置は、回転タワーの左半周に配置されて、吸着ノズルが前記チップを吸い取った後、チップの吸着ノズルにおける位置ずれを検出し、
前記第３水平駆動装置は、チップ支持台をＸ方向、Ｙ方向に前記回転タワーと同期して移動するように駆動すると共に、チップの吸着ノズルにおける位置ずれに基づいて補償運動を行う点で異なる。

さらに、前記水平駆動装置は、垂直駆動板と、水平駆動板と、中間体とを備え、
前記回転駆動装置は、垂直駆動板の左側面に固定され、中間体の左側面にＹ方向レールが配置され、垂直駆動板の右側面はＹ方向レールに係合されて、前記回転駆動装置をＹ方向に運動するように駆動し、
前記中間体の上側面にＸ方向レールが配置され、水平駆動板の下側面はＸ方向レールに係合されて、中間体をＸ方向に運動するように駆動し、さらに回転駆動装置をＸ方向に運動するように駆動する。

チップ実装機は、基板ロード装置と、ディスペンシング装置とを備え、さらに上記した高精度で迅速なチップのピックアップ・実装装置を備える。

本考案は、以下のような有益な効果を有する。

まず、本考案の回転タワーは、水平方向で３６０°のステッピング式の回転を実現でき、チップのピックアップ及びチップ実装動作を同時に完成して、チップ実装効率を大幅に向上させる。次に、本考案は、視覚的位置決め装置の矯正により、回転タワーをそれぞれ移動させ、各吸盤がいずれも３点共線になるように確保された後、吸盤を下に移動するように駆動して、チップピックアップの信頼性や高精度を確保し、歩留まりを大幅に向上させる。また、デカップリングして接続される垂直運動駆動装置は、回転駆動装置のモータ負荷及び慣性モーメントを大幅に低減させて、回転速度や精度を向上し、スピードアップの役割を効果的に奏する。さらに、本考案は、構造配置が合理的であり、装置全体の応答が速くて、チップ実装効率とチップ実装歩留まりが大きく改善される。

本考案の高精度で迅速なチップのピックアップ・実装装置全体の平面構造模式図である。 本ＤＤＲモータの構造模式図である。 本考案の回転タワーの構造模式図である。 本考案の回転タワー及び垂直運動駆動装置の構造模式図である。 本考案の図４における回転タワーの平面構造模式図である。 本考案の水平駆動装置の構造模式図である。

以下では、本考案の技術案について、明瞭で完全に説明する。

なお、「水平」、「垂直」、「前」、「後」、「左」、「右」、「上」及び「下」は、図６における方向であり、本考案の高精度で迅速なチップのピックアップ・実装装置の使用位置方向である。「Ｘ方向」、「Ｙ方向」は、図１と図４における座標系に対するものであり、且つ図１と図６における座標系は同一の座標系での２つの表現結果である。

図１に示すように、高精度で迅速なチップのピックアップ・実装装置は、ウェハ１を載置するためのウェハステージと、チップ載置基板７を載置するためのチップ支持台６とを備え、
前記ウェハステージとチップ支持台６との中央位置には、回転駆動装置が設けられ、回転駆動装置には、回転タワー４が接続して配置され、水平方向で３６０°のステッピング式回転が実現されるように前記回転タワーを駆動し、吸着ノズルがウェハステージの上方に位置するたびに、対応する吸着ノズルは同時にチップ支持台６の上方に位置することになり、視覚的位置決め装置の矯正により、回転タワー４とチップ支持台６をそれぞれ移動させ、吸着ノズルがウェハにおけるチップ３とチップ支持台６におけるチップ載置基板７に対向できるようにしてから、吸盤を下に移動するように駆動して、チップのピックアップ及びチップ実装作業を同時に完成する。

図５に示すように、前記回転タワー４の周方向に沿って、ウェハ１におけるチップ３を取り出し及び載置するための少なくとも３つの吸着ノズル１１が等間隔で配置され、
垂直方向に上下移動するように前記吸着ノズル１１を駆動するための垂直運動駆動装置が設けられている。

さらに、前記吸着ノズル１１は下に向かい、吸着ノズル１１には真空発生器に接続されたエアチューブが設けられ、チップの取り出し又は載置に用いられる（即ち、チップのピックアップやチップ実装作業）。つまり、本考案のチップのピックアップ動作は、真空吸着ノズルでウェハにおけるチップを吸い取ることにより達成され、チップ実装動作は、真空吸着ノズルで圧力を解放し、チップを基板に載置させることによって達成される。

