JP3222288B2 - 光波長変換装置 - Google Patents
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Description
長化する光波長変換装置に関するものであり、特に詳細
には、波長変換波の出力変動を防止するようにした光波
長変換装置に関するものである。
るように、ネオジウムなどの希土類が添加された固体レ
ーザー結晶を半導体レーザー等によってポンピングする
固体レーザー装置が公知となっている。この種の固体レ
ーザー装置においては、より短波長のレーザービームを
得るために、その共振器内に非線形光学材料の結晶を配
置して、固体レーザービームを第2高調波等に波長変換
することも広く行なわれている。
波長変換装置においては、第2高調波等の波長変換波
は、非線形光学材料から基本波入射側およびそれと反対
側に出射する。そこで従来は、非線形光学材料に対して
基本波光源側に配される素子、すなわち上記の固体レー
ザー結晶等の光通過端面に波長変換波を反射させるコー
トを施して、波長変換効率の向上を図っていた。つまり
そのような構成においては、非線形光学材料から基本波
入射側に出射した波長変換波が上記コートで反射して折
り返し、非線形光学材料から基本波入射側と反対側に出
射した波長変換波と合成されて、高強度の波長変換波が
出力されるようになる。
にして波長変換効率の向上を図る構成においては、基本
波波長が何らかの理由により変化すると、非線形光学材
料から互いに反対方向に出射した2通りの波長変換波の
位相差が変化し、それらの干渉により、合成後の波長変
換波の出力が大きく変動することがある。場合によって
は、それにより波長変換波出力がほとんど無くなること
もあり、そのようなときは、いわゆるAPC(automati
c power control )をかけても波長変換波の出力変動を
補正しきれない。
を有する結晶が用いられる場合、従来のようにその端面
に波長変換波に対する高反射コートを施して波長変換波
を非線形光学材料側に戻すようにすると、波長変換波が
その中で常光線と異常光線に分離して位相差を生じるこ
とを避けるため、この高反射コートは非線形光学材料に
近い方の結晶端面に施す必要がある。そのような構成に
おいては、基本波波長が変化したときの波長変換波の出
力変動が特に大きい。
であり、基本波波長が変動しても、波長変換波の出力が
大きく変動することのない光波長変換装置を提供するこ
とを目的とするものである。
長変換装置は、請求項1に記載のように、基本波光源か
ら発せられた基本波が往復する共振器内に非線形光学材
料を配置して該基本波を波長変換する光波長変換装置に
おいて、前記非線形光学材料から互いに反対方向に出射
した2通りの波長変換波のうちの一方のみを吸収するフ
ィルターと、残る他方の波長変換波を分岐する手段と、
分岐された波長変換波の出力を検出する手段と、この検
出される出力が一定値になるように前記基本波光源の駆
動を制御する手段とが設けられたことを特徴とするもの
である。
は、請求項2に記載のように、上記フィルターと非線形
光学材料との間に配された素子の光通過端面に、波長変
換波に対する反射防止コートが施されていることを特徴
とするものである。
は、請求項3に記載のように、基本波光源から発せられ
た基本波が往復する共振器内に非線形光学材料を配置し
て該基本波を波長変換する光波長変換装置において、前
記前記非線形光学材料から互いに反対方向に出射した2
通りの波長変換波のうちの一方のみを反射させて、前記
非線形光学材料に戻らない光路を辿らせる反射光学素子
と、残る他方の波長変換波を分岐する手段と、分岐され
た波長変換波の出力を検出する手段と、この検出される
出力が一定値になるように前記基本波光源の駆動を制御
する手段とが設けられたことを特徴とするものである。
は、請求項4に記載のように、上記反射光学素子と非線
形光学材料との間に配された素子の光通過端面に、波長
変換波に対する反射防止コートが施されていることを特
徴とするものである。なお、この第4および第3の光波
長変換装置において、上記反射光学素子としては、共振
器内に配置されて、基本波を透過させる一方波長変換波
を反射させるダイクロイックミラーや、同様に共振器内
に配置されて、基本波を透過させる一方波長変換波を反
射させるコートが施されたブリュースタ板等を好適に用
いることができる。
1の光波長変換装置において、非線形光学材料から互い
に反対方向に出射した2通りの波長変換波のうちの一方
はフィルターに吸収されるので、光路を折り返して戻る
ことがない。したがって、この波長変換波と、それとは
