JP3215462B2 - 水素製造装置 - Google Patents
水素製造装置Info
- Publication number
- JP3215462B2 JP3215462B2 JP26460191A JP26460191A JP3215462B2 JP 3215462 B2 JP3215462 B2 JP 3215462B2 JP 26460191 A JP26460191 A JP 26460191A JP 26460191 A JP26460191 A JP 26460191A JP 3215462 B2 JP3215462 B2 JP 3215462B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hydrogen
- membrane
- hollow fiber
- porous ceramic
- reactor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 title claims description 45
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 title claims description 45
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 38
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 44
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 20
- 238000000629 steam reforming Methods 0.000 claims description 20
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 19
- 239000012510 hollow fiber Substances 0.000 claims description 19
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims description 10
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 claims description 9
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 claims description 9
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims description 9
- 239000012466 permeate Substances 0.000 claims description 5
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 19
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000010408 film Substances 0.000 description 12
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 8
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 7
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 6
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 4
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N Ammonia chloride Chemical compound [NH4+].[Cl-] NLXLAEXVIDQMFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N EDTA Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YNQLUTRBYVCPMQ-UHFFFAOYSA-N Ethylbenzene Chemical compound CCC1=CC=CC=C1 YNQLUTRBYVCPMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018007 MmNi Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- ISDDBQLTUUCGCZ-UHFFFAOYSA-N dipotassium dicyanide Chemical compound [K+].[K+].N#[C-].N#[C-] ISDDBQLTUUCGCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000003345 natural gas Substances 0.000 description 2
- 238000002407 reforming Methods 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- KWSLGOVYXMQPPX-UHFFFAOYSA-N 5-[3-(trifluoromethyl)phenyl]-2h-tetrazole Chemical compound FC(F)(F)C1=CC=CC(C2=NNN=N2)=C1 KWSLGOVYXMQPPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 101710134784 Agnoprotein Proteins 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- XFXPMWWXUTWYJX-UHFFFAOYSA-N Cyanide Chemical compound N#[C-] XFXPMWWXUTWYJX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N Trichloroethylene Chemical group ClC=C(Cl)Cl XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019270 ammonium chloride Nutrition 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010420 art technique Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000006356 dehydrogenation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 238000001471 micro-filtration Methods 0.000 description 1