さらに、図２に示すように、前記回転駆動装置は、中央穴１４を有する構造のＤＤＲモータ又はコーナーシリンダーによって駆動され、
図２に示すように、前記エアチューブは、ＤＤＲモータを通って真空発生器に接続され、ＤＤＲモータの回転子は回転タワー４の中心に固定される。例えば、ＣＮ１０２２９０９５１Ａにより開示されたダイレクトドライブ回転装置は、軸受け台２４を有するケーシング２６と、固定子２７と、下蓋３０と、ヨーク１２と永久磁石ブロック１４からなる回転子２８と、軸受け２９と、スケール２５と、コードリーダとを備え、軸受け２９の内周は軸受け台２４に固定され、軸受け２９の外周はヨーク１２を介して回転子２８に固定され、ヨーク１２のヨークキャビティ内の軸スリーブに、出力軸５がフラットキーの固定方式で固定され、出力軸５は回転タワー４における孔９に接続されて、回転タワーを３６０°回転するように駆動する。

さらに、図４及び図５に示すように、前記回転タワー４は、軸心に孔９が配置され、前記エアチューブは前記回転タワー４、孔９を通って、真空発生器に接続される。本実施案によれば、エアチューブが回転タワーの内部に配置されて、エアチューブの露出や絡まりを防止し、本装置の安定性を高めるという利点がある。

本考案の好ましい実施案として、上記内容に対し、前記垂直運動駆動装置は、リニアモータを用いて前記回転駆動装置１６に作用させ、回転タワー６を上下移動するように駆動し、さらに吸着ノズル１１を上下移動させて、Ｚ方向の運動を実現することで、チップのピックアップとチップ実装動作を同時に達成する点で異なる。図３に示すように、本考案の回転タワーは、一体型の回転タワーであり、リニアモータによって前記回転駆動装置１６に作用し、回転タワーを駆動して全体的にｚ方向の運動を実現してもよい。

本考案の好ましい別の実施案として、上記内容に対し、相違点は以下の通りである。

前記吸着ノズル１１は連結アーム１０の下に配置され、連結アーム１０は摺動板１８を介して前記回転タワー４の外周に摺動接続され、
前記垂直運動駆動装置は、各摺動板にそれぞれ作用し、前記連結アーム１０は摺動板１８を介して一体成型され、さらに連結アーム１０を駆動して上下移動させる。好ましいは、図１及び図５に示すように、回転タワー４が時計回りに回転し、回転タワーの時計回りの周方向に沿って、第１〜第８吸着ノズルがそれぞれ配置され、各吸着ノズルに対応して垂直運動駆動装置が設けられる。前記垂直運動駆動装置は、リニアモータ１７、又はボイスコイルモータ、又はカム機構のいずれかを用い、それぞれ摺動板１８に作用して、それぞれ連結アームを駆動して上下移動させ、Ｚ方向の運動を実現し、それによりチップのピックアップとチップ実装動作を同時に達成する。前記垂直運動駆動装置が前記回転駆動装置とデカップリングし、装置の頂部に回転盤が設けられ、前記垂直運動駆動装置は、下記のモータ固定枠１３によって頂部の回転盤に個別的に固定し吊り下げられる。言い換えれば、本考案の回転駆動装置１６は下記のＸ方向・Ｙ方向駆動装置に固定されるが、本考案の垂直運動駆動装置は装置の頂部に個別的に吊り下げられ、回転動作に対して垂直方向の上下運動が独立的である。本実施案によれば、回転駆動装置１６に上下移動するリニアモータを直接配置する場合に比べて、本実施案に係るデカップリングして接続された垂直運動駆動装置は、回転駆動装置のモータ負荷及び慣性モーメントを大幅に低減させて、移動が柔軟的であり、回転速度や精度を向上させ、スピードアップの作用を効果的に奏するという利点がある。