反対側に出射した波長変換波とが合成されることはない
ので、基本波波長が変化しても、前述した干渉によって
波長変換波の出力が大きく変動することがなくなる。そ
の上、吸収されない(つまり使用に供される)方の波長
変換波を分岐し、その分岐された波長変換波の出力を検
出して、この検出される出力が一定値になるように基本
波光源の駆動を制御しているから、使用に供される波長
変換波の出力変動をさらに確実に抑えることができる。
設けられていても、それと非線形光学材料との間に固体
レーザー結晶等の素子が配されている場合は、その素子
の光通過端面で波長変換波が反射し、光路を折り返して
戻る可能性がある。そこで、本発明の第2の光波長変換
装置におけるように、上記固体レーザー結晶等の素子の
光通過端面に波長変換波に対する反射防止コートを施し
ておけば、波長変換波がこの素子端面で反射して戻るこ
とがなくなるから、この場合も波長変換波の出力変動を
確実に防止可能となる。
波長変換装置において、非線形光学材料から互いに反対
方向に出射した2通りの波長変換波のうちの一方は反射
光学素子で反射し、光路を折り返して非線形光学材料側
に戻ることがない。したがって本装置においても、この
波長変換波と、それとは反対側に出射した波長変換波と
が合成されることはないので、基本波波長が変化して
も、前述した干渉によって波長変換波の出力が大きく変
動することがなくなる。その上、ここでも、反射しない
(つまり使用に供される)方の波長変換波を分岐し、そ
の分岐された波長変換波の出力を検出して、この検出さ
れる出力が一定値になるように基本波光源の駆動を制御
しているから、使用に供される波長変換波の出力変動を
さらに確実に抑えることができる。
設けられていても、それと非線形光学材料との間に固体
レーザー結晶等の素子が配されている場合は、その素子
の光通過端面で波長変換波が反射し、光路を折り返して
戻る可能性がある。そこで、本発明の第4の光波長変換
装置におけるように、上記固体レーザー結晶等の素子の
光通過端面に波長変換波に対する反射防止コートを施し
ておけば、波長変換波がこの素子端面で反射して戻るこ
とがなくなるから、この場合も波長変換波の出力変動を
確実に防止可能となる。
詳細に説明する。図1は、本発明の第1実施例による光
波長変換装置を示すものである。この光波長変換装置は
一例として、レーザーダイオードポンピング固体レーザ
ーに組み込まれたものである。このレーザーダイオード
ポンピング固体レーザーは、ポンピング光としてのレー
ザービーム10を発する半導体レーザー(フェーズドアレ
イレーザー)11と、発散光である上記レーザービーム10
を平行光化するコリメーターレンズ12Aと、平行光化し
たレーザービーム10を集束させる集光レンズ12Bと、ネ
オジウム(Nd)がドーピングされた固体レーザー媒質
であるYVO4 結晶(以下、Nd:YVO4 結晶と称す
る)13と、このNd:YVO4 結晶13の前方側(図中右
方側)に配された共振器ミラー14とからなる。
ミラー14との間には、非線形光学材料であるKTP結晶
15が配されている。また、集光レンズ12BとNd:YV
O4 結晶13との間には、後述する特性を有するフィルタ
ー16が挿入されている。
ず)にマウントされて一体化されている。なおフェーズ
ドアレイレーザー11およびKTP結晶15は、図示しない
ペルチェ素子と温調回路により、所定温度に温調され
る。
長λ1 =808 nmのレーザービーム10を発するものが用
いられている。Nd:YVO4 結晶13は、上記レーザー
ビーム10によってネオジウム原子が励起されることによ
り、波長λ2 =1064nmのレーザービーム21を発する。
このレーザービーム21はKTP結晶15に入射して、波長
λ3 =λ2 /2=532 nmの第2高調波に変換される。
この際KTP結晶15からは、前方側つまり共振器ミラー
14側に第2高調波22Aが、後方側つまり半導体レーザー
11側に第2高調波22Bが出射する。
13aおよび前側端面13b、KTP結晶15の後側端面15a
および前側端面15b、そして共振器ミラー14の凹面とさ
れたミラー面14aには、波長λ1 =808 nm、λ2 =10
64nm、λ3 =532 nmに対してそれぞれ下記の特性と
なるコートが施されている。なおARは無反射(透過率
90%以上)、HRは高反射(反射率99%以上)を示す。
ム21はNd:YVO4 結晶13の端面13aとミラー面14a
との間で共振する。このようにレーザービーム21は、共
振して高強度状態でKTP結晶15に入射するので、効率
良く第2高調波22A、22Bが発生する。前方側に出射し