- -1 naphtha Chemical class 0.000 description 1
- 150000002815 nickel Chemical class 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 238000005371 permeation separation Methods 0.000 description 1
- NNFCIKHAZHQZJG-UHFFFAOYSA-N potassium cyanide Chemical compound [K+].N#[C-] NNFCIKHAZHQZJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTFKWYDMKGAZKK-UHFFFAOYSA-N potassium;gold(1+);dicyanide Chemical compound [K+].[Au+].N#[C-].N#[C-] XTFKWYDMKGAZKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 238000006057 reforming reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000010944 silver (metal) Substances 0.000 description 1
- NLJMYIDDQXHKNR-UHFFFAOYSA-K sodium citrate Chemical compound O.O.[Na+].[Na+].[Na+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O NLJMYIDDQXHKNR-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000001509 sodium citrate Substances 0.000 description 1
- 229910001379 sodium hypophosphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 150000003609 titanium compounds Chemical class 0.000 description 1
- UBOXGVDOUJQMTN-UHFFFAOYSA-N trichloroethylene Natural products ClCC(Cl)Cl UBOXGVDOUJQMTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/24—Stationary reactors without moving elements inside
- B01J19/2475—Membrane reactors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/00049—Controlling or regulating processes
- B01J2219/00051—Controlling the temperature
- B01J2219/00132—Controlling the temperature using electric heating or cooling elements
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Hydrogen, Water And Hydrids (AREA)
- Catalysts (AREA)
Description
ガス、LPGなどの炭化水素を水蒸気改質して水素を製
造する装置に関する。
気改質反応を利用して水素を製造する技術は工業的に広
く用いられている。たとえば、 Chemical Economy & En
ginee-ring Review、1981、Vol.13、No.1〜2、 P11〜
16によれば、反応器に原料炭化水素を水蒸気と共に連続
的に供給し、700〜900℃に加熱された触媒層において
水蒸気改質反応によって H2、CO、CO2、CH4 の混合ガス
を製造している。この混合ガスは、更にCO変成器、脱炭
酸装置、メタン化装置により分離、精製され、水素ガス
が製造される。しかしながら水蒸気改質反応は、たとえ
ば
り、反応温度によって化学平衡定数が規定されるため、
水素分率の高い生成ガスを製造するためには700〜900
℃の高温を必要とする。しかし、温度で規定された熱力
学平衡値を越えて転化率を上げることは不可能である。
また、高純度の水素ガスを製造するためには、反応によ
って得られた混合ガス ( H2、CO、CO2、CH4 ) を系外に
取り出し、分離、精製する必要があり、工程が複雑にな
る。また装置が大型化し、加熱燃料が多量必要となり、
エネルギー効率を低下させる。更に改質反応器は700〜
900℃に耐える耐熱材料が必要となる。
点を解消し、コンパクトな装置で水蒸気改質反応と水素
分離を同時に行なうことができ、しかも高純度の水素を
得ることができる水素製造装置を提供することにある。
は、反応器と、その中に保持された水素透過性中空糸膜
とからなり、前記反応器が、原料炭化水素と水蒸気の供
給管路と、加熱器と、非透過ガス排出管および透過ガス
排出管を有している水素製造装置において、前記水素透
過性中空糸膜は、多孔質セラミック中空糸膜の外壁表面
に水素選択透過性膜が形成され、更に、該水素選択透過
性膜の表面にニッケル系水蒸気改質触媒担持多孔質セラ
ミック膜が形成されていることを特徴とするものであ
る。
要図であり、本発明の水素製造装置1は、反応器2と、
この反応器2内に保持された水素透過性中空糸膜3とか
ら成る。反応器2は原料炭化水素と水蒸気の供給管路
4、加熱器5、非透過ガス排出管6および透過ガス排出
管7を有している。本発明において用いる水素透過性中
空糸膜3は図2に示す構造を有している。すなわち、多
孔質セラミック中空糸膜20の外壁表面に水素選択透過性
膜21が形成され、更にこの膜21の表面にニッケル系水蒸
気改質触媒担持多孔質セラミック膜22が形成されてい
る。
00℃以上の温度に耐える耐熱性を有し、かつ平均孔径50
〜500Åの均一な小孔を有する多孔質中空糸膜を使用す
る。具体的には、 0.2μmの細孔を有する市販のアルミ
ナ管にゾルーゲル法を用いて分画分子量20000のアルミ
ナ製限界濾過膜が用いられる。水素選択透過性膜21とし
ては、パラジウム、パラジウム・金・銀・合金、または
ニッケル系水素吸蔵合金の薄膜が使用され、かかる膜は
5〜50μmの膜厚を有し、上記した多孔質セラミック中
空糸膜20の表面に化学メッキまたは電解メッキによって
形成させることができる。
空糸膜20の表面に付着した汚れを除去するためトリクロ