前記垂直運動駆動装置は、前記回転駆動装置とデカップリングし、モータ固定枠１３を介して個別的に固定される。

本考案の一実施案として、本考案の回転タワーの下に奇数個の吸着ノズルが等間隔的に設けられ、奇数個に吸着ノズルを配置することで各溶接ヘッドのチップのピックアップ・実装の回転角度を低減できるが、チップのピックアップ・実装時の上下運動は依然として直行的である。つまり、チップピックアップ用吸着ノズルが下に移動してチップのピックアップを行う時、チップ実装動作を行わず、チップピックアップ用吸着ノズルがチップのピックアップを完了した後、一定の角度に回転してこそチップ実装を行う。

図５に示すように、本考案の別の実施案として、本考案の回転タワーの下に４（偶数）個の吸着ノズルを等間隔的に設けて、各吸着ノズルのチップのピックアップ・実装の回転角度をさらに低減し、且つ、チップのピックアップ・実装時の上下運動は並行的であり、奇数個数の吸着ノズルの場合と比べて、チップのピックアップ・実装スピードをさらに向上させることができる。

さらに、第１水平駆動装置と、第２水平駆動装置と、第３水平駆動装置とを備える水平駆動装置が配置され、
第１水平駆動装置は、前記ウェハステージの下に配置され、ウェハステージの真上には、前記ウェハにおけるチップ中心と第１視覚的位置決め装置との位置ずれを算出するための第１視覚的位置決め装置が配置され、ウェハステージを移動させて、前記ウェハにおけるチップを第１視覚的位置決め装置に対向させ、
前記回転タワーには第２水平駆動装置が接続して配置され、Ｘ方向、Ｙ方向に前記回転タワーが移動するように駆動して、回転タワーにおける吸着ノズル、前記ウェハにおけるチップ、第１視覚的位置決め装置という３つの点を共線にする。

さらに、前記ウェハステージとチップ支持台との間であって、前記吸着ノズルの下方には、前記回転タワーにおける各吸着ノズルの相対的な位置ずれを記録するための上面視の第２視覚的位置決め装置が配置され、
前記回転タワーは、各吸着ノズルの相対的な位置ずれに応じて、チップを正確にピックアップするために自己移動し、
前記チップ支持台には、Ｘ方向、Ｙ方向に前記回転タワーと同期して移動するための第３水平駆動装置が接続して配置される。

本実施例の具体的な実施形態として、以下の通りである。

図５の回転タワーは時計回りに回転し、且つ、回転タワーの時計回りの方向に沿って、それぞれ第１〜第４吸着ノズルが配置される。

Ｓ１：チップ支持台６におけるチップ載置基板のチップ実装位置中心を第３吸着ノズルの真下に移動させ、第１視覚的位置決め装置により第１吸着ノズルを含む３つの点を共線にする補正作業を完了する。

Ｓ２：ＸＹ平面内に回転タワー４を固定し、回転駆動装置１６は回転タワー４が時計回りに９０度回転するように駆動し、第２視覚的位置決め装置は、その時の第１吸着ノズルの中心の真下に固定しており、回転タワーを続々と９０度にステッピング回転させ、第２視覚的位置決め装置で第１吸着ノズルに対する第４吸着ノズルの位置ずれ、第４吸着ノズルに対する第３吸着ノズルの位置ずれ、第３吸着ノズルに対する第２吸着ノズルの位置ずれを続々と記録した後、その時の第１吸着ノズルはウェハに対向することになる。つまり、本考案のチップ実装機は、チップのピックアップ及びチップ実装動作を行う前に、まず一周のステッピング方式の回動を行い、第２視覚的位置決め装置で各吸着ノズルの相対的な位置ずれを記録しており、下記のステップＳ３において、第１視覚的位置決め装置は、さらに回転タワーを主動的に移動させず、上記記録した位置ずれに応じて自己移動する。

Ｓ３：回転タワーが９０度ずつにステッピングし、同時に、垂直運動駆動装置は第１〜第４吸着ノズルをウェハからチップをピックアップするように個別的に駆動し、チップのピックアップ過程において、第１視覚的位置決め装置によりウェハにおけるチップを第１視覚的位置決め装置に対向させ、且つ、第４、第３、第２吸着ノズルがウェハの上方に移動した時、第２水平駆動装置は各吸着ノズルの相対的な位置ずれに基づいて回転タワーを駆動して移動させ、チップ支持台は、第３水平駆動装置の駆動により、前記回転タワーに随伴して運動し、常にチップ載置基板におけるチップ実装位置中心が吸着ノズルにおけるチップ中心に対向するように保持する。