た第2高調波22Aは共振器ミラー14のミラー面14aを透
過して、この共振器ミラー14から出射する。
グ光である波長808 nmのレーザービーム10は良好に透
過させ、波長532 nmの第2高調波22Bは良好に吸収す
る特性のものである。そしてNd:YVO4 結晶13の後
側端面13aおよび前側端面13bには上述の通りのコート
が施されているから、KTP結晶15から後方に出射した
第2高調波22Bはこれらの端面13aおよび13bを良好に
透過した後、フィルター16に吸収される。そこで、この
第2高調波22Bが反射して前方側に折り返すことがない
から、それとKTP結晶15から前方に出射した第2高調
波22Aとが合成されることはない。したがって、基本波
であるレーザービーム21の波長が変化しても、第2高調
波22Bとの干渉によって第2高調波22Aの出力が大きく
変動することはない。
ら出射した第2高調波22Aの一部がビームスプリッタ33
によって分岐され、集光レンズ34で集光された後、光検
出器35によって検出される。そしてこの光検出器35が出
力する光量検出信号SがAPC(automatic power cont
rol )回路36に入力され、半導体レーザー11の駆動電流
Iがこの光量検出信号Sに基づいて制御されて、第2高
調波22Aの出力一定化が図られる。
より第2高調波22Aの出力がほとんど無くなる程度まで
大きく変動すると、半導体レーザー駆動電流Iを上限値
に設定しても第2高調波22Aの出力を一定化することは
不可能となる。しかし、上述のようにして第2高調波22
Aの出力変動を防止すれば、半導体レーザー駆動電流I
の制御幅も小さくなり、安定した出力の第2高調波22A
が得られるようになる。
グ固体レーザーにおいて、半導体レーザー11の駆動電流
Iを変化させたときの第2高調波22Aの出力変化の様子
を示すものである。この駆動電流Iが変化すると、それ
につれて基本波であるレーザービーム21の波長が変化す
るが、そのようになっても、図示される通り、第2高調
波22Aの出力Pが大きく変動することはない。
16を除き、かつNd:YVO4 結晶端面13bに第2高調
波波長λ3 =532 nmに対するHRコートを施して、第
2高調波22Bを前方側に折り返すようにした従来の構成
において、同様の実験を行なった結果を図9に示す。図
示されるようにこの場合は、半導体レーザー11の駆動電
流Iが変化すると、第2高調波22Aの出力Pが大きく変
動することがある。これは、折り返された第2高調波22
Bが第2高調波22Aと干渉するためである。
単一縦モード化するためのブリュースタ板、エタロン、
ツイストモード化するためのλ/4板等が適宜配設され
ていてもよく、本発明はそのような構成においても上述
と同様の効果を奏するものである。この点は、後に説明
する他の実施例においても同様である。
について説明する。なおこの図3において、図1中のも
のと同じ要素については同番号を付してあり、それらに
ついての重複した説明は省略する(以下、同様)。
置とはフィルター16の配設位置が異なるものであり、本
実施例においてフィルター16は、入射光学系の中つまり
コリメーターレンズ12Aと集光レンズ12Bとの間に配設
されている。この構成においても、KTP結晶15から後
方側に出射した第2高調波22Bがフィルター16に吸収さ
れ、第1実施例と同様の効果が得られる。
について説明する。この第3実施例の装置も、第1実施
例の装置とはフィルター16の配設位置が異なるものであ
り、本実施例においてフィルター16は、半導体レーザー
11とコリメーターレンズ12Aとの間に配設されている。
この構成においても、KTP結晶15から後方側に出射し
た第2高調波22Bがフィルター16に吸収され、第1およ
び2実施例と同様の効果が得られる。
について説明する。この第4実施例装置においては、第
1〜3実施例で用いられたコリメーターレンズ12Aおよ
び集光レンズ12Bに代えて、フィルター機能付き入射光
学系20が用いられている。このフィルター機能付き入射
光学系20は、例えば屈折率分布型レンズ等からなり、ポ
ンピング光であるレーザービーム10に対する集光作用は
上記コリメーターレンズ12Aおよび集光レンズ12Bによ
る集光作用と基本的に同じものであるが、それに加え
て、例えばレンズ材質に吸収材料を分散させることによ
り、第1〜3実施例で用いられたフィルター16と同じフ
ィルター機能が付与されたものである。
方側に出射した第2高調波22Bがフィルター機能付き入
射光学系20に吸収され、第1〜3実施例と同様の効果が
得られる。
について説明する。この第5実施例装置においては、第
1〜4実施例におけるのとは反対に、KTP結晶15から
後方側に出射した第2高調波22Bが共振器外に取り出さ
れるようになっている。
ンズ12Bとの間には、共振器ミラー14とともに固体レー
ザー共振器を構成する共振器ミラー30が配され、この固
体レーザー共振器内にはダイクロイックミラー31が配さ
れている。共振器ミラー30の凹面とされたミラー面30
a、Nd:YVO4 結晶13の後側端面13aおよび前側端
面13b、そしてダイクロイックミラー31のミラー面31a
には、波長λ1 =808 nm、λ2 =1064nm、λ3 =53
2 nmに対してそれぞれ下記の特性となるコートが施さ
れている。なおここでもARは無反射、HRは高反射を
示す。また、KTP結晶15の後側端面15aおよび前側端
面15b、そして共振器ミラー14のミラー面14aには、第
1実施例と同様のコートが施されている。
ム21はダイクロイックミラー31のミラー面31aで反射し
て光路を曲げ、共振器ミラー30のミラー面30aと共振器
ミラー14のミラー面14aとの間で共振する。このように
レーザービーム21は、共振して高強度状態でKTP結晶
15に入射するので、効率良く第2高調波22A、22Bが発
生する。後方側に出射した第2高調波22Bはダイクロイ
ックミラー31のミラー面31aを透過して、このダイクロ
イックミラー31から上方に出射する。
共振器ミラー14のミラー面14aを透過して、この共振器
ミラー14から出射する。共振器ミラー14の外側にはフィ
ルター32が配設されており、共振器ミラー14から出射し
た第2高調波22Aはこのフィルター32に吸収される。そ
こで、この第2高調波22Aが反射して後方側に折り返す
ことがないから、それとKTP結晶15から後方に出射し
た第2高調波22Bとが合成されることはない。したがっ
て、基本波であるレーザービーム21の波長が変化して
も、第2高調波22Aとの干渉によって第2高調波22Bの
出力が大きく変動することはない。
ラー31から出射した第2高調波22Bの一部がビームスプ
リッタ33によって分岐され、集光レンズ34で集光された
後、光検出器35によって検出される。そしてこの光検出
器35が出力する光量検出信号SがAPC回路36に入力さ
れ、半導体レーザー11の駆動電流Iがこの光量検出信号
Sに基づいて制御されて、第2高調波22Bの出力一定化
が図られる。
置と同様、上記の干渉により第2高調波22Bの出力がほ
とんど無くなる程度まで大きく変動すると、半導体レー
ザー駆動電流Iを上限値に設定しても第2高調波22Bの
出力を一定化することは不可能となる。しかし、上述の
ようにして第2高調波22Bの出力変動を防止すれば、半
導体レーザー駆動電流Iの制御幅も小さくなり、安定し
た出力の第2高調波22Bが得られるようになる。
について説明する。この第6実施例装置は、図1に示し
た第1実施例装置と比べると、フィルター16に代えてダ
イクロイックミラー40が設けられている点のみが異なる
ものである。このダイクロイックミラー40は、ポンピン
グ光である波長808 nmのレーザービーム10は良好に透
過させ、波長532 nmの第2高調波22Bは良好に反射す
る特性のもので、共振器軸に対して所定の角度傾けて配
置されている。
第2高調波22Bは、Nd:YVO4 結晶13の端面13aお
よび13bを良好に透過した後、ダイクロイックミラー40
において共振器軸外に反射する。よってこの場合も、第
2高調波22BがKTP結晶15に再入射するように折り返
すことがなく、それとKTP結晶15から前方に出射した
第2高調波22Aとが合成されることはない。したがっ
て、基本波であるレーザービーム21の波長が変化して
も、第2高調波22Bとの干渉によって第2高調波22Aの
出力が大きく変動することはない。
について説明する。この第7実施例装置は、上記の第6
実施例装置と比べると、第2高調波22Bを反射させるダ
イクロイックミラーの配置位置および特性が異なるもの
である。すなわち本実施例においては、Nd:YVO4
結晶13とKTP結晶15との間にダイクロイックミラー41
が挿入されている。このダイクロイックミラー41は、波
長1064nmのレーザービーム21は良好に透過させ、波長
532 nmの第2高調波22Bは良好に反射する特性のもの
で、共振器軸に対して所定の角度傾けて配置されてい
る。
に出射した第2高調波22Bは、ダイクロイックミラー41
において共振器軸から外れた方向に反射し、第6実施例
におけるのと同様の効果が得られる。なお上記ダイクロ
イックミラー41は、ブリュースタ板に波長532 nmの光
を反射するコートを施したものに置き換えられてもよ
い。
のAPC回路36による制御がかけられて、第2高調波22
Aの出力一定化が図られる。この構成においても、上述
のようにして第2高調波22Aの出力変動を防止すれば、
半導体レーザー駆動電流Iの制御幅も小さくなり、安定
した出力の第2高調波22Aが得られるようになる。
用いて第2高調波を発生させる実施例について説明した
が、本発明はKTP結晶以外の非線形光学材料を用いる
光波長変換装置に対しても、また第2高調波以外の第3
高調波、和周波、差周波等を発生させる光波長変換装置
に対しても適用可能であることは勿論である。
晶以外のレーザー媒質を用いるレーザー装置にも、ま
た、レーザーダイオードポンピング固体レーザー以外の
レーザー装置にも適用可能である。
を有する結晶が用いられる場合は、従来のようにその端
面に波長変換波に対する高反射コートを施すと、先に述
べた通り、基本波波長が変化したときの波長変換波の出
力変動が特に大きい。したがって本発明は、そのような
固体レーザー結晶が用いられる固体レーザーに適用され
れば、特に効果的である。
み込まれたレーザーダイオードポンピング固体レーザー
を示す概略側面図
ーにおける半導体レーザー駆動電流と第2高調波出力と
の関係を示すグラフ
み込まれたレーザーダイオードポンピング固体レーザー
を示す概略側面図
み込まれたレーザーダイオードポンピング固体レーザー
を示す概略側面図
み込まれたレーザーダイオードポンピング固体レーザー
を示す概略側面図
み込まれたレーザーダイオードポンピング固体レーザー
を示す概略側面図
み込まれたレーザーダイオードポンピング固体レーザー
を示す概略側面図
み込まれたレーザーダイオードポンピング固体レーザー
を示す概略側面図
ダイオードポンピング固体レーザーにおける半導体レー
ザー駆動電流と第2高調波出力との関係を示すグラフ
Claims (6)
- 【請求項1】 基本波光源から発せられた基本波が往復
する共振器内に非線形光学材料を配置して該基本波を波
長変換する光波長変換装置において、 前記非線形光学材料から互いに反対方向に出射した2通
りの波長変換波のうちの一方のみを吸収するフィルター
と、 残る他方の波長変換波を分岐する手段と、 分岐された波長変換波の出力を検出する手段と、 この検出される出力が一定値になるように前記基本波光
源の駆動を制御する手段とが設けられていることを特徴
とする光波長変換装置。 - 【請求項2】 前記フィルターと非線形光学材料との間
に配された素子の光通過端面に、前記波長変換波に対す
る反射防止コートが施されていることを特徴とする請求
項1記載の光波長変換装置。 - 【請求項3】 基本波光源から発せられた基本波が往復
する共振器内に非線形光学材料を配置して該基本波を波
長変換する光波長変換装置において、 前記前記非線形光学材料から互いに反対方向に出射した
2通りの波長変換波のうちの一方のみを反射させて、前
記非線形光学材料に戻らない光路を辿らせる反射光学素
子と、 残る他方の波長変換波を分岐する手段と、 分岐された波長変換波の出力を検出する手段と、 この検出される出力が一定値になるように前記基本波光
源の駆動を制御する手段とが設けられていることを特徴
とする光波長変換装置。 - 【請求項4】 前記反射光学素子と非線形光学材料との
間に配された素子の光通過端面に、前記波長変換波に対
する反射防止コートが施されていることを特徴とする請
求項3記載の光波長変換装置。 - 【請求項5】 前記反射光学素子が、前記共振器内に配
置されて、基本波を透過させる一方、波長変換波を反射
させるダイクロイックミラーであることを特徴とする請
求項3または4記載の光波長変換装置。 - 【請求項6】 前記反射光学素子が、前記共振器内に配
置されて、基本波を透過させる一方、波長変換波を反射
させるコートが施されたブリュースタ板であることを特
徴とする請求項3または4記載の光波長変換装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27652593A JP3222288B2 (ja) | 1993-11-05 | 1993-11-05 | 光波長変換装置 |
US08/323,884 US5636232A (en) | 1993-11-05 | 1994-10-17 | Optical wavelength converter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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