ロエチレン、エタノール等による洗浄を行うのが望まし
い。次いで多孔質セラミック中空糸膜20を以下に示すよ
うなメッキ液に浸漬することにより、Pdを析出させ、マ
スキング等によって多孔質セラミック中空糸膜20の外面
のみにPd膜を形成することができる。
に好適に用いられるメッキ液として次の組成の溶液が挙
げられる。 [Pd(NH3)4]Cl2・H2O 5.4g/L EDTA・2Na 67.2g/L NH3 (28% 水溶液) 651.3ml/L H2NNH2・H2O 0.46ml/L pH 11.3 温度 50℃ 形成されるPd膜の厚みが小さいほど水素の透過速度が大
となり、かつ高価なPd使用量を減少することができる
が、あまりこの厚みを小とするPd膜にピンホールが生じ
水素以外の気体がリークし易くなる。
のようにして形成されたPd膜上に化学メッキによってAu
膜およびAg膜を形成させた後に、熱処理を行うことによ
りPd、AuおよびAgを含む合金膜を得ることができる。Au
膜およびAg膜のメッキ溶液の例を下記に示す。Auメッキ
溶液例 シアン化金カリウム 2g/L クエン酸ナトリウム 50g/L 塩化アンモニウム 75g/L 次亜リン酸ナトリウム 10g/L pH 7.5 温度 93℃ Agメッキ溶液例 AgNO3 3.46g/L EDTA・2Na 33.6g/L NH3 (28% 水溶液) 651.3ml/L H2NNH2・H2O 0.46ml/L 温度 50℃ 熱処理温度は、通常300〜550℃であり、処理時間は5
〜40hrである。
カリウム (4g/L)、シアン化銀カリウム(5g/L)、塩化
白金酸アンモニウム (15g/L)、シアン化カリウム水溶性
チタニウム化合物 (0.01g/L)のシアンアルカリ溶液 (pH
9.5)の中で電気メッキ (電流密度0.6A/dm2) すること
によって行なわれる。ニッケル系水素吸蔵合金として
は、CaNi5 , LaNi5 , MmNi5 , CaMmNi5 ,MmNi2.5S
i0.5 , Mg2Niが用いられ、薄膜形成は、スパックリン
グ、MBE法によって行なわれる。
ミック膜22におけるニッケル系水蒸気改質触媒としては
一般に使用されているニッケル含有量30〜90wt%、好ま
しくは60〜80wt%の触媒が用いられる。またこの触媒を
担持する多孔質セラミックス膜としては市販の平均孔径
0.2〜2μmのアルミナ製精密濾過膜が用いられる。ニ
ッケル系水蒸気改質触媒の担持量は多孔質セラミック膜
の30〜80wt%である。
挿入することによって図2に示す水蒸気改質反応と水素
透過分離の2つの機能を有する膜を得ることができる。
次に上述した本発明の水素製造装置の機能について述べ
る。まず、炭化水素供給管8から、たとえばメタンを流
量計9および流量調節バルブ10を経て供給する。
流量調節バルブ15および流量計16を経て供給し、メタ
ン、ヘリウムおよび水蒸気混合物は供給管路4により反
応器2内に供給される。反応器2内には上述した構造の
水素透過性中空糸膜3が保持されており、かつ、加熱器
5によって所定温度に加熱されている。反応器2内に供
給されたメタンおよび水蒸気は、水素透過性中空糸膜3
の表面を構成するニッケル系水蒸気改質触媒担持多孔質
セラミック膜22 (図2) と接触し、担持されているニッ
ケル系水蒸気改質触媒の存在下に水蒸気改質反応が起
る。
質セラミック膜22の細孔を経て内層側の水素選択透過性
膜21 (図2) の表面に至り、この膜21を透過し、更に最
内層側の多孔質セラミック中空糸膜20 (図2) の細孔を
経て透過ガス排出管路7からガスメータ17を経て取り出
される。一方、非透過性ガス、すなわちCO、CO2 および
未反応CH4 は、排出管路6からトラップ18、ガスメータ
19を経て排出される。
て特公平1-219001号記載の装置を用いてメタンの水蒸気
改質反応を行なったところ、下記の結果が得られた。 反応1. 本発明装置使用 従来装置 反応温度 700℃ 700℃ 反応応力 大気圧 大気圧 透過ガス中水素濃度 97% 75% CH4 転化率 99% 90% 反応2. 反応温度 500℃ 500℃ 反応応力 大気圧 大気圧 透過ガス中水素濃度 95% 40% CH4 転化率 75% 46% 上記結果から表らかなとおり、本発明装置は従来装置と
比較して水蒸気改質反応と同時に高純度水素を選択的に
分離することができ、かつCH4 転化率の点でも優れてい
ることが明らかである。
によれば、水蒸気改質反応の反応系から水素を選択的に
分離し、反応温度で規定された化学平衡を水素生成側に
ずらすことによって水素生成率 (原料炭化水素転化率)
を向上させることができると共に、高純度の水素を得る
ことができる。
を使用しているので、従来の装置によって達成される水
素の平衡転化率をより低い温度で得ることができる。従
って、高価な超耐熱性材料を反応器部材として用いる必
要がなくなる。更に本発明の装置は、炭化水素の水蒸気
改質装置としてのみならず、たとえばエチルベンゼンの
脱水素反応装置、水素が生成または反応する全ての化学
平衡反応をともなうプロセス用装置やメタノールの改質
装置として使用することができる。
る。
水蒸気供給管路 6 非透過性ガス排出管 7 透過性ガス
排出管 20 多孔質セラミック中空糸膜 21 水素選択透
過性膜 22 ニッケル系水蒸気改質触媒担持多孔質セラミック膜
Claims (1)
- 【請求項1】 反応器と、その中に保持された水素
透過性中空糸膜とからなり、前記反応器が、原料炭化水
素と水蒸気の供給管路と、加熱器と、非透過ガス排出管
および透過ガス排出管を有している水素製造装置におい
て、前記水素透過性中空糸膜は、多孔質セラミック中空
糸膜の外壁表面に水素選択透過性膜が形成され、更に、
該水素選択透過性膜の表面にニッケル系水蒸気改質触媒
担持多孔質セラミック膜が形成されていることを特徴と
する水素製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26460191A JP3215462B2 (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 水素製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26460191A JP3215462B2 (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 水素製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05105407A JPH05105407A (ja) | 1993-04-27 |
JP3215462B2 true JP3215462B2 (ja) | 2001-10-09 |
Family
ID=17405585