つまり、本実施例では、３点共線の修正作業において、ウェハの補正は第１視覚的位置決め装置により達成され、回転タワーにおける吸着ノズルの補正は第２視覚的位置決め装置で先に記録した位置ずれにより達成される。ステップＳ３の実行過程において、第２視覚的位置決め装置は位置ずれを記録した後に作業を停止する。

本考案の好ましい別の実施案として、上記内容に対し、前記回転タワーは時計回りに回転し、前記第２視覚的位置決め装置は、回転タワーの左半周に配置されて、吸着ノズルが前記チップを吸い取った後、チップの吸着ノズルにおける位置ずれを検出し、
前記第３水平駆動装置は、チップ支持台をＸ方向、Ｙ方向に前記回転タワーと同期して移動するように駆動すると共に、チップの吸着ノズルにおける位置ずれに基づいて補償運動を行う点で異なる。

本実施例に対する具体的な実施形態は、前の実施例とは以下の点で異なる。即ち、ステップＳ３において、第２視覚的位置決め装置は動作し続け、吸着ノズルに対する吸着ノズルに吸い取られたチップの位置ずれをずっと記録し、チップ支持台を駆動してそのずれを補償する。

具体的に、第１吸着ノズルを例として、第１吸着ノズルがチップを吸い取ると、回転タワーは時計回りに９０度回転し、上面視の第２視覚的位置決め装置は第１吸着ノズルの中心に対する第１吸着ノズルにおけるチップの第１位置ずれを記録する。次に、回転タワーは時計回りに９０度回転し、前記チップ支持台の移動量は、上記の各吸着ノズルの位置ずれに応じて回転タワーに随伴して移動する他に、主動的に移動して第１位置ずれを補償する。本実施案により、チップ支持台は、正確なチップ実装の目的を達成するために自己補償運動を行う。

さらに、図６に示すように、前記水平駆動装置は、垂直駆動板１９と、水平駆動板２２と、中間体２３とを備え、
前記回転駆動装置１６は、垂直駆動板１９の左側面に固定され、中間体２３の左側面にＹ方向レール２０が配置され、垂直駆動板１９の右側面はＹ方向レール２０に係合されて、前記回転駆動装置をＹ方向に運動するように駆動する。

前記中間体２３の上側面にＸ方向レール２１が配置され、水平駆動板２２の下側面はＸ方向レール２１に係合されて、中間体２３をＸ方向に運動するように駆動し、さらに回転駆動装置１６をＸ方向に運動するように駆動する。

チップ実装機は、基板ロード装置と、ディスペンシング装置とを備え、さらに上記した高精度で迅速なチップのピックアップ・実装装置を備える。

上記の高精度で迅速なチップのピックアップ・実装装置によれば、チップ支持台６の下に第３視覚的位置決め装置８が固定配置されて、チップ載置基板７の中心と第３視覚的位置決め装置８との位置ずれを観察し、個別的にｘ方向、ｙ方向でチップ支持台６を矯正して、チップ実装ステーションの下の各チップ載置基板７の中心を常に第３視覚的位置決め装置８に対向させる。つまり、本考案のチップ支持台の、前記回転タワーに随伴する運動、又は第２視覚的位置決め装置による自己補償運動は、いずれも第３視覚的位置決め装置８がアライメント作業を完了した後に行われ、第３視覚的位置決め装置８の追加により、チップのピックアップ及びチップ実装効率はある程度に低下したが、チップのピックアップ及びチップ実装の正確度及び歩留まりは大幅に向上される。

当業者であれば、本考案の思想から逸脱しない限り、いくつかの変形や改良を行うことができ、これらの変形や改良は全て本考案の保護範囲に含まれる。

Claims (10)

1. ウェハを載置するためのウェハステージと、チップ載置基板を載置するためのチップ支持台とを備える、高精度で迅速なチップのピックアップ・実装装置であって、
   前記ウェハステージとチップ支持台との中央位置には、回転駆動装置が設けられ、回転駆動装置には、回転タワーが接続して配置され、水平方向で３６０°の回転が実現されるように前記回転タワーを駆動し、
   前記回転タワーの周方向には、ウェハにおけるチップを取り出し及び載置するための少なくとも３つの吸着ノズルが等間隔で配置され、
   垂直方向に上下移動するように前記吸着ノズルを駆動してチップのピックアップ及びチップ実装動作を達成するための垂直運動駆動装置が設けられていることを特徴とする高精度で迅速なチップのピックアップ・実装装置。
2. 前記吸着ノズルは下に向かい、吸着ノズルには真空発生器に接続されたエアチューブが設けられ、チップの取り出し又は載置に用いられることを特徴とする請求項１に記載の高精度で迅速なチップのピックアップ・実装装置。
3. 前記回転駆動装置は、中央穴構造付きのＤＤＲモータ又はコーナーシリンダーによって駆動され、
   前記エアチューブは、ＤＤＲモータを通って真空発生器に接続されることを特徴とする請求項２に記載の高精度で迅速なチップのピックアップ・実装装置。
4. 前記回転タワーは、軸心位置に孔が配置され、前記エアチューブは前記回転タワー、孔を通って、真空発生器に接続されることを特徴とする請求項３に記載の高精度で迅速なチップのピックアップ・実装装置。
5. 回転タワーの外周に摺動板が摺動接続可能に配置され、摺動板は連結アームに固着され、前記吸着ノズルは連結アームの下に配置され、
   前記垂直運動駆動装置は、各摺動板にそれぞれ作用し、さらに連結アームを上下移動するように駆動し、
   前記垂直運動駆動装置は、前記回転駆動装置とデカップリングすると共に、モータ固定枠を介して個別的に固定されることを特徴とする請求項３に記載の高精度で迅速なチップのピックアップ・実装装置。
6. 第１水平駆動装置と、第２水平駆動装置と、第３水平駆動装置とを備える水平駆動装置が配置され、
   第１水平駆動装置は、前記ウェハステージの下に配置され、ウェハステージの真上には、前記ウェハにおけるチップの中心と第１視覚的位置決め装置との位置ずれを算出するための第１視覚的位置決め装置が配置され、ウェハステージを移動させて、前記ウェハにおけるチップを第１視覚的位置決め装置に対向させ、
   前記回転タワーには第２水平駆動装置が接続して配置され、Ｘ方向、Ｙ方向に前記回転タワーが移動するように駆動して、回転タワーにおける吸着ノズル、前記ウェハにおけるチップ、第１視覚的位置決め装置という３つの点を共線にすることを特徴とする請求項１に記載の高精度で迅速なチップのピックアップ・実装装置。
7. 前記ウェハステージとチップ支持台との間であって、前記吸着ノズルの下方には、前記回転タワーにおける各吸着ノズルの相対的な位置ずれを記録するための上面視の第２視覚的位置決め装置が配置され、
   前記回転タワーは、各吸着ノズルの相対的な位置ずれに応じて、チップを正確にピックアップするために自己移動し、
   前記チップ支持台には、Ｘ方向、Ｙ方向に前記回転タワーと同期して移動するための第３水平駆動装置が接続して配置されることを特徴とする請求項６に記載の高精度で迅速なチップのピックアップ・実装装置。
8. 前記回転タワーは時計回りに回転し、前記第２視覚的位置決め装置は、回転タワーの左半周に配置されて、吸着ノズルが前記チップを吸い取った後、チップの吸着ノズルにおける位置ずれを検出し、
   前記第３水平駆動装置は、チップ支持台をＸ方向、Ｙ方向に前記回転タワーと同期して移動するように駆動すると共に、チップの吸着ノズルにおける位置ずれに基づいて補償運動を行うことを特徴とする請求項７に記載の高精度で迅速なチップのピックアップ・実装装置。
9. 前記水平駆動装置は、垂直駆動板と、水平駆動板と、中間体とを備え、
   前記回転駆動装置は、垂直駆動板の左側面に固定され、中間体の左側面にＹ方向レールが配置され、垂直駆動板の右側面はＹ方向レールに係合されて、前記回転駆動装置をＹ方向に運動するように駆動し、
   前記中間体の上側面にＸ方向レールが配置され、水平駆動板の下側面はＸ方向レールに係合されて、中間体をＸ方向に運動するように駆動し、さらに回転駆動装置をＸ方向に運動するように駆動することを特徴とする請求項８に記載の高精度で迅速なチップのピックアップ・実装装置。
10. 基板ロード装置と、ディスペンシング装置とを備えるチップ実装機であって、請求項１〜９のいずれか１項に記載の高精度で迅速なチップのピックアップ・実装装置をさらに備えることを特徴とするチップ実装機。

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