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26460191A Expired - Fee Related JP3215462B2 (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 水素製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3215462B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002033113A (ja) * | 1999-11-18 | 2002-01-31 | Toyota Motor Corp | 燃料電池用燃料ガス生成装置および水素分離用複合材 |
JP4604332B2 (ja) * | 2000-10-27 | 2011-01-05 | トヨタ自動車株式会社 | 改質用複合材とそれを備える水素生成用構造体 |
WO2002038495A1 (de) * | 2000-11-12 | 2002-05-16 | Klaus Rennebeck | Verfahren und vorrichtung zur wasserstoffgewinnung mittels eines katalytischen mikrohohlfaser-reformers |
KR100665123B1 (ko) * | 2005-04-25 | 2007-01-09 | 삼성전기주식회사 | 연료 전지용 초소형 개질기 |
JP2009291740A (ja) * | 2008-06-06 | 2009-12-17 | Hitachi Ltd | 水素分離部材および水素製造器 |
-
1991
- 1991-10-14 JP JP26460191A patent/JP3215462B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05105407A (ja) | 1993-04-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8518151B2 (en) | Porous hollow fiber supported dense membrane for hydrogen production, separation, or purification | |
EP1042049B1 (en) | Hydrogen gas-extraction module | |
US7700184B2 (en) | Pd nanopore and palladium encapsulated membranes | |
US6171574B1 (en) | Method of linking membrane purification of hydrogen to its generation by steam reforming of a methanol-like fuel | |
US10632437B2 (en) | Shell-and-tube type reactor for reforming natural gas and a preparation method of syngas or hydrogen gas by using the same | |
JP5015638B2 (ja) | 選択透過膜型反応器及び水素製造方法 | |
US8747766B2 (en) | Hydrogen separation membrane and permselective membrane reactor | |
AU2005286952B2 (en) | Membrane steam reformer | |
CA2580580A1 (en) | Membrane enhanced reactor | |
US7947117B2 (en) | Hydrogen purification process that uses a combination of membrane separation units | |
WO2006034103A1 (en) | Reactor and process for steam reforming | |
Basile et al. | An experimental study of multilayered composite palladium membrane reactors for partial oxidation of methane to syngas | |
KR102075627B1 (ko) | 메탄화 촉매기능을 가진 다공성 니켈 지지체를 이용한 Pd계 금속 치밀 수소투과 분리막 | |
JP2001348205A (ja) | メンブレンリアクタ | |
Kikuchi et al. | Hydrogen production from methane steam reforming assisted by use of membrane reactor | |
Tong et al. | Thin Pd membrane prepared on macroporous stainless steel tube filter by an in-situ multi-dimensional plating mechanism | |
JP3215462B2 (ja) | 水素製造装置 | |
JPWO2007111278A1 (ja) | 選択透過膜型反応器を用いた水素製造方法及び選択透過膜型反応器 | |
JPH01219001A (ja) | 水素製造方法 | |
JP3297246B2 (ja) | 熱併給発電方法 | |
WO2007108543A1 (ja) | 選択透過膜型反応器を用いた水素製造方法及び選択透過膜型反応器 | |
JP2955054B2 (ja) | 燃料電池用水素製造方法及び装置並びに供給方法 | |
JP4006107B2 (ja) | 高純度coの製造方法及び製造装置 | |
JP2755685B2 (ja) | 燃料電池用水素製造方法 | |
JPH04325402A (ja) | 燃料電池用水素製造方法及び装置並びに供給方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010626 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080727 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090727 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090727 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100727 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100727 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110727 Year of fee payment: 10 